JPH0422710U - - Google Patents

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JPH0422710U
JPH0422710U JP6375790U JP6375790U JPH0422710U JP H0422710 U JPH0422710 U JP H0422710U JP 6375790 U JP6375790 U JP 6375790U JP 6375790 U JP6375790 U JP 6375790U JP H0422710 U JPH0422710 U JP H0422710U
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mounting body
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係る真空装置用光フアイバ機
器の取付体の一実施例の説明図である。 １０……フランジ、１１……透孔、１２……筒
体、２０……フレキシブル管、３０……光学窓、
３１……窓取付部材、３２……窓おさえ、４０…
…プローブ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ フアイバスコープ、光フアイバセンサ等の光
    フアイバ機器で用いるプローブを真空装置に取り
    付ける真空装置用光フアイバ機器の取付体であつ
    て、 前記プローブを挿入する透孔が設けられ、真空
    チヤンバのフランジポートに取り付けられるフラ
    ンジと、 被観察部を透視するための光学窓を気密に支持
    する窓取付部材と、 該窓取付部材と前記フランジの透孔位置との間
    を気密に接続するフレキシブル管とを有すること
    を特徴とする真空装置用光フアイバ機器の取付体
    。 ２ 請求項１記載の真空装置用光フアイバ機器の
    取付体に、前記光学窓に前端面を臨ませて前記フ
    ランジ側からフレキシブル管内にプローブを挿入
    してセツトしたことを特徴とする真空装置用光フ
    アイバ機器。
JP6375790U 1990-06-15 1990-06-15 Pending JPH0422710U (ja)

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JPH0422710U true JPH0422710U (ja) 1992-02-25

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01276047A (ja) * 1988-04-28 1989-11-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 真空槽内観測用光学装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01276047A (ja) * 1988-04-28 1989-11-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 真空槽内観測用光学装置

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