JPH01276047A - 真空槽内観測用光学装置 - Google Patents
真空槽内観測用光学装置Info
- Publication number
- JPH01276047A JPH01276047A JP63106324A JP10632488A JPH01276047A JP H01276047 A JPH01276047 A JP H01276047A JP 63106324 A JP63106324 A JP 63106324A JP 10632488 A JP10632488 A JP 10632488A JP H01276047 A JPH01276047 A JP H01276047A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide
- vacuum
- generation
- gas
- rupture
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/954—Inspecting the inner surface of hollow bodies, e.g. bores
Landscapes
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Instruments For Viewing The Inside Of Hollow Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は真空状態内の動作分析、物理測定をする真空槽
内観測用光学装置に関するものである。
内観測用光学装置に関するものである。
従来の技術
近年、観測光学装置の一つに工業用内視鏡がある。工業
用内視鏡は、産業技術の高度化に伴い、機械、装置類が
高度化し複雑多岐にわたるようになり、従来の分解、再
組立などを伴った破壊検査に対し、今非破壊で行う有効
な手段の一つになっている。
用内視鏡は、産業技術の高度化に伴い、機械、装置類が
高度化し複雑多岐にわたるようになり、従来の分解、再
組立などを伴った破壊検査に対し、今非破壊で行う有効
な手段の一つになっている。
以下図面を参照しながら、上述した従来の工業用内視鏡
の一例について説明する。
の一例について説明する。
第２図は、従来の工業用内視鏡に用いられるイメージガ
イドの横断面図、第３図は工業用内視鏡の縦断面図であ
る。第２図において、１は素線、２はコーティング層で
、コーティング層２は素線１内の光逃げを防止する。３
は樹脂層で、前記コーティング層２で覆われた前記素線
１を固定する。
イドの横断面図、第３図は工業用内視鏡の縦断面図であ
る。第２図において、１は素線、２はコーティング層で
、コーティング層２は素線１内の光逃げを防止する。３
は樹脂層で、前記コーティング層２で覆われた前記素線
１を固定する。
４は外装被膜である。このようにしてイメージガイド６
は構成されている。第３図において、イメージガイド６
は自由に曲げられる。ｅは対象物である。７は対物レン
ズで、前記対象物θ像を前記イメージガイド６の端面に
結像させる。８は接眼レンズで、前記イメージガイド６
内に反射してきた前記対象物６像を目で見えるように結
像する。
は構成されている。第３図において、イメージガイド６
は自由に曲げられる。ｅは対象物である。７は対物レン
ズで、前記対象物θ像を前記イメージガイド６の端面に
結像させる。８は接眼レンズで、前記イメージガイド６
内に反射してきた前記対象物６像を目で見えるように結
像する。
９はライトガイドで、光源装置から光を先端部まで導き
、前記観察対象物６を照らす。１０はライトガイドコネ
クタ一部である。１１はメツシュ保護カバーである。
、前記観察対象物６を照らす。１０はライトガイドコネ
クタ一部である。１１はメツシュ保護カバーである。
以上のように構成された、工業用内視鏡について、以下
その動作について説明する。
その動作について説明する。
まず、工業用内視鏡の前記接眼レンズ８で、観察する対
象物６が見えるように曲げながらセットする。暗い場合
は前記ライトガイドｅで照明を行って前記対象物６を照
らす。そして、対象物６の像を前記対物レンズ７、前記
イメージガイド６、前記接眼レンズ８を経過して結像さ
せて使用する。
象物６が見えるように曲げながらセットする。暗い場合
は前記ライトガイドｅで照明を行って前記対象物６を照
らす。そして、対象物６の像を前記対物レンズ７、前記
イメージガイド６、前記接眼レンズ８を経過して結像さ
せて使用する。
発明が解決しようとする課題
しかしながら上記のような構成では、例えば１０−５Ｔ
ｏｒｒ 以上の真空中にさらすと内部構成品である前
記コーティング層２、樹脂層３、外装被膜４等から多量
のガスが発生し、激しい時には前記イメージガイド６が
破壊するので、真空内の観測はできないという課題を有
していた。
ｏｒｒ 以上の真空中にさらすと内部構成品である前
記コーティング層２、樹脂層３、外装被膜４等から多量
のガスが発生し、激しい時には前記イメージガイド６が
破壊するので、真空内の観測はできないという課題を有
していた。
本発明は上記問題点に鑑み、真空中でも自由に曲げてセ
ット出来る湾曲部軟性をもち、ガス発生や破裂のない真
空用観測光学装置を提供するものである。
ット出来る湾曲部軟性をもち、ガス発生や破裂のない真
