JPH01289652A - 研磨盤の加工物保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は研磨盤に関し、特に、磁気ヘッドのコア等を研
磨する研磨盤に適用するに好適な装置に関する。

「従来の技術」 第２図はこの種の研磨盤の一例を示す外観図である。ベ
ツド１には回転槽２が設けられている。

回転槽２は底面をなす研磨プレートと一体に主軸により
回転駆動される。ベツド１上方に固定されたスライドレ
ール３にサドルユニット４が摺動可能に支持され、その
サドルユニット４に支承されたワークホルダ軸５が回転
槽２内に延出している。

同じスライドレール３には刃物台６が摺動可能に支持さ
れている０回転槽２内には砥粒を含んだ加工液を供給し
循環させる。また、側方には揉作磐８及び制御箱９が設
けられている。

第３図は、従来のワークホルダ軸５を示す断面図である
。ワークホルダ軸５はスリーブ１１とスリーブ１１内に
回転自在に支承された駆動軸１２とからなり、スリーブ
１１はサドルユニット４内の図示しない送りモータによ
り昇降され、駆動軸１２は図示しない回転モータにより
回転駆動される。

駆動軸１２の軸端付近には駆動ビン１３が周方向に突出
して貫通され固定されている。訣な、軸端付近には環状
の吸振ゴム１４が嵌着されている。

駆動ビン１３及び吸振ゴム１４が取付けられた駆動軸１
２の軸端には、ワークホルダ１５が袋ナツト１６により
保持されている。

第４図に示す様に、ワークホルダ１５は略円板形状をな
し、中央に上方に開口する孔１７と係合溝１８．１９と
が設けられている。また、ワークホルダの上方小径部の
外周にはねじ２０が形成されている。ワークホルダ１５
は、その孔１７に駆動軸１２の軸端部が挿入され、係合
溝１８，１９に駆動ビン１３が挿入された状態で、袋ナ
ツト１６がねじ２０に螺合され、駆動軸１２に保持され
る。ワークホルダ１５は係合ｆＲ１８，１９と駆動ビン
１３との係合により回転方向には拘束され、軸方向には
駆動軸１２の軸端が孔１７の底面に当接する位置と、駆
動ビン１３が袋ナツト１６に当接する位１との間で遊動
可能である。

ワークホルダ１５の下面には円板状のワークプレート２
１が接着され、ワークプレート２１の下面には複数の加
工物２２、たとえば磁気へラドコアなどがワックス接着
される。

主軸２５により回転駆動される回転槽２内には研磨プレ
ート２６が設けられている。研磨プレーＩ・２６の表面
には深さが０．０１〜０．０２ｍ５＋の微少な溝が一様
に形成されている。この微少溝は前記刃物台６を用いて
加工されたものである。

加工物２２の研磨を行う際には、スリーブ１】を下降し
て加工物２２が研磨プレート２６に当接可能な位置にし
、駆動＠１２を回転してワークホルダ１５を回転する。

一方、主軸２５も回転駆動し研磨プレート２６を回転す
る。そして、砥粒を含んだ加工液２７を回転槽２の中央
部に供給する。

加工液２７は遠心力により回転槽２の周縁部に流れ回収
される。このとき、加工液２７の動圧効果により加工物
２２はワークホルダ１５の重量に抗して研磨プレート２
６から代かに浮き上がった状態で回転される。加工物２
２と研磨プレート２６との間の間隙を通過する加工液２
７により、加工￥ｌ５２２を無歪状態で精密研磨加工す
る。

「発明が解決しようとする課題」 上記の従来の装置では、加工物２２の研磨面に微少な傷
や条痕が入ることがあるという問題点があった。これは
、加工終了時に、駆動軸１２と研磨プレート２６との回
転が停止すると、加工物２２と研磨プレート２６との間
の加工液２７により生じていた動圧効果がなくなり、浮
いていた加工物２２が研磨プレート２６１に着地する。

このときに、加工物２２に傷を生ずるものと考えられる
。

なお、加工終了後に加工Ｔｈ２２が研磨プレート２６に
着地することを防止するため、研磨プレート２６を回転
駆動したままスリーブ１１を徐々に上昇させ、ワークホ
ルダ１５を上方に逃がすことも考えられるが、駆動軸１
２が上昇する際あるいは駆動ビン１３が袋ナツト１６に
当接する際にワークホルダ１５が傾き、加工物２２が割
れてしまうことがあるという問題点があり採用できない
。

本発明は、上記の問題点を解決するためなされたもので
あり、その目的とするところは、加工物の研磨面に微少
な傷を発生させることのない加工物保持装置を提供する
ことにある。

「課題を解決するための手段」 上記の目的を達成するため、本発明では、駆動軸の＠端
付近に設けられた係合突起と、その係合突起に係合して
回転方向には拘束され軸方向には遊動可能に駆動軸の軸
端に保持されるワークホルダとを備え、該ワークホルダ
の下面に保持された加工物が回転駆動される研磨プレー
トに当接可能とした研磨盤の加工物保持装置において、
前記駆動軸内に電磁石を設け、前記ワークホルダに前記
電磁石に対向する磁性体板を設けたことを特徴とする研
磨盤の加工物保持装置が提供される。

「作用」 上記のように構成された加工物保持装置では、電磁石に
通電すると駆動軸の軸端面が磁化され、ワークホルダを
吸引する。それ故、加工終了時に研磨プレート等の回転
が落ち動圧効果がなくなる前に電磁石に通電し、ワーク
ホルダを駆動軸に吸着することにより、加工物の研磨面
が研磨プレートに接触することを防ぐことができる。

