JPH01287622A - 光ビーム分割器 - Google Patents
光ビーム分割器Info
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- JPH01287622A JPH01287622A JP63118659A JP11865988A JPH01287622A JP H01287622 A JPH01287622 A JP H01287622A JP 63118659 A JP63118659 A JP 63118659A JP 11865988 A JP11865988 A JP 11865988A JP H01287622 A JPH01287622 A JP H01287622A
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Classifications
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/10—Beam splitting or combining systems
- G02B27/106—Beam splitting or combining systems for splitting or combining a plurality of identical beams or images, e.g. image replication
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/10—Beam splitting or combining systems
- G02B27/14—Beam splitting or combining systems operating by reflection only
- G02B27/142—Coating structures, e.g. thin films multilayers
-
- G—PHYSICS
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- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/10—Beam splitting or combining systems
- G02B27/14—Beam splitting or combining systems operating by reflection only
- G02B27/144—Beam splitting or combining systems operating by reflection only using partially transparent surfaces without spectral selectivity
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/10—Beam splitting or combining systems
- G02B27/14—Beam splitting or combining systems operating by reflection only
- G02B27/145—Beam splitting or combining systems operating by reflection only having sequential partially reflecting surfaces
Landscapes
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- Optics & Photonics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、例えば、原画を光電操作して得た画像信号に
