JPH01290184A - 磁気ディスク装置及びその清浄度測定方法 - Google Patents

磁気ディスク装置及びその清浄度測定方法

Info

Publication number
JPH01290184A
JPH01290184A JP11957788A JP11957788A JPH01290184A JP H01290184 A JPH01290184 A JP H01290184A JP 11957788 A JP11957788 A JP 11957788A JP 11957788 A JP11957788 A JP 11957788A JP H01290184 A JPH01290184 A JP H01290184A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic disk
cleanliness
air
valves
valve
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11957788A
Other languages
English (en)
Inventor
Takakore Sato
佐藤 隆是
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP11957788A priority Critical patent/JPH01290184A/ja
Publication of JPH01290184A publication Critical patent/JPH01290184A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔目次〕 概要 産業上の利用分野 従来の技術(第5図) 発明が解決しようとする課題 課題を解決するための手段(第1図) 作用 実施例 <a)一実施例の説明(第2図、第3図)(b)他の実
施例の説明(第4図) (C)別の実施例の説明 発明の効果 〔概要〕 内部空気を内部循環方式によって清浄化する磁気ディス
ク装置において、内部空気の清浄度を測定するための磁
気ディスク装置及びその清浄度測定方法に関し、 装置内部に圧力変化を生せしめることなく清浄度を測定
することを目的とし、 ベースとカバーで密閉され、内部循環方式により装置内
部の空気を清浄化する磁気ディスク装置において、複数
の開閉機構の付いたバルブを該ベース又はカバーの一方
又は両方に設けたもの、又はベースとカバーで密閉され
、内部循環方式により装置内部の空気を清浄化する磁気
ディスク装置に、塵埃計を接続して、該内部空気の清浄
度を測定する磁気ディスク装置の清浄度測定方法におい
て、該ベース又はカバーのいずれか一方又は両方に、複
数の開閉機構の付いたバルブを設け、該−方のバルブに
該塵埃計を、該他方のバルブに該塵埃計又はフィルタを
接続して、該塵埃計によって、該内部空気の清浄度を測
定するようにした。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、内部空気を内部循環方式によって清浄化する
磁気ディスク装置において、内部空気の清浄度を測定す
るための磁気ディスク装置及びその清浄度測定方法に関
する。
磁気ディスク装置は、広(外部記憶装置として利用され
ている。
近年、磁気ディスク装置は、大容量、高密度、小型化に
伴いヘッド浮上量が低下しつつあり、1ミクロン以下に
達している。
このような磁気ディスク装置では、数ミクロンの塵埃で
もヘッドの浮動特性に悪影容を及ぼし、空気中の多量の
塵埃はヘッドクラッシュの原因となる。
このため、装置内部を密閉とし、内部空気を清浄化して
、常に高い清浄度を保つことが、磁気ディスク装置の信
頼性を保つ上で重要な課題となっており、清浄度の確認
、保証を行うための技術が求められている。
〔従来の技術〕
第5図は従来技術の説明図である。
ベース10とカバー11により密閉された磁気ディスク
装置1は、内部循環により内部空気を清浄化している。
このような磁気ディスク装置Iにおいて、内部空気の清
浄度を測定するには、内部空気を塵埃計2に導いて、清
浄度を測定すればよい。
塵埃計(塵埃測定器)は空気中の塵埃を光学的(光の散
乱)に観測して、塵埃を測定する装置である。
この清浄度測定のため、例えば、特許出願公開昭61−
71083号公報では、ベース11に1ケの空気排出口
3又はゴム系軟質部材を設け、パイプ30又は注射針付
パイプで塵埃計2と連結し、塵埃計2で内部空気を吸引
して、内部空気の清浄度を測定していた。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、従来技術では、磁気ディスク装置1の内
部空気を単に吸引するため、内部圧力が変化し、負圧と
なってしまう。
このため、外部から汚れた空気が多数流入し、内部の塵
埃が増加し、清浄度測定によって、内部の清浄度が低下
してしまうという問題が生じていた。
特に、磁気ディスク装置Iは、清浄度の高いクリーンル
ームで製造されるが、清浄度の測定は、製品検査の一貫
としてクリーンルーム外で行われ、又フィールドでも行
