JPH01288511A - 精密位置合せ装置 - Google Patents

精密位置合せ装置

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Publication number
JPH01288511A
JPH01288511A JP63304309A JP30430988A JPH01288511A JP H01288511 A JPH01288511 A JP H01288511A JP 63304309 A JP63304309 A JP 63304309A JP 30430988 A JP30430988 A JP 30430988A JP H01288511 A JPH01288511 A JP H01288511A
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JP
Japan
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shuttle
notch
axis
pin
along
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Application number
JP63304309A
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English (en)
Inventor
William M Volna
ウィリアム エム.ブォルナ
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MICRO COMPONENT TECHNOL Inc
Original Assignee
MICRO COMPONENT TECHNOL Inc
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Publication date
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Publication of JPH01288511A publication Critical patent/JPH01288511A/ja
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10PGENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/50Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for positioning, orientation or alignment

Landscapes

  • Special Conveying (AREA)
  • Control Of Conveyors (AREA)
  • Chutes (AREA)
  • Transmission Devices (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は広範囲には1つの構成部材を他の部材に対して
正確に位置合せ(alignment)或は位置決め(
registration)を行わせる装置の分野に関
するものである。例えば本発明は1つ又はそれ以上のシ
ュー) (chutes)と交叉して横方向に動くよう
に配置されている移動搬送体(shuttle 、以下
単にシャトルと云う)をそれが通過するそれぞれのシュ
ートと極めて正確に位置合せするための集積回路素子取
扱い器のような装置に採用するのに適合せしめられてい
る。
このような応用において、本発明は第1のシャトルを複
数の挿入シュートの各々と位置合せし、又第2のシャI
・ルを複数の排出シュートの各々と位置合せするために
使用されることも出来る。
〔従来の技術〕
従来、多数の集積回路素子取り扱い器が知られている。
かかる取り扱い器(handier)はデュアルインラ
インパッケージ(DIPs)、小輪郭集積回路(SOI
C,small−outline integrate
d circuit)素子及びプラスチック製無鉛チッ
プキャリヤー(PLCC)素子等の集積回路素子を代表
的には複数のシュートを有した供給トレイから受け取り
、それをテスト領域まで移送するために、該素子の1つ
を選び出しくsingulate)、テストされた素子
を区分けしそしてそれを区分けに従って排出シュート或
は棚(bin)に分配するものである。
これ等の集積回路のうちの多くのタイプのものは極めて
小さなものであり又相対的に大きなシャトル及び他の部
材によって取り出され又分配される。従って極めて精密
な寸法公差(close tolerance)が例え
ば挿入トレイシュートからの出口部分と交叉して横方向
に動くシャトルに要求される。