空用観測光学装置を提供するものである。
課題を解決するための手段
上記課題を解決するために、本発明の真空用観測光学装
置は、対象物を観測するファイバースコープと、ファイ
バースコープの照明用ライトガイドと、ファイバースコ
ープ、照明用ライトガイドの先端に配設された光を通過
する窓と、ファイバースコープと前照明用ライトガイド
を、窓と共に外部に対して気密状態で遮断するフレキシ
ブルガイドとを備えたものである。
置は、対象物を観測するファイバースコープと、ファイ
バースコープの照明用ライトガイドと、ファイバースコ
ープ、照明用ライトガイドの先端に配設された光を通過
する窓と、ファイバースコープと前照明用ライトガイド
を、窓と共に外部に対して気密状態で遮断するフレキシ
ブルガイドとを備えたものである。
作 用
本発明は上記した構成によって、ファイバースコープ、
ライトガイド、対物レンズ及び接眼レンズは、窓とフレ
キシブルガイドによシ外部空間の真空中にさらされ無い
ため、ファイバースコープやライトガイドのコーティン
グ層、樹脂部等からのガス発生や破裂もなく、真空内を
観測出来る事になる。
ライトガイド、対物レンズ及び接眼レンズは、窓とフレ
キシブルガイドによシ外部空間の真空中にさらされ無い
ため、ファイバースコープやライトガイドのコーティン
グ層、樹脂部等からのガス発生や破裂もなく、真空内を
観測出来る事になる。
実施例
以下本発明の一実施例の真空用観測光学装置について、
図面を参照しながら説明する。
図面を参照しながら説明する。
第１図は本発明の実施例における真空用観測光学装置の
略断面図を示すものである。第１図において、２６は石
英硝子素線にコーティング層を塗布した物を、約３万本
集合させたイメージガイドで、このイメージガイド２６
の一端２５ａには対物レンズ２７が、他端２５ｂには接
眼レンズ２８がセットされる。また、２９は照明用ライ
トガイドで対象物２６を照らす。以上の二つのユニット
をステンレスで形成したフレキシブルガイド３２内に収
容している。また、このフレキシブルガイド３２の一端
はステンレスを加工したフランジ３６と溶接で接合し、
他端は先端シール金具３３と同様に溶接し、この先端シ
ール金具３３の先端開口にサファイヤ窓３４を接合して
いる。
略断面図を示すものである。第１図において、２６は石
英硝子素線にコーティング層を塗布した物を、約３万本
集合させたイメージガイドで、このイメージガイド２６
の一端２５ａには対物レンズ２７が、他端２５ｂには接
眼レンズ２８がセットされる。また、２９は照明用ライ
トガイドで対象物２６を照らす。以上の二つのユニット
をステンレスで形成したフレキシブルガイド３２内に収
容している。また、このフレキシブルガイド３２の一端
はステンレスを加工したフランジ３６と溶接で接合し、
他端は先端シール金具３３と同様に溶接し、この先端シ
ール金具３３の先端開口にサファイヤ窓３４を接合して
いる。
尚、第１図において、３０はライトガイドコネクタ、３
１は本体である。
１は本体である。
以上のように構成された真空用観測光学装置について、
以下その動作について説明する。
以下その動作について説明する。
まず、真空用観測光学装置を観測する対象物が見えるよ
うに真空層内に前記フレキシブルガイド３２を挿入し、
前記フランジ３６を真空槽の開口部に形成されたフラン
ジ取り付は部（図示せず）にセットする。その後、真空
槽内を真空にしても、イメージガイド拳ライトガイドの
コーテング層・樹脂部等はフレキシブルガイド３２にて
真空槽内と遮断されているので、ガス発生や破裂発生は
ない。また、フレキシラブルガイド３２自体もステンレ
ス等のガスを発生しない材料にて形成しているので、例
えば１０−６Ｔｏｒｒというような高真空度の真空槽に
おいて使用しても、フレキシブルガイドから発生するガ
スで真空度が低下してしまうという様なこともない。
うに真空層内に前記フレキシブルガイド３２を挿入し、
前記フランジ３６を真空槽の開口部に形成されたフラン
ジ取り付は部（図示せず）にセットする。その後、真空
槽内を真空にしても、イメージガイド拳ライトガイドの
コーテング層・樹脂部等はフレキシブルガイド３２にて
真空槽内と遮断されているので、ガス発生や破裂発生は
ない。また、フレキシラブルガイド３２自体もステンレ
ス等のガスを発生しない材料にて形成しているので、例
えば１０−６Ｔｏｒｒというような高真空度の真空槽に
おいて使用しても、フレキシブルガイドから発生するガ
スで真空度が低下してしまうという様なこともない。
以上のように本実施例によれば、前記サファイヤ窓３４
、先端シール金具３３、フレキシブルガイド３２、フラ
ンジ３６までを、気密状態に接合した構造にすることに
よシ、前記イメージガイド２６やライトガイド２９のコ
ーティング層・樹脂部等からの、ガス発生や破裂がなく
、真空内を観測することが出来る。
、先端シール金具３３、フレキシブルガイド３２、フラ
ンジ３６までを、気密状態に接合した構造にすることに
よシ、前記イメージガイド２６やライトガイド２９のコ
ーティング層・樹脂部等からの、ガス発生や破裂がなく
、真空内を観測することが出来る。
発明の効果
以上のように本発明は、本発明の真空用観測光学装置は
、対象物を観測するファイバースコープと、ファイバー
スコープの照明用ライトガイドと、ファイバースコープ
