JPH01279437A - 光ディスク製造用原盤、その製造方法、および光ディスク用成形体 - Google Patents
光ディスク製造用原盤、その製造方法、および光ディスク用成形体Info
- Publication number
- JPH01279437A JPH01279437A JP63107654A JP10765488A JPH01279437A JP H01279437 A JPH01279437 A JP H01279437A JP 63107654 A JP63107654 A JP 63107654A JP 10765488 A JP10765488 A JP 10765488A JP H01279437 A JPH01279437 A JP H01279437A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cross
- master
- forming
- optical disk
- sectional shape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光ディスク媒体用の成形体、その成形に際し
て利用するスタンバ−を製造するための原盤、および該
原盤の製造方法に関する。
て利用するスタンバ−を製造するための原盤、および該
原盤の製造方法に関する。
（従来の技術）
光ディスクはその基板にトラッキングガイド用溝やアド
レスピットを有する。このような光ディスクを製造する
ために利用されるスタンバ−は、第６図（ａ）〜（ｅ）
に断面図として示される工程に従って１作製されるのが
通常である。即ち、まず、ガラス板１にカップリング剤
２とフォトレジスト３をｒ？ＩＨＬ／ ［図、（ａ）コ
、これをレーザー光にて部分的に露光した後、現像する
ことによりレジストにパターンを形成し、原盤とする［
（ｂ）］。次に、この原盤上に、Ｎ１などの金属膜４を
スパッタ等の方法によって設け［（Ｃ）］、その後、Ｎ
ｉメツキ層５を形成する［（ｄ）］。こうして、スタン
パ−は作製される。この作製工程で使用されるレーザー
光のビーム断面のエネルギー分Ｉｉｉは、第１図（ａ）
のように、ガウス分布を打する。このため、Ｌ配力法で
得られた光ディスク用スタンバ−のパターンの四部断面
形状は第２図（ａ）のように対称形である。
レスピットを有する。このような光ディスクを製造する
ために利用されるスタンバ−は、第６図（ａ）〜（ｅ）
に断面図として示される工程に従って１作製されるのが
通常である。即ち、まず、ガラス板１にカップリング剤
２とフォトレジスト３をｒ？ＩＨＬ／ ［図、（ａ）コ
、これをレーザー光にて部分的に露光した後、現像する
ことによりレジストにパターンを形成し、原盤とする［
（ｂ）］。次に、この原盤上に、Ｎ１などの金属膜４を
スパッタ等の方法によって設け［（Ｃ）］、その後、Ｎ
ｉメツキ層５を形成する［（ｄ）］。こうして、スタン
パ−は作製される。この作製工程で使用されるレーザー
光のビーム断面のエネルギー分Ｉｉｉは、第１図（ａ）
のように、ガウス分布を打する。このため、Ｌ配力法で
得られた光ディスク用スタンバ−のパターンの四部断面
形状は第２図（ａ）のように対称形である。
しかしながら、このようなスタンパ−を用いてインジェ
クション成形などにて、第１図（ｅ）のような樹脂成形
基板を得る場合には、光ディスク用スタンパ−表面にお
いて、樹脂の流れに対する抵抗が、大きくなる。そのた
め、樹脂の流れが悪くなり、ティスフの複屈折を小さく
することか困難になったり、樹脂の乱流による外観不良
等の光学的特性が悪くなる。また、インジェクション成
形なとては、スタンパ−形状の樹脂成形基板への転写性
が悪いため、その形状か正確に転写されずに、成形Ｊ、
ｃ板はスタンバ−形状と異なった形状となる。このため
、１拝生信号に悪影響を与えることとなる。
クション成形などにて、第１図（ｅ）のような樹脂成形
基板を得る場合には、光ディスク用スタンパ−表面にお
いて、樹脂の流れに対する抵抗が、大きくなる。そのた
め、樹脂の流れが悪くなり、ティスフの複屈折を小さく
することか困難になったり、樹脂の乱流による外観不良
等の光学的特性が悪くなる。また、インジェクション成
形なとては、スタンパ−形状の樹脂成形基板への転写性
が悪いため、その形状か正確に転写されずに、成形Ｊ、