シャトルをシュートに対して非常に正確に位置合せや位
置決めすることがそれ故必要とされる。
正確な位置決めを実行する際の問題点はテスI・が−船
釣に行われる条件から発生する。
集積回路素子が最終的に取りつけられる装置において作
動する際の環境条件には高温度が含まれうる。従って集
積回路素子取り扱い器のテスト領域でそのような温度が
シュミレートされることは好ましいことであり、それに
よって、楽観的なテスト結果が得られる。
該取/)扱い器における極端な条件の故に、シャトルを
動かずために採用されている構造がシュートからの出口
部分においてシャトルが頼りにならない位置をとるとい
う結果を来すことがある。
例えば、上述した型の多くのシャトルは駆動モーターの
スリーブの周囲を移動するケーブルによって駆動されて
いる。しばしば、このケーブルは相対的に意味のある長
さをもっており、又それが高い温度にあてられた時にシ
ャトルと意図するシュートとが位置合せ不能となるよう
に長さにおいて相当伸びるような伸長係数を有している
その結果シュートとシャトルとの間で部品が渋滞し部品
を傷つけることになる。もしこの問題でテストされるべ
き部品の多くのものが損傷せしめられると金銭的な損失
が大きくなる。
〔発明が解決しようとする課題〕
本発明の目的はこれ等従来技術の欠点を解決しようとす
るものである。そして本発明の目的は例えばシャトルを
シュートと極めて正確に位置合せ及び位置決めを行わせ
るための装置を提供するものである。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は上記したような軸方向に沿って横方向に移動す
るシャトルをその軸に沿った位置でそのシャトルを位置
決めしたい位置に位置決めすることの出来る装置を提供
するものである。
そして該装置は、シャトルにより搬送される、傾斜状の
切り欠き部(tapered notch)を有するプ
レートを含んでいる。該切り欠き部は第1の軸に対して
全般的には直角となるように形成されている第2の軸を
またいでいる一組の斜傾壁端により形成されている。シ
ャトルが目的とする位置に接近した時にその正確な位置
合せや位置決めを確実するためにシャトルの位置を横方
向に調整する手段が設けられている。
かかる手段は第1の軸に沿って極めて正確な位置に固定
されており又円形筒状断面(circularly−c
y目ndrical cross−sectioned
)ピンのような手段が切り欠き部の中へ、又その切り欠
き部の頂点と係合するように第2の軸に沿って移動可能
となっている。
ピンのような手段の第1の軸に沿った正確な位置は、ピ
ンが切り欠き部の頂点(apex)に受け入れられた時
にシャトルが所望された処に正確に位置決めされるよう
に位置するよう設計されている。
代表的には、かかるシャトルは、それが移動する軸の方
向に、軌道に沿って移動するために配置されている。
本発明によれば、シャトルに、シャトルにより搬送され
るプレートに形成された切り欠き部にビンが導入される
側と反対のシャトルの側に設けた軌道に係合する1組の
トラックライダー(trackrider)を設けるこ
とが出来る。
代表的には該トランクライダーは、それに沿ってピンが
切り欠き部に入る、軸をはさむこともできる。
ピンが切り欠け部に入り、切り欠け部の頂部にかぶさる
時にシャトルはシュートと正確に位置決めされるばかり
でなく、従ってシャ(・ルは、シュートの下方を通過す
る素子の通路がシュートとシャトルを通して直線状に連
続するように、シャトルが形成されている1〜レイと位
置合せされることになる。
即ち、シャトルの通路はシュートの通路に関して傾くこ
とはない。
好ましい具体例としては、位置合せピンは、シャトルが
それに沿って移動する軸に並行に延長された軸を有する
シャフトに設けられている。
切り欠け部に対するピンの挿入は、ピンを該切り欠け部
に入れさせるためシャフトを回転することにより実行さ
れる。
該ピンは基幹部分とそれが塔載されているシャフトと関
連した先端部分とを有しうるちのであることが好ましい
このような場合、基幹部分はそれが取りイ」けられてい
るシャフトの内で選択的同心状回転(selectiv
econcentric rotation)を行うた
めに設けられている。該先端部分(distal po
rtion)は基幹部分に関して偏心的に形成されてお
り従って基幹部分が回転する時に、シャトルがそれに沿
って移動する軸と並行な軸に沿って、先端部分の位置が
選択的に変化せしめられうる。
前述したように、シャトルの横方向移動のための代表的
な方法はシャトル上のある点に固定されたケーブルを採
用する方法である。
ケーブルは駆動モーターにより順次駆動される。
駆動モーター、ケーブル及びシャトルの間は実質的に固
定された連結を形成している故に、本発明に係るシャト
ルの位置合せの調整はシャI−ルに沿ってモーターに過
負荷(drag)を与える傾向となるであろう。
