JPH01277313A - データ読み取りの改良のための突起を有する磁気抵抗検出素子 - Google Patents
データ読み取りの改良のための突起を有する磁気抵抗検出素子Info
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- JPH01277313A JPH01277313A JP63317601A JP31760188A JPH01277313A JP H01277313 A JPH01277313 A JP H01277313A JP 63317601 A JP63317601 A JP 63317601A JP 31760188 A JP31760188 A JP 31760188A JP H01277313 A JPH01277313 A JP H01277313A
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- projection
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
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- G—PHYSICS
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- G11B5/3967—Composite structural arrangements of transducers, e.g. inductive write and magnetoresistive read
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
現代の磁気データ記憶方式では、データの実際の記録は
従来技術の磁気トランスジューサによりたえず行なわれ
ており、この磁気トランスジューサはこの磁気トランス
ジューサの磁束間隙のところに、しかも、複雑な磁気パ
ターンを発生することができる媒体の近くにおいて電気
信号を変化する磁束パターンに変換する。この変化する
磁束パターンはこの媒体の局部磁気状態をその媒体のパ
ターンへと変化させるが、このパターンは再度の書き込
みのあるまでその状態を維持する。この媒体のパターン
は種々の装置によって検出又は読取られて媒体のパター
ンを表す電気信号を発生し、そして、それから元のデー
タを再度作ることができる。
従来技術の磁気トランスジューサによりたえず行なわれ
ており、この磁気トランスジューサはこの磁気トランス
ジューサの磁束間隙のところに、しかも、複雑な磁気パ
ターンを発生することができる媒体の近くにおいて電気
信号を変化する磁束パターンに変換する。この変化する
磁束パターンはこの媒体の局部磁気状態をその媒体のパ
ターンへと変化させるが、このパターンは再度の書き込
みのあるまでその状態を維持する。この媒体のパターン
は種々の装置によって検出又は読取られて媒体のパター
ンを表す電気信号を発生し、そして、それから元のデー
タを再度作ることができる。
[従来の技術1
フォトリソグラフィ法はこれらの磁気トランスジューサ
を形成するために使用することができ、そして、そのよ
うに形成された磁気トランスジューサは薄膜トランスジ
ューサと呼ばれている。これらの薄膜トランスジューサ
はウェーハの上に同時に付着により一層づつ多数形成さ
れ、そして、各々が1つ又は2つのトランスジューサを
備えた個々の担持体に切断される。各個々の担持体は担
持面(この担持面にそって媒体が移動する)を有するが
、この担持面は切断工程により形成される。
を形成するために使用することができ、そして、そのよ
うに形成された磁気トランスジューサは薄膜トランスジ
ューサと呼ばれている。これらの薄膜トランスジューサ
はウェーハの上に同時に付着により一層づつ多数形成さ
れ、そして、各々が1つ又は2つのトランスジューサを
備えた個々の担持体に切断される。各個々の担持体は担
持面(この担持面にそって媒体が移動する)を有するが
、この担持面は切断工程により形成される。
これらのValiトランスジューサはこのissトラン
スジューサの担持面の方へ突出すると共にこの担持面と
ほぼ同一の高さの所定幅の少なくとも1つの付着磁極を
有している。この付着磁極は磁束間隙を形成し、この磁
束間隙を横切って媒体に磁気パターンを書き込むための
