JPH01315044A - 情報記録媒体用基板およびその製造用原盤 - Google Patents
情報記録媒体用基板およびその製造用原盤Info
- Publication number
- JPH01315044A JPH01315044A JP63144661A JP14466188A JPH01315044A JP H01315044 A JPH01315044 A JP H01315044A JP 63144661 A JP63144661 A JP 63144661A JP 14466188 A JP14466188 A JP 14466188A JP H01315044 A JPH01315044 A JP H01315044A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は情報記録媒体用基板（以下、基板と記す）およ
びそれを製造するための成形用スタンパ−を作成するた
めの原盤に関するものである。
びそれを製造するための成形用スタンパ−を作成するた
めの原盤に関するものである。
［従来の技術］
従来、情報記録媒体用基板製造用原盤（以下。
原盤と記す）は各種のものが知られているが、その原盤
の製造方法の一例を下記に示す。
の製造方法の一例を下記に示す。
第５図（ａ）〜（ｅ）は従来の原盤の製造方法を示す工
程図である。同図において、まずガラス板１にカップリ
ング剤２とフオレジスト３を順次塗布する（第５図（ａ
）参照）。
程図である。同図において、まずガラス板１にカップリ
ング剤２とフオレジスト３を順次塗布する（第５図（ａ
）参照）。
次いて、マスクを通してレーザー光８で露光した後、現
像する事によりパターンを形成する（第５図（ｂ）参照
）０次に、パターン上にＮｉなとの金属１５ｉ４を設け
る（第５図（Ｃ）参照）、その後、金属膜４の上にＮｉ
メツキ層５を形成する（第５図（ｄ）参照）０次いで、
金属膜４と旧メツキ層５を原盤から剥離することよりス
タンパ−６を得ることができる（第５図（ｅ）参照）、
この製造工程で使用されるレーザー光８は、第７図（ａ
）に示す様なガウス分布を有するレーザー光が用いられ
る。
像する事によりパターンを形成する（第５図（ｂ）参照
）０次に、パターン上にＮｉなとの金属１５ｉ４を設け
る（第５図（Ｃ）参照）、その後、金属膜４の上にＮｉ
メツキ層５を形成する（第５図（ｄ）参照）０次いで、
金属膜４と旧メツキ層５を原盤から剥離することよりス
タンパ−６を得ることができる（第５図（ｅ）参照）、
この製造工程で使用されるレーザー光８は、第７図（ａ
）に示す様なガウス分布を有するレーザー光が用いられ
る。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、上記のような方法で得られた原盤のパタ
ーンの断面形状は、原盤に設けられたトラッキングガイ
ド用溝またはアドレスピットを転写する四部の形状が該
凹部の底辺の巾の中心を通る中心線の左右の断面形状か
対称に形成されている。したかって、その原盤から製造
したスタンパ−を用いて成形した基板は、第６図に示す
ように、トラッキングガイド用溝またはアドレスピット
ｌｌの形状か溝またはピットの上辺１２の巾（り。
ーンの断面形状は、原盤に設けられたトラッキングガイ
ド用溝またはアドレスピットを転写する四部の形状が該
凹部の底辺の巾の中心を通る中心線の左右の断面形状か
対称に形成されている。したかって、その原盤から製造
したスタンパ−を用いて成形した基板は、第６図に示す
ように、トラッキングガイド用溝またはアドレスピット
ｌｌの形状か溝またはピットの上辺１２の巾（り。
＋ｆ！＋）の中心を通る中心線の左右の断面形状が対称
に形成され、前記溝またはピットの上辺１２の巾の中心
と底辺１３の巾（ｗ、＋ｗ、）の中心とか一致した形状
に形成されている。
に形成され、前記溝またはピットの上辺１２の巾の中心
と底辺１３の巾（ｗ、＋ｗ、）の中心とか一致した形状
に形成されている。
そのために、前記原盤を使用してインジェクション成形
などにより、トラッキングガイド用溝またはアドレスピ
ットを有する樹脂基板を作成する場合に、樹脂がスタン
パ−表面を流れる抵抗は大きくなるために樹脂の流れが
悪くなり、樹脂基板の複屈折率を小さくすることが困難
となり、また樹脂の乱流による外観不良などの光学的特
性が悪くなる。
などにより、トラッキングガイド用溝またはアドレスピ
ットを有する樹脂基板を作成する場合に、樹脂がスタン
パ−表面を流れる抵抗は大きくなるために樹脂の流れが