それ故、モーターに影響を与えることなくその意図して
いる場所にシャトルを微調整することを可能とするよう
な手段がシャトル内に設けられることが予定されている
かかる手段は、ケーブルと一体的になっており、かつ、
シャトルの中に形成されていて、シャトルが移動する軸
方向に沿って延長されている空胴部の中に受け入れられ
ている担体(carriage)を含むことが出来る。
該担体は、第1の軸に関連してシャトルとの関係におい
て定められた位置に通常は維持されている。然しなから
スプリングのような手段を、シャトルの横方向の位置が
、該プレートに形成された切り欠き部にピンが挿入され
た結果として調整された時に、シャトルに対する担体の
相対的位置の変化を可能とするように設けることが出来
る。本発明はこのように、例えば集積回路素子を搬送す
るトレイにおけるシュートに対してシャトルを正確に位
置合せ及び位置決めを行わせるための改良された装置に
関するものである。
より特別な特徴とこれ等の特徴の観点から得られる利点
は以下に述べる詳細な説明と図面からより明らかとなろ
う。
〔実施例〕 第1図は集積回路素子(図示せず)がその下を通過する
複数の軌道(図示せず)を有った集積回路素子取り扱い
器において代表的に使用されるような供給トレイ(in
put tray)  20を示している。
下方枠体22が主たるトレイ組立体20から離れて設け
られ、又該主組立体20と該下方枠体22とはその間に
チャネル24を形成している。
チャネル24の各々の内側に向き合った縁部には軌道2
6が設けられており、又該チャネル24内に受け入れら
れているシャトル28にはトラックライダー30.30
’が設けられており、該トラックライダーは該軌道26
と係合しかつ該軌道に沿って係合している。
シャトル28は軌道26に沿って形成される軸に沿って
移動するように設けられている。シャトル28に接合さ
れているケーブル32は溝(チャネル)24の一端部に
おいて駆動モーター38の軸36に設けられているスリ
ーブ34を周廻して延長されている。
他の端部においては、該ケーブル32はアイドルスリー
ブ40のまわりに延展されている。
該ケーブルの一方向における流れ(run)は溝24を
介して通過しそしてシャトル28を通して延び、該ケー
ブルの他方向への流れは溝24の外側の通路に沿って延
びている。
同図から判るように、モーター38を励起すると駆動軸
36が回転しそれに対応してそれに接合されているスリ
ーブ34が回転する。
該スリーブ34の回転は次で溝24にまたがっている軌
道26に沿ったシャトル2Bの直線的運動に変換される
溝24の深さは、その表面から突出した少くとも1つの
ピン44を有するシャフト42がシャトル28の通路の
下方に受け入れられるに十分なものである。該シャフト
42は任意の適当な手段によってその位置に軸支されて
いる。(第1図には図示されていない)このシャフト4
2は次で連結具50及び第5図及び第6図に関連して以
後に述べるねしれクラッチ(torsion clut
ch) 52によって第2モーター48の駆動軸46と
連結される。
いづれの場合においても、モーター48の回転運動は溝
24内に設けられたシャフト42に間接的に伝達される
ということだけ言及しておく。
シャトル28はシャトル28の下側面に設けられた従属
プレート54を有している。
該プレート54はその中に形成された一対の指状部56
を持っておりその一対の指状部56の内側に向い合った
端縁部58は傾斜した切り欠き部60を形成している。
上述したように、前記で説明したシャトル28の下方の
溝24内に配置されているシャフト42は放射状に突出
している複数のピン44を有している。第4図はかかる
ピン44を示している。
同図から判るように、ピン44は基幹部62と軸方向に
延長された先端部64とを含んでいる。
先端部分64は第4図に示されるように基幹部分62に
関して偏心的に設けられている。
第4図は外表面にねし溝が切られているピン44の基幹
部分62を示している。
第3図に示すように、シャフト42はピン44を受け入
れる内面にねし溝が設けられている孔部を有している。
第3図はピン44が挿入されている孔部内での該ピン4
4の回転が、ピン44の基幹部62に関係して成る角度
をもっているシャフト42における孔を介してピン44
のねじ溝と係合するセントネジ66の手段によって、押
えられている中実シャフト(solid 5haft 
42)を示している。
然しなから、他の具体例も特別に考慮されるということ
は理解されるであろう。他の具体例においては、シャフ
ト42は分岐されたものであって、スクリューは軸方向
に離れた多数の位置で2つの分離された部分を互に所有
している。2つに分離された部分を互に緊密に締めつけ
ることにより、ピン或は複数のピンの回転は防止される
開示された図から判るように、ピン44の回転はシャフ
ト42の軸に沿った方向においてピンの先端の位置を調
