JPH01283377A - 無電解メッキ装置 - Google Patents
無電解メッキ装置Info
- Publication number
- JPH01283377A JPH01283377A JP11223588A JP11223588A JPH01283377A JP H01283377 A JPH01283377 A JP H01283377A JP 11223588 A JP11223588 A JP 11223588A JP 11223588 A JP11223588 A JP 11223588A JP H01283377 A JPH01283377 A JP H01283377A
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- JP
- Japan
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- plating
- cathode
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- plated
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- Pending
Links
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 title claims description 14
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 37
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 6
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/1601—Process or apparatus
- C23C18/1633—Process of electroless plating
- C23C18/1675—Process conditions
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、無電解メッキ装置に関するものである。
し従来技術]
従来一般に知られる無電解メッキ装置では、メッキ浴組
成、メッキ浴温度は管理されている。
成、メッキ浴温度は管理されている。
[発明か解決しようとする課題]
しかしなから、メッキ浴組成、浴温をコントロールして
いるたりでは、一定の膜厚・性状のメッキ被膜を得るこ
とは困難でおる。例えば、メッキ浴中のロードファクタ
ー及び浴中の液流速はメッキ速度に大ぎく影響を与え、
膜厚や性状の変動要因どなっている。しかるに従来の無
電解メッキ装置ではこれらの変動ファクターに対する対
処かなされていないためメッキ速度か変動し、メッキ被
膜性状のコントロールか不十分となる欠点かあった。ま
た、ロードファクター、液流速がメッキ浴中て局在的に
異なるため、メッキムラ等の欠陥が生じるという問題点
があった。
いるたりでは、一定の膜厚・性状のメッキ被膜を得るこ
とは困難でおる。例えば、メッキ浴中のロードファクタ
ー及び浴中の液流速はメッキ速度に大ぎく影響を与え、
膜厚や性状の変動要因どなっている。しかるに従来の無
電解メッキ装置ではこれらの変動ファクターに対する対
処かなされていないためメッキ速度か変動し、メッキ被
膜性状のコントロールか不十分となる欠点かあった。ま
た、ロードファクター、液流速がメッキ浴中て局在的に
異なるため、メッキムラ等の欠陥が生じるという問題点
があった。
本発明は、無電解メッキ浴中でのメッキ速度を一定にす
ることにより一定の膜厚・性状のメッキ処理品を得よう
とするものである。
ることにより一定の膜厚・性状のメッキ処理品を得よう
とするものである。
[課題を解決するための手段」
この目的を達成するために本発明の無電解メッキ装置は
、被メッキ材が浸漬される無電解メッキ浴中に陽極、陰
極及び被メッキ材の表面電位検知用のリファレンス電極
か配置されると共に、前記陽極又は陰極近傍に水圧セン
サか配置され、該水圧センサの検知信号に基づいて前記
陰極・リファレンス電極間の電位差が制御されるように
構成したものでおる。
、被メッキ材が浸漬される無電解メッキ浴中に陽極、陰
極及び被メッキ材の表面電位検知用のリファレンス電極
か配置されると共に、前記陽極又は陰極近傍に水圧セン
サか配置され、該水圧センサの検知信号に基づいて前記
陰極・リファレンス電極間の電位差が制御されるように
構成したものでおる。
[作用]
上記の構成を有するものであるから、水圧ゼンーリ−の
検知信号が変動すると、メッキ速度V=に/−[(ト〉
・q (P)の式より実際のメッキ速度が求められる1
、ここに「はメッキ浴中のロードファクターを示し、単
位メッキ液最当りの被メッキ付表i”i’rj積で表さ
れる。また、Pは水圧セン−りにより検知されるメッキ
浴の水圧を示す。なお、kはメッキ浴の液組成、液温等
により決定される定数を示す。そこで実際のメッキ速度
か求められると、所期のメッキ速度との差(メッキ速1
宴変動値)か判るので、第4図に示される無電解メッキ
浴の分(!す曲線から陽極・陰極間の電圧(若しくは電
流)の補正値が求められる。すなわらこの第4図に示さ
れる分極曲線はメッキ浴中に被メッキ材を浸漬したたり