よって、記録側の露光手段を制御して、記録材料上に網
目板複製画像を記録する場合、特に、複数本のビームを
画像信号に基いてそれぞれ独立に変調することにより網
目版画像を記録する際に必要な光ビーム分割器に関する
。その他。
よって、記録側の露光手段を制御して、記録材料上に網
目板複製画像を記録する場合、特に、複数本のビームを
画像信号に基いてそれぞれ独立に変調することにより網
目版画像を記録する際に必要な光ビーム分割器に関する
。その他。
レーザー加工機でプラスチックスに網目画像を彫り込む
際に必要な光ビーム分割に利用できる光ビーム分割器に
関する。
際に必要な光ビーム分割に利用できる光ビーム分割器に
関する。
［従来技術］
従来、−列に並ぶ多数本の光ビームを画像信号に基いて
独立変調するようにして記録材料上に相対的に走査して
網目版画像を記録することが行われているが、多くの場
合、該多数本の光ビームは、多数の全反射ミラーと半反
射ミラーを配設して、これらにアルゴンレーザから発振
する一部のレーザビームを反射させて分割される。各光
ビームは、変調器によってそれぞれ独立に変調され結晶
光学系によって小さく絞られて、記録材料上に照射され
る。 他方、−個の光ビーム分割器を使用し、−本の光
ビームを何回も内部反射させて一列に並ぶ多数本の光ビ
ームに分割する発明として、日本特許公開昭和５２年Ｍ
１２２１３５号と日本特許公開昭和５８年第１０７１３
号が存在し、これらはともに、−枚のガラス板の一方の
面に全反射膜、他方の面に領域を異にして反射率が異な
る半反射膜をそれぞれコーティングしてなる。半反射膜
のコーティングについて詳述すると、例えば１０本の光
ビームに分割する場合、最初の領域には９／１０の反射
率（＝１／１０の透過率）の半反射膜をコーティングし
、次の領域には８／９の反射率（＝１／９の透過率）の
半反射膜をコーティングし、さらに次に領域には７／８
の反射率にｌ／８の透過率）の半反射膜をコーティング
し、こうして次々に反射率が数列的に次第に小さくなる
半反射膜をコーティングし、最後の領域には１／２の反
射率（＝１／２の透過率）の半反射膜をコーティングす
るものである。
独立変調するようにして記録材料上に相対的に走査して
網目版画像を記録することが行われているが、多くの場
合、該多数本の光ビームは、多数の全反射ミラーと半反
射ミラーを配設して、これらにアルゴンレーザから発振
する一部のレーザビームを反射させて分割される。各光
ビームは、変調器によってそれぞれ独立に変調され結晶
光学系によって小さく絞られて、記録材料上に照射され
る。 他方、−個の光ビーム分割器を使用し、−本の光
ビームを何回も内部反射させて一列に並ぶ多数本の光ビ
ームに分割する発明として、日本特許公開昭和５２年Ｍ
１２２１３５号と日本特許公開昭和５８年第１０７１３
号が存在し、これらはともに、−枚のガラス板の一方の
面に全反射膜、他方の面に領域を異にして反射率が異な
る半反射膜をそれぞれコーティングしてなる。半反射膜
のコーティングについて詳述すると、例えば１０本の光
ビームに分割する場合、最初の領域には９／１０の反射
率（＝１／１０の透過率）の半反射膜をコーティングし
、次の領域には８／９の反射率（＝１／９の透過率）の
半反射膜をコーティングし、さらに次に領域には７／８
の反射率にｌ／８の透過率）の半反射膜をコーティング
し、こうして次々に反射率が数列的に次第に小さくなる
半反射膜をコーティングし、最後の領域には１／２の反
射率（＝１／２の透過率）の半反射膜をコーティングす
るものである。
［発明が解決しようとする課題］
しかるに、ミラー群の配置や光ファイバーの配置によっ
てアルゴンレーザから発振する一部のレーザビームを多
数本のレーザビームにする技術は、広いスペースが必要
であるとともに、これらの調整に高度な技量と多くの時
間を必要とし大変面倒であった・ これに対し、日本特許公開昭和５８年第１０７１３号及
び日本特許公開昭和５２年第１２２１３５号の光ビーム
