JPH01280916A - 半導体集積回路 - Google Patents
半導体集積回路Info
- Publication number
- JPH01280916A JPH01280916A JP63110894A JP11089488A JPH01280916A JP H01280916 A JPH01280916 A JP H01280916A JP 63110894 A JP63110894 A JP 63110894A JP 11089488 A JP11089488 A JP 11089488A JP H01280916 A JPH01280916 A JP H01280916A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transistor
- transistors
- current
- gate
- gate width
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
- Logic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
半導体集積回路に関し、
設計の容易化を図り、製造コストを削減することを目的
とし、 同一基板上に複数のトランジスタが作り込まれ、該複数
のトランジスタは所定の第1のトランジスタと、該第1
のトランジスタを流れる電流のn倍の電流を流すための
第2のトランジスタと、を含む半導体集積回路において
、前記第2のトランジスタは、第1のトランジスタと同
一構造のn個のトランジスタで構成している。
とし、 同一基板上に複数のトランジスタが作り込まれ、該複数
のトランジスタは所定の第1のトランジスタと、該第1
のトランジスタを流れる電流のn倍の電流を流すための
第2のトランジスタと、を含む半導体集積回路において
、前記第2のトランジスタは、第1のトランジスタと同
一構造のn個のトランジスタで構成している。
本発明は、半導体集積回路に関し、特に、同一基板上に
作り込まれ、所定のトランジスタを流れる電流のn倍の
電流を流すためのトランジスタを備えた半導体集積回路
に関する。
作り込まれ、所定のトランジスタを流れる電流のn倍の
電流を流すためのトランジスタを備えた半導体集積回路
に関する。
一般に、トランジスタ等で構成された半導体回路では、
所定のトランジスタを流れる電流を所望の大きさに設定
することが頻繁に行われる。
所定のトランジスタを流れる電流を所望の大きさに設定
することが頻繁に行われる。
この種の半導体回路としては、例えば第3図に示すもの
がある。第3図において、半導体回路(例えば、FET
クランプ形の差動増幅器)1は、何れか一方が導通する
一対のトランジスタ2.3と、トランジスタ2.3の各
々に縦続された能動負荷4.5と、これら能動負荷4.
5を構成するトランジスタ4a、4bおよびトランジス
タ5a、5bと、を備えるとともに、上記トランジスタ
2.3のうち、導通側のトランジスタに定電流を流すト
ランジスタ6を有している。
がある。第3図において、半導体回路(例えば、FET
クランプ形の差動増幅器)1は、何れか一方が導通する
一対のトランジスタ2.3と、トランジスタ2.3の各
々に縦続された能動負荷4.5と、これら能動負荷4.
5を構成するトランジスタ4a、4bおよびトランジス
タ5a、5bと、を備えるとともに、上記トランジスタ
2.3のうち、導通側のトランジスタに定電流を流すト
ランジスタ6を有している。
なお、GNDは接地電位、Vxは例えば−2■の定電源
、■、は例えば−5■の定電源、IN、INは相補入力
信号、OUT、OUTは相補出力信号である。
、■、は例えば−5■の定電源、IN、INは相補入力
信号、OUT、OUTは相補出力信号である。
一般に、FETl−ランジスタを流れるドレイン電流は
、そのトランジスタのゲート幅Wgに正比例することが
知られている。例えば、上述の半導体回路1においては
、トランジスタ6のゲート幅Wgを調節して導通側のト
ランジスタ(2,3の何れか一方)を流れるドレイン電
流Idsを所望値にしている。
、そのトランジスタのゲート幅Wgに正比例することが
知られている。例えば、上述の半導体回路1においては
、トランジスタ6のゲート幅Wgを調節して導通側のト
ランジスタ(2,3の何れか一方)を流れるドレイン電
流Idsを所望値にしている。
[発明が解決しようとする課題]
しかしながら、実際のWgに対するIds特性は、第4
