JPH01280206A - 微小寸法測定ｘ線装置 - Google Patents
微小寸法測定ｘ線装置Info
- Publication number
- JPH01280206A JPH01280206A JP63107687A JP10768788A JPH01280206A JP H01280206 A JPH01280206 A JP H01280206A JP 63107687 A JP63107687 A JP 63107687A JP 10768788 A JP10768788 A JP 10768788A JP H01280206 A JPH01280206 A JP H01280206A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- straight line
- camera
- scale
- ray
- ray source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は例えば物体の内部における微小の欠陥あるいは
構成等の寸法をそのＸ線透視像によって正確に測定する
装置に関する。
構成等の寸法をそのＸ線透視像によって正確に測定する
装置に関する。
例えば金属片あるいは合成樹脂等の内部における気泡、
亀裂または分解し得ない小型機器の内部寸法等を測定す
るためにはＸ線による拡大透視像を観測する必要がある
。この場合、微小焦点のＸ線源を用いて試料の拡大透視
像を観測することにより、測定しようとする部分を拡大
してその寸法の測定を行うことができる。しかし測定し
ようとする例えば欠陥部分の試料内における位置が判明
していない場合は、Ｘ線源から上記欠陥までの距離を確
定し得ないために、像の倍率が不明となってその大きさ
を正確に測定することが出来ない。
亀裂または分解し得ない小型機器の内部寸法等を測定す
るためにはＸ線による拡大透視像を観測する必要がある
。この場合、微小焦点のＸ線源を用いて試料の拡大透視
像を観測することにより、測定しようとする部分を拡大
してその寸法の測定を行うことができる。しかし測定し
ようとする例えば欠陥部分の試料内における位置が判明
していない場合は、Ｘ線源から上記欠陥までの距離を確
定し得ないために、像の倍率が不明となってその大きさ
を正確に測定することが出来ない。
従って本発明はこのような欠点を伴うことなく、物体の
内部における被測定部の位置が判明していない場合にお
いても、被測定部を拡大して観測すると共にその寸法を
正確に測定することのできる装置を提供するものである
。
内部における被測定部の位置が判明していない場合にお
いても、被測定部を拡大して観測すると共にその寸法を
正確に測定することのできる装置を提供するものである
。
本発明の装置は、微小焦点Ｘ線源とＸ線撮像カメラとの
間に配置される試料の保持台を、上記Ｘ線源とカメラの
撮像面の中央部とを通る直線に対して直角な一定の方向
へ移動させる機構と、その移動距離の測定部とを設けた
ものである。すなわちカメラで撮像した像をテレビジョ
ン受像機等のスクリーンで観測しながら、保持台を移動
させて寸法を測定しようとする部分の一方の端部をスク
リーンにおける前記直線の位置に一致させ、このときの
保持台位置を読み取って記憶し、保持台を再び移動させ
て他方の端部を上記直線と一致させ、この場合における
保持台位置と前記位置とから、その間の移動距離を算出
することによって試料の内部における欠陥等の寸法を測
定することができる。かつ拡大された像の観測によって
測定を行うから、保持台の移動位置を精密に制御するこ
とができる。更にその測定点が何れもＸ線源とカメラに
おける撮像面の中心点とを結ぶ直線上に配置された状態
において、位置の読み取りを行うから、斜め投射による
像の歪みの影響等を受けないと共に像の倍率に関係なく
正確な測定を行い得る等の作用効果がある。
間に配置される試料の保持台を、上記Ｘ線源とカメラの
撮像面の中央部とを通る直線に対して直角な一定の方向
へ移動させる機構と、その移動距離の測定部とを設けた
ものである。すなわちカメラで撮像した像をテレビジョ
ン受像機等のスクリーンで観測しながら、保持台を移動
させて寸法を測定しようとする部分の一方の端部をスク
リーンにおける前記直線の位置に一致させ、このときの
保持台位置を読み取って記憶し、保持台を再び移動させ
て他方の端部を上記直線と一致させ、この場合における
保持台位置と前記位置とから、その間の移動距離を算出
することによって試料の内部における欠陥等の寸法を測
定することができる。かつ拡大された像の観測によって
測定を行うから、保持台の移動位置を精密に制御するこ
とができる。更にその測定点が何れもＸ線源とカメラに