また、電磁石に吸引されてワークホルダが移動する距離
は極く偶かであり、吸着された後はワークホルダは駆動
軸と一体となり遊動することがないから、ワークホルダ
が傾いて加工物を割ったりすることがない。

「実施例」 本発明の実施例について図面を参照し説明する。

実施例が適用される研磨盤の概要楕或は第２図に示すも
のと同じであるので説明を省略する。

第１図は加工物保持装置を示す縦断面図である。

ワークホルダ軸５の一部をなす駆動軸３１は　従来の装
置と同様に、上下移動及び回転が可能である。駆動軸３
１の軸端付近には係合突起をなす駆動ビン３２が周方向
に突出して植設され、また、ウレタンゴムからなる環状
の吸振ゴム３３が嵌着されている。

駆動軸３１は、従来の装置と異なり、ステンレス材から
なるａ吠部材で構成されている。そして、駆動軸３１の
端には磁性体からなる軸端円板３４が嵌着され、駆動軸
３１の軸端面を形成している。

その円板３４に密接して軸形状の鉄心コア３５が筒状の
駆動＠３１の内部に設けられ、鉄心コア３５にはコイル
３６が巻回されて電磁石を構成している。軸端円板３４
は電磁石の磁極を構成する。

コイル３６からのリード線３７は図示しないスリップリ
ングを介して外部に引き出され、リレー又はトランジス
タ等のスイッチ手段３８を介して電源３９に接続され、
コイル３６への通電遮断が可能とされている。

駆動ビン３２及び吸振ゴム３３が取付けられた駆動軸３
１の軸端には、ワークホルダ４０が袋ナツト４１により
保持されている。駆動軸３１の軸端部がワークホルダ４
０の孔４２に挿入され、駆動ビン３２が係合溝４３．４
４に係合した状態で袋ナツト４１がねじ４５に螺合され
ている点は従来の装置と同じである６本実施例装置では
、ワークホルダ４０本体及び袋ナツト４１はステンレス
材で形成されている。そして、ワークホルダ４゜の孔４
２の底壁には、即ち、駆動軸３１の軸端部に対向する部
分には、磁性体材料からなる底壁円板４６が埋め込まれ
て固着されている。

ワークホルダ４０は孔４２の底に固着された底壁円板４
６が駆動軸３１の軸端円板３４に当接する位置と、袋ナ
ツト４１が駆動ビン３２に当接する位置との間で、軸方
向に遊動可能である。

ワークホルダ４０の下面には円板状のワークプレート２
】が接着され、そのワークプレート２１の下面に複数の
加工￥＠２２がワックス接着され、研磨プレート２６と
の間で研磨加工されることは従来の装置と同じである。

以上のように構成された加工物保持装置の作動について
説明する。

研磨加工を行う際には、まず、駆動軸３１を下降して加
工物２２を研磨プレート２６に当接させる。このとき、
駆動軸３１の軸端円板３４と底壁円板４６との間の空隙
が数糟−程度になるように駆動軸３１の上下位置を決め
る。そして、加工液２７を回転槽２に供給し、駆動軸３
１及びワークホルダ４０を回転させ、研磨プレート２６
を回転させてフロート研磨加工を行う、このときのワー
クホルダ４０のフロート量は僅かな量である。

加工が終了間際で、主軸２５及び研磨プレート２６の回
転速度が１〜数ｒｐ−に落ちた時点に、コイル３６に通
電し、電磁石の吸引力で底壁円板４６を吸引しワークホ
ルダ４０を駆動軸３１の軸端円板３４に吸着する。そし
て、回転を停止した駆動軸３１を引き上げ、袋ナツト４
１を緩めてワークホルダ４０を駆動軸３１から取り外し
、加工物２２の交換を行う。

このように、研磨プレート２６（主軸２５）の回転が落
ち加工液２７による動圧効果が低下する直前にワークホ
ルダ４０を微少距離だけ上昇させ、加工物２２の着地を
防止するものであるから、加工の終了した加工物２２の
研磨面に傷がつくおそれがない。

「発明の効果」 以上説明したように、本発明は上記の構成を有し電磁石
にてワークホルダを駆動軸に吸着して微少距離だけ引き
上げる構造を有するものであるから、加工の終了間際に
ワークホルダを傾斜させることなく微少距離上昇させる
ことができ、フロート研磨加工された加工物を研磨プレ
ートに着地させることなく取外すことができるという優
れた効果がある。このため、加工物の研磨面に傷が入る
おそれがないという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は本発
明装置が適用される研磨盤を示す斜視図、第３図は従来
の装置を示す断面図、第４図は第３図のＡ−Ａ線断面図
である。 ２１９０回転槽、　　５１．、ワークホルダ軸、　２２
゜８、加工物、　２５　、、、主軸、　２６　、、、研
磨プレート、　３１　、、、駆動軸、　３２．、、駆動
ビンく係合突起）、　３４　、、、軸端円板、　３５．
、、鉄心コア、３６　、、、コイル、　　４０．、、ワ
ークホルダ、　　４１゜９１袋ナツト、　４３，４４．
、、係合溝、　４６　、、。 底壁円板。 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　駆動軸の軸端付近に設けられた係合突起と、その係合
   突起に係合して回転方向には拘束され軸方向には遊動可
   能に駆動軸の軸端に保持されるワークホルダとを備え、
   該ワークホルダの下面に保持された加工物が回転駆動さ
   れる研磨プレートに当接可能とした研磨盤の加工物保持
   装置において、前記駆動軸内に電磁石を設け、前記ワー
   クホルダに前記電磁石に対向する磁性体板を設けたこと
   を特徴とする研磨盤の加工物保持装置。