磁界が形成される。この付着磁極を包囲する付着巻線は
この磁束間隙を横切る書き込み磁束を発生するための書
き込み電流を担持する。もしも1個の磁極のみが薄膜ト
ランスジューサ用に付着される場合、担持体は磁気フェ
ライトで作られて別の極を形成する。もちろん、2個以
上の磁極を付着することもでき、そして、書き込み用の
磁束間隙はこれらの極の間に形成される。この場合、担
持体は、組み立てになる薄膜トランスジューサの輪郭に
依存して磁気材料又は非磁気材料から作ってもよい。
スジューサの担持面の方へ突出すると共にこの担持面と
ほぼ同一の高さの所定幅の少なくとも1つの付着磁極を
有している。この付着磁極は磁束間隙を形成し、この磁
束間隙を横切って媒体に磁気パターンを書き込むための
磁界が形成される。この付着磁極を包囲する付着巻線は
この磁束間隙を横切る書き込み磁束を発生するための書
き込み電流を担持する。もしも1個の磁極のみが薄膜ト
ランスジューサ用に付着される場合、担持体は磁気フェ
ライトで作られて別の極を形成する。もちろん、2個以
上の磁極を付着することもでき、そして、書き込み用の
磁束間隙はこれらの極の間に形成される。この場合、担
持体は、組み立てになる薄膜トランスジューサの輪郭に
依存して磁気材料又は非磁気材料から作ってもよい。
[発明が解決しようとする問題点]
媒体に以前書き込まれた磁気データパターンで符号化さ
れたデータを読むための1つの種類のセンサはこの付着
磁極の下に存在するいわゆる磁気抵抗磁束検出素子であ
る。このような素子は、このようなセンサが露出される
印加磁気の関数である特別な電気抵抗特性を有している
。この磁気抵抗検出素子はこの用途では利点と欠点を有
している。欠点の1つは、媒体の磁気パターンが検出さ
れる領域にこのセンサが単一の領域を有するので、さも
なければ、発生されるバルクハウゼン雑音を避けるよう
に注意深(構成されなければならないということである
。バルクハウゼン雑音問題では、これらのセンサが適切
に機能して磁気パターンを検出することができるために
これらのセンサは注意深く設計されなければならない。
れたデータを読むための1つの種類のセンサはこの付着
磁極の下に存在するいわゆる磁気抵抗磁束検出素子であ
る。このような素子は、このようなセンサが露出される
印加磁気の関数である特別な電気抵抗特性を有している
。この磁気抵抗検出素子はこの用途では利点と欠点を有
している。欠点の1つは、媒体の磁気パターンが検出さ
れる領域にこのセンサが単一の領域を有するので、さも
なければ、発生されるバルクハウゼン雑音を避けるよう
に注意深(構成されなければならないということである
。バルクハウゼン雑音問題では、これらのセンサが適切
に機能して磁気パターンを検出することができるために
これらのセンサは注意深く設計されなければならない。
これらのセンサの複数の磁気領域への分割を防止するた
めに、とりわけ、検出素子は鋭角のない比較的直角な端
及び側面を物理的に有することが必要であるということ
が知られている。これはこれらの端及び側面が複数の領
域に検出素子を分割させることがあるからである。これ
らの問題は磁気抵抗素子の種々の説明の場合に考慮され
ており、これらの中には、「領域構造の特徴と強磁性体
材料の保持力へのその影響(Characterist
ic Length of口oiainStructu
re and Its Effect on the
CoerciveForce of Ferrosag
netic Materials) J 、イー。
めに、とりわけ、検出素子は鋭角のない比較的直角な端
及び側面を物理的に有することが必要であるということ
が知られている。これはこれらの端及び側面が複数の領
域に検出素子を分割させることがあるからである。これ
らの問題は磁気抵抗素子の種々の説明の場合に考慮され
ており、これらの中には、「領域構造の特徴と強磁性体
材料の保持力へのその影響(Characterist
ic Length of口oiainStructu
re and Its Effect on the
CoerciveForce of Ferrosag
netic Materials) J 、イー。
ジエー、オシメツク(E、 J、 Ozimek) J
、 A、 P。
、 A、 P。
57 (12)、1985年6月15日、ベージ540
6及び「床屋看板柱の形成及びウェーハ試験とバイアス
