JPH0649546Y2 - Icハンドラのic個別化機構 - Google Patents
Icハンドラのic個別化機構Info
- Publication number
- JPH0649546Y2 JPH0649546Y2 JP1985146187U JP14618785U JPH0649546Y2 JP H0649546 Y2 JPH0649546 Y2 JP H0649546Y2 JP 1985146187 U JP1985146187 U JP 1985146187U JP 14618785 U JP14618785 U JP 14618785U JP H0649546 Y2 JPH0649546 Y2 JP H0649546Y2
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- Japan
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- chute
- supply chute
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- upstream supply
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- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 50
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Special Conveying (AREA)
- Branching, Merging, And Special Transfer Between Conveyors (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、ICをローダより個別化して測定部に供給して
ICの電気的特性をチェックし、その特性別に分類してア
ンローダに収納するICハンドラに係り、特に上流側供給
シュートより下流側供給シュートへICを個別化(1個ず
つに)して滑落するためのIC個別化機構に関する。
ICの電気的特性をチェックし、その特性別に分類してア
ンローダに収納するICハンドラに係り、特に上流側供給
シュートより下流側供給シュートへICを個別化(1個ず
つに)して滑落するためのIC個別化機構に関する。
一般にIC1の前面、側面及び後面には製造過程で発生す
るバリ13(第4,5図参照)が突出しており、このようなI
C1を個別化して測定部14(第3図参照)に送る場合、IC
同志のバリ13が干渉し合い、個別化ミスを生じるもので
ある。
るバリ13(第4,5図参照)が突出しており、このようなI
C1を個別化して測定部14(第3図参照)に送る場合、IC
同志のバリ13が干渉し合い、個別化ミスを生じるもので
ある。
そこで、従来のIC個別化機構は、第4,5図示のように供
給シュート15のレール面16に段差17を設け、回動動作で
この段差17から突出するキッカー19をレール面16の下方
に回転軸18で枢設し、このキッカー19を回動させて段差
17に嵌まり込んだIC1の後端をたたいてIC1を強制的に送
り出すようにしていた。
給シュート15のレール面16に段差17を設け、回動動作で
この段差17から突出するキッカー19をレール面16の下方
に回転軸18で枢設し、このキッカー19を回動させて段差
17に嵌まり込んだIC1の後端をたたいてIC1を強制的に送
り出すようにしていた。
しかしながら、上記従来機構においては、第5図示のよ
うに先頭のIC1の後面のバリ13が次のIC1の前面のバリ13
上に乗り上げて宙に浮いてしまい、段差17に嵌まり込ま
ないような現象が生ずることがあり、かかる場合、キッ
カー19を回動させても空振りに終わり、供給シュート15
内でIC1が詰まってしまい、IC1の個別化ができないとい
う問題点があった。
うに先頭のIC1の後面のバリ13が次のIC1の前面のバリ13
上に乗り上げて宙に浮いてしまい、段差17に嵌まり込ま
ないような現象が生ずることがあり、かかる場合、キッ
カー19を回動させても空振りに終わり、供給シュート15
内でIC1が詰まってしまい、IC1の個別化ができないとい
う問題点があった。
本考案はかかる従来例の欠点に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、バリの影響を受けず、確実に
ICの個別化を行うことのできるICハンドラのIC個別化機
構を提供するにある。
その目的とするところは、バリの影響を受けず、確実に