図に示すように、設計土木められた理論値(実線で示す
)と、実測値(破線で示す)との間で、プロセスシフト
(製造過程で寸法が微小にシフトする)に起因すると見
られる誤差の発生が避けられなかった。
図に示すように、設計土木められた理論値(実線で示す
)と、実測値(破線で示す)との間で、プロセスシフト
(製造過程で寸法が微小にシフトする)に起因すると見
られる誤差の発生が避けられなかった。
プロセスシフトとは、設計寸法に対しプロセス上の何ら
かの原因で素子寸法が変動することである。その原因と
してはウェハプロセス時の例えばレジストに、マスクパ
ターンを露光する際の露光不足や過剰露光やレジストパ
ターンのダレ等様々の原因が考えられる。プロセスシフ
トの一例を第5図を用いて詳しく説明する。第5図(a
)はFETのマスクの活性層パターンを上面から見た図
である。■の素子領域の幅W1は5μm、■の素子領域
の幅W2は10μmとすることで、■のFETは■のF
ETのちょうど2倍の電流が流れる様にレイアウトしで
ある。第5図(b)は、半導体基板上のレジストを第5
図(a)のマスクでパターニングを行った図である。第
5図(b)のレジスト7をマスクとして半導体基板上に
、不純物をイオン注入等で形成すると、所望の幅の活性
層のFETを得ることができる。
かの原因で素子寸法が変動することである。その原因と
してはウェハプロセス時の例えばレジストに、マスクパ
ターンを露光する際の露光不足や過剰露光やレジストパ
ターンのダレ等様々の原因が考えられる。プロセスシフ
トの一例を第5図を用いて詳しく説明する。第5図(a
)はFETのマスクの活性層パターンを上面から見た図
である。■の素子領域の幅W1は5μm、■の素子領域
の幅W2は10μmとすることで、■のFETは■のF
ETのちょうど2倍の電流が流れる様にレイアウトしで
ある。第5図(b)は、半導体基板上のレジストを第5
図(a)のマスクでパターニングを行った図である。第
5図(b)のレジスト7をマスクとして半導体基板上に
、不純物をイオン注入等で形成すると、所望の幅の活性
層のFETを得ることができる。
しかし、パターニング時に、露光不足などが原因でレジ
ストパターンがΔだけ小さくなると当然活性層の幅も変
化してしまう(第5図(C))。
ストパターンがΔだけ小さくなると当然活性層の幅も変
化してしまう(第5図(C))。
仮に、プロセスシフトΔを−0,2μmとすると、■の
素子の幅=W、−2Δ=5−2X0.2μl=4.6
μm ■の素子の幅=W、−2Δ=10 2x0.2 ura
−9,6μm となり、■のFETの電流は■のFETの電流の9.6
/4.6 !=:2.09倍となり、設計目標の2倍
以上になってしまう。よって、実際のマスク設計にあた
っては、従来技術では、上述の誤差Δを考慮して、予め
、Wの補正を行う必要があった。すなわち、第5図(a
)のW、、W、、をW、=5+2Δ=5.4 ttm
、 Wz =10 + 2Δ=10.4umとしておく
。しかし、このような補正を行っても、プロセスの再現
性が完璧でないと、誤差Δに±Δ′のばらつきが発生す
る。よって上述の従来の補正方法ではΔ′の分の補正を
行うことはできないため、電流比を正確に2倍にするこ
とはできない。また、上述の従来の補正方法だと、プロ
セス条件の変更(たとえば、レジストの種類の変更や、
露光時間の変更)を行うと、誤差Δの値も変化するため
、プロセス条件ごとに、マスクを作りなおさなければな
らず、非常に不経済である。また、上述した誤差Δは、
Wgを小さくする程、相対的に大きくなるため、近時の
高集積化の動きに伴うゲート幅を短縮したトランジスタ
にあっては問題が大きい。
素子の幅=W、−2Δ=5−2X0.2μl=4.6
μm ■の素子の幅=W、−2Δ=10 2x0.2 ura
−9,6μm となり、■のFETの電流は■のFETの電流の9.6
/4.6 !=:2.09倍となり、設計目標の2倍
以上になってしまう。よって、実際のマスク設計にあた
っては、従来技術では、上述の誤差Δを考慮して、予め
、Wの補正を行う必要があった。すなわち、第5図(a
)のW、、W、、をW、=5+2Δ=5.4 ttm
、 Wz =10 + 2Δ=10.4umとしておく
。しかし、このような補正を行っても、プロセスの再現
性が完璧でないと、誤差Δに±Δ′のばらつきが発生す
る。よって上述の従来の補正方法ではΔ′の分の補正を
行うことはできないため、電流比を正確に2倍にするこ
とはできない。また、上述の従来の補正方法だと、プロ
