JPH01290184A - Magnetic disk device and cleanliness measuring method - Google Patents
Magnetic disk device and cleanliness measuring methodInfo
- Publication number
- JPH01290184A JPH01290184A JP11957788A JP11957788A JPH01290184A JP H01290184 A JPH01290184 A JP H01290184A JP 11957788 A JP11957788 A JP 11957788A JP 11957788 A JP11957788 A JP 11957788A JP H01290184 A JPH01290184 A JP H01290184A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic disk
- cleanliness
- air
- valves
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔目次〕
概要
産業上の利用分野
従来の技術(第5図)
発明が解決しようとする課題
課題を解決するための手段(第1図)
作用
実施例
<a)一実施例の説明(第2図、第3図)(b)他の実
施例の説明(第4図)
(C)別の実施例の説明
発明の効果
〔概要〕
内部空気を内部循環方式によって清浄化する磁気ディス
ク装置において、内部空気の清浄度を測定するための磁
気ディスク装置及びその清浄度測定方法に関し、
装置内部に圧力変化を生せしめることなく清浄度を測定
することを目的とし、
ベースとカバーで密閉され、内部循環方式により装置内
部の空気を清浄化する磁気ディスク装置において、複数
の開閉機構の付いたバルブを該ベース又はカバーの一方
又は両方に設けたもの、又はベースとカバーで密閉され
、内部循環方式により装置内部の空気を清浄化する磁気
ディスク装置に、塵埃計を接続して、該内部空気の清浄
度を測定する磁気ディスク装置の清浄度測定方法におい
て、該ベース又はカバーのいずれか一方又は両方に、複
数の開閉機構の付いたバルブを設け、該−方のバルブに
該塵埃計を、該他方のバルブに該塵埃計又はフィルタを
接続して、該塵埃計によって、該内部空気の清浄度を測
定するようにした。[Detailed description of the invention] [Table of contents] Overview Industrial field of application Conventional technology (Fig. 5) Means for solving the problem to be solved by the invention (Fig. 1) Working example <a) 1 Explanation of an embodiment (Figures 2 and 3) (b) Explanation of another embodiment (Figure 4) (C) Explanation of another embodiment Effects of the invention [Summary] Internal air is purified by an internal circulation system Regarding magnetic disk drives and their cleanliness measurement methods for measuring the cleanliness of internal air in magnetic disk drives, which are becoming increasingly popular, we have developed a base and A magnetic disk drive that is sealed with a cover and uses an internal circulation method to purify the air inside the device, and has valves with multiple opening/closing mechanisms installed on one or both of the base or cover, or is sealed with the base and cover. A method for measuring the cleanliness of a magnetic disk device in which a dust meter is connected to a magnetic disk device that purifies the air inside the device using an internal circulation method to measure the cleanliness of the internal air. One or both of them is provided with a valve with a plurality of opening/closing mechanisms, and the dust meter is connected to one of the valves, and the dust meter or filter is connected to the other valve. Measures the cleanliness of the internal air.
本発明は、内部空気を内部循環方式によって清浄化する
磁気ディスク装置において、内部空気の清浄度を測定す
るための磁気ディスク装置及びその清浄度測定方法に関
する。The present invention relates to a magnetic disk device for measuring the cleanliness of internal air in a magnetic disk device that cleans the internal air by an internal circulation method, and a method for measuring the cleanliness thereof.
磁気ディスク装置は、広(外部記憶装置として利用され
ている。Magnetic disk drives are widely used as external storage devices.
近年、磁気ディスク装置は、大容量、高密度、小型化に
伴いヘッド浮上量が低下しつつあり、1ミクロン以下に
達している。In recent years, as magnetic disk drives have become larger in capacity, higher in density, and more compact, the flying height of their heads has been decreasing, reaching 1 micron or less.
このような磁気ディスク装置では、数ミクロンの塵埃で
もヘッドの浮動特性に悪影容を及ぼし、空気中の多量の
塵埃はヘッドクラッシュの原因となる。In such magnetic disk drives, even a few micrometers of dust can adversely affect the flying characteristics of the head, and large amounts of dust in the air can cause head crashes.