ICの個別化を行うことのできるICハンドラのIC個別化機
構を提供するにある。
本考案機構は上記の問題点を解決し、上記の目的を達成
するため、第1,2図示のように多数のIC1が1列になって
滑落する上流側供給シュート2と、個別化されたIC1が
1個ずつ滑落する下流側供給シュート3とを所要角度に
配設し、この上流側,下流側供給シュート2,3間に先頭
のICと次番目のICのバリによる係合を回動動作で解除す
る回動シュート4を配設せしめ、この回動シュート4に
は当該回動シュート4の入口6及び出口8をそれぞれ上
流側供給シュート2の出口5及び下流側供給シュート3
の入口7に接続すべく回動する駆動部9を連結し、回動
シュート4が下流側供給シュート3に接続される時は回
動シュート4のIC通過路10から外れ、回動シュート4が
下流側供給シュート3より離れる時はIC通過路10内に突
出してIC1の滑落を防止するストッパ11を回動シュート
4に設けると共に、回動シュート4が上流側供給シュー
ト2に接続された後の時点から当該上流側供給シュート
2より離れる迄の間、上流側供給シュート2のIC通過路
10から外れ、回動シュート4が上流側供給シュート2よ
り離れた時点から次に上流側供給シュート2に接続され
る迄の間、上流側供給シュート2のIC通過路10内に突出
して次番目のIC1の背面を押圧するIC押さえピン12を上
流側供給シュート2の出口近傍に設けてなる構成とした
ものである。
するため、第1,2図示のように多数のIC1が1列になって
滑落する上流側供給シュート2と、個別化されたIC1が
1個ずつ滑落する下流側供給シュート3とを所要角度に
配設し、この上流側,下流側供給シュート2,3間に先頭
のICと次番目のICのバリによる係合を回動動作で解除す
る回動シュート4を配設せしめ、この回動シュート4に
は当該回動シュート4の入口6及び出口8をそれぞれ上
流側供給シュート2の出口5及び下流側供給シュート3
の入口7に接続すべく回動する駆動部9を連結し、回動
シュート4が下流側供給シュート3に接続される時は回
動シュート4のIC通過路10から外れ、回動シュート4が
下流側供給シュート3より離れる時はIC通過路10内に突
出してIC1の滑落を防止するストッパ11を回動シュート
4に設けると共に、回動シュート4が上流側供給シュー
ト2に接続された後の時点から当該上流側供給シュート
2より離れる迄の間、上流側供給シュート2のIC通過路
10から外れ、回動シュート4が上流側供給シュート2よ
り離れた時点から次に上流側供給シュート2に接続され
る迄の間、上流側供給シュート2のIC通過路10内に突出
して次番目のIC1の背面を押圧するIC押さえピン12を上
流側供給シュート2の出口近傍に設けてなる構成とした
ものである。
本考案IC個別化機構Aの上流側供給シュート2にIC1が
供給される時、回動シュート4の入口6は上流側供給シ
ュート2の出口5に接続されており、IC押さえピン12は
上流側供給シュート2のIC通過路10内より外れた状態に
ある一方、ストッパ11は回動シュート4のIC通過路10内
に突出した状態にある(第2図参照)。
供給される時、回動シュート4の入口6は上流側供給シ
ュート2の出口5に接続されており、IC押さえピン12は
上流側供給シュート2のIC通過路10内より外れた状態に
ある一方、ストッパ11は回動シュート4のIC通過路10内
に突出した状態にある(第2図参照)。
この状態で、IC1が上流側供給シュート2に供給される
と、IC1は当該シュート2内を1列になって滑落し、ス
トッパ11に衝突して停止する(第2図参照)。先頭のIC
1がストッパ11に衝突して停止すると、IC押さえピン12
が降下してつぎのIC19の背面を押圧する。
と、IC1は当該シュート2内を1列になって滑落し、ス
トッパ11に衝突して停止する(第2図参照)。先頭のIC
1がストッパ11に衝突して停止すると、IC押さえピン12
が降下してつぎのIC19の背面を押圧する。
この状態で第1図示のように駆動部9が作動して回動シ
ュート4を回動させ、当該回動シュート4の出口8を下
流側供給シュート3の入口7に接続する。この動きに合
わせてストッパ11をIC通過路10より外し、先頭のIC1を
自由にする。
ュート4を回動させ、当該回動シュート4の出口8を下
流側供給シュート3の入口7に接続する。この動きに合
わせてストッパ11をIC通過路10より外し、先頭のIC1を
自由にする。
また、このとき、たとえ先頭のIC1と次のIC1が互いのバ
リ13で係合していたとしても、回動シュート4の回動動
作で先頭のIC1が強制的に移動してバリ13の係合状態が