ｃ板はスタンバ−形状と異なった形状となる。このため
、１拝生信号に悪影響を与えることとなる。
本発明は、左右非対象な分布をもった高密度ビームでの
露光を利用することにより、トラッキング用溝またはア
ドレスピットに対応する四部の断面形状が第１図（ｂ）
のような形状の原盤を形成し、この原盤を基にしたスタ
ンパ−によって、成形時の樹脂の流れ抵抗を押え、光学
特性に優れた光ディスク媒体用成形体を提供し、結果的
に良質な再生信号を取り出そうとするものである。
露光を利用することにより、トラッキング用溝またはア
ドレスピットに対応する四部の断面形状が第１図（ｂ）
のような形状の原盤を形成し、この原盤を基にしたスタ
ンパ−によって、成形時の樹脂の流れ抵抗を押え、光学
特性に優れた光ディスク媒体用成形体を提供し、結果的
に良質な再生信号を取り出そうとするものである。
（課題を解決するための手段）
本発明は、基板−Ｌに感光層を積層後、その感光層を、
断面のエネルギー分布か非ガウス分布をもった高密度ビ
ームによって露光し、その後、現像する工程を有する原
盤の製法であり、また該製法によりできた原盤、即ち、
基板上に、トラッキング用溝またはアドレスピットに対
応する凹部をイｆする感光層が設けられ、該凹部の、該
原盤の半径方向断面形状が、左右非対称であることを特
徴とする原盤であり、さらに、本発明は該原盤を利用し
て製造できる光ディスク用成形体、即ち、トラッキング
用溝またはアドレスピットを有する光ディスク用成形体
であって、トラッキング用溝またはアドレスピットの、
該原盤の半径方向断面形状が、左右非対称であることを
特徴とする成形体である。
断面のエネルギー分布か非ガウス分布をもった高密度ビ
ームによって露光し、その後、現像する工程を有する原
盤の製法であり、また該製法によりできた原盤、即ち、
基板上に、トラッキング用溝またはアドレスピットに対
応する凹部をイｆする感光層が設けられ、該凹部の、該
原盤の半径方向断面形状が、左右非対称であることを特
徴とする原盤であり、さらに、本発明は該原盤を利用し
て製造できる光ディスク用成形体、即ち、トラッキング
用溝またはアドレスピットを有する光ディスク用成形体
であって、トラッキング用溝またはアドレスピットの、
該原盤の半径方向断面形状が、左右非対称であることを
特徴とする成形体である。
以ド、本発明の実施態様を説明する。
ガラス基板上に、密着剤、例えば、ＡＺ−八〇、ＰＲＯ
Ｍ０ＴＥＲ−１００（商品名、ヘキスト社製）のような
シラン系カップリング剤をコートした後、さらに感光性
レジスト［ＡＺ−１：１５０ （商品名）ヘキスト社
製等］をコートする。次に慈基板にレーザー光によって
露光する。そのレーザー光としては断面のエネルギー分
布が第１図（ｂ）のようなものを用いる。露光後、現像
することによって、第２図（ｂ）のような断面形状をも
ったレジストパターンか形成できる。こうしてできた原
盤に１例えばＮｉをスパッタし、次いでＮｉメツキを施
す。その後、Ｎｉ層を剥離することにより、スタンバが
得られる。このスタンバを射出成形や射出圧縮成形など
の成形法で用いることによって、光ディスク媒体用成形
体が多量に生産できる。
Ｍ０ＴＥＲ−１００（商品名、ヘキスト社製）のような
シラン系カップリング剤をコートした後、さらに感光性
レジスト［ＡＺ−１：１５０ （商品名）ヘキスト社
製等］をコートする。次に慈基板にレーザー光によって
露光する。そのレーザー光としては断面のエネルギー分
布が第１図（ｂ）のようなものを用いる。露光後、現像
することによって、第２図（ｂ）のような断面形状をも
ったレジストパターンか形成できる。こうしてできた原
盤に１例えばＮｉをスパッタし、次いでＮｉメツキを施
す。その後、Ｎｉ層を剥離することにより、スタンバが
得られる。このスタンバを射出成形や射出圧縮成形など
の成形法で用いることによって、光ディスク媒体用成形
体が多量に生産できる。
第２図（ｂ）のように、トラッキング用溝またはアドレ
スピットに対応する凹部の底辺の中心が、それと平行す
る辺の中心より内周側にある場合特に、成形時の樹脂の
流れがスムーズになり、複屈折などの光学的特性の良好
な成形品が得られる。
スピットに対応する凹部の底辺の中心が、それと平行す
る辺の中心より内周側にある場合特に、成形時の樹脂の
流れがスムーズになり、複屈折などの光学的特性の良好
な成形品が得られる。