付き狭軌道HRセンサ(Fabricationand
Wafer Testing of Barber
Po1e andExchanoe Biased N
arrow Track HR5ensors ) J
、IEEE磁気学会報(IEEE Transacti
ons onHaOnetiC3) VOl、 HaQ
18 、NOV、 1982 、DI)、 1149
−1151がある。
6及び「床屋看板柱の形成及びウェーハ試験とバイアス
付き狭軌道HRセンサ(Fabricationand
Wafer Testing of Barber
Po1e andExchanoe Biased N
arrow Track HR5ensors ) J
、IEEE磁気学会報(IEEE Transacti
ons onHaOnetiC3) VOl、 HaQ
18 、NOV、 1982 、DI)、 1149
−1151がある。
センサはできるだけ媒体及びこの媒体内の磁気パターン
に接近して配置することが重要である。
に接近して配置することが重要である。
それは、これらのパターンは比較的弱く、それらの磁界
は距離に対して急速に低下するからである。
は距離に対して急速に低下するからである。
単一領域要件のため及びこれらの複合トランスジューサ
を製造する方法のために、検出素子はこのセンサ及びト
ランスジューサを取り付ける担持体の端から幾分用つ込
ませることが好ましい。この引っ込みが必要なのは、例
えば、ラッピング方法によって特定の寸法範囲に書き込
みトランスジュ−サの磁束間隙を適合させることができ
るようにするためであり、もしも検出素子が充分引っ込
んでいない場合、この検出素子はラッピング方法に □
より引っかかれることがある。これらの引っかきにより
センサは複数の領域に分割されることがある。これらを
考虐すると、一方でこの検出素子が読み取り中に電気信
号を正確に発生する程充分に支持部材の端に接近し、他
方では、検出素子の引っ込みが不充分な支持部材の端に
それ程接近しないように検出素子が支持部材に正確に位
置決めされることが必要である。
を製造する方法のために、検出素子はこのセンサ及びト
ランスジューサを取り付ける担持体の端から幾分用つ込
ませることが好ましい。この引っ込みが必要なのは、例
えば、ラッピング方法によって特定の寸法範囲に書き込
みトランスジュ−サの磁束間隙を適合させることができ
るようにするためであり、もしも検出素子が充分引っ込
んでいない場合、この検出素子はラッピング方法に □
より引っかかれることがある。これらの引っかきにより
センサは複数の領域に分割されることがある。これらを
考虐すると、一方でこの検出素子が読み取り中に電気信
号を正確に発生する程充分に支持部材の端に接近し、他
方では、検出素子の引っ込みが不充分な支持部材の端に
それ程接近しないように検出素子が支持部材に正確に位
置決めされることが必要である。
担持体の縁にセンサが余りに接近しすぎるように位置付
けられた場合の別の問題は、媒体の相互に隣接するデー
タトラックがセンサにより検出され、そして、センサが
選択されたトラックに磁気パターンを再生することがで
きる精度をその混信により低下されてしまうということ
である。センサを幾分用つ込ませることにより、磁極は
媒体から磁束を導く場合に磁束路として作用し、そして
、センサへの媒体の内部における所望のトラックとして
作用し、少なくとも一部は隣接トラックからの混信を除
去する。引っ込みは、従って、混信の問題を緩和するが
、信号の強度を減少させ、そして、他の雑音源に対して
センサを感じやすくさせてしまう。
けられた場合の別の問題は、媒体の相互に隣接するデー
タトラックがセンサにより検出され、そして、センサが
選択されたトラックに磁気パターンを再生することがで
きる精度をその混信により低下されてしまうということ
である。センサを幾分用つ込ませることにより、磁極は
媒体から磁束を導く場合に磁束路として作用し、そして
、センサへの媒体の内部における所望のトラックとして
作用し、少なくとも一部は隣接トラックからの混信を除
去する。引っ込みは、従って、混信の問題を緩和するが
、信号の強度を減少させ、そして、他の雑音源に対して
センサを感じやすくさせてしまう。
[発明の構成]
本発明者は、検出素子が完全な直線性からほんの僅かず
れている場合には必ずしも複数の領域に検出素子が分割