分割器によれば、上記のデメリットを完全に解消できて
いる。
てアルゴンレーザから発振する一部のレーザビームを多
数本のレーザビームにする技術は、広いスペースが必要
であるとともに、これらの調整に高度な技量と多くの時
間を必要とし大変面倒であった・ これに対し、日本特許公開昭和５８年第１０７１３号及
び日本特許公開昭和５２年第１２２１３５号の光ビーム
分割器によれば、上記のデメリットを完全に解消できて
いる。
しかしながら、両者は、上記のように１０本の光ビーム
に分割する場合、２ｍｍ以下の極めて狭い幅の９個の領
域に、上記のように領域によって反射率が異なる半反射
膜をコーティングしなければならず、一つの領域のコー
ティングの失敗も許されず至難の技を要していた。
に分割する場合、２ｍｍ以下の極めて狭い幅の９個の領
域に、上記のように領域によって反射率が異なる半反射
膜をコーティングしなければならず、一つの領域のコー
ティングの失敗も許されず至難の技を要していた。
また、日本特許公開昭和５２年第１２２１３５号の光ビ
ーム分割器によれば、分割本数を大きくしても結晶光学
系を大きくしないで済む利点があるが、分光される光ビ
ームが平行でないために。
ーム分割器によれば、分割本数を大きくしても結晶光学
系を大きくしないで済む利点があるが、分光される光ビ
ームが平行でないために。
変調器の変調効率が低下するとともに、漏れ光が生ずる
場合があり、さらに変調器の音波電極の形成も難しい、
また、該光ビーム分割器の両面の交差角及び厚さを所定
の数値に超高精度に保つことは難かしく、該光ビーム分
割器の製作は、困難を極めることとなる。該光ビーム分
割器の両面の交差角及び厚さが僅かでも異なれば、多数
本の光ビームの集光距離は大きく異なることになり、該
光ビーム分割器と変調器との設置間隔、及び変調器と結
晶光学系変調器との設置間隔は、装置毎に異なることが
避けられない。
場合があり、さらに変調器の音波電極の形成も難しい、
また、該光ビーム分割器の両面の交差角及び厚さを所定
の数値に超高精度に保つことは難かしく、該光ビーム分
割器の製作は、困難を極めることとなる。該光ビーム分
割器の両面の交差角及び厚さが僅かでも異なれば、多数
本の光ビームの集光距離は大きく異なることになり、該
光ビーム分割器と変調器との設置間隔、及び変調器と結
晶光学系変調器との設置間隔は、装置毎に異なることが
避けられない。
本発明は、半反射膜をそれぞれ大きくコーティングする
ことが可能であり、もって正確な反射率の半反射膜の形
成が容易であり、また広い設置スペースを必要とせず、
光量が等しくなるようにビーム分割し得るビーム分割器
を提供することを目的としている。
ことが可能であり、もって正確な反射率の半反射膜の形
成が容易であり、また広い設置スペースを必要とせず、
光量が等しくなるようにビーム分割し得るビーム分割器
を提供することを目的としている。
［課題を解決するための手段］
本願発明の光ビーム分割器は、８１図（ａ）または第２
図（ａ）に示すように、 厚さが高精度に均一な所要枚数ｎの透明平行板Ｐｉ、Ｐ
２．Ｐ３．＊ 拳Ｐｎ−１，Ｐｎが重ねられ、これら透
明平行板の中、光ビームＬＯの入射側より見て一番背後
の透明平行板Ｐｎの背面には全反射膜Ｍｎがコーティン
グされ、また他の全ての透明平行板ＰＩ、Ｐ２．Ｐ３．
−・Ｐｎ−１ｃ７）背面には、透明平行板の枚数ｎに関
係して前側のものから１頭にそれぞれ反射率が１ ／
ｎ 、 １ ／ （ｎ−１）、 １ ／ （Ｊｌ−２）
。
図（ａ）に示すように、 厚さが高精度に均一な所要枚数ｎの透明平行板Ｐｉ、Ｐ
２．Ｐ３．＊ 拳Ｐｎ−１，Ｐｎが重ねられ、これら透
明平行板の中、光ビームＬＯの入射側より見て一番背後
の透明平行板Ｐｎの背面には全反射膜Ｍｎがコーティン
グされ、また他の全ての透明平行板ＰＩ、Ｐ２．Ｐ３．
−・Ｐｎ−１ｃ７）背面には、透明平行板の枚数ｎに関