セス条件の変更(たとえば、レジストの種類の変更や、
露光時間の変更)を行うと、誤差Δの値も変化するため
、プロセス条件ごとに、マスクを作りなおさなければな
らず、非常に不経済である。また、上述した誤差Δは、
Wgを小さくする程、相対的に大きくなるため、近時の
高集積化の動きに伴うゲート幅を短縮したトランジスタ
にあっては問題が大きい。
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたもので、
第1のトランジスタのn倍の電流を流すための第2のト
ランジスタの設計に際し、第1のトランジスタと同一構
造のn個のトランジスタで第2のトランジスタを構成す
ることにより、Wgの補正を不要にしてマスク設計の容
易化を図り、また製造コストを削減することを目的とし
ている。
第1のトランジスタのn倍の電流を流すための第2のト
ランジスタの設計に際し、第1のトランジスタと同一構
造のn個のトランジスタで第2のトランジスタを構成す
ることにより、Wgの補正を不要にしてマスク設計の容
易化を図り、また製造コストを削減することを目的とし
ている。
(課題を解決するための手段〕
本発明では、上記目的を達成するために、同一基板上に
複数のトランジスタが作り込まれ、該複数のトランジス
タは所定の第1のトランジスタと、該第1のトランジス
タを流れる電流のn倍の電流を流すための第2のトラン
ジスタと、を含む半導体集積回路において、前記第2の
トランジスタは、第1のトランジスタと同一構造のn個
のトランジスタで構成している。
複数のトランジスタが作り込まれ、該複数のトランジス
タは所定の第1のトランジスタと、該第1のトランジス
タを流れる電流のn倍の電流を流すための第2のトラン
ジスタと、を含む半導体集積回路において、前記第2の
トランジスタは、第1のトランジスタと同一構造のn個
のトランジスタで構成している。
[作 用]
本発明では、第1のトランジスタと同一構造のn個のト
ランジスタで第2のトランジスタが構成される。
ランジスタで第2のトランジスタが構成される。
したがって、第2のトランジスタのWgzは第1のトラ
ンジスタのW g +のn倍となり、また、第2のトラ
ンジスタを流れる電流は、W g 2の大きさに依存し
、このWg2はWg 1のn倍であるから、目標とする
n倍の電流を正確に得ることができ、マスク設計の容易
化を図ることができる。
ンジスタのW g +のn倍となり、また、第2のトラ
ンジスタを流れる電流は、W g 2の大きさに依存し
、このWg2はWg 1のn倍であるから、目標とする
n倍の電流を正確に得ることができ、マスク設計の容易
化を図ることができる。
また、プロセス条件の変更があってもマスクを作りなお
す必要がないため、コストの削減が可能となる。
す必要がないため、コストの削減が可能となる。
以下、本発明を図面に基づいて説明する。
第1.2図は本発明に係る半導体集積回路の一実施例を
示す図であり、前述した第3図の半導体回路に適用した
例である。
示す図であり、前述した第3図の半導体回路に適用した
例である。
第1図において、10は第3図における能動負荷4ある
いは能動負荷5に相当する第1のトランジスタ、11は
第3図におけるトランジスタ6に相当する第2のトラン
ジスタである。第2のトランジスタ11は同一構造の一
対のトランジスタ(n個のトランジスタH1a、llb
からなり、これらの−対のトランジスタlla、llb
のソース、ドレインおよびゲートは、共通に接続されて
いる。
いは能動負荷5に相当する第1のトランジスタ、11は
第3図におけるトランジスタ6に相当する第2のトラン
ジスタである。第2のトランジスタ11は同一構造の一
対のトランジスタ(n個のトランジスタH1a、llb
からなり、これらの−対のトランジスタlla、llb
のソース、ドレインおよびゲートは、共通に接続されて
いる。
トランジスタllaおよびllbの構造、特にゲート幅
は以下のように決定される。すなわち、第1のトランジ
スタ10を構成するトランジスタ10a。
は以下のように決定される。すなわち、第1のトランジ
スタ10を構成するトランジスタ10a。
iobのそれぞれのゲート幅をW g Iom 、 W
g iobとした場合、トランジスタ10a、10b
のゲート幅W g +。* + W g tab と全
く同じゲート幅のトランジスタlla、llbを第2の
トランジスタ11にレイアウトする。
g iobとした場合、トランジスタ10a、10b