整する。かかる特徴が出る理由は以下に述べる。
第2図はシャフト42がトレイの枠の側壁68に軸支さ
れる方法が示されている。
公知技術として知られている構造をもつ一対の予め設け
られたスラストヘアリング70がこの目的のために使用
される。該各ヘアリング70の1つは対応する該側壁6
8に軸支される位置における、各シャフト42の軸端に
設けられる。
従って、シャフト42は溝24内においては固定された
軸位置に維持され、又溝24内におけるシャフト42の
軸方向の移動は妨げられる。
第1図及び第2図は、シャフト42から放射状に突出し
た複数のピン44を示しており、これ等のピン44はト
レイ20におけるシュートに関連する正に望ましい位置
に配置されている。
−たん、位置決めがなされると、軸方向におけるシャフ
ト42の移動がないことから、その状態は維持されうる
操作に当っては、第1モーター38は解放されるべき素
子を有するシュートの正確な位置にシャトル28を進め
るために作動される。
解放されるべき素子の存在を検出するために光学系(図
示せず)が採用されうる。
シャトル28のかかる機能を実行するためにモーター3
8を正確な量、進ませるだめの処理手段(図示せず)が
使用される。
然しなから、いかに優れた電子装置を用いたとしても、
十分に正確な位置決めは一般的には実行されえない。こ
のことは必要な寸法公差の見地からして特に明らかであ
る。
然しなから、素子がテストされる時の操作環境をシュミ
レートするために取り扱い器が加熱されるその温度によ
って状況は更に悪化する。
それ故に、モーター38のステッピングを実行するため
に採用される電子装置は完全な正確さより悪くなる。更
に前述したように、温度が駆動ケ−プル32の伸長或は
収縮に影響を与えることになり不正確さを生ずるもので
ある。然しなからいかなる場合であっても、電子装置と
ケーブル32の双方とも、シャトル28を意図している
位置に近接して位置決めを行うに十分な程度の信転性を
有するものである。
シャフト42により担持されているピン44はシャ1〜
ル28の決められた位置に対する中心に極めて近接した
位置に配置されている。
あるケースにおいては、ピン44の位置を変化させるこ
とが必要となるであろうし、又このことは必要なピンを
それが挿入されているシャフト42における孔部内で回
転させることにより実行されうる。
前に述べた通り、基幹部62に関連したピン44の先端
部分64の偏心が、ピン44を有するシャツi・に沿っ
た先端部分64の軸方向における明確な移動を許容する
であろう。
かかる方法において、ピン44は、その先端部分64が
、シャトル28がそれ等と共に位置決めされるべき多数
のシュートと必要でかつ正確な位置合せ及び位置決めを
行わせるために、その先端部分64が正に所望される位
置に配置されるように位置決めされることが出来る。
第8図から第11図から判るように、シャフト42の回
転は、シャトル28が意図される位置に極めて近い位置
にある場合には対応するピン44の先端部分64がシャ
トルプレート54に形成された切り欠け部60に挿入さ
れるという結果となる。
予想しうるように、ピンの先端部分64は該切り欠け部
60と正確に位置合せが行われ又ピン44はシャトル2
8を一方向或は他の方向に駆動させるいかなる傾向も有
していない。
切り欠け部60に関連するピン44の位置決めと共にシ
ャトル28はシュートと正確な位置決め状態におかれる
ことが確認されるであろう。
第9図はシャトル28が記号δで表わされる量だけずれ
て配置された状態を示している。
かかる不適正配置が生じた場合には、特定のピン/14
は、回転に対してピン44を保持しているセットネジ6
6或は把持手段を解放した後に、ピン44が設けられて
いるシャフト42に沿ったピンの先端部分64の軸方向
位置を調整するため回転せしめられる。
一旦、ピン先端部64、切り欠き部60、シャトル開口
部及びシュートの間の対応関係が達成されると、ピン4
4は再びその場所にロックされる第10図は調整後のピ
ン44の位置を示すものであり誤差δは消失している。
一旦、望ましい調整が完成されると、装置は操作される
ようになり、そしてシャトルプレート54に形成された
切り欠け部60の中にピン44を挿入する操作を実行す
るためシャフト42の回転が、対応するシュートに対し
てシャトル28を正確に位置決めすることを行う。
もしシャトル28が適正な位置にない時には、ピンの先
端部分64が先ず切り欠け部60の側縁部58の1つと
係合しそしてピン44が回転され続ジノるので、シャト
ル28は、ピンの先端部分64が切り欠き部60と対称
となるまで一方向に駆動される 一旦対称状態が形成されると、位置合せが行われる。
この点についての説明から得られるように、ピン先端部
64の直径は、頂部よりも大きいが切り欠け部60に対
する入口より小さくなければならない。
デイメンジョンの対応によって、ピン44は切り欠け部