係して前側のものから１頭にそれぞれ反射率が１ ／
ｎ 、 １ ／ （ｎ−１）、 １ ／ （Ｊｌ−２）
。
１ ／ （ｎ−３） 、φｅ争１／４．１／３．１／２
というような数列で次第に大きくなるように異なる半反
射Ｍ Ｍ １．Ｍ ２．Ｍ３． ・−Ｍｎ−２，Ｍｎ−
１がコーティングされ、これらコーティングされた全反
射膜Ｍｎと半反射膜Ｍｌ、Ｍ２．Ｍ３．ｓ ｅ Ｍｎ−
１ノーｘ−ティング領域が、透明平行板ＰＩ−Ｐｎの内
部を斜口に進行する光ビームＬＯが照射される斜目配夕
噌に位置され、かつ、該光ビームＬＯが各半反射膜Ｍｌ
。
というような数列で次第に大きくなるように異なる半反
射Ｍ Ｍ １．Ｍ ２．Ｍ３． ・−Ｍｎ−２，Ｍｎ−
１がコーティングされ、これらコーティングされた全反
射膜Ｍｎと半反射膜Ｍｌ、Ｍ２．Ｍ３．ｓ ｅ Ｍｎ−
１ノーｘ−ティング領域が、透明平行板ＰＩ−Ｐｎの内
部を斜口に進行する光ビームＬＯが照射される斜目配夕
噌に位置され、かつ、該光ビームＬＯが各半反射膜Ｍｌ
。
Ｍ２．Ｍ３．・・Ｍｎ−１での一部反射と全反射膜Ｍｎ
での全反射により光度が均等で透明平行板の数と同じ本
数ｎの分光ビームＬｌ、Ｌ２．Ｌ３．・・Ｌｎ−１゜Ｌ
ｎとなり、各分光ビームが前方の半反射膜に突当ること
なく最初入射してきた光ビームの側へ平行に放射するよ
うになっていることを特徴とするものである。
での全反射により光度が均等で透明平行板の数と同じ本
数ｎの分光ビームＬｌ、Ｌ２．Ｌ３．・・Ｌｎ−１゜Ｌ
ｎとなり、各分光ビームが前方の半反射膜に突当ること
なく最初入射してきた光ビームの側へ平行に放射するよ
うになっていることを特徴とするものである。
［実施例・・第１図（ａ）、（ｂ） 、第２図（ａ）、
（ｂ） ］第一実施例に係る第１図（ａ）の光ビーム分
割器は、透明平行板ＰＩ、Ｐ２．Ｐ３．＠ ｍ Ｐｒ＋
−１，Ｐｎ。
（ｂ） ］第一実施例に係る第１図（ａ）の光ビーム分
割器は、透明平行板ＰＩ、Ｐ２．Ｐ３．＠ ｍ Ｐｒ＋
−１，Ｐｎ。
Ｐ ｎｉｌを有してなる。これらｎ＋１枚の透明平行板
Ｐ１〜Ｐ ｎ＋１は、第１図（ｂ）のように単一の透明
平行板Ｐをｎ＋１枚に分割されることにより超精密に厚
さが均一とされている。そして、ｎ＋１枚に分割される
前に、半反射膜Ｍｌ、Ｍ２．Ｍ３． ・・Ｍｎ−２゜Ｍ
ｎ−１及び全反射膜Ｍｎがコーティングされる。
Ｐ１〜Ｐ ｎ＋１は、第１図（ｂ）のように単一の透明
平行板Ｐをｎ＋１枚に分割されることにより超精密に厚
さが均一とされている。そして、ｎ＋１枚に分割される
前に、半反射膜Ｍｌ、Ｍ２．Ｍ３． ・・Ｍｎ−２゜Ｍ
ｎ−１及び全反射膜Ｍｎがコーティングされる。
図示例では、半反射膜Ｍ！〜Ｍｎ−１の数は９個であり
、半反射膜Ｍ１はｌ／１０の反射率（＝９／１０の透過
率）、半反射膜Ｍ２は１／９の反射率（＝８／９の透過
率）、半反射膜Ｍ３は１／８の反射率（＝１／８の透過
率）、・・・・半反射膜Ｍｎ−２は１／３の反射率（＝
２／３の透過率）、半反射膜Ｍｎは１／２の反射率（＝
１／２の透過率）とされている、このため、第１図（ａ
）に示す本数ｎの分光ビームＬｌ、Ｌ２．Ｌ３．＊ ＊
Ｌｎ−１，Ｌｎは、いずれも光ビームＬＯのｎ等分の
−の光量となる。この実施例では、反射膜Ｍｌ−Ｍｎは
、直径が小さくとも光ビームＬＯのビーム径よりも大き
い円形にコーティングされている。半反射膜Ｍ１と半反
射膜Ｍ２ 、半反射膜Ｍ２と半反射膜Ｍ３ 、・・・
・、半反射膜Ｍｎ−２と半反射膜Ｍｒ＋−１，及び半反
射膜Ｍｎ−１と全反射ＩＱ Ｍ ｎは、それぞれ微小寸
法ｇだけずれてコーティングされる。この微小寸法ｇは
、第１図（ａ）に示す微小寸法りの１７２とされている
。その理由は、透明平行板Ｐを点線より分割して第１図
（ａ）に示すように重ねたときに、光ビームＬＯがそれ
ぞれ反射膜Ｍ２．Ｍ３． ＋＋ ｅ Ｍｎ−２，Ｍｎ−
１，Ｍｎにおいて内部反射して分光された分光ビームＬ
２．Ｌ３．・・Ｌｎ−１゜Ｌｎが、それぞれ一つ前側の
前側の半反射膜Ｍｌ。