このため、装置内部を密閉とし、内部空気を清浄化して
、常に高い清浄度を保つことが、磁気ディスク装置の信
頼性を保つ上で重要な課題となっており、清浄度の確認
、保証を行うための技術が求められている。For this reason, keeping the inside of the device sealed and purifying the internal air to maintain a high level of cleanliness at all times is an important issue in maintaining the reliability of magnetic disk drives, and cleanliness must be confirmed and guaranteed. The technology to do so is required.
第5図は従来技術の説明図である。 FIG. 5 is an explanatory diagram of the prior art.
ベース10とカバー11により密閉された磁気ディスク
装置1は、内部循環により内部空気を清浄化している。The magnetic disk drive 1, which is sealed by a base 10 and a cover 11, cleans the internal air through internal circulation.
このような磁気ディスク装置Iにおいて、内部空気の清
浄度を測定するには、内部空気を塵埃計2に導いて、清
浄度を測定すればよい。In such a magnetic disk device I, in order to measure the cleanliness of the internal air, it is sufficient to introduce the internal air to the dust meter 2 and measure the cleanliness.
塵埃計(塵埃測定器)は空気中の塵埃を光学的(光の散
乱)に観測して、塵埃を測定する装置である。A dust meter (dust measuring instrument) is a device that measures dust by optically (light scattering) observing dust in the air.
この清浄度測定のため、例えば、特許出願公開昭61−
71083号公報では、ベース11に1ケの空気排出口
3又はゴム系軟質部材を設け、パイプ30又は注射針付
パイプで塵埃計2と連結し、塵埃計2で内部空気を吸引
して、内部空気の清浄度を測定していた。For this cleanliness measurement, for example,
In Publication No. 71083, one air outlet 3 or a rubber-based soft member is provided in the base 11, connected to the dust meter 2 with a pipe 30 or a pipe with a syringe needle, and the dust meter 2 sucks the internal air to drain the inside. Measuring air cleanliness.
しかしながら、従来技術では、磁気ディスク装置1の内
部空気を単に吸引するため、内部圧力が変化し、負圧と
なってしまう。However, in the conventional technology, since the air inside the magnetic disk device 1 is simply sucked, the internal pressure changes and becomes negative pressure.
このため、外部から汚れた空気が多数流入し、内部の塵
埃が増加し、清浄度測定によって、内部の清浄度が低下
してしまうという問題が生じていた。For this reason, a problem has arisen in that a large amount of dirty air flows in from the outside, the amount of dust inside increases, and the cleanliness of the inside deteriorates when the cleanliness is measured.
特に、磁気ディスク装置Iは、清浄度の高いクリーンル
ームで製造されるが、清浄度の測定は、製品検査の一貫
としてクリーンルーム外で行われ、又フィールドでも行
われる。In particular, the magnetic disk drive I is manufactured in a clean room with high cleanliness, but the cleanliness is measured outside the clean room as part of product inspection, and also in the field.
外部空気の塵埃は多く、これの流入によって折角清浄度
を高く製造したものが、清浄度の測定によって清浄度が
低下し、高清浄度の製品かえられないという問題があっ
た。There is a lot of dust in the outside air, and due to the inflow of dust, products that have been manufactured with high cleanliness levels have a problem in that the cleanliness level decreases when the cleanliness is measured, making it impossible to replace high-cleanliness products.
本発明は、装置内部に圧力変化を生ぜしめることなく清
浄度を測定できる磁気ディスク装置及びその清浄度測定
方法を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a magnetic disk device that can measure cleanliness without causing pressure changes inside the device, and a method for measuring its cleanliness.
第1図は本発明の原理図である。 FIG. 1 is a diagram showing the principle of the present invention.
本発明の磁気ディスク装置は、ベース10とカバー11
で密閉され、内部循環方式により装置内部の空気を清浄
化する磁気ディスク装置において、複数の開閉機構の付
いたバルブ3a、3bを該ベース10又はカバー11の
一方又は両方に設けた。The magnetic disk device of the present invention includes a base 10 and a cover 11.
In this magnetic disk device, which is sealed with air and purifies the air inside the device using an internal circulation method, valves 3a and 3b with a plurality of opening/closing mechanisms are provided on one or both of the base 10 and the cover 11.