悪くなり、樹脂基板の複屈折率を小さくすることが困難
となり、また樹脂の乱流による外観不良などの光学的特
性が悪くなる。
さらに、樹脂基板の転写性も悪くなるため良好な信号が
得られない欠点かあった。
得られない欠点かあった。
本発明は、上記の様な従来の欠点を改善するためになさ
れたものであり、基板の成形時に樹脂の流れがスムーズ
となり、成形不良の少ないしかも複屈折率が小さい等の
光学的特性の優れた基板を得ることがてきる原盤、およ
び該原盤を使用して得られた複屈折率が小さい等の光学
的特性の優れた基板を提供することを目的とするもので
ある。
れたものであり、基板の成形時に樹脂の流れがスムーズ
となり、成形不良の少ないしかも複屈折率が小さい等の
光学的特性の優れた基板を得ることがてきる原盤、およ
び該原盤を使用して得られた複屈折率が小さい等の光学
的特性の優れた基板を提供することを目的とするもので
ある。
［課題を解決するための手段］
即ち、本発明の第一の発明は、トラッキングガイド用溝
またはアドレスピットを有する情報記録媒体用基板にお
いて、前記トラッキングガイド用溝またはアドレスピッ
トの形状が溝またはピットの上辺の巾の中心を通る中心
線の左右の断面形状が非対称に形成されていることを特
徴とする基板である。
またはアドレスピットを有する情報記録媒体用基板にお
いて、前記トラッキングガイド用溝またはアドレスピッ
トの形状が溝またはピットの上辺の巾の中心を通る中心
線の左右の断面形状が非対称に形成されていることを特
徴とする基板である。
また、前記基板のトラッキングガイド用溝またはアドレ
スピットの断面形状が台形、Ｖ形またはＵ形で、かつ溝
またはピットの上辺の巾の中心が底辺の巾の中心よりも
内周に位置する形状に形成されていることが好ましい。
スピットの断面形状が台形、Ｖ形またはＵ形で、かつ溝
またはピットの上辺の巾の中心が底辺の巾の中心よりも
内周に位置する形状に形成されていることが好ましい。
また、第二の発明は、基板にトラッキングガイド用溝ま
たはアドレスピットを転写するためのスタンパ−を作成
する原盤であって、該原盤に設けられたトラッキングガ
イド用溝またはアドレスピットを転写する四部の形状か
該凹部の底辺の巾の中心を通る中心線の左右の断面形状
か非対称に形成されていることを特徴とする原盤である
。
たはアドレスピットを転写するためのスタンパ−を作成
する原盤であって、該原盤に設けられたトラッキングガ
イド用溝またはアドレスピットを転写する四部の形状か
該凹部の底辺の巾の中心を通る中心線の左右の断面形状
か非対称に形成されていることを特徴とする原盤である
。
前記原盤に設けられた凹部の断面形状が台形で、かつ凹
部の底辺の巾の中心が上辺の巾の中心よりも外周に位置
する形状に形成されていることが好ましい。
部の底辺の巾の中心が上辺の巾の中心よりも外周に位置
する形状に形成されていることが好ましい。
［作用］
本発明の原盤は、基板にトラッキングガイド用溝または
アドレスピットを転写するために設けられた凹部の形状
が、該凹部の底辺の巾の中心を通る中心線の左右の断面
形状が非対称に形成されているので、基板の転写性かよ
くなり、樹脂基板を得る成形時に、樹脂が前記原盤によ
り作成されたスタンパ−表面を流れる抵抗は小さくなる
ために樹脂の流れがよく、得られる基板の複屈折率を小
さくすることができ、また樹脂の乱流による外観不良を
防止することができる。
アドレスピットを転写するために設けられた凹部の形状
が、該凹部の底辺の巾の中心を通る中心線の左右の断面
形状が非対称に形成されているので、基板の転写性かよ
くなり、樹脂基板を得る成形時に、樹脂が前記原盤によ
り作成されたスタンパ−表面を流れる抵抗は小さくなる
ために樹脂の流れがよく、得られる基板の複屈折率を小
さくすることができ、また樹脂の乱流による外観不良を
防止することができる。
［実施例］
次に、図面に示す実施例に基づき本発明をさらに具体的
に説明する。
に説明する。
実施例１
第１図は本発明の基板の一例を示す部分説明図、第２図
は本発明の原盤の一例を示す部分説明図、第４図（ａ）
〜（ｅ）はスタンパ−の製造方法を示す工程図である。
は本発明の原盤の一例を示す部分説明図、第４図（ａ）
〜（ｅ）はスタンパ−の製造方法を示す工程図である。
第４図において、先ず、厚さ３〜１０ｍ５のガラス板ｌ
上に、ＨＭＤＳ（ヘキスト■製）のようなカップリング
剤（密着剤）２をコートした後、その上にフォトレジス
ト（ヘキストＡＺ−１：１５０、ヘキスト■製）を０．