60に入ることが出来るが頂部(apex)には達しえ
ない。もしピン44が完全に切り欠け部60の中に入る
ことが出来るとすると、(例えばもしピンの直径が、頂
部における切り欠け部60の幅より相当に小さい場合)
ピン44は切り欠け部60をピンに対し対称的になすこ
とが不可能となることから位置合せ及び位置決めは実行
されえない。第11図は、本装置について多数回の操作
が行われた後に生ずる状況を示している。
数百ガロもの操作の後では、切り欠け部60を形成して
いる内面縁部58及びピン44の先端部分64についで
ある量の侵食が存在する傾向がある。
シャトル28を位置合せ及び位置決めする該機構の能力
は然しなから減少しない。
ピン44ば、位置合せが行われる時に、切り欠け部60
の中に単により深く受け入れられるであろう。
推測によれば、数十億回、或はおそらくは数兆回の操作
の後では、ピン44と切り欠け部60との間における関
係は位置合せが実行出来ないような状態となるであろう
然しなから、その時点において、取り扱い器はおそらく
は、機能が停止して以来長期間がたているものと思われ
る。
予想する処では、操作がくり返される時に摩耗が生ずる
ので、切り欠け部60の1方の縁部58或はピン44の
一方の側はピン44の他の側或は切り欠け部60の他の
側よりもより大きな程度に摩耗されているであろう。
その結果、実行された位置合せは正確さに劣るものとな
る。然るにピン44の先端部分の偏心を単に調整するこ
とによって、この状態が修正されることになる。
前述したように、シャトル28の一方の側は二重のトラ
ックライダー30が設けられても良い。
これ等のトラックライダー30は第1図と第8図に明ら
かに示されている。これ等のトラックライダー30は切
り欠け部60にピン44が挿入される方向と反対側のシ
ャトルの側部に設けられている。
ピン44が切り欠け部60に入ると、シャトル28が正
確に位置合せと位置決めされるばかりでなく、それによ
って、ピン44は、2つのトラックライダー30をそれ
等が協動せしめられているレール26と強く係合するよ
うに駆動するための力をシャトル28上に発生させる。
従って、シャトル28はレール26に関連して一致せし
められそれにより、シャトル28に入る素子の通路がそ
の長さ全体に亘って直線状となる。
即ち、シャトル28の通路の部分はシュートにより形成
される通路の部分に関して傾斜セしめられることがない
第12図はシャトル28が、モーター38を過負荷(d
ragging)することなく正確な位置合せが実行さ
れた時に、僅かに移動することが出来るように採用され
ている機構を示している。
空胴部72がシャ1〜ル28が移動する軸方向に沿って
該シャトル28の中を通して伸びている。
該空胴部72は一端が他端よりも僅かに大きくなってお
りそれによって肩部74が形成されている。スリーブシ
リンダー76が空胴部72の大きな部分から挿入され該
肩部74に当接されている。
スナップリング保持具(snapring retai
ner)  7 Bは直接的或は間接的に、第1のスプ
リングコイル80の一方の端部と係合するよう作動して
いる。
コイルスプリング80はケーブル32の一端部が取りイ
」けられているカー1〜リツジ82の一端部を取り巻い
ている。該スナップリング保持具78は、カートリッジ
82がその孔部を通過するように適合される十分な大き
さの孔部をその中央部に持つている。
スリーブシリンダー76はその反対側端部にピストン8
4を有しておりそれは第1のコイルスプリング80の他
の端部と係合している。
それに加えて、ピストン84はカー1−リッジ82に関
して軸方向に固定されておりそれ故ピストン84が移動
される時カートリッジ82も又動かされる。
反対に、カートリッジ82が一方向に引かれる時、ピス
トン84も又動かされるということが云える。
第12図に見られるように、スリーブシリンダー76の
左側の端部には内方向に延長された同心円状のフランジ
86が設けられている。
第2のコイルスプリング8日が空胴部72の中に挿入さ
れており第1の端部はこのフランジ86と係合せしめら
れている。その後ギーパー90がこのコイルスプリング
88の他の端部と係合するために挿入されている。キー
パ−90は第2のスナップリング29によってその場所
に保持されている。
該スナップリング92とキーパ−90には、カートリッ
ジ82がそれを介して通過することを許容するため中央
部の孔が設けられている。
ケーブルの第2の端部はカー1〜リツジ82のこの端部
に取り付けられている。(第12図でみて左端) もしシャトル28が右方向へ移動すると、第12図に示
されるように、正確な位置合せの結果として、カートリ
ッジ82がその元の位置に依然として留めおかれうるで
あろうし、左側のコイルスプリング88はこの相対的動
きを調整するために圧縮される。−旦ビン44がシャト
ル28により担持されているプレート54における切り
欠け部60から取り除かれると、コイルスプリング88