われる。
外部空気の塵埃は多く、これの流入によって折角清浄度
を高く製造したものが、清浄度の測定によって清浄度が
低下し、高清浄度の製品かえられないという問題があっ
た。
本発明は、装置内部に圧力変化を生ぜしめることなく清
浄度を測定できる磁気ディスク装置及びその清浄度測定
方法を提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
第1図は本発明の原理図である。
本発明の磁気ディスク装置は、ベース10とカバー11
で密閉され、内部循環方式により装置内部の空気を清浄
化する磁気ディスク装置において、複数の開閉機構の付
いたバルブ3a、3bを該ベース10又はカバー11の
一方又は両方に設けた。
又本発明の磁気ディスク装置の清浄度測定方法は、ベー
ス10とカバー11で密閉され、内部循環方式により装
置内部の空気を清浄化する磁気ディスク装置に、塵埃計
2を接続して、該内部空気の清浄度を測定する磁気ディ
スク装置の清浄度測定方法において、該ベース10又は
カバー11のいずれか一方又は両方に、複数の開閉機構
の付いたバルブ3a、3bを設け、該一方のバルブ3a
に該塵埃計2を、該他方のバルブ3bに該塵埃計2又は
フィルタ4を接続して、該塵埃計2によって、該内部空
気の清浄度を測定するようにした。
〔作用〕
本発明は、磁気ディスク装置1のベース10又はカバー
11のいずれが一方又は両方に複数のバルブ3a、3b
を設けることによって、塵埃計2の清浄度測定において
、装置の排気と吸気を行うことができ、排気量と吸気量
のバランスが採れ、装置内の圧力が低下することなく清
浄度測定できる。
又、バルブ3a、3bは開閉機構が設けられているので
、測定時のみバルブ3a、3bを開き、非測定時はバル
ブ3a、3bを閉じ内部を密閉できる。
〔実施例〕
(a)  一実施例の説明 第2図は本発明の詳細な説明図である。
図中、第1図及び第5図で示したものと同一のものは同
一の記号で示してあり、5a、5bはプラグであり、後
述する如く接続パイプ30,31に設けられるもの、I
2はスピンドルモータであり、ベース]、0に設けられ
、スピンドルハウジング(後述)を回転させるもの、1
3はヘッド駆動モータであり、ボイスコイルモータで構
成され、後述する揺動軸を回転させ、ヘッドを磁気ディ
スクの所望のトラックに位置決めするものである。
14は揺動軸であり、ベース10に回動可能に固定され
、図示しないジンバル、コアの取付けられたヘッドアー
ム14aが設けられて、ヘッド駆動モータ13によって
回転され、ヘッドアーム14aのコア(l気ヘッド)を
磁気ディスクの所望トラックに位置決めするためのもの
、15は磁気ディスクであり、スピンドルハウジングに
積層されて固定されるもの、16はスピンドルハウジン
グであり、スピンドルモータ12によって回転され、磁
気ディスク15が嵌め合わされ、積層されて、クランプ
16aによってネジ固定されるものである。
17は呼吸フィルタであり、空気取り入れ口17aより
ディスク内の圧力変化によって流入する気体の塵埃を除
去するためのものであり、カバー11に設けられるもの
、18は捕獲フィルタであり、スピンドルハウジング1
6の内面に設けられ、磁気ディスク15の回転中に、磁
気ディスク15内に流れる空気内の塵埃を捕獲するもの
である。
ベース10には、カバー11が設けられ、これら部品が
密閉される。
又、ベース10にはバルブ3bが設けられ、カバー11
にはバルブ3aが設けられている。
通常の動作では、内部空気は、磁気ディスク15の回転
によって磁気ディスク15の中心から外側に流れ、循環
する。
この時に、捕獲フィルタ18によって、内部空気の塵埃
が捕獲される。
又、内部の圧力変化に対し、平板形状の呼吸フィルタ1
7を介し空気流入口17aから外部空気が流入し、圧力
を一定に保つが、ij、激な圧力変化に対しては追従が
不十分である。
バルブ3a、3bは、開閉機構を有しており、通常閉状
態であり、パイプ30.31のプラグ5a、5bをバル
ブ3a、3bに挿入することによリ、開閉機構は開かれ
、ディスク装置内と外が結ばれ、空気が流出入すること
ができる。
第3図は第2図構成のバルブとプラグの構成図である。
第3図はバルブ3a、3bの閉鎖時を示しており、空気
流入路38に対し、フタ33が設けられ、フタ33がバ
ネ32によってパツキン34に押し付けられることによ
って、閉鎖状態を保つ。
又、バルブ3a、3bのプラグ5a、5b側には、遮断
用パツキンと、プラグとのロック用ボール36と、ボー
ル36のロック解除用スリーブ37が設けられている。
一方、プラグ5a、5bには、空気通路50を形成する
筒部51の外側に先端部52と、遮断用凸部53と、ロ
ック用凹部54とが設けられている。
バルブ3a、3bの空気通路38を開けるには、プラグ
5a、5bを矢印方向よりバルブ3a、3bに挿入する
先ず、初めに、プラグ5a、5bの凸部53が、バルブ
3a、3bのパツキン35に押し付けられて、空気通路
38と外気との遮断が行われ、次にプラグ5a、5bの
先端部52が、バルブ3a、3bのフタ33を押し、空