なお、露光時のエネルギー分布を変えることや、現像条
件を変えることによって、第３図（ａ）〜（ｃ）に示す
ような多数の変曲点をもつ曲線で断面形状が定められた
溝やビットが形成できる。
件を変えることによって、第３図（ａ）〜（ｃ）に示す
ような多数の変曲点をもつ曲線で断面形状が定められた
溝やビットが形成できる。
また、■記態様では、溝の断面は非対称の台形状である
が、非対称のＵ形状、■形状としてもよく、これらによ
っても同様な作用効果か得られる。
が、非対称のＵ形状、■形状としてもよく、これらによ
っても同様な作用効果か得られる。
光ビームにエネルギー分布をもたせる方法は、例えば、
第４図のよに、光ビーム光路にピンホールやスリット７
などによりビームをカットすることによりなしうる。
第４図のよに、光ビーム光路にピンホールやスリット７
などによりビームをカットすることによりなしうる。
実施例１
ガラス基板上に、シラン系カップリング剤をコートした
後、感光性レジスト八Ｚ−１３５０を１４５０人の厚さ
にコートした。次に註基板にＡｒレーサー光を部分的に
照射した。出力は２００ｍＷであり、露光部分では、途
中光路でカットするため、２０ｍＷ程度である。
後、感光性レジスト八Ｚ−１３５０を１４５０人の厚さ
にコートした。次に註基板にＡｒレーサー光を部分的に
照射した。出力は２００ｍＷであり、露光部分では、途
中光路でカットするため、２０ｍＷ程度である。
Ｆ記の工程によって、第５図に示したような形状をもっ
たレジストパターンが形成できた。
たレジストパターンが形成できた。
得られた原盤にＮｉをスパッタしく厚さ：５００〜２０
００人）、次いでＮｉメツキ処理（厚さ二０．３〜０．
６＋ｎｍ）をなした後、Ｎｉ層を剥離することにより、
スタンバを得た。このスタンバを用い、射出成形法によ
って、光ティスフ媒体を生産した。
００人）、次いでＮｉメツキ処理（厚さ二０．３〜０．
６＋ｎｍ）をなした後、Ｎｉ層を剥離することにより、
スタンバを得た。このスタンバを用い、射出成形法によ
って、光ティスフ媒体を生産した。
比較例１
原盤作製時の露光工程において、ガウス分布をもつレー
ザービームを利用した以外は実施例１と同様な方法で光
ディスク媒体を生産した。
ザービームを利用した以外は実施例１と同様な方法で光
ディスク媒体を生産した。
（評価）
実施例１では、複屈折が小さく、比較例１では複屈折が
大きかった。また、両者、トラッキング信号とアドレス
信号に関しては、同様な信号が得られた。
大きかった。また、両者、トラッキング信号とアドレス
信号に関しては、同様な信号が得られた。
以ト詳細に説明したように、露光用レーザー尤のエネル
ギー分布をコントロールすることにより、トラッキング
用溝またはアドレスピットに対応する凹部の断面形状が
左右非対象な原盤を得ることができ、これを基にしたス
タンバ−を利用することによって、成形時の樹脂の流れ
がスムーズとなり、成形不良が少なく、しかも複屈折な
どの光学特性が優れた光ディスク媒体用成形体が得られ
る。その結果、良好な再生信号を得ることが可能になっ
た。
ギー分布をコントロールすることにより、トラッキング
用溝またはアドレスピットに対応する凹部の断面形状が
左右非対象な原盤を得ることができ、これを基にしたス
タンバ−を利用することによって、成形時の樹脂の流れ
がスムーズとなり、成形不良が少なく、しかも複屈折な
どの光学特性が優れた光ディスク媒体用成形体が得られ
る。その結果、良好な再生信号を得ることが可能になっ
た。
第１図（ａ）は従来の原盤の作製時に用いるレーサーの
エネルギー分布、第１図（ｂ）は本発明の原盤の作製時
に用いるレーザーのエネルギー分Ｉ５、第２図（ａ）は
従来の原盤のパターンの断面図、第２図（ｂ）は本発明
の原盤のパターンの断面図、第３図（ａ）〜（Ｃ）は本
発明に係る他の原盤のパターンの断面図、第４図は、非
ガウス分布のエネルギー分布をもつ光ビームを得る方法
を示す図、第５図は実施例により得られたレジストパタ
ーンを示す断面図、第６図は従来のスタンバ−作製工程
を示す断面図である。 １ニガラス板 ２：カップリング剤 ３：フォトレジスト ４：金属膜 ５：メツキ層 ６：成形基板 ７：ピンホールやスリット
エネルギー分布、第１図（ｂ）は本発明の原盤の作製時
に用いるレーザーのエネルギー分Ｉ５、第２図（ａ）は
従来の原盤のパターンの断面図、第２図（ｂ）は本発明