は伸長してシャトル28とカートリッジ82を前の相対
的関係位置に復帰させる。
もしシャトル28が左方向に移動せしめられると、第1
2図に示されるように、切り欠け部60にピン44が挿
入される見地からカートリッジ82は再びその元にあっ
た位置を維持することが可能とされ、右側のコイルスプ
リング8oがこの相対的動きに対応して圧縮される。こ
こで再び一旦ピン44が切り欠け部60から取り除かれ
るとコイルスプリング80は伸長してシャ1ヘル28と
カートリッジ82をもとの相対的位置にまで復帰させる
然しなから、シャトル28が両方向に引かれる場合にお
いては、カートリッジ82はその現実の位置に留まるで
あろう。従って、モーター38に負荷されるトラグ(過
負荷dray)は生じない。
カートリッジ82に関係したシャトル28の一方向の動
きにおけるスプリングの作用は総合的には他の方向にお
りるスプリングの作用とは独立である。
第5図と第6図を参照すれば、ねじれクラッチ52が詳
細に示されている。
ねじれクラッチ(torsion clutch) 5
2は、第12図に関連して説明した組立体が第1のモー
ター38によって負荷される直線的動きと関連して作用
するのと同じように、第2のモーター48によりシャフ
ト42に与えられる回転運動に関連した目的のために作
用する。
第6図から判るように、モーター48から延長されたシ
ャフトば非連続的である。つまり、シャツ1〜はねじれ
クラッチ52の内で分離されている。
ピン44が完全に切り欠Gノ部60の中に入っているの
で、誘起されようとするが実行されることが出来ないモ
ーター48の回転はクラッチ52によって吸収される。
ねじれスプリング94ば、モーター42とピン44が放
射状に突出しているシャフト42との接合端の周辺をと
りまいている。スプリング94の一方の端部はモーター
シャツ1へに取り付iJられている部材98により担持
されている周縁肩部96(circumferenti
al 5houlder)に係合している。
(代表的にはセットスクリュー100によるものである
。) スプリング94の他の端部はピン44が放射状に突出し
ているシャフト42に取り付けられた他の部材104に
担持された他の周縁肩部102と係合している。(代表
的にはセントスクリュー106)スプリング94はシャ
フトを相対的な関係にある1つの位置に維持する傾向が
ある。
回転はモーター48により誘発され、又スプリング94
により負荷されるねじれは打ち負かされる。
ピン44が切り欠け部60の頂部に達した後においても
回転を行おうと依然として試みているモーター48によ
るねじれはスプリング94によって吸収される。
ピン44が切り欠け部60の頂部と係合した後での相対
的な回転を除去するためにストップ108を設けること
が出来る。
ねじれクラッチ52によるねじれの吸収量は従って制限
される。
本明細書によりカバーされる発明の多くの特徴と利点は
上述した説明で明らかになった。然しなからこれ等の説
明は多くの点において単なる一例として示されたもので
あることを理解すべきであ本発明の範囲を逸脱すること
な(細部においてなされる変更、特に、形状、寸法及び
部品の配列等における変更は当然有りうろことである。
【図面の簡単な説明】
第1図は集積回路素子がその下向を通過するシュートを
持った1−レイと組合された本発明に用いられるシャ1
ヘルについての斜視図である。 第2図は第1図の矢印2−2線に沿って見た断面図であ
る。 第3図は第2図の矢印3−3線に沿って見た断面図であ
る。 第4図は本発明における機能を発揮するためのピンの詳
細な斜視図である。 第5図は第1図の矢印5−5線に沿って見た断面図であ
る。 第6図は第5図の矢印6−6線に沿って見た断面図であ
る。 第7図は第1図の矢印7−7線に沿って見た断面図であ
る。 第8図は、第7図の矢印8−8線に沿って見た補助的な
上部平面図である。 第9図は第8図に示される構造の詳細拡大図である。 第10図は他の選択可能な位置における要素についての
第9図と同じ図である 第11図は第10図と同じ図であって摩耗した状態にお
りる要素を示すものである。 第12図は第7図の矢印12−1.2に沿って見た補助
的上部平面断面図である。 20ニドレイ    22:下方枠体 24;チャネル、溝 26:軌道 28;シャトル 30、30’  : )ラックライダー32:ケーブル
   34,40ニスリーブ38.48  :モーター
  42,46  :シャフト44:ピン     5
0:連結具 54:シャトルプレート 52:ねじれクラッチ 60:切り欠き部  62:ピンの基幹部(3]) 64;先端部分   66:セントねじ72:空胴部 
   74:肩部 76:スリーブシリンダー 80:第1のコイルスプリング 88:第2のコイルスプリング

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、a)シャトルにより担持される部材であって、該部