解かれることになり、先頭のIC1は完全に自由になるも
のである。
リ13で係合していたとしても、回動シュート4の回動動
作で先頭のIC1が強制的に移動してバリ13の係合状態が
解かれることになり、先頭のIC1は完全に自由になるも
のである。
このように自由になったIC1は下流側供給シュート3内
に滑落して行くことになる。先頭のIC1が滑落して回動
シュート4内にIC1がなくなると、駆動部9が逆方向に
作動して回動シュート4を逆方向に回動させ、当該回動
シュート4の入口6を再び上流側供給シュート2の出口
5に接続する。この時、ストッパ11を再びIC通過路10内
に突出させた状態にする。
に滑落して行くことになる。先頭のIC1が滑落して回動
シュート4内にIC1がなくなると、駆動部9が逆方向に
作動して回動シュート4を逆方向に回動させ、当該回動
シュート4の入口6を再び上流側供給シュート2の出口
5に接続する。この時、ストッパ11を再びIC通過路10内
に突出させた状態にする。
回動シュート4の入口6と上流側供給シュート2の出口
5の接続が完了すると、IC押さえピン12を上昇させてIC
1を自由にする。自由になったIC1の列は1個分滑落して
ストッパ11に衝突して停止する。
5の接続が完了すると、IC押さえピン12を上昇させてIC
1を自由にする。自由になったIC1の列は1個分滑落して
ストッパ11に衝突して停止する。
以下上述の動作が繰り返されて上流側供給シュート2に
滑落したIC1の列は個別化されて下流側供給シュート3
に滑落して行くものである。
滑落したIC1の列は個別化されて下流側供給シュート3
に滑落して行くものである。
まず、本考案機構を適用したICハンドラを第3図により
説明する。
説明する。
第3図において20は多数本のIC充填マガジン25を積載し
たローダ、26はIC供給装置、27は傾動アーム、2は上流
側供給シュート、Aは本考案によるIC個別化機構、3は
下流側供給シュート、14は測定部、21はアンローダ、22
はテストステーション、23は制御部で、24は各ブロック
を載置する架台である。
たローダ、26はIC供給装置、27は傾動アーム、2は上流
側供給シュート、Aは本考案によるIC個別化機構、3は
下流側供給シュート、14は測定部、21はアンローダ、22
はテストステーション、23は制御部で、24は各ブロック
を載置する架台である。
ローダ20に積載されたIC充填マガジン25は1本ずつIC供
給装置26に供給され、傾動アーム27に保持されて傾動さ
れると共に、上流側供給シュート2に接続される。上流
側供給シュート2にIC充填マガジン25が接続されると、
IC1が上流側供給シュート2内に滑入し、本考案個別化
機構Aにより1個ずつ個別化されたのち、測定部14に供
給される。
給装置26に供給され、傾動アーム27に保持されて傾動さ
れると共に、上流側供給シュート2に接続される。上流
側供給シュート2にIC充填マガジン25が接続されると、
IC1が上流側供給シュート2内に滑入し、本考案個別化
機構Aにより1個ずつ個別化されたのち、測定部14に供
給される。
測定部14に供給されたIC1はここでその電気的特性のチ
ェックを受けた後、特性別に分類されてアンローダ21の
空マガジン36内に収納されることになる。
ェックを受けた後、特性別に分類されてアンローダ21の
空マガジン36内に収納されることになる。
このようなICハンドラに適用した本考案機構Aの構成を
詳述する。
詳述する。
第1図は本考案機構の一実施例を構成する回動シュート
を下流側供給シュートに接続した状態を示す拡大断面
図、第2図は同じく回動シュートを上流側供給シュート
に接続した状態を示す拡大断面図である。
を下流側供給シュートに接続した状態を示す拡大断面
図、第2図は同じく回動シュートを上流側供給シュート
に接続した状態を示す拡大断面図である。
第1,2図において多数のIC1が1列になって滑落する上流
側供給シュート2と、個別化されたIC1が1個ずつ滑落
する下流側供給シュート3は所要角度に配設されてい
る。上流側供給シュート2の出口部分30は分割されてい
るが、分割されていなくてもよい。
側供給シュート2と、個別化されたIC1が1個ずつ滑落
する下流側供給シュート3は所要角度に配設されてい
る。上流側供給シュート2の出口部分30は分割されてい
るが、分割されていなくてもよい。
上流側供給シュート3の出口部分30と下流側供給シュー
ト3の間には回動シュート4が配設され、回動軸28に枢
支されている。9はこの回動シュート4のレバー部35に
連結した駆動部、例えば駆動シリンダである。