のゲート幅W g +。* + W g tab と全
く同じゲート幅のトランジスタlla、llbを第2の
トランジスタ11にレイアウトする。
例えば、W g Iom =W g tab =10μ
mとしたら、Wgz* =Wgzb =10μmとなる
。
mとしたら、Wgz* =Wgzb =10μmとなる
。
但し、W g 目よ :トランジスタllaのゲート幅
Wg++b:)ランジスタllbのゲート幅第2図は第
3図の半導体回路1に本実施例を適用した場合の回路パ
ターンを示す図である。第2図において、20は能動負
荷4を構成するトランジスタ4aおよびトランジスタ4
b共通のドレイン領域、21はトランジスタ4aのゲー
IJJf域、22はトランジスタ4bのゲート領域、2
3はトランジスタ4aおよびトランジスタ4b共通のソ
ース領域とトランジスタ2のドレイン領域を兼ねる領域
、24は能動負荷5を構成するトランジスタ5aおよび
トランジスタ5b共通のドレイン領域、25はトランジ
スタ5aのゲート領域、26はトランジスタ5bのゲー
ト領域、27はトランジスタ5aおよびトランジスタ5
b共通のソース領域とトランジスタ3のドレイン領域と
を兼ねる領域、28はトランジスタ2およびトランジス
タ3のソース領域と第2のトランジスタ11を構成する
トランジスタllaおよびトランジスタllb共通のド
レイン領域とを兼ねる領域、29はトランジスタlla
のゲート領域、30はトランジスタllbのゲート右頁
域、31はトランジスタllaおよびトランジスタll
b共通のソース領域である。
Wg++b:)ランジスタllbのゲート幅第2図は第
3図の半導体回路1に本実施例を適用した場合の回路パ
ターンを示す図である。第2図において、20は能動負
荷4を構成するトランジスタ4aおよびトランジスタ4
b共通のドレイン領域、21はトランジスタ4aのゲー
IJJf域、22はトランジスタ4bのゲート領域、2
3はトランジスタ4aおよびトランジスタ4b共通のソ
ース領域とトランジスタ2のドレイン領域を兼ねる領域
、24は能動負荷5を構成するトランジスタ5aおよび
トランジスタ5b共通のドレイン領域、25はトランジ
スタ5aのゲート領域、26はトランジスタ5bのゲー
ト領域、27はトランジスタ5aおよびトランジスタ5
b共通のソース領域とトランジスタ3のドレイン領域と
を兼ねる領域、28はトランジスタ2およびトランジス
タ3のソース領域と第2のトランジスタ11を構成する
トランジスタllaおよびトランジスタllb共通のド
レイン領域とを兼ねる領域、29はトランジスタlla
のゲート領域、30はトランジスタllbのゲート右頁
域、31はトランジスタllaおよびトランジスタll
b共通のソース領域である。
次に作用を説明する。
第1図の第1のトランジスタ10は、第3図の能動負荷
4.5の何れか一方に相当するから、まず、第3図につ
いて説明する。
4.5の何れか一方に相当するから、まず、第3図につ
いて説明する。
第3図において、今、相補信号IN、INによって、ト
ランジスタ2が導通する一方、トランジスタ3が非導通
である場合、トランジスタ6に流れ込むドレイン電流1
dsは、トランジスタ4aのドレイン電流とトランジス
タ4bのドレイン電流との総和である。
ランジスタ2が導通する一方、トランジスタ3が非導通
である場合、トランジスタ6に流れ込むドレイン電流1
dsは、トランジスタ4aのドレイン電流とトランジス
タ4bのドレイン電流との総和である。
こごで、トランジスタ4aのゲート幅をWg、、、トラ
ンジスタ4bのゲート幅をW g 4 b、トランジス
タ6のゲート幅をW g bと呼称し、Wg 4.十W
g、b=Wg 6 ・・・・・−■の関係となるように
各ゲート幅の値を決定して、さらに、プロセスシフトを
無視すると、出力信号OUTの“L”レベルは■8とな
る。すなわち、トランジスタ4bのゲート、ソース間の
電位差がゼロとなって、このトランジスタ4bは等価的
にゲートルソース間を接続した電流源接続のトランジス
タとして動作する。
ンジスタ4bのゲート幅をW g 4 b、トランジス
タ6のゲート幅をW g bと呼称し、Wg 4.十W
g、b=Wg 6 ・・・・・−■の関係となるように
各ゲート幅の値を決定して、さらに、プロセスシフトを
無視すると、出力信号OUTの“L”レベルは■8とな
る。すなわち、トランジスタ4bのゲート、ソース間の
電位差がゼロとなって、このトランジスタ4bは等価的
にゲートルソース間を接続した電流源接続のトランジス
タとして動作する。