又本発明の磁気ディスク装置の清浄度測定方法は、ベー
ス10とカバー11で密閉され、内部循環方式により装
置内部の空気を清浄化する磁気ディスク装置に、塵埃計
2を接続して、該内部空気の清浄度を測定する磁気ディ
スク装置の清浄度測定方法において、該ベース10又は
カバー11のいずれか一方又は両方に、複数の開閉機構
の付いたバルブ3a、3bを設け、該一方のバルブ3a
に該塵埃計2を、該他方のバルブ3bに該塵埃計2又は
フィルタ4を接続して、該塵埃計2によって、該内部空
気の清浄度を測定するようにした。In addition, the method for measuring the cleanliness of a magnetic disk device according to the present invention involves connecting a dust meter 2 to a magnetic disk device that is sealed with a base 10 and a cover 11 and purifies the air inside the device using an internal circulation method. In a method for measuring the cleanliness of a magnetic disk device that measures the cleanliness of air, one or both of the base 10 and the cover 11 are provided with valves 3a and 3b each having a plurality of opening/closing mechanisms, and one of the valves 3a
The dust meter 2 was connected to the other valve 3b, and the dust meter 2 or the filter 4 was connected to the other valve 3b, so that the dust meter 2 measured the cleanliness of the internal air.
本発明は、磁気ディスク装置1のベース10又はカバー
11のいずれが一方又は両方に複数のバルブ3a、3b
を設けることによって、塵埃計2の清浄度測定において
、装置の排気と吸気を行うことができ、排気量と吸気量
のバランスが採れ、装置内の圧力が低下することなく清
浄度測定できる。The present invention provides that either the base 10 or the cover 11 of the magnetic disk device 1 has a plurality of valves 3a, 3b on one or both.
By providing this, when measuring the cleanliness of the dust meter 2, the device can be evacuated and taken in, the exhaust amount and the intake amount can be balanced, and the cleanliness can be measured without reducing the pressure inside the device.
又、バルブ3a、3bは開閉機構が設けられているので
、測定時のみバルブ3a、3bを開き、非測定時はバル
ブ3a、3bを閉じ内部を密閉できる。Further, since the valves 3a and 3b are provided with an opening/closing mechanism, the valves 3a and 3b are opened only during measurement, and the valves 3a and 3b are closed during non-measurement to seal the inside.
(a) 一実施例の説明 第2図は本発明の詳細な説明図である。 (a) Description of one embodiment FIG. 2 is a detailed explanatory diagram of the present invention.
図中、第1図及び第5図で示したものと同一のものは同
一の記号で示してあり、5a、5bはプラグであり、後
述する如く接続パイプ30,31に設けられるもの、I
2はスピンドルモータであり、ベース]、0に設けられ
、スピンドルハウジング(後述)を回転させるもの、1
3はヘッド駆動モータであり、ボイスコイルモータで構
成され、後述する揺動軸を回転させ、ヘッドを磁気ディ
スクの所望のトラックに位置決めするものである。In the figure, the same parts as those shown in Figs. 1 and 5 are indicated by the same symbols, and 5a and 5b are plugs, which are installed in the connecting pipes 30 and 31 as described later, and I
2 is a spindle motor, which is installed on the base], 0 and rotates a spindle housing (described later); 1
Reference numeral 3 denotes a head drive motor, which is composed of a voice coil motor and rotates a swing shaft (described later) to position the head on a desired track on the magnetic disk.
14は揺動軸であり、ベース10に回動可能に固定され
、図示しないジンバル、コアの取付けられたヘッドアー
ム14aが設けられて、ヘッド駆動モータ13によって
回転され、ヘッドアーム14aのコア(l気ヘッド)を
磁気ディスクの所望トラックに位置決めするためのもの
、15は磁気ディスクであり、スピンドルハウジングに
積層されて固定されるもの、16はスピンドルハウジン
グであり、スピンドルモータ12によって回転され、磁
気ディスク15が嵌め合わされ、積層されて、クランプ
16aによってネジ固定されるものである。A swing shaft 14 is rotatably fixed to the base 10, and is provided with a gimbal (not shown) and a head arm 14a to which a core is attached. 15 is a magnetic disk, which is stacked and fixed on a spindle housing; 16 is a spindle housing, which is rotated by the spindle motor 12, and which is rotated by the spindle motor 12, 15 are fitted together, stacked, and screwed together using clamps 16a.