の状態(陽極・陰極間に電流を流さない状態)では被メ
ッキ(Δの電極電位がEmix(1)を示し、陽(へ・
陰極間に電圧を印加して電流を流した状態では被メッキ
月の表面電位モニタ用のリファレンス電極の電位か例え
ば「m1x(2)に変化することを示J−もので、この
電極電位の変化量か無電解メツ−1−の電流の変化(i
P+ −)iP2)に対応り−るものて必るから、この
電流の変化を制御することによりメッキ速度の変動分が
補正されることと4【る。
検知信号が変動すると、メッキ速度V=に/−[(ト〉
・q (P)の式より実際のメッキ速度が求められる1
、ここに「はメッキ浴中のロードファクターを示し、単
位メッキ液最当りの被メッキ付表i”i’rj積で表さ
れる。また、Pは水圧セン−りにより検知されるメッキ
浴の水圧を示す。なお、kはメッキ浴の液組成、液温等
により決定される定数を示す。そこで実際のメッキ速度
か求められると、所期のメッキ速度との差(メッキ速1
宴変動値)か判るので、第4図に示される無電解メッキ
浴の分(!す曲線から陽極・陰極間の電圧(若しくは電
流)の補正値が求められる。すなわらこの第4図に示さ
れる分極曲線はメッキ浴中に被メッキ材を浸漬したたり
の状態(陽極・陰極間に電流を流さない状態)では被メ
ッキ(Δの電極電位がEmix(1)を示し、陽(へ・
陰極間に電圧を印加して電流を流した状態では被メッキ
月の表面電位モニタ用のリファレンス電極の電位か例え
ば「m1x(2)に変化することを示J−もので、この
電極電位の変化量か無電解メツ−1−の電流の変化(i
P+ −)iP2)に対応り−るものて必るから、この
電流の変化を制御することによりメッキ速度の変動分が
補正されることと4【る。
[実施例]
以下、本発明を具体化した−・実施例を図面を参照しノ
て説明りる。
て説明りる。
第1図及び第2図に示す無電解メッキ装置1は、メッキ
(曹12白休が陽極となっており、該メッキ槽」2の内
側壁或いは内底壁に少し間隔をありで陰(Φ仮2〜]]
か配設される。そして第3図はその両市(保間近傍を拡
大して示したものでおるが、陽極型]2と各陰極板2〜
11との間には、該メッキ浴中に浸漬される被メッキ4
A(図示−1す)の表面電位をモニタ的に検知するため
のリファレンス電極13が配置されている。また、各陰
極2〜11の近傍に静水圧計測用のピ1−−管が水圧レ
ンザ20〜35として配置される。
(曹12白休が陽極となっており、該メッキ槽」2の内
側壁或いは内底壁に少し間隔をありで陰(Φ仮2〜]]
か配設される。そして第3図はその両市(保間近傍を拡
大して示したものでおるが、陽極型]2と各陰極板2〜
11との間には、該メッキ浴中に浸漬される被メッキ4
A(図示−1す)の表面電位をモニタ的に検知するため
のリファレンス電極13が配置されている。また、各陰
極2〜11の近傍に静水圧計測用のピ1−−管が水圧レ
ンザ20〜35として配置される。
しかしてこのような構成の無電解メッキ装置によれば、
各水圧センリー20〜35にJ:り各陰極2〜]1の近
傍の静水圧の変動が検知されると、次の(])式より各
陰極近傍におりる被メッキ材へのメッキ速度Viが求め
られる。そして更にその実際のメッキ速度■iと所期の
メッキ速度との差/\■iが明らかとなるから、(2)
式より各陰極電位の補正量△Fiか求められることとな
る。
各水圧センリー20〜35にJ:り各陰極2〜]1の近
傍の静水圧の変動が検知されると、次の(])式より各
陰極近傍におりる被メッキ材へのメッキ速度Viが求め
られる。そして更にその実際のメッキ速度■iと所期の
メッキ速度との差/\■iが明らかとなるから、(2)
式より各陰極電位の補正量△Fiか求められることとな
る。
\1i)=に/f(l−i)・g(Pi)・・(1)式
%式%() ・・・(2)式 ここに\/(i):各測定点の実測メッキ速度r(li
): !ノ のロードファクタ〜Q ’(P’i
) : n の静水圧△E(i):各陰極電位の
補正量 「miX:混成電位 △(()−メッキ速度の変動量 に、 k’ :定数 ここてf(+−i)2g(pi)はロードファクター1
−及び静水圧1つのどららか一方を固定して使方の変数
をふり、経験的に求める。
%式%() ・・・(2)式 ここに\/(i):各測定点の実測メッキ速度r(li
): !ノ のロードファクタ〜Q ’(P’i
) : n の静水圧△E(i):各陰極電位の
補正量 「miX:混成電位 △(()−メッキ速度の変動量 に、 k’ :定数 ここてf(+−i)2g(pi)はロードファクター1
−及び静水圧1つのどららか一方を固定して使方の変数
をふり、経験的に求める。
そこ−C△「Iに兄合う電圧補正を、ポテンシコスクッ
[・15により対応する陰極・陽極間になけば、それに
伴い陰(へ・リファ・レンス電(へ間の電位差が補正さ
れ、被メッキ(1表面のメッキ速度(、:J、修正され
て−・定に保持されることとなる。
[・15により対応する陰極・陽極間になけば、それに
伴い陰(へ・リファ・レンス電(へ間の電位差が補正さ
れ、被メッキ(1表面のメッキ速度(、:J、修正され
て−・定に保持されることとなる。
なお、この実施例のように、メッキ浴内の各所に陰4枢
、リファレンス電極及び水圧レンジ−を配置して各所的
に制御づ−るようにすれば、−層液メッキ祠の膜厚や性
状の均vf化か保たれることは言うまでもない。