されるものではないということを発見した。特に、混信
又は磁気抵抗磁束検出素子(以下単に検出素子という)
のようなものの他の漂遊磁束により生ずる干渉は担持面
の方へ伸びる突起をこの検出素子に加えることにより改
良することができる。このような突起は付着磁極の所定
幅よりも狭い幅及び約1.5μmを越えない担持面の平
面に垂直な長さ寸法を持つべきである。このような突起
が検出素子の構造のほぼ完全な直線性からのずれとなっ
ても、その寸法限界が検出素子の複数の領域への分割を
防止するに充分であるということがわかっている。この
突起が1.5μmの限界をかなり越える場合、複数の領
域への検出素子の分割が見られる。なるべくなら、この
突起の端は担持面とほぼ同一の高さにあることが好まし
い。この幾何学的関係は磁束間隙の寸法を設定するラッ
ピング方法により一般的には形成される。この突起は非
常に短くても、その製造はフォトリソグラフィ法の能力
の範囲内で充分形成することができる。
れている場合には必ずしも複数の領域に検出素子が分割
されるものではないということを発見した。特に、混信
又は磁気抵抗磁束検出素子(以下単に検出素子という)
のようなものの他の漂遊磁束により生ずる干渉は担持面
の方へ伸びる突起をこの検出素子に加えることにより改
良することができる。このような突起は付着磁極の所定
幅よりも狭い幅及び約1.5μmを越えない担持面の平
面に垂直な長さ寸法を持つべきである。このような突起
が検出素子の構造のほぼ完全な直線性からのずれとなっ
ても、その寸法限界が検出素子の複数の領域への分割を
防止するに充分であるということがわかっている。この
突起が1.5μmの限界をかなり越える場合、複数の領
域への検出素子の分割が見られる。なるべくなら、この
突起の端は担持面とほぼ同一の高さにあることが好まし
い。この幾何学的関係は磁束間隙の寸法を設定するラッ
ピング方法により一般的には形成される。この突起は非
常に短くても、その製造はフォトリソグラフィ法の能力
の範囲内で充分形成することができる。
突起の縁を担持面と同一の高さにし、又は、従来可能で
あったよりも少なくとも担持面により接近させることに
よって、より高いデータ密度及びデータ速度が可能であ
る。更に、隣接のトラックからの混信が減少され、そし
て、ラッピング中センサ縁の引っかき効果はこのラッピ
ングにさらされるセンナの幅の憬が更に少なくなるため
に減少。
あったよりも少なくとも担持面により接近させることに
よって、より高いデータ密度及びデータ速度が可能であ
る。更に、隣接のトラックからの混信が減少され、そし
て、ラッピング中センサ縁の引っかき効果はこのラッピ
ングにさらされるセンナの幅の憬が更に少なくなるため
に減少。
される。これにより価格をほぼ増加させずにこのセンサ
を使用する記憶装置の容量を増大することができる。
を使用する記憶装置の容量を増大することができる。
[実施例]
第1図には磁気データトランスジューサ用の担持体10
の一部が示しである。担持面12はラッピング又他の加
工方法により形成してもよい。1つの実施例では、担持
体10は磁気フェライトで作られている。検出素子18
は担持体1oの面に固着されているが、なるべくならフ
ォトリソグラフィ法により形成した方がよい。フォトリ
ソグラフィ法で付着された付着磁極(以下単に磁極とい
う)14(その輪郭が示しである)は検出素子18の一
部の上に存在している。磁極14は担持面12と同一高
さにある。検出素子18の「長さ」(第1図の紙面に垂
直な寸法)は一般的には0.01μ′rrL〜0.1μ
mであり、第1図に示した高さは通常は4μm〜20μ
mとしてもよい。
の一部が示しである。担持面12はラッピング又他の加
工方法により形成してもよい。1つの実施例では、担持
体10は磁気フェライトで作られている。検出素子18
は担持体1oの面に固着されているが、なるべくならフ
ォトリソグラフィ法により形成した方がよい。フォトリ
ソグラフィ法で付着された付着磁極(以下単に磁極とい
う)14(その輪郭が示しである)は検出素子18の一
部の上に存在している。磁極14は担持面12と同一高
さにある。検出素子18の「長さ」(第1図の紙面に垂
直な寸法)は一般的には0.01μ′rrL〜0.1μ
mであり、第1図に示した高さは通常は4μm〜20μ
mとしてもよい。
検出素子18と一体の突起20は磁極14の下に存在し