しかし、プロセスシフトが発生して上式■が満足されな
い場合、OUTのIt L I+レベルは■8に一致せ
ず、このため、トランジスタ4bはゲートルソース間電
位がゼロの電流源接続のトランジスタとして動作しない
。
い場合、OUTのIt L I+レベルは■8に一致せ
ず、このため、トランジスタ4bはゲートルソース間電
位がゼロの電流源接続のトランジスタとして動作しない
。
そこで、本実施例では、第3図におけるトランジスタ6
を、能動負荷4のトランジスタ4a、4bあるいは能動
負荷5のトランジスタ5a、5bと同一構造の複数のト
ランジスタで構成している。
を、能動負荷4のトランジスタ4a、4bあるいは能動
負荷5のトランジスタ5a、5bと同一構造の複数のト
ランジスタで構成している。
すなわち、第1図において、第2のトランジスタ11は
、第1のトランジスタ10(第3図の能動負荷4.5の
何れか一方に相当する)を構成するトランジスタ10a
、10bと同一構造のトランジスタ11a、llbから
構成されているもので、そのマスクパターンの寸法は等
しく、また、同一のウェハプロセスを経て製造されてい
る。例えば、ウェハプロセス時のプロセスシフトがΔα
だけ発生したと仮定すると、このΔαは、トランジスタ
10a、10bおよびトランジスタlla、llbのそ
れぞれに共通に発生している。したがって、各トランジ
スタのゲート幅の設計寸法が、次式■の関係である場合
、 W g +。、 +w g Iob =W g lla
+ W g ++b・・・・・・■実際の素子寸法は
、次式■の関係で表わされる。
、第1のトランジスタ10(第3図の能動負荷4.5の
何れか一方に相当する)を構成するトランジスタ10a
、10bと同一構造のトランジスタ11a、llbから
構成されているもので、そのマスクパターンの寸法は等
しく、また、同一のウェハプロセスを経て製造されてい
る。例えば、ウェハプロセス時のプロセスシフトがΔα
だけ発生したと仮定すると、このΔαは、トランジスタ
10a、10bおよびトランジスタlla、llbのそ
れぞれに共通に発生している。したがって、各トランジ
スタのゲート幅の設計寸法が、次式■の関係である場合
、 W g +。、 +w g Iob =W g lla
+ W g ++b・・・・・・■実際の素子寸法は
、次式■の関係で表わされる。
(W g +。1+Δα)+ (Wgzb+Δα)−(
Wg++−十Δα) +(Wgzb+Δα)・・・・・
・■上式■は、 Wg Ioa + W g Ioa + 2Δα=W
g za + W g xb + 2Δα・・・・・・
■となり、両辺の2Δαが打ち消されて W g +。、十wg、。b =W g lla +w
g ++b・・・・・・■となり、上式■の設計寸法
の関係が保たれる。
Wg++−十Δα) +(Wgzb+Δα)・・・・・
・■上式■は、 Wg Ioa + W g Ioa + 2Δα=W
g za + W g xb + 2Δα・・・・・・
■となり、両辺の2Δαが打ち消されて W g +。、十wg、。b =W g lla +w
g ++b・・・・・・■となり、上式■の設計寸法
の関係が保たれる。
その結果、プロセスシフトが発生しているにも拘らず、
設計寸法の関係(上式■)と実際の素子寸法の関係(上
式〇)とが一致することとなる。
設計寸法の関係(上式■)と実際の素子寸法の関係(上
式〇)とが一致することとなる。
したがって、第1のトランジスタ10のトランジスタ1
0a(第3図のトランジスタ4bあるいはトランジスタ
5bに相当)は、導通時、ゲート、ソース間の電位差が
ゼロとなり、第1図中点線Fでソース、ゲート間を接続
しているように、等価的に電流源接続トランジスタとし
て動作するので、トランジスタ10aのドレイン電流I
d s 、。、とトランジスタllaのドレイン電流
1dSzaとを一致させることができ、さらに、トラン
ジスタ10bのドレイン電流1 d S Ioa とト
ランジスタllbのドレイン電流1ds++bとを一致
させることができる。
0a(第3図のトランジスタ4bあるいはトランジスタ
5bに相当)は、導通時、ゲート、ソース間の電位差が
ゼロとなり、第1図中点線Fでソース、ゲート間を接続
しているように、等価的に電流源接続トランジスタとし
て動作するので、トランジスタ10aのドレイン電流I
d s 、。、とトランジスタllaのドレイン電流
1dSzaとを一致させることができ、さらに、トラン
ジスタ10bのドレイン電流1 d S Ioa とト