ト3の間には回動シュート4が配設され、回動軸28に枢
支されている。9はこの回動シュート4のレバー部35に
連結した駆動部、例えば駆動シリンダである。
上流側供給シュート2の出口部分30を構成する屋根部30
aの後端上部はレール部30bの後端面より上流側供給シュ
ート2の屋根部2aの上面側に突出しており、当該供給シ
ュート2の前端該とその出口部分30の後端側はそれらの
IC通過路10が合致するように嵌め合わされている。
aの後端上部はレール部30bの後端面より上流側供給シュ
ート2の屋根部2aの上面側に突出しており、当該供給シ
ュート2の前端該とその出口部分30の後端側はそれらの
IC通過路10が合致するように嵌め合わされている。
また、出口部分30を構成する屋根部30aの前端下部と、
前端上部はレール部30bの前端面より2段に突出し、こ
れに接続される回動シュート4を構成する屋根部4aの後
端面はレール部4bの後端面より引っ込んでおり、出口部
分30の出口5に回動シュート4の入口6が嵌め合わされ
て接続されたとき、それらのIC通過路10が合致するよう
に構成されている。
前端上部はレール部30bの前端面より2段に突出し、こ
れに接続される回動シュート4を構成する屋根部4aの後
端面はレール部4bの後端面より引っ込んでおり、出口部
分30の出口5に回動シュート4の入口6が嵌め合わされ
て接続されたとき、それらのIC通過路10が合致するよう
に構成されている。
11は回動シュート4の屋根部4aに穿設した通孔29に挿入
された位置決め用のストッパで、回動シュート4が下流
側供給シュート3に接続される時は、回動シュート4の
IC通過路10から外れ、回動シュート4が下流側供給シュ
ート3より離れる時は、IC通過路10内に突出してIC1の
滑落を防止するものである。ストッパ11の駆動部は図示
していない。
された位置決め用のストッパで、回動シュート4が下流
側供給シュート3に接続される時は、回動シュート4の
IC通過路10から外れ、回動シュート4が下流側供給シュ
ート3より離れる時は、IC通過路10内に突出してIC1の
滑落を防止するものである。ストッパ11の駆動部は図示
していない。
12は出口部分30の屋根部30aに穿設した通孔31に挿入さ
れたIC押さえピンで、回動シュート4が上流側供給シュ
ート2の出口部分30に接続された後の時点から当該出口
部分30より離れる迄の間、出口部分30のIC通過路10から
外れ、回動シュート4が同じく出口部分30より離れる時
点から次に出口部分30に接続される迄の間、IC通過路10
内に突出して次番目のIC1の背面を押圧するものであ
る。
れたIC押さえピンで、回動シュート4が上流側供給シュ
ート2の出口部分30に接続された後の時点から当該出口
部分30より離れる迄の間、出口部分30のIC通過路10から
外れ、回動シュート4が同じく出口部分30より離れる時
点から次に出口部分30に接続される迄の間、IC通過路10
内に突出して次番目のIC1の背面を押圧するものであ
る。
32はIC押さえピン12の駆動部で、そのねじ部33にIC押さ
えピン12が螺着されている。34はIC押さえピン12の高さ
を調整するための調整ナットである。
えピン12が螺着されている。34はIC押さえピン12の高さ
を調整するための調整ナットである。
以下本実施例の動作を説明する。
本考案IC個別化機構Aの上流側供給シュート2に傾動ア
ーム27よりIC1が供給される時、回動シュート4の入口
6は上流側供給シュート2の出口部分30の出口5に接続
されており、IC押さえピン12は上流側供給シュート2の
IC通過路10内より外れた状態にある一方、ストッパ11は
回動シュート4のIC通過路10内に突出した状態にある
(第2図参照)。
ーム27よりIC1が供給される時、回動シュート4の入口
6は上流側供給シュート2の出口部分30の出口5に接続
されており、IC押さえピン12は上流側供給シュート2の
IC通過路10内より外れた状態にある一方、ストッパ11は
回動シュート4のIC通過路10内に突出した状態にある
(第2図参照)。
この状態で、IC1が上流側供給シュート2に供給される
と、IC1は当該シュート2内を1列になって滑落し、ス
トッパ11に衝突して停止する(第2図参照)。先頭のIC
1がストッパ11に衝突して停止すると、IC押さえピン12
が降下して次のIC1の背面を押圧する。
と、IC1は当該シュート2内を1列になって滑落し、ス
トッパ11に衝突して停止する(第2図参照)。先頭のIC
1がストッパ11に衝突して停止すると、IC押さえピン12
が降下して次のIC1の背面を押圧する。