、半反射膜Ｍ１はｌ／１０の反射率（＝９／１０の透過
率）、半反射膜Ｍ２は１／９の反射率（＝８／９の透過
率）、半反射膜Ｍ３は１／８の反射率（＝１／８の透過
率）、・・・・半反射膜Ｍｎ−２は１／３の反射率（＝
２／３の透過率）、半反射膜Ｍｎは１／２の反射率（＝
１／２の透過率）とされている、このため、第１図（ａ
）に示す本数ｎの分光ビームＬｌ、Ｌ２．Ｌ３．＊ ＊
Ｌｎ−１，Ｌｎは、いずれも光ビームＬＯのｎ等分の
−の光量となる。この実施例では、反射膜Ｍｌ−Ｍｎは
、直径が小さくとも光ビームＬＯのビーム径よりも大き
い円形にコーティングされている。半反射膜Ｍ１と半反
射膜Ｍ２ 、半反射膜Ｍ２と半反射膜Ｍ３ 、・・・
・、半反射膜Ｍｎ−２と半反射膜Ｍｒ＋−１，及び半反
射膜Ｍｎ−１と全反射ＩＱ Ｍ ｎは、それぞれ微小寸
法ｇだけずれてコーティングされる。この微小寸法ｇは
、第１図（ａ）に示す微小寸法りの１７２とされている
。その理由は、透明平行板Ｐを点線より分割して第１図
（ａ）に示すように重ねたときに、光ビームＬＯがそれ
ぞれ反射膜Ｍ２．Ｍ３． ＋＋ ｅ Ｍｎ−２，Ｍｎ−
１，Ｍｎにおいて内部反射して分光された分光ビームＬ
２．Ｌ３．・・Ｌｎ−１゜Ｌｎが、それぞれ一つ前側の
前側の半反射膜Ｍｌ。
Ｍ２．Ｍ３． ａ ＊ Ｍｎ−２，Ｍｎ−１に突当るこ
となく最初入射してきた光ビームの側へ平行に放射させ
るためである。第１図（ａ）に示す微小寸法りは、光ビ
ームＬＯの内部進行角度αと透明平行板の厚さｔによっ
て決まる。すなわち、ｈ ＝ ２ｔＸ ｃａｓαである
。さらに、光ビームＬＯの内部進行角度αは、光ビーム
ＬＯの入射角度βと透明平行板Ｐの屈折率によって決ま
る。従って、分光ビームの間隔Ｃは、光ビームＬＯの入
射角度βと透明平行板Ｐの屈折率と透明平行板Ｐの厚さ
ｔによって決定でき、また、該間隔Ｃと光ビームＬＯの
入射角度βと透明平行板Ｐの材質を決めれば、透明平行
板Ｐの厚さｔを決めることができるとともに、第１図（
ｂ）に示す微小寸法ｇを決めることができ、第。
となく最初入射してきた光ビームの側へ平行に放射させ
るためである。第１図（ａ）に示す微小寸法りは、光ビ
ームＬＯの内部進行角度αと透明平行板の厚さｔによっ
て決まる。すなわち、ｈ ＝ ２ｔＸ ｃａｓαである
。さらに、光ビームＬＯの内部進行角度αは、光ビーム
ＬＯの入射角度βと透明平行板Ｐの屈折率によって決ま
る。従って、分光ビームの間隔Ｃは、光ビームＬＯの入
射角度βと透明平行板Ｐの屈折率と透明平行板Ｐの厚さ
ｔによって決定でき、また、該間隔Ｃと光ビームＬＯの
入射角度βと透明平行板Ｐの材質を決めれば、透明平行
板Ｐの厚さｔを決めることができるとともに、第１図（
ｂ）に示す微小寸法ｇを決めることができ、第。
１図（ｂ）に示すマルチコーティングプレートの製作条
件が全て整う、なお、全反射膜Ｍｎは、透明平行板Ｐの
Ｐｎ部分を全面塗り潰したものであっても良い、透明平
行板Ｐ ｎ＋１は、全反射膜Ｍｎの保護にために重ねら
れることが好ましい、このようにすると、反射膜Ｍ１〜
Ｍｎは、全て内部の重ね面に位置することになり、取扱
いに愛して透明平行板Ｐ１の前面と透明平行板Ｐ ｎ＋
１の後面を汚した場合、拭き取りができる。
件が全て整う、なお、全反射膜Ｍｎは、透明平行板Ｐの
Ｐｎ部分を全面塗り潰したものであっても良い、透明平
行板Ｐ ｎ＋１は、全反射膜Ｍｎの保護にために重ねら
れることが好ましい、このようにすると、反射膜Ｍ１〜
Ｍｎは、全て内部の重ね面に位置することになり、取扱
いに愛して透明平行板Ｐ１の前面と透明平行板Ｐ ｎ＋
１の後面を汚した場合、拭き取りができる。
第二実施例に係る第２図（ａ）の光ビーム分割器は、第
２１図（ｂ）に示すように半反射膜Ｍｌ、Ｍ２゜Ｍ３．
・・Ｍｎ−１と全反射膜Ｍｒ＋が、第二実施例とは相違
している。半反射膜Ｍ１〜Ｍ ｎ −１は、それぞれ矩
形にコーチ−ティングされ、かつ、第一実施例と同様に