ランジスタllbのドレイン電流1ds++bとを一致
させることができる。
すなわち、プロセスシフトを考慮することなく、理論値
に従って第1のトランジスタ10、第2のトランジスタ
11の各トランジスタのゲート幅を設計することができ
、マスク設計の容易化および製造コストの削減を図るこ
とができる。
に従って第1のトランジスタ10、第2のトランジスタ
11の各トランジスタのゲート幅を設計することができ
、マスク設計の容易化および製造コストの削減を図るこ
とができる。
本発明によれば、第1のトランジスタのn倍の電流を流
すための第2のトランジスタの設計に際し、第1のトラ
ンジスタと同一構造のn個のトランジスタで第2のトラ
ンジスタを構成しているので、Wgの補正を不要にする
ことができる。したがって、設計の容易化を図ることが
でき、製造コストを削減することができる。
すための第2のトランジスタの設計に際し、第1のトラ
ンジスタと同一構造のn個のトランジスタで第2のトラ
ンジスタを構成しているので、Wgの補正を不要にする
ことができる。したがって、設計の容易化を図ることが
でき、製造コストを削減することができる。
第1.2図は本発明に係る半導体集積回路の一実施例を
示す図であり、 第1図はその要部構成図、 第2図はその回路パターンを示す図である。 第3〜5図は従来の半導体回路を示す図であり、第3図
はその構成図、 第4図はその問題点を説明するための特性図、第5図は
そのプロセスシフトを説明するための図である。 工0・・・・・・第1のトランジスタ、11・・・・・
・第2のトランジスタ、11a、llb・・・・・・ト
ランジスタ(n個のトランジスタ)9 10:大1のトラ〉ジス? 11;第2のトラ〉ン2? 11a、11b; トラ〉シ゛ス9(n4式のト1〉’
i’7?)−貫方姓イ列の学合β半篇戸〈図 第1図 1互1三 W8(μm) q迫呆の閃独滑、K1蛤B月す5八めの特・F主2第4
図 、Wj、 W2 一−−一− フ・口でスシフト名玄凭Bハすδ乙めの団第5図
示す図であり、 第1図はその要部構成図、 第2図はその回路パターンを示す図である。 第3〜5図は従来の半導体回路を示す図であり、第3図
はその構成図、 第4図はその問題点を説明するための特性図、第5図は
そのプロセスシフトを説明するための図である。 工0・・・・・・第1のトランジスタ、11・・・・・
・第2のトランジスタ、11a、llb・・・・・・ト
ランジスタ(n個のトランジスタ)9 10:大1のトラ〉ジス? 11;第2のトラ〉ン2? 11a、11b; トラ〉シ゛ス9(n4式のト1〉’
i’7?)−貫方姓イ列の学合β半篇戸〈図 第1図 1互1三 W8(μm) q迫呆の閃独滑、K1蛤B月す5八めの特・F主2第4
図 、Wj、 W2 一−−一− フ・口でスシフト名玄凭Bハすδ乙めの団第5図
Claims (2)
- (1)同一基板上に複数のトランジスタが作り込まれ、
該複数のトランジスタは所定の第1のトランジスタと、 該第1のトランジスタを流れる電流のn倍の電流を流す
ための第2のトランジスタと、を含む半導体集積回路に
おいて、 前記第2のトランジスタは、第1のトランジスタと同一
構造のn個のトランジスタで構成されたことを特徴とす
る半導体集積回路。 - (2)同一基板上に複数のトランジスタが作り込まれ、 該複数のトランジスタは、n個のトランジスよりなる第
1のトランジスタ群と、 該第1のトランジスタ群を流れる電流の総和と等しい電
流を流すための第2のトランジスタと、 を含む半導体集積回路において、 前記第2のトランジスタは、第1のトランジスタ群と同
一構造のn個のトランジスタで構成されたことを特徴と
する半導体集積回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63110894A JPH01280916A (ja) | 1988-05-07 | 1988-05-07 | 半導体集積回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63110894A JPH01280916A (ja) | 1988-05-07 | 1988-05-07 | 半導体集積回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01280916A true JPH01280916A (ja) | 1989-11-13 |
Family