この状態で第1図示のように駆動シリンダ9が右方に作
動して回動シュート4を回動軸28を中心に時計方向に回
動させ、当該回動シュート4の出口8を下流側供給シュ
ート3の入口7に接続する。この動きに合わせてストッ
パ11をIC通過路10より外し、先頭のIC1を自由にする。
動して回動シュート4を回動軸28を中心に時計方向に回
動させ、当該回動シュート4の出口8を下流側供給シュ
ート3の入口7に接続する。この動きに合わせてストッ
パ11をIC通過路10より外し、先頭のIC1を自由にする。
また、このとき、たとえ先頭のIC1と次のIC1が互いのバ
リ13で係合していたとしても、回動シュート4の回動動
作で先頭のIC1が強制的に移動してバリ13の係合状態が
解かれることになり、先頭のIC1は完全に自由になるも
のである。
リ13で係合していたとしても、回動シュート4の回動動
作で先頭のIC1が強制的に移動してバリ13の係合状態が
解かれることになり、先頭のIC1は完全に自由になるも
のである。
このように自由になったIC1は下流側供給シュート3内
に滑落して行き測定部14に送られることになる。先頭の
IC1が滑落して回動シュート4内にIC1がなくなると、駆
動シリンダ9が左方に作動して回動シュート4を反時計
方向に回動させ、当該回動シュート4の入口6を再び上
流側供給シュート2の出口部分30の出口5に接続する。
この時、ストッパ11を再びIC通過路10内に突出させた状
態にする。
に滑落して行き測定部14に送られることになる。先頭の
IC1が滑落して回動シュート4内にIC1がなくなると、駆
動シリンダ9が左方に作動して回動シュート4を反時計
方向に回動させ、当該回動シュート4の入口6を再び上
流側供給シュート2の出口部分30の出口5に接続する。
この時、ストッパ11を再びIC通過路10内に突出させた状
態にする。
回動シュート4の入口6と上流側供給シュート2の出口
部分30の出口5の接続が完了すると、IC押さえピン12を
上昇させてIC1を自由にする。自由になったIC1の列は1
個滑落してストッパ11に衝突して停止する。
部分30の出口5の接続が完了すると、IC押さえピン12を
上昇させてIC1を自由にする。自由になったIC1の列は1
個滑落してストッパ11に衝突して停止する。
以下上述の動作が繰り返されて上流側供給シュート2に
滑落したIC1の列は個別化されて下流側供給シュート3
に滑落して行くものである。
滑落したIC1の列は個別化されて下流側供給シュート3
に滑落して行くものである。
上述のように本考案によれば、角度を違えて配設された
上流側供給シュート2と下流側供給シュート3との間に
回動シュート4を配設し、回動シュート4にストッパ11
を設け、上流側供給シュート2の出口近傍にIC押さえピ
ン12を設けてあるので、ICの個別化に当たって回動シュ
ート4を回動して上流側供給シュート2の出口5と下流
側供給シュート3の入口7に交互に接続することにな
り、先頭のIC1と次番目のIC1とがバリ13によって係合し
ていたとしても回動シュート4の切り替えにより先頭の
IC1が回動シュート4と共に強制的に回動させられて次
番目のIC1から外れることになり、従来のようにブリッ
ジ状態となることがなく個別化を確実に行えるという利
点がある。
上流側供給シュート2と下流側供給シュート3との間に
回動シュート4を配設し、回動シュート4にストッパ11
を設け、上流側供給シュート2の出口近傍にIC押さえピ
ン12を設けてあるので、ICの個別化に当たって回動シュ
ート4を回動して上流側供給シュート2の出口5と下流
側供給シュート3の入口7に交互に接続することにな
り、先頭のIC1と次番目のIC1とがバリ13によって係合し
ていたとしても回動シュート4の切り替えにより先頭の
IC1が回動シュート4と共に強制的に回動させられて次
番目のIC1から外れることになり、従来のようにブリッ
ジ状態となることがなく個別化を確実に行えるという利
点がある。
第1図は本考案機構の一実施例を構成する回動シュート
を下流側供給シュートに接続した状態を示す拡大断面
図、第2図は同じく回動シュートを上流側供給シュート
に接続した状態を示す拡大断面図、第3図は本考案機構
を適用したICハンドラの正面図、第4図は従来機構の一
例を示す断面図、第5図は従来機構においてIC同志のバ
リが係合してブリッジ状態となった場合を示す断面図で
ある。 A……本考案IC個別化機構、1……IC、2……上流側供
給シュート、5……その出口、3……下流側供給シュー
ト、7……その入口、4……回動シュート、6……その
入口、8……その出口、9……駆動部(駆動シリン