17は呼吸フィルタであり、空気取り入れ口17aより
ディスク内の圧力変化によって流入する気体の塵埃を除
去するためのものであり、カバー11に設けられるもの
、18は捕獲フィルタであり、スピンドルハウジング1
6の内面に設けられ、磁気ディスク15の回転中に、磁
気ディスク15内に流れる空気内の塵埃を捕獲するもの
である。Reference numeral 17 represents a breathing filter, which is provided in the cover 11 to remove dust from the gas flowing in from the air intake port 17a due to pressure changes within the disk, and reference numeral 18 represents a capture filter, which is provided in the spindle housing 1.
It is provided on the inner surface of the magnetic disk 15 to capture dust in the air flowing into the magnetic disk 15 while the magnetic disk 15 is rotating.
ベース10には、カバー11が設けられ、これら部品が
密閉される。A cover 11 is provided on the base 10 to seal these parts.
又、ベース10にはバルブ3bが設けられ、カバー11
にはバルブ3aが設けられている。Further, the base 10 is provided with a valve 3b, and the cover 11 is provided with a valve 3b.
is provided with a valve 3a.
通常の動作では、内部空気は、磁気ディスク15の回転
によって磁気ディスク15の中心から外側に流れ、循環
する。In normal operation, internal air flows and circulates outward from the center of the magnetic disk 15 as the magnetic disk 15 rotates.
この時に、捕獲フィルタ18によって、内部空気の塵埃
が捕獲される。At this time, the dust in the internal air is captured by the capture filter 18.
又、内部の圧力変化に対し、平板形状の呼吸フィルタ1
7を介し空気流入口17aから外部空気が流入し、圧力
を一定に保つが、ij、激な圧力変化に対しては追従が
不十分である。In addition, a flat plate-shaped breathing filter 1 is used to prevent internal pressure changes.
External air flows in from the air inlet 17a via 7 to keep the pressure constant, but it is insufficient to follow drastic pressure changes.
バルブ3a、3bは、開閉機構を有しており、通常閉状
態であり、パイプ30.31のプラグ5a、5bをバル
ブ3a、3bに挿入することによリ、開閉機構は開かれ
、ディスク装置内と外が結ばれ、空気が流出入すること
ができる。The valves 3a, 3b have an opening/closing mechanism and are normally closed. By inserting the plugs 5a, 5b of the pipes 30.31 into the valves 3a, 3b, the opening/closing mechanism is opened, and the disk device is opened. The inside and outside are connected, allowing air to flow in and out.
第3図は第2図構成のバルブとプラグの構成図である。FIG. 3 is a block diagram of the valve and plug shown in FIG. 2.
第3図はバルブ3a、3bの閉鎖時を示しており、空気
流入路38に対し、フタ33が設けられ、フタ33がバ
ネ32によってパツキン34に押し付けられることによ
って、閉鎖状態を保つ。FIG. 3 shows the valves 3a and 3b when they are closed. A lid 33 is provided on the air inflow path 38, and the lid 33 is kept in the closed state by being pressed against the gasket 34 by the spring 32.
又、バルブ3a、3bのプラグ5a、5b側には、遮断
用パツキンと、プラグとのロック用ボール36と、ボー
ル36のロック解除用スリーブ37が設けられている。Further, on the plugs 5a, 5b side of the valves 3a, 3b, there are provided a shutoff gasket, a ball 36 for locking the plug, and a sleeve 37 for unlocking the ball 36.
一方、プラグ5a、5bには、空気通路50を形成する
筒部51の外側に先端部52と、遮断用凸部53と、ロ
ック用凹部54とが設けられている。On the other hand, the plugs 5a and 5b are provided with a tip portion 52, a blocking projection 53, and a locking recess 54 on the outside of the cylindrical portion 51 forming the air passage 50.
バルブ3a、3bの空気通路38を開けるには、プラグ
5a、5bを矢印方向よりバルブ3a、3bに挿入する
。To open the air passages 38 of the valves 3a, 3b, plugs 5a, 5b are inserted into the valves 3a, 3b in the direction of the arrow.