と照明用ライトガイドの先端に配設された光を通過する
窓と、ファイバースコ−プと前記照明用ライトガイドを
、窓と共に外部に対して気密状態で遮断するフレキシフ
諏レガイドを設けたことにより、イメージガイド、ライ
トガイドのコーティング層・樹脂部等からの、ガス発生
や破裂もなく、真空内を観測することが出来る。
、対象物を観測するファイバースコープと、ファイバー
スコープの照明用ライトガイドと、ファイバースコープ
と照明用ライトガイドの先端に配設された光を通過する
窓と、ファイバースコ−プと前記照明用ライトガイドを
、窓と共に外部に対して気密状態で遮断するフレキシフ
諏レガイドを設けたことにより、イメージガイド、ライ
トガイドのコーティング層・樹脂部等からの、ガス発生
や破裂もなく、真空内を観測することが出来る。
第１図は本発明の一実施例における真空用観測光学装置
の略断面図、第２図は従来のイメージガイドの横断面図
、第３図は従来の工業用内視鏡のわｌ断面図である。 ２６・・・・・・イメージガイド、２９・・・・・・照
明用ライトガイド、３２・・・・・・フレキシブルガイ
ド、３３・・・・・・先端シール金具、３４・・・・・
・サファイヤ窓。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名〜−
（０
の略断面図、第２図は従来のイメージガイドの横断面図
、第３図は従来の工業用内視鏡のわｌ断面図である。 ２６・・・・・・イメージガイド、２９・・・・・・照
明用ライトガイド、３２・・・・・・フレキシブルガイ
ド、３３・・・・・・先端シール金具、３４・・・・・
・サファイヤ窓。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名〜−
（０
Claims (1)
- 対象物を観測するファイバースコープと、前記ファイバ
ースコープの照明用ライトガイドと、前記ファイバース
コープと前記照明用ライトガイドの先端に配設された光
を通過する窓と、前記ファイバースコープと前記照明用
ライトガイドを、前記窓と共に外部に対して気密状態で
遮断するフレキシブルガイドとを備えたことを特徴とす
る真空槽内観測用光学装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63106324A JPH01276047A (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 真空槽内観測用光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63106324A JPH01276047A (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 真空槽内観測用光学装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01276047A true JPH01276047A (ja) | 1989-11-06 |
Family
ID=14430739
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63106324A Pending JPH01276047A (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 真空槽内観測用光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01276047A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0422710U (ja) * | 1990-06-15 | 1992-02-25 | ||
| JPH04107219U (ja) * | 1991-02-27 | 1992-09-16 | 株式会社イーアンドエス | 真空装置用オプテイカルポート |
| JPH04107220U (ja) * | 1991-02-27 | 1992-09-16 | 株式会社イーアンドエス | 真空装置の内部観察ポート |
| JPH04135721U (ja) * | 1991-06-10 | 1992-12-17 | 株式会社イーアンドエス | 真空装置の内部スコープ |
-
1988
- 1988-04-28 JP JP63106324A patent/JPH01276047A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0422710U (ja) * | 1990-06-15 | 1992-02-25 | ||
| JPH04107219U (ja) * | 1991-02-27 | 1992-09-16 | 株式会社イーアンドエス | 真空装置用オプテイカルポート |
| JPH04107220U (ja) * | 1991-02-27 | 1992-09-16 | 株式会社イーアンドエス | 真空装置の内部観察ポート |
| JPH04135721U (ja) * | 1991-06-10 | 1992-12-17 | 株式会社イーアンドエス | 真空装置の内部スコープ |
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