ダ)、10……IC通過路、11……ストッパ、12……IC押さ
えピン。
を下流側供給シュートに接続した状態を示す拡大断面
図、第2図は同じく回動シュートを上流側供給シュート
に接続した状態を示す拡大断面図、第3図は本考案機構
を適用したICハンドラの正面図、第4図は従来機構の一
例を示す断面図、第5図は従来機構においてIC同志のバ
リが係合してブリッジ状態となった場合を示す断面図で
ある。 A……本考案IC個別化機構、1……IC、2……上流側供
給シュート、5……その出口、3……下流側供給シュー
ト、7……その入口、4……回動シュート、6……その
入口、8……その出口、9……駆動部(駆動シリン
ダ)、10……IC通過路、11……ストッパ、12……IC押さ
えピン。
Claims (1)
- 【請求項1】多数のIC1が1列になって滑落する上流側
供給シュート2と、個別化されたIC1が1個ずつ滑落す
る下流側供給シュート3とを所要角度に配設し、この上
流側,下流側供給シュート2,3間に、先頭のICと次番目
のICのバリによる係合を回動動作で解除する回動シュー
ト4を配設せしめ、この回動シュート4には当該回動シ
ュート4の入口6及び出口8をそれぞれ上流側供給シュ
ート2の出口5及び下流側供給シュート3の入口7に接
続すべく回動する駆動部9を連結し、回動シュート4が
下流側供給シュート3に接続される時は回動シュート4
のIC通過路10から外れ、回動シュート4が下流側供給シ
ュート3より離れる時はIC通過路10内に突出してIC1の
滑落を防止するストッパ11を回動シュート4に設けると
共に、回動シュート4が上流側供給シュート2に接続さ
れた後の時点から当該上流側供給シュート2より離れる
迄の間、上流側供給シュート2のIC通過路10から外れ、
回動シュート4が上流側供給シュート2より離れた時点
から次に上流側供給シュート2に接続される迄の間、上
流側供給シュート2のIC通過路10内に突出して次番目の
IC1の背面を押圧するIC押さえピン12を上流側供給シュ
ート2の出口近傍に設けてなるICハンドラのIC個別化機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985146187U JPH0649546Y2 (ja) | 1985-09-24 | 1985-09-24 | Icハンドラのic個別化機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985146187U JPH0649546Y2 (ja) | 1985-09-24 | 1985-09-24 | Icハンドラのic個別化機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6253229U JPS6253229U (ja) | 1987-04-02 |
| JPH0649546Y2 true JPH0649546Y2 (ja) | 1994-12-14 |
Family
ID=31058425
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985146187U Expired - Lifetime JPH0649546Y2 (ja) | 1985-09-24 | 1985-09-24 | Icハンドラのic個別化機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0649546Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0743051Y2 (ja) * | 1988-06-30 | 1995-10-04 | 株式会社アドバンテスト | Ic分離装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4832043A (ja) * | 1971-08-27 | 1973-04-27 | ||
| JPS6142020Y2 (ja) * | 1978-09-08 | 1986-11-29 | ||
| JPS6175887U (ja) * | 1984-10-25 | 1986-05-22 |
-
1985
- 1985-09-24 JP JP1985146187U patent/JPH0649546Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6253229U (ja) | 1987-04-02 |
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