の原盤のパターンの断面図、第３図（ａ）〜（Ｃ）は本
発明に係る他の原盤のパターンの断面図、第４図は、非
ガウス分布のエネルギー分布をもつ光ビームを得る方法
を示す図、第５図は実施例により得られたレジストパタ
ーンを示す断面図、第６図は従来のスタンバ−作製工程
を示す断面図である。 １ニガラス板 ２：カップリング剤 ３：フォトレジスト ４：金属膜 ５：メツキ層 ６：成形基板 ７：ピンホールやスリット
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）基板上に、トラッキング用溝またはアドレスピット
に対応する凹部を有する感光層が設けられた光ディスク
製造用原盤において、該トラッキング用溝またはアドレ
スピットに対応する凹部の、該原盤の半径方向断面形状
が、左右非対称であることを特徴とする原盤。 ２）前記断面形状が実質的に台形であり、該台形におい
て平行する二辺のうち、短辺が前記凹部の底辺をなし、
該短辺の中心が、それと平行する長辺の中心より、原盤
の内周側にある請求項１記載の原盤。 ３）基板上に感光層を積層後、その感光層を、断面のエ
ネルギー分布が非ガウス分布をもった高密度ビームによ
って露光し、その後、現像する工程を有する請求項１記
載の原盤の製造方法。 ４）トラッキング用溝またはアドレスピットを有する光
ディスク用成形体において、トラッキング用溝またはア
ドレスピットの、該原盤の半径方向断面形状が、左右非
対称であることを特徴とする光ディスク用成形体。 ５）前記断面形状が実質的に台形であり、該台形におい
て平行する二辺のうち、短辺が前記凹部の底辺をなし、
該短辺の中心が、それと平行する長辺の中心より、成形
体の内周側にある請求項４記載の光ディスク用成形体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63107654A JPH01279437A (ja) | 1988-05-02 | 1988-05-02 | 光ディスク製造用原盤、その製造方法、および光ディスク用成形体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63107654A JPH01279437A (ja) | 1988-05-02 | 1988-05-02 | 光ディスク製造用原盤、その製造方法、および光ディスク用成形体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01279437A true JPH01279437A (ja) | 1989-11-09 |
Family
ID=14464662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63107654A Pending JPH01279437A (ja) | 1988-05-02 | 1988-05-02 | 光ディスク製造用原盤、その製造方法、および光ディスク用成形体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01279437A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5347510A (en) * | 1992-01-21 | 1994-09-13 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing a master plate where its guide groove has an inclined angle |
| WO1998048417A1 (en) * | 1997-04-24 | 1998-10-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical recording medium and its substrate |
| WO2005006313A3 (en) * | 2003-07-10 | 2005-05-19 | Tdk Corp | Optical recording medium, process for the production thereof, master stamper for optical recording medium and process for the production thereof |