先ず、初めに、プラグ5a、5bの凸部53が、バルブ
3a、3bのパツキン35に押し付けられて、空気通路
38と外気との遮断が行われ、次にプラグ5a、5bの
先端部52が、バルブ3a、3bのフタ33を押し、空
気通路38を開いて、更にバルブ3a、3bのボール3
6がプラグ5a。First, the convex portions 53 of the plugs 5a, 5b are pressed against the gaskets 35 of the valves 3a, 3b to shut off the air passage 38 from the outside air, and then the tips 52 of the plugs 5a, 5b are pressed against the gaskets 35 of the valves 3a, 3b. , press the lids 33 of the valves 3a and 3b to open the air passages 38, and then press the balls 3 of the valves 3a and 3b.
6 is the plug 5a.
5bの凹部54と嵌合し、プラグ5a、5bはバルブ3
a、3bにロックされる。The plugs 5a and 5b fit into the recess 54 of the valve 3.
Locked to a and 3b.
プラグ5a、5bの取り外しは、バルブ3a、3bのス
リーブ37を上方向に移動すると、ボール36とプラグ
5a、5bの凹部54との嵌合が解除され、ロックが解
除される。To remove the plugs 5a, 5b, when the sleeves 37 of the valves 3a, 3b are moved upward, the fitting between the balls 36 and the recesses 54 of the plugs 5a, 5b is released, and the lock is released.
プラグ5a、5bを引き抜くと、バルブ3a、3bのフ
タ33がバネ32の力によって押し上げられ、フタ33
はパツキン34に押し付けられ、空気通路38は閉鎖さ
れる。When the plugs 5a and 5b are pulled out, the lids 33 of the valves 3a and 3b are pushed up by the force of the spring 32, and the lids 33
is pressed against the gasket 34, and the air passage 38 is closed.
このような開閉機構の付いたバルブ3a、3bでは、プ
ラグ5a、5bの着脱時に、空気通路3日に外部空気の
混入がなく、清浄度の測定が可能となる。In the valves 3a and 3b with such an opening/closing mechanism, when the plugs 5a and 5b are attached and detached, no external air is mixed in the air passage for 3 days, making it possible to measure the cleanliness.
このような磁気ディスク装置の清浄度(塵埃)の測定に
は、塵埃計2の吸入口をバイブ30、プラグ5aを介し
一方のバルブ3aは継なぎ、吐出口をバイブ31、プラ
グ5bを介し他方のバルブ3bに継なぐ。To measure the cleanliness (dust) of such a magnetic disk drive, the inlet of the dust meter 2 is connected to the vibrator 30, one valve 3a is connected to the other through the plug 5a, and the outlet is connected to the vibrator 31 through the plug 5b to the other valve 3a. Connect to valve 3b.
これによって、塵埃計2の吸入量と吐出量は同一であり
、磁気ディスク装置1内の圧力は通常時と同一に保たれ
、圧力の低下はなく、外部塵埃の侵入はない。As a result, the suction amount and the discharge amount of the dust meter 2 are the same, the pressure inside the magnetic disk drive 1 is kept the same as in normal times, there is no pressure drop, and there is no intrusion of external dust.
又、塵埃計2の吐出空気は、塵埃計2内部にあるフィル
タにて吸入した内部空気の塵埃を捕獲した清浄空気であ
り、磁気ディスク装置l内を汚すことがない。Furthermore, the air discharged from the dust meter 2 is clean air that has captured dust from the internal air sucked in by a filter inside the dust meter 2, and does not contaminate the inside of the magnetic disk drive l.
この時、塵埃計2の吸入量(約300cc/分)に対し
て呼吸フィルタ17のみからの磁気ディスク装置1内へ
の空気補充では充分でなく、磁気ディスク装置1内が負
圧となり、外部から塵埃が混入してくるので、他方のバ
ルブ3bを設け、塵埃計2からの清浄空気を導入するの
である。At this time, air replenishment into the magnetic disk drive 1 from the breathing filter 17 alone is not sufficient for the suction amount of the dust meter 2 (approximately 300 cc/min), and the inside of the magnetic disk drive 1 becomes negative pressure, causing Since dust is mixed in, the other valve 3b is provided to introduce clean air from the dust meter 2.
(b) 他の実施例の説明 第4図は本発明の他の実施例説明図である。(b) Description of other embodiments FIG. 4 is an explanatory diagram of another embodiment of the present invention.