、リファレンス電極及び水圧レンジ−を配置して各所的
に制御づ−るようにすれば、−層液メッキ祠の膜厚や性
状の均vf化か保たれることは言うまでもない。
(発明の効宋]
以上詳述したことから明らかイアように、本発明にJ、
れば、無電解メッキ浴中−(のロードフ7・フタ−及σ
液流)木の変動に伴うメッキ速度の変動を低下さぜるこ
とか−Cきる3、その結果、メッキ被膜の性状を一定に
することができ、欠陥等の少ない無電イメメッー■被膜
を得ることか−(−きる。。
れば、無電解メッキ浴中−(のロードフ7・フタ−及σ
液流)木の変動に伴うメッキ速度の変動を低下さぜるこ
とか−Cきる3、その結果、メッキ被膜の性状を一定に
することができ、欠陥等の少ない無電イメメッー■被膜
を得ることか−(−きる。。
第1図は、本発明の一実施例に係る無電解メッキ装置の
断面図、第2図は、第1図に示す装置を別方向からみた
断面図、第3図はこの装置の要部の拡大図、第4図は、
このメッキ浴の電極電位変化を示す図である。 図中、2〜11は陰極、12は陽極、13はリファレン
ス電極、20〜35は水圧センサである。
断面図、第2図は、第1図に示す装置を別方向からみた
断面図、第3図はこの装置の要部の拡大図、第4図は、
このメッキ浴の電極電位変化を示す図である。 図中、2〜11は陰極、12は陽極、13はリファレン
ス電極、20〜35は水圧センサである。
Claims (1)
- 1、被メッキ材が浸漬される無電解メッキ浴中に陽極、
陰極及び被メッキ材の表面電位検知用のリファレンス電
極が配置されると共に、前記陽極又は陰極近傍に水圧セ
ンサが配置され、該水圧センサの検知信号に基づいて前
記陰極・リファレンス電極間の電位差が制御されるよう
に構成されることを特徴とする無電解メッキ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11223588A JPH01283377A (ja) | 1988-05-09 | 1988-05-09 | 無電解メッキ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11223588A JPH01283377A (ja) | 1988-05-09 | 1988-05-09 | 無電解メッキ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01283377A true JPH01283377A (ja) | 1989-11-14 |
Family
ID=14581626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11223588A Pending JPH01283377A (ja) | 1988-05-09 | 1988-05-09 | 無電解メッキ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01283377A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001073163A1 (fr) * | 2000-03-29 | 2001-10-04 | Onera (Office National D'etudes Et De Recherches Aerospatiales) | Procede pour former sur un substrat metallique un revetement metallique protecteur exempt de soufre |
-
1988
- 1988-05-09 JP JP11223588A patent/JPH01283377A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001073163A1 (fr) * | 2000-03-29 | 2001-10-04 | Onera (Office National D'etudes Et De Recherches Aerospatiales) | Procede pour former sur un substrat metallique un revetement metallique protecteur exempt de soufre |
| FR2807073A1 (fr) * | 2000-03-29 | 2001-10-05 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | Procede pour former sur un substrat metallique un revetement metallique protecteur exempt de soufre |
| US7160582B2 (en) | 2000-03-29 | 2007-01-09 | Office National D'etudes Et De Recherches Aerospatiales | Method for forming on a metallic substrate a sulphur-free metallic coating |
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