１〜０．２μ■の厚さに塗布する（第４図（ａ）参照）
。
上に、ＨＭＤＳ（ヘキスト■製）のようなカップリング
剤（密着剤）２をコートした後、その上にフォトレジス
ト（ヘキストＡＺ−１：１５０、ヘキスト■製）を０．
１〜０．２μ■の厚さに塗布する（第４図（ａ）参照）
。
次いて、マスクを通して第７図（ｂ）に示すようなエネ
ルギー分布をもったレーザー光８で露光した後、現像す
る事によりパターンを形成する（第４図（ｂ）参照）０
次に、パターン上にＮｉなどの金属膜４を設ける（第４
図（Ｃ）参照）、その後、金属膜４の１にＮｉメツキ層
５を形成する（第４図（ｄ）参照）９次いで、金属膜４
とＮｉメツキ層５を原盤１０から剥離することよりスタ
ンパ−６を得ることができる（第４図（ｅ）参照）。
ルギー分布をもったレーザー光８で露光した後、現像す
る事によりパターンを形成する（第４図（ｂ）参照）０
次に、パターン上にＮｉなどの金属膜４を設ける（第４
図（Ｃ）参照）、その後、金属膜４の１にＮｉメツキ層
５を形成する（第４図（ｄ）参照）９次いで、金属膜４
とＮｉメツキ層５を原盤１０から剥離することよりスタ
ンパ−６を得ることができる（第４図（ｅ）参照）。
上記の様にして得られた原ｆｉｌＧの形状は、第２図に
示す様に、原盤ｌＯに設けられた凹部１４の断面形状が
台形で、かつ該凹部１４の底辺１コの巾（ｗ。
示す様に、原盤ｌＯに設けられた凹部１４の断面形状が
台形で、かつ該凹部１４の底辺１コの巾（ｗ。
＋ｗ３）の中心と上辺１２の巾ＣＩ！ｓ＋Ｒｘ）の中心
とが不一致の形状からなるなる。
とが不一致の形状からなるなる。
前記原盤を用いて作成したスタンパを使用して、射出成
形法、射出圧縮成形法などの成形法で基板を多量生産す
る事ができる。この様にして得られた基板７の形状は、
第１図に示す様に、トラッキングガイド用溝またはアド
レスピット１１の断面形状か台形で、かつ溝またはピッ
トの上辺１２の巾（ρ２＋β２）の中心が底辺１３の巾
（ｗ２＋ｗ、）の中心よりも内周１５に位置する形状か
らなる。
形法、射出圧縮成形法などの成形法で基板を多量生産す
る事ができる。この様にして得られた基板７の形状は、
第１図に示す様に、トラッキングガイド用溝またはアド
レスピット１１の断面形状か台形で、かつ溝またはピッ
トの上辺１２の巾（ρ２＋β２）の中心が底辺１３の巾
（ｗ２＋ｗ、）の中心よりも内周１５に位置する形状か
らなる。
［実施例２］
第３図は本発明の基板の他の例を示す部分説明図である
。
。
同図に示す様に、露光時のレーザー光のエネルギー分布
の変化や現像条件を変えることに応じて、トラッキング
ガイド用溝またはアドレスピット１１を多数の変曲点を
もつような曲線となるような形状にも形成できる。
の変化や現像条件を変えることに応じて、トラッキング
ガイド用溝またはアドレスピット１１を多数の変曲点を
もつような曲線となるような形状にも形成できる。
［発明の効果］
以上のように、本発明によれば１Ｍ光用レーザ光のエネ
ルギー分布をコントロールする事により、トラッキング
ガイド用溝またはアドレスピットを転写する凹部の中心
線の左右の断面形状が非対称で異なる原盤を得る事がで
きるために、該原盤から得られるスタンパ−を使用して
基板を成形する時に樹脂の流れがスムーズとなり、成形
不良の少ない、しかも複屈折率が小さいなどの光学的特
性の優れた基板が得られる。
ルギー分布をコントロールする事により、トラッキング
ガイド用溝またはアドレスピットを転写する凹部の中心
線の左右の断面形状が非対称で異なる原盤を得る事がで
きるために、該原盤から得られるスタンパ−を使用して
基板を成形する時に樹脂の流れがスムーズとなり、成形
不良の少ない、しかも複屈折率が小さいなどの光学的特
性の優れた基板が得られる。
第１図は本発明の基板の一例を示す部分説明図、第２図
は本発明のｙＸ盤の一例を示す部分説明図、第３図は基
板の他の例を示す部分説明図、第４図（ａ）〜（ｅ）は
スタンパ−の製造方法を示す工程図、第５図（ａ）〜（
ｅ）は従来のスタンパ−の製造方法を示す工程図、第６
図は従来の基板の一例を示す部分説明図および第７図（
ａ）、（ｂ）は各々従来例９本発明に用いられるガウス
分布を有するレーザー光の説明図である。 ｌ・・・ガラス板 ２・・・カップリング剤３
・・・フオレジスト ４・・・金属膜５・＝Ｎｉメ
ツキ層 ６・・・スタンパ−７・・・基板
８・・・レーザー光９・・・マスク
１０−・・原盤１１・・・溝またはアドレスピット １２・・・上辺 １３・・・底辺１４−・
・凹部 １５−・・内周１６・・・外周