ID=14547382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63110894A Pending JPH01280916A (ja) | 1988-05-07 | 1988-05-07 | 半導体集積回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01280916A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5336655A (en) * | 1976-09-17 | 1978-04-05 | Hitachi Ltd | Semiconductor integrated circuit |
| JPS6037159A (ja) * | 1983-08-08 | 1985-02-26 | Nec Ic Microcomput Syst Ltd | Mos型集積回路 |
-
1988
- 1988-05-07 JP JP63110894A patent/JPH01280916A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5336655A (en) * | 1976-09-17 | 1978-04-05 | Hitachi Ltd | Semiconductor integrated circuit |
| JPS6037159A (ja) * | 1983-08-08 | 1985-02-26 | Nec Ic Microcomput Syst Ltd | Mos型集積回路 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0080732B1 (en) | Semiconductor analog switch circuit using mos transistors | |
| US20050001271A1 (en) | Semiconductor integrated circuit and method of designing the same | |
| DE4139039C2 (de) | MOS-Halbleitervorrichtung | |
| JP3828200B2 (ja) | 電流伝達回路及びこれを用いた電流電圧変換回路 | |
| JPH0372669A (ja) | 半導体集積回路装置およびその製造方法 | |
| CN116629186B (zh) | 两级全差分运算放大器的版图设计方法和版图布局结构 | |
| JPH08340246A (ja) | リーク電流補償回路 | |
| JP2840150B2 (ja) | 半導体集積回路及びその層間接続方法 | |
| US7150948B2 (en) | Photomask and method for exposing chip pattern | |
| DE19930296B4 (de) | Verfahren und Photomaske zur Herstellung eines integrierten Schaltkreisbauelements mit einer Stufe | |
| JPS6047748B2 (ja) | 集積回路装置 | |
| JPS632365B2 (ja) | ||
| JP3544799B2 (ja) | レイアウト設計方法、露光用マスク及び半導体装置 | |
| JP3006804B2 (ja) | ゲートアレイ型半導体集積回路装置およびそのクロックドライバのクロックスキューの調整方法 | |
| JPS58207725A (ja) | Cmosトランジスタ回路 | |
| JP2919398B2 (ja) | 半導体装置 | |
| JPS5892272A (ja) | 負帰還型GaAsマイクロ波モノリシツク増幅回路装置 | |
| JPS60124871A (ja) | Mos−fet | |
| KR100837554B1 (ko) | 반도체 소자 및 그 제조 방법 | |
| JPH01132171A (ja) | 半導体装置 | |
| JP3024237B2 (ja) | 電界効果トランジスタの製造方法 | |
| JPS63142667A (ja) | GaAs半導体集積回路 | |
| JPS62159907A (ja) | モノリシツクマイクロ波増幅器 | |
| KR0131263B1 (ko) | 포토 마스크 제작 방법 | |
| JPH0421344B2 (ja) |