おける撮像面の中心点とを結ぶ直線上に配置された状態
において、位置の読み取りを行うから、斜め投射による
像の歪みの影響等を受けないと共に像の倍率に関係なく
正確な測定を行い得る等の作用効果がある。
第１図は本発明実施例の側面図で、固定基台ｌに垂直な
支柱２を設けて、基台ｌの内部にこの支柱を紙面内にお
いて水平方向へ移動させる機構を設けると共に基台の適
当な位置にその移動距離を指示する目盛３を設け、かつ
支柱２に指標４を取り付けである。また支柱２には、上
下に移動させて所望の位置へ停止させることのできる腕
５を取り付けて、支柱２に腕５の位置を指示する目盛６
を設けると共に腕５に指標７を形成しである。この腕５
の先端にＸ線の透過材で形成した試料保持台８を取り付
け、また前記基台１の側面にＸ線撮像カメラ９を固着す
ると共にその垂直上方に上記保持台８を介して微小焦点
のＸ線源！０を配置しである。
支柱２を設けて、基台ｌの内部にこの支柱を紙面内にお
いて水平方向へ移動させる機構を設けると共に基台の適
当な位置にその移動距離を指示する目盛３を設け、かつ
支柱２に指標４を取り付けである。また支柱２には、上
下に移動させて所望の位置へ停止させることのできる腕
５を取り付けて、支柱２に腕５の位置を指示する目盛６
を設けると共に腕５に指標７を形成しである。この腕５
の先端にＸ線の透過材で形成した試料保持台８を取り付
け、また前記基台１の側面にＸ線撮像カメラ９を固着す
ると共にその垂直上方に上記保持台８を介して微小焦点
のＸ線源！０を配置しである。
このようなＸ線装置を用いて、任意の試料の内部に生じ
た空洞ｐのような傷を検出すると共にその寸法を測定す
ることができる。すなわち上記試料ＩＩを保持台８上に
乗せてＸ線源１０からＸ線を照射すると共に支柱２を矢
印Ｘのように適当な位置へ移動させると、試料を透過し
たＸ線がカメラ９に入射するから、その出力ビデオ信号
を受像機に加えることによって傷ｐの像を得ることがで
きる。第２図ａ、ｂは上記受像機におけるスクリーン１
２を示したもので、線源ｌＯからカメラ９の感光面にＸ
線が垂直に入射する点ｑを通り、かつ支柱２の移動方向
に対して直角な直線の像に相当するスクリーン１２上の
直線を図にｒで表しである。すなわちａは支柱２を第１
図に矢印Ｘで示したように移動させてｇｉＪｐの像Ｓに
おける右端を上記直線ｒと一致させた状態で、このとき
指標４で指示される目盛３の値をｍとする。また支柱２
を再び矢印Ｘのように移動させて、ｂのように像Ｓの左
端を直線ｒと一致させ、この状態における指標４の指示
値をｎとすると、傷ｐの紙面内における水平方向の幅は
明らかに（ｍ −ｎ ）で与えられると共に像Ｓの倍率
は指標７によって指示される目盛６の値で与えられる。
た空洞ｐのような傷を検出すると共にその寸法を測定す
ることができる。すなわち上記試料ＩＩを保持台８上に
乗せてＸ線源１０からＸ線を照射すると共に支柱２を矢
印Ｘのように適当な位置へ移動させると、試料を透過し
たＸ線がカメラ９に入射するから、その出力ビデオ信号
を受像機に加えることによって傷ｐの像を得ることがで
きる。第２図ａ、ｂは上記受像機におけるスクリーン１
２を示したもので、線源ｌＯからカメラ９の感光面にＸ
線が垂直に入射する点ｑを通り、かつ支柱２の移動方向
に対して直角な直線の像に相当するスクリーン１２上の
直線を図にｒで表しである。すなわちａは支柱２を第１
図に矢印Ｘで示したように移動させてｇｉＪｐの像Ｓに
おける右端を上記直線ｒと一致させた状態で、このとき
指標４で指示される目盛３の値をｍとする。また支柱２
を再び矢印Ｘのように移動させて、ｂのように像Ｓの左
端を直線ｒと一致させ、この状態における指標４の指示
値をｎとすると、傷ｐの紙面内における水平方向の幅は
明らかに（ｍ −ｎ ）で与えられると共に像Ｓの倍率
は指標７によって指示される目盛６の値で与えられる。
すなわち第２図ａの状態からｂの状態まで支柱２を移動
させた場合における目盛３の値の差によって、傷ｐの紙
面内における巾をＸ線像の拡大率に関係なく求めること
ができる。かつ本発明の装置においては線源１０からカ
メラ９の撮像面に垂直に入射するＸ線の位置、すなわち
直線ｒの位置を確定しておくだけで、試料内における傷
ｐの位置、特に深さ方向の位置に全く関係なく、その巾
を正確に測定することができる。しかも傷ｐの拡大され
た像Ｓによって、その両端を直線ｒと順次一致させるか
ら、極めて精密な制御並びに測定が行われると共に傷ｐ
が極めて大きく第２図ａ、ｂにおける像Ｓの一部が視野
外に突出するような場合でも支障なく観測を行い得る等
、本発明は極めて優れた効果がある。なお前記（ｍ −
ｎ ）の値はこれをリニヤエンコーダ等の電気的測定手
段よることも勿論可能である。