ている。突起20はXとして示した長さ、即ら、検出素
子18の端22と突起20の端16との間の距離を有し
ている。ここでXは1.5μmをかなり越えるものであ
ってはならない。突起20の幅は磁極14の幅よりも少
なくすべきである。フォトリングラフィ法の限界のため
に、突起2oの側面24を縁22に対し直角にすること
はできない。従って、突起20の端16は突起20の基
部よりも狭い。
ている。突起20はXとして示した長さ、即ら、検出素
子18の端22と突起20の端16との間の距離を有し
ている。ここでXは1.5μmをかなり越えるものであ
ってはならない。突起20の幅は磁極14の幅よりも少
なくすべきである。フォトリングラフィ法の限界のため
に、突起2oの側面24を縁22に対し直角にすること
はできない。従って、突起20の端16は突起20の基
部よりも狭い。
第2図は第1図の断面2−2を示す、検出素子18の長
さはここでは等しい拡大比率で示してはいない。媒体3
2にデータを書き込むための磁束間隙は担持体10の而
30と磁極14の面28の間に確立され、絶縁層26が
その間隙を埋めて機械的に担持体10から磁極14を離
している。縁22は空間限界のために実線のように示し
であるが、厳密にいえば緑22は第2図が示す断面図で
は隠されているので、破線とすべきである。
さはここでは等しい拡大比率で示してはいない。媒体3
2にデータを書き込むための磁束間隙は担持体10の而
30と磁極14の面28の間に確立され、絶縁層26が
その間隙を埋めて機械的に担持体10から磁極14を離
している。縁22は空間限界のために実線のように示し
であるが、厳密にいえば緑22は第2図が示す断面図で
は隠されているので、破線とすべきである。
もちろん、1個以上の磁極を磁極14に付着し適切な間
隙材料をその間に配置することができる。
隙材料をその間に配置することができる。
この場合、検出素子18は磁極14と担持体10の間に
示した位置に残すことができ、又は、磁気的に活性な任
意の2つの磁極の間、例えば、磁極14とこの磁wA1
4のすぐ隣りに配置するように提案された磁極との間の
間隙材料に配置することもできる。装置はある型に形成
されているが、検出素子18がその側面の各々に磁気材
料を有するということが高ビット密度のために重要であ
る。
示した位置に残すことができ、又は、磁気的に活性な任
意の2つの磁極の間、例えば、磁極14とこの磁wA1
4のすぐ隣りに配置するように提案された磁極との間の
間隙材料に配置することもできる。装置はある型に形成
されているが、検出素子18がその側面の各々に磁気材
料を有するということが高ビット密度のために重要であ
る。
このことは検出素子1Bの下に現在存在するビットに隣
接するビットから干渉により生じるピークシフトを防止
するためである。
接するビットから干渉により生じるピークシフトを防止
するためである。
絶縁層26は担持体10から磁極14を電気的に絶縁し
、そして、物理的に離隔して上述の間隙を形成するよう
にしている。絶縁層26は一般的には形成過程において
数段階で形成された数個の個々の隅を有している。この
個々の絶縁層は本発明にm達するものではないので、第
2図では区別して示してはいない。
、そして、物理的に離隔して上述の間隙を形成するよう
にしている。絶縁層26は一般的には形成過程において
数段階で形成された数個の個々の隅を有している。この
個々の絶縁層は本発明にm達するものではないので、第
2図では区別して示してはいない。
第1図は輪郭で示した付着磁極を有する担持体の一部に
ある改良になる磁気抵抗磁束検出素子の正面図である。 第2図はその磁気抵抗磁束検出素子の突起を通る第1図
の断面図である。 10・・・担持体、 12・・・担持面、 14・・・磁極、 18・・・検出素子、 20・・・突起、 16.22・・・端、 24・・・側面、 28.30−・・面、 32・・・媒体。
ある改良になる磁気抵抗磁束検出素子の正面図である。 第2図はその磁気抵抗磁束検出素子の突起を通る第1図
の断面図である。 10・・・担持体、 12・・・担持面、 14・・・磁極、 18・・・検出素子、 20・・・突起、 16.22・・・端、 24・・・側面、 28.30−・・面、 32・・・媒体。
Claims (5)
- (1)薄膜磁気データトランスジューサであつて、使用
中磁束パターンを記録するための磁気媒体が移動するト