、半反射膜Ｍ１と半反射膜Ｍ２ 、半反射膜Ｍ２と半
反射膜Ｍ３ 、・・・・、半反射膜Ｍｎ−２と半反射膜
Ｍｎ−１は、それぞれ微小寸法ｇだけずれてコーティン
グされる。全反射膜Ｍｎは、透明平行板ＰのＰｎ部分を
ほぼ全面塗り潰しである。
２１図（ｂ）に示すように半反射膜Ｍｌ、Ｍ２゜Ｍ３．
・・Ｍｎ−１と全反射膜Ｍｒ＋が、第二実施例とは相違
している。半反射膜Ｍ１〜Ｍ ｎ −１は、それぞれ矩
形にコーチ−ティングされ、かつ、第一実施例と同様に
、半反射膜Ｍ１と半反射膜Ｍ２ 、半反射膜Ｍ２と半
反射膜Ｍ３ 、・・・・、半反射膜Ｍｎ−２と半反射膜
Ｍｎ−１は、それぞれ微小寸法ｇだけずれてコーティン
グされる。全反射膜Ｍｎは、透明平行板ＰのＰｎ部分を
ほぼ全面塗り潰しである。
［発明の効果］
以上説明してきたように、本願発明の光ビーム分割器に
よれば、 （１）光量が等しくなるようにビーム分割し得る。
よれば、 （１）光量が等しくなるようにビーム分割し得る。
（２）半反射膜をそれぞれ大きくコーティングすること
が可能であり、もって正確な反射率の半反射膜の形成が
容易である。
が可能であり、もって正確な反射率の半反射膜の形成が
容易である。
（３）広い設置スペースを必要としない。
第１図（ａ）は、本願発明の光ビーム分割器の第一実施
例にかかる側面図であり、第１図（ｂ）は、同上の光ビ
ーム分割器を製作するためのマルチコーティングプレー
トの裏面図である。第２図（ａ）は、本願発明の光ビー
ム分割器の第二実施例にかかる側面図であり、第２図（
ｂ）は、同上の光ビーム分割器を製作するためのマルチ
コーティングプレートの裏面図である。 ＰＩ、Ｐ２．Ｐ３．＊ ｅ Ｐｎ−１，Ｐｎ、Ｐｎ＋１
ｍ ＋１ ＠透明平行板、 Ｍｌ、Ｍ２．Ｍ３． ＊ ＊ Ｍｎ−２，Ｍｎ−１ｍ
ｍ ｍ半反射膜、Ｍｎ ・・φ全反射膜、 ＬＯ・・Φ光ビーム、
例にかかる側面図であり、第１図（ｂ）は、同上の光ビ
ーム分割器を製作するためのマルチコーティングプレー
トの裏面図である。第２図（ａ）は、本願発明の光ビー
ム分割器の第二実施例にかかる側面図であり、第２図（
ｂ）は、同上の光ビーム分割器を製作するためのマルチ
コーティングプレートの裏面図である。 ＰＩ、Ｐ２．Ｐ３．＊ ｅ Ｐｎ−１，Ｐｎ、Ｐｎ＋１
ｍ ＋１ ＠透明平行板、 Ｍｌ、Ｍ２．Ｍ３． ＊ ＊ Ｍｎ−２，Ｍｎ−１ｍ
ｍ ｍ半反射膜、Ｍｎ ・・φ全反射膜、 ＬＯ・・Φ光ビーム、
Claims (1)
- 厚さが高精度に均一な所要枚数ｎの透明平行板が重ねら
れ、これら透明平行板の中、光ビームの入射側より見て
一番背後の透明平行板の背面には全反射膜がコーティン
グされ、また他の全ての透明平行板の背面にはそれぞれ
反射率が１／ｎ、１／（ｎ−１）、１／（ｎ−２）、１
／（ｎ−３）、・・・１／４、１／３、１／２というよ
うな数列で次第に大きくなるように異なる半反射膜がコ
ーティングされ、これらコーティングされた全反射膜と
半反射膜のコーティング領域が、透明平行板の内部を斜
目に進行する光ビームが照射される斜目配列に位置され
、かつ、入射する光ビームが各半反射膜での一部反射と
全反射膜での全反射により光度が均等で透明平行板の数
と同じ本数の分光ビームとなり、各分光ビームが前方の
半反射膜に突当ることなく最初入射してきた光ビームの
側へ平行に放射するようになっていることを特徴とする
光ビーム分割器。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63118659A JPH01287622A (ja) | 1988-05-16 | 1988-05-16 | 光ビーム分割器 |
| EP19880311008 EP0342292A3 (en) | 1988-05-16 | 1988-11-21 | An optical beam splitter |
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