させた場合における目盛３の値の差によって、傷ｐの紙
面内における巾をＸ線像の拡大率に関係なく求めること
ができる。かつ本発明の装置においては線源１０からカ
メラ９の撮像面に垂直に入射するＸ線の位置、すなわち
直線ｒの位置を確定しておくだけで、試料内における傷
ｐの位置、特に深さ方向の位置に全く関係なく、その巾
を正確に測定することができる。しかも傷ｐの拡大され
た像Ｓによって、その両端を直線ｒと順次一致させるか
ら、極めて精密な制御並びに測定が行われると共に傷ｐ
が極めて大きく第２図ａ、ｂにおける像Ｓの一部が視野
外に突出するような場合でも支障なく観測を行い得る等
、本発明は極めて優れた効果がある。なお前記（ｍ −
ｎ ）の値はこれをリニヤエンコーダ等の電気的測定手
段よることも勿論可能である。
第１図は本発明実施例の正面図、第２図は第１図の装置
で撮像されたＸ線透過像を示す図である。 なお図において、１は基台、２は支柱、３は目盛、４は
指標、５は腕、６は目盛、７は指標、８は試料保持台、
９はＸ線撮像カメラ、ＩＯはＸ線源、ＩＩは試料である
。
で撮像されたＸ線透過像を示す図である。 なお図において、１は基台、２は支柱、３は目盛、４は
指標、５は腕、６は目盛、７は指標、８は試料保持台、
９はＸ線撮像カメラ、ＩＯはＸ線源、ＩＩは試料である
。
Claims (1)
- 微小焦点Ｘ線源とＸ線撮像カメラとの間に透視像の寸法
を測定しようとする試料の保持台を配置すると共に前記
Ｘ線源とＸ線撮像カメラの中心部とを通る直線に対して
直角な方向へ上記保持台を移動させる機構とその移動距
離の測定部とを設けたことを特徴とする微小寸法測定Ｘ
線装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63107687A JP2686770B2 (ja) | 1988-05-02 | 1988-05-02 | 微小寸法測定ｘ線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63107687A JP2686770B2 (ja) | 1988-05-02 | 1988-05-02 | 微小寸法測定ｘ線装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01280206A true JPH01280206A (ja) | 1989-11-10 |
| JP2686770B2 JP2686770B2 (ja) | 1997-12-08 |
Family
ID=14465424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63107687A Expired - Lifetime JP2686770B2 (ja) | 1988-05-02 | 1988-05-02 | 微小寸法測定ｘ線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2686770B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2802404C2 (ru) * | 2019-04-26 | 2023-08-28 | Тиама | Способ и установка для линейного размерного контроля изготовленных объектов |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6325310U (ja) * | 1986-07-31 | 1988-02-19 |
-
1988
- 1988-05-02 JP JP63107687A patent/JP2686770B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6325310U (ja) * | 1986-07-31 | 1988-02-19 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2802404C2 (ru) * | 2019-04-26 | 2023-08-28 | Тиама | Способ и установка для линейного размерного контроля изготовленных объектов |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2686770B2 (ja) | 1997-12-08 |
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