は本発明のｙＸ盤の一例を示す部分説明図、第３図は基
板の他の例を示す部分説明図、第４図（ａ）〜（ｅ）は
スタンパ−の製造方法を示す工程図、第５図（ａ）〜（
ｅ）は従来のスタンパ−の製造方法を示す工程図、第６
図は従来の基板の一例を示す部分説明図および第７図（
ａ）、（ｂ）は各々従来例９本発明に用いられるガウス
分布を有するレーザー光の説明図である。 ｌ・・・ガラス板 ２・・・カップリング剤３
・・・フオレジスト ４・・・金属膜５・＝Ｎｉメ
ツキ層 ６・・・スタンパ−７・・・基板
８・・・レーザー光９・・・マスク
１０−・・原盤１１・・・溝またはアドレスピット １２・・・上辺 １３・・・底辺１４−・
・凹部 １５−・・内周１６・・・外周
Claims (4)
- （１）トラッキングガイド用溝またはアドレスピットを
有する情報記録媒体用基板において、前記トラッキング
ガイド用溝またはアドレスピットの形状が溝またはピッ
トの上辺の巾の中心を通る中心線の左右の断面形状が非
対称に形成されていることを特徴とする情報記録媒体用
基板。 - （２）トラッキングガイド用溝またはアドレスピットの
断面形状が台形、Ｖ形またはＵ形で、かつ溝またはピッ
トの上辺の巾の中心が底辺の巾の中心よりも内周に位置
する形状からなる請求項１記載の情報記録媒体用基板。 - （３）情報記録媒体用基板にトラッキングガイド用溝ま
たはアドレスピットを転写するためのスタンパーを作成
する情報記録媒体用基板製造用原盤であって、該原盤に
設けられたトラッキングガイド用溝またはアドレスピッ
トを転写する凹部の形状が該凹部の底辺の巾の中心を通
る中心線の左右の断面形状が非対称に形成されているこ
とを特徴とする情報記録媒体用基板製造用原盤。 - （４）原盤に設けられた凹部の断面形状が台形で、かつ
凹部の底辺の巾の中心が上辺の巾の中心よりも外周に位
置する形状からなる請求項３記載の情報記録媒体用基板
製造用原盤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63144661A JPH01315044A (ja) | 1988-06-14 | 1988-06-14 | 情報記録媒体用基板およびその製造用原盤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63144661A JPH01315044A (ja) | 1988-06-14 | 1988-06-14 | 情報記録媒体用基板およびその製造用原盤 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01315044A true JPH01315044A (ja) | 1989-12-20 |
Family
ID=15367283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63144661A Pending JPH01315044A (ja) | 1988-06-14 | 1988-06-14 | 情報記録媒体用基板およびその製造用原盤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01315044A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005015555A1 (ja) * | 2003-08-07 | 2005-02-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 光学情報記録媒体及びその製造方法 |
-
1988
- 1988-06-14 JP JP63144661A patent/JPH01315044A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005015555A1 (ja) * | 2003-08-07 | 2005-02-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 光学情報記録媒体及びその製造方法 |
| US7540006B2 (en) | 2003-08-07 | 2009-05-26 | Panasonic Corporation | Optical information recording medium and manufacture method thereof |
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