-
1988
- 1988-05-02 JP JP63107654A patent/JPH01279437A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5347510A (en) * | 1992-01-21 | 1994-09-13 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing a master plate where its guide groove has an inclined angle |
| WO1998048417A1 (en) * | 1997-04-24 | 1998-10-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical recording medium and its substrate |
| WO2005006313A3 (en) * | 2003-07-10 | 2005-05-19 | Tdk Corp | Optical recording medium, process for the production thereof, master stamper for optical recording medium and process for the production thereof |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2000280255A (ja) | 原盤の製造方法 | |
| JPH01279437A (ja) | 光ディスク製造用原盤、その製造方法、および光ディスク用成形体 | |
| JPH0243380A (ja) | 光ディスク基板成形用金型及びその製造方法 | |
| JPS60173736A (ja) | 光学デイスク用スタンパの製造方法 | |
| JPH11120626A (ja) | 光ディスク作製用マスタディスクの製造方法 | |
| JP3014065B2 (ja) | 光ディスク，ガラスマスタ，ガラススタンパ，ガラス基板，それらの製造方法 | |
| KR20030024838A (ko) | 요철을 갖는 광기록 매체 제작용 원반, 스탬퍼, 광기록매체의 각각의 제조방법 | |
| JPH1196606A (ja) | 光ディスク製作用マスタディスクの製造方法 | |
| JPH02137914A (ja) | 情報記憶ディスク用原板および情報記憶ディスク用基板の製造方法 | |
| JPH10106047A (ja) | 光学記録媒体の製造方法 | |
| JPS60173737A (ja) | 光学デイスク用スタンパ−の製造方法 | |
| JPS58153242A (ja) | 音盤・記録盤用原盤の製造方法 | |
| JPH01315044A (ja) | 情報記録媒体用基板およびその製造用原盤 | |
| JPH0855370A (ja) | 光ディスク製造方法とスタンパーと金型及び光ディスク | |
| JPH03248342A (ja) | 光ディスク基板の製造方法 | |
| US20010028994A1 (en) | Method of manufacturing an optical disk original recording | |
| JP3555249B2 (ja) | 光ディスク用ブランクマスタ，光ディスク用スタンパーの製造方法，光ディスクの製造方法 | |
| JPS62130290A (ja) | 光デイスク用アルミニウム原盤の製造方法 | |
| JPH0469296A (ja) | 光カード基板の製造方法 | |
| JPH01235044A (ja) | 光ディスク基板およびその製造方法 | |
| JPS59203251A (ja) | 光記録媒体 | |
| JPH02149949A (ja) | ディスク成形用原盤及びディスク媒体 | |
| JPH06302015A (ja) | 光ディスク原盤製造装置 | |
| JPH02255326A (ja) | 情報記憶ディスク用原板および情報記憶ディスク用基板の製造方法 | |
| JPH0917043A (ja) | 情報記録媒体の製造方法 |