ランスジューサの担持面の方へ突出すると共にこの担持
面とほぼ同一の高さの所定幅の書き込み用の少なくとも
1つの付着磁極と、書き込み電流を担持すると共にこれ
により書き込み磁束を発生するための前記付着磁極を包
囲する付着巻線と、前記磁気媒体に前に書き込まれた磁
気データパターンで符号化されたデータを読み取るため
の前記付着磁極の下に存在する磁気抵抗磁束検出素子を
有する種類の薄膜磁気データトランスジューサにおいて
、前記付着磁極の下に前記担持面の方へ向かう前記磁気
抵抗磁束検出素子の突起を有し、この突起は前記付着磁
極の所定幅よりも狭い幅と約1.5μmを越えない前記
担持面の平面に直交する長さ寸法とを有することを特徴
とする磁気抵抗磁束検出素子。 - (2)請求項(1)において、前記突起の端はこの突起
の基部よりも幅が狭い磁気抵抗磁束検出素子。 - (3)請求項(2)において、前記突起はその端部の方
へ向つて幅がテーパとなつている磁気抵抗磁束検出素子
。 - (4)請求項(3)において、前記突起の端は前記担持
面とほぼ同一の高さにある磁気抵抗検出素子。 - (5)請求項(1)において、前記突起の端は前記担持
面とほぼ同一の高さにある磁気抵抗検出素子。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/185,636 US4843505A (en) | 1988-04-25 | 1988-04-25 | Magnetoresistive sensing element with a projection for enhanced data reading |
| US185636 | 1988-04-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01277313A true JPH01277313A (ja) | 1989-11-07 |
Family
ID=22681816
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63317601A Pending JPH01277313A (ja) | 1988-04-25 | 1988-12-15 | データ読み取りの改良のための突起を有する磁気抵抗検出素子 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4843505A (ja) |
| EP (1) | EP0340882B1 (ja) |
| JP (1) | JPH01277313A (ja) |
| CA (1) | CA1315876C (ja) |
| DE (1) | DE68909835T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6111723A (en) * | 1990-04-16 | 2000-08-29 | Hitachi, Ltd. | Narrow track thin film magnetic head suitable for high density recording and reproducing operations and fabrication method thereof wherein an air bearing surface has at least one groove containing a non-magnetic electrically conductive layer |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2728487B2 (ja) * | 1989-02-08 | 1998-03-18 | 株式会社日立製作所 | 録再分離複合型磁気ヘッド |
| FR2645315B1 (fr) * | 1989-03-29 | 1991-05-31 | Commissariat Energie Atomique | Tete magnetique de lecture a magnetoresistance pour enregistrement perpendiculaire et procede de realisation d'une telle tete |
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