図中、第1図、第2図及び第5図で示したものと同一の
ものは同一の記号で示してあり、4はフィルタであり、
バイブ31、プラグ5bを介してバルブ3bに接続され
るものである。In the figure, the same parts as those shown in FIGS. 1, 2, and 5 are indicated by the same symbols, and 4 is a filter;
The vibrator 31 is connected to the valve 3b via the plug 5b.
この実施例では、塵埃計2の吸入口を、バイブ30、プ
ラグ5aを介しバルブ3aに接続し、内部空気を吸引す
るとともに、他方のバルブ3bは、バイブ31、プラグ
5bを介しフィルタ4に接続することにより、塵埃計2
の吸入量と同量の空気をフィルタ4より磁気ディスク装
置1内に補充するものである。In this embodiment, the suction port of the dust meter 2 is connected to a valve 3a through a vibrator 30 and a plug 5a to suck internal air, and the other valve 3b is connected to a filter 4 through a vibrator 31 and a plug 5b. By doing so, the dust meter 2
The same amount of air as the intake amount is replenished into the magnetic disk device 1 from the filter 4.
これによって、塵埃計2の吸引による磁気ディスク1内
の圧力低下はなく、外部塵埃の混入を防止して清浄度測
定が可能となる。As a result, there is no pressure drop inside the magnetic disk 1 due to suction by the dust meter 2, and cleanliness measurement can be performed while preventing the intrusion of external dust.
(C) 別の実施例の説明
上述の実施例では、ベース10と、カバー11の両方の
各々にバルブ3a、3bを設けているが、カバー11又
はベース10の片方に設けてもよく、バルブ3a、3b
を2ヶ設けた例で説明したが、必要に応じ3ヶ以上設け
てもよい。(C) Description of another embodiment In the above embodiment, the valves 3a and 3b are provided on both the base 10 and the cover 11, but they may be provided on either the cover 11 or the base 10. 3a, 3b
Although the explanation has been given using an example in which two are provided, three or more may be provided as necessary.
以上本発明を実施例により説明したが、本発明は本発明
の主旨に従い種々の変形が可能であり、本発明からこれ
らを排除するものではない。Although the present invention has been described above using examples, the present invention can be modified in various ways according to the gist of the present invention, and these are not excluded from the present invention.
以上説明した様に、本発明によれば、塵埃計による清浄
度測定を、吸引量と排気量のバランスを採って行うこと
ができるため、磁気ディスク装置内の圧力が低下するこ
となく、清浄度を測定できるという効果を奏し、磁気デ
ィスク装置を汚染することなく、障害発生を未然に防ぐ
、清浄度測定ができ、磁気ディスク装置の信顛性向上に
寄与するところが大きい。As explained above, according to the present invention, cleanliness measurement using a dust meter can be performed by balancing the suction amount and exhaust amount, so the cleanliness can be measured without reducing the pressure inside the magnetic disk device. This has the effect of being able to measure the cleanliness of the magnetic disk drive, preventing the occurrence of failures without contaminating the magnetic disk drive, and greatly contributing to improving the reliability of the magnetic disk drive.
第1図は本発明の原理図、
第2図は本発明の詳細な説明図、
第3図は第2図構成のバルブとプラグの構成図、第4図
は本発明の他の実施例説明図、
第5図は従来技術の説明図である。
図中、1−磁気ディスク装置、
2−塵埃計、
3a、3b−バルブ、
4− フィルタ。Fig. 1 is a diagram of the principle of the present invention, Fig. 2 is a detailed explanatory diagram of the present invention, Fig. 3 is a configuration diagram of the valve and plug configured in Fig. 2, and Fig. 4 is an explanation of another embodiment of the present invention. FIG. 5 is an explanatory diagram of the prior art. In the figure, 1-magnetic disk device, 2-dust meter, 3a, 3b-valve, 4-filter.
Claims (2)
部循環方式により装置内部の空気を清浄化する磁気ディ
スク装置において、 複数の開閉機構の付いたバルブ(3a、3b)を該ベー
ス(10)又はカバー(11)の一方又は両方に設けた
ことを 特徴とする磁気ディスク装置。(1) In a magnetic disk drive that is sealed between a base (10) and a cover (11) and uses an internal circulation system to purify the air inside the device, valves (3a, 3b) with multiple opening/closing mechanisms are connected to the base ( 10) or a cover (11), or both.
部循環方式により装置内部の空気を清浄化する磁気ディ
スク装置に、塵埃計(2)を接続して、該内部空気の清
浄度を測定する磁気ディスク装置の清浄度測定方法にお
いて、 該ベース(10)又はカバー(11)のいずれか一方又
は両方に、複数の開閉機構の付いたバルブ(3a、3b
)を設け、 該一方のバルブ(3a)に該塵埃計(2)を、該他方の
バルブ(3b)に該塵埃計(2)又はフィルタ(4)を
接続して、 該塵埃計(2)によって、該内部空気の清浄度を測定す
るようにしたことを 特徴とする磁気ディスク装置の清浄度測定方法。(2) A dust meter (2) is connected to a magnetic disk device that is sealed with a base (10) and a cover (11) and uses an internal circulation method to clean the air inside the device to check the cleanliness of the internal air. In the method for measuring the cleanliness of a magnetic disk drive, the base (10) or the cover (11) is provided with valves (3a, 3b) each having a plurality of opening/closing mechanisms on either one or both of the base (10) or the cover (11).
), connect the dust meter (2) to the one valve (3a), connect the dust meter (2) or the filter (4) to the other valve (3b), and connect the dust meter (2) to the other valve (3b). A method for measuring cleanliness of a magnetic disk drive, characterized in that the cleanliness of the internal air is measured by:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11957788A JPH01290184A (en) | 1988-05-17 | 1988-05-17 | Magnetic disk device and cleanliness measuring method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11957788A JPH01290184A (en) | 1988-05-17 | 1988-05-17 | Magnetic disk device and cleanliness measuring method |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01290184A true JPH01290184A (en) | 1989-11-22 |
Family
ID=14764794
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11957788A Pending JPH01290184A (en) | 1988-05-17 | 1988-05-17 | Magnetic disk device and cleanliness measuring method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01290184A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03187092A (en) * | 1989-12-15 | 1991-08-15 | Nec Corp | Magnetic disk device |
-
1988
- 1988-05-17 JP JP11957788A patent/JPH01290184A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03187092A (en) * | 1989-12-15 | 1991-08-15 | Nec Corp | Magnetic disk device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2025184879A5 (en) | Device | |
| JPH08503327A (en) | Hard filter drive air filter and circulation system | |
| JPS62259033A (en) | Calibrating apparatus for detector of leakage detector | |
| TW201834118A (en) | Apparatus and method for controlling tightness of a transmission casing for transportation of a semiconductor substrate and atmospheric storage | |
| JP5124248B2 (en) | Manufacturing method of magnetic disk drive | |
| TWI581305B (en) | Apparatus for detecting a contaminated location, method for detecting a contaminated location, and computer readable recording medium | |
| TW386275B (en) | Particle measuring device having cyclone -shaped collector for semiconductor cleanroom application | |
| JP2011090747A (en) | Manufacturing method of magnetic disk device | |
| JP2009134777A (en) | Magnetic disk drive and manufacturing method thereof | |
| US20080276730A1 (en) | Fluid bed sampling device | |
| TWI296024B (en) | ||
| JP2004185662A (en) | Blower for inspection device, and inspection device housing provided with the same | |
| JP2652884B2 (en) | Clean mechanism of ball screw moving mechanism | |
| JPH05105206A (en) | Airtight stocker for clean room | |
| JPS6099946U (en) | Filter storage container for dust masks | |
| CN103412496B (en) | Detect the method and system of single vacuum source multistation suction nozzle material state | |
| JP3992906B2 (en) | Particle monitoring method for magnetic transfer device | |
| US7667924B2 (en) | Particle extracting device of hard disk drive and hard disk drive including the same | |
| TW202427638A (en) | Station and method for measuring the particle contamination of a transport enclosure for the atmospheric transport and storage of semiconductor wafers | |
| CN217683280U (en) | Metal sealing butterfly valve for high-temperature environment | |
| JP2011226944A (en) | Removal efficiency measurement method | |
| JPH02136116A (en) | vacuum cleaner | |
| JPH0281395A (en) | Outside air vent structure of magnetic disk device | |
| JP2564355Y2 (en) | N 2 lower gas replacement device inside the robot in the load lock chamber | |
| CN121253239A (en) | Low concentration smoke and dust flue gas tester |