気通路38を開いて、更にバルブ3a、3bのボール3
6がプラグ5a。
5bの凹部54と嵌合し、プラグ5a、5bはバルブ3
a、3bにロックされる。
プラグ5a、5bの取り外しは、バルブ3a、3bのス
リーブ37を上方向に移動すると、ボール36とプラグ
5a、5bの凹部54との嵌合が解除され、ロックが解
除される。
プラグ5a、5bを引き抜くと、バルブ3a、3bのフ
タ33がバネ32の力によって押し上げられ、フタ33
はパツキン34に押し付けられ、空気通路38は閉鎖さ
れる。
このような開閉機構の付いたバルブ3a、3bでは、プ
ラグ5a、5bの着脱時に、空気通路3日に外部空気の
混入がなく、清浄度の測定が可能となる。
このような磁気ディスク装置の清浄度(塵埃)の測定に
は、塵埃計2の吸入口をバイブ30、プラグ5aを介し
一方のバルブ3aは継なぎ、吐出口をバイブ31、プラ
グ5bを介し他方のバルブ3bに継なぐ。
これによって、塵埃計2の吸入量と吐出量は同一であり
、磁気ディスク装置1内の圧力は通常時と同一に保たれ
、圧力の低下はなく、外部塵埃の侵入はない。
又、塵埃計2の吐出空気は、塵埃計2内部にあるフィル
タにて吸入した内部空気の塵埃を捕獲した清浄空気であ
り、磁気ディスク装置l内を汚すことがない。
この時、塵埃計2の吸入量(約300cc/分)に対し
て呼吸フィルタ17のみからの磁気ディスク装置1内へ
の空気補充では充分でなく、磁気ディスク装置1内が負
圧となり、外部から塵埃が混入してくるので、他方のバ
ルブ3bを設け、塵埃計2からの清浄空気を導入するの
である。
(b)  他の実施例の説明 第4図は本発明の他の実施例説明図である。
図中、第1図、第2図及び第5図で示したものと同一の
ものは同一の記号で示してあり、4はフィルタであり、
バイブ31、プラグ5bを介してバルブ3bに接続され
るものである。
この実施例では、塵埃計2の吸入口を、バイブ30、プ
ラグ5aを介しバルブ3aに接続し、内部空気を吸引す
るとともに、他方のバルブ3bは、バイブ31、プラグ
5bを介しフィルタ4に接続することにより、塵埃計2
の吸入量と同量の空気をフィルタ4より磁気ディスク装
置1内に補充するものである。
これによって、塵埃計2の吸引による磁気ディスク1内
の圧力低下はなく、外部塵埃の混入を防止して清浄度測
定が可能となる。
(C)  別の実施例の説明 上述の実施例では、ベース10と、カバー11の両方の
各々にバルブ3a、3bを設けているが、カバー11又
はベース10の片方に設けてもよく、バルブ3a、3b
を2ヶ設けた例で説明したが、必要に応じ3ヶ以上設け
てもよい。
以上本発明を実施例により説明したが、本発明は本発明
の主旨に従い種々の変形が可能であり、本発明からこれ
らを排除するものではない。
〔発明の効果〕
以上説明した様に、本発明によれば、塵埃計による清浄
度測定を、吸引量と排気量のバランスを採って行うこと
ができるため、磁気ディスク装置内の圧力が低下するこ
となく、清浄度を測定できるという効果を奏し、磁気デ
ィスク装置を汚染することなく、障害発生を未然に防ぐ
、清浄度測定ができ、磁気ディスク装置の信顛性向上に
寄与するところが大きい。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の原理図、 第2図は本発明の詳細な説明図、 第3図は第2図構成のバルブとプラグの構成図、第4図
は本発明の他の実施例説明図、 第5図は従来技術の説明図である。 図中、1−磁気ディスク装置、 2−塵埃計、 3a、3b−バルブ、 4− フィルタ。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ベース(10)とカバー(11)で密閉され、内
    部循環方式により装置内部の空気を清浄化する磁気ディ
    スク装置において、 複数の開閉機構の付いたバルブ(3a、3b)を該ベー
    ス(10)又はカバー(11)の一方又は両方に設けた
    ことを 特徴とする磁気ディスク装置。
  2. (2)ベース(10)とカバー(11)で密閉され、内
    部循環方式により装置内部の空気を清浄化する磁気ディ
    スク装置に、塵埃計(2)を接続して、該内部空気の清
    浄度を測定する磁気ディスク装置の清浄度測定方法にお
    いて、 該ベース(10)又はカバー(11)のいずれか一方又
    は両方に、複数の開閉機構の付いたバルブ(3a、3b
    )を設け、 該一方のバルブ(3a)に該塵埃計(2)を、該他方の
    バルブ(3b)に該塵埃計(2)又はフィルタ(4)を
    接続して、 該塵埃計(2)によって、該内部空気の清浄度を測定す
    るようにしたことを 特徴とする磁気ディスク装置の清浄度測定方法。
JP11957788A 1988-05-17 1988-05-17 磁気ディスク装置及びその清浄度測定方法 Pending JPH01290184A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11957788A JPH01290184A (ja) 1988-05-17 1988