    材はその内に傾斜状の切り欠け部を有しており、該切り
    欠け部は一般的には第1の軸と直角な第2の軸にまたが
    っている一対の壁状端部により形成されている部材、 b)第1の軸に沿った位置に固定され、かつシャトルの
    位置を横方向に調整するため、切り欠け部に移動しそし
    て該切り欠け部の頂部に係合するように、該切り欠け部
    内で第2の軸方向に沿って移動可能な手段、 から構成されたものであり更に、 c)該横方向の調整手段が固定される第1の軸に沿った
    位置は、該横方向の調整手段が該切り欠け部の頂部に受
    け入れられた時に該シャトルがその停止位置に正確に位
    置決めされるような位置であることを特徴とする、第1
    の軸に沿って横方向に移動可能なシャトルを停止される
    べき位置に正確に位置決めするための装置。 2、第1の軸に沿ってシャトルは軌道に係合しており、
    該シャトルは更に該シャトルの、該切り欠け部に該横方
    向調整手段が挿入されかつ該切り欠け部の頂部が第1の
    軸に沿う方向に拡がっている側とは反対の側から延展さ
    れている一組のトラックライダーを含んでいることを特
    徴とする請求項1記載の装置。 3、該横方向調整手段は全体的に円形筒状断面形状をも
    ったピンを含むことを特徴とする請求項1記載の装置。 4、該ピンは第1の軸に対して全体的に並行の軸に関し
    て回転されかつ該切り欠き部に挿入されうるように配置
    されていることを特徴とする請求項3記載の装置。 5、該ピンは基幹部分と、基幹部分に対して偏心してお
    り該切り欠け部に挿入される先端部分とを含んでおり、
    該基幹部分は軸に関して選択的な同心的回転のために配
    置されており、更に、該基幹部分が回転する時に第1の
    軸に沿った該先端部分の位置が変化せしめられることを
    特徴とする請求項3記載の装置。 6、シャトルはシャトルに接合されたケーブルによって
    第1の軸に沿って移動せしめられ、該ケーブルは駆動モ
    ーターにより駆動されるものであって、該装置は更にケ
    ーブルを介して駆動モーターに該調整動作を伝達するこ
    となしにシャトルの正確な位置決めを実行するためのシ
    ャトルの横方向調整を可能とする手段を含んでいること
    を特徴とする請求項1記載の装置。 7、シャトルは第1の軸に沿って延びている空胴部をそ
    の中に有しており、そして更に、該調整可能手段は、 a)ケーブルと接合され、該空胴部内に受け入れられて
    おり、通常は第1の軸に関連して、シャトルに関して形
    成された位置に維持されているカートリッジと b)シャトルの横方向の位置が該横方向調整手段が該切
    り欠け部に挿入された結果として調整された時に、シャ
    トルに関する該カートリッジの第1の軸に関係する位置
    の変化を可能とする手段を含んでいることを特徴とする
    請求項6記載の装置。
JP63304309A 1987-12-02 1988-12-02 精密位置合せ装置 Pending JPH01288511A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/127,444 US4867296A (en) 1987-12-02 1987-12-02 Precision alignment device
US127444 1987-12-02

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH01288511A true JPH01288511A (ja) 1989-11-20

Family

ID=22430148

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63304309A Pending JPH01288511A (ja) 1987-12-02 1988-12-02 精密位置合せ装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4867296A (ja)
EP (1) EP0319433A3 (ja)
JP (1) JPH01288511A (ja)

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Also Published As

Publication number Publication date
EP0319433A3 (en) 1990-12-12
US4867296A (en) 1989-09-19
EP0319433A2 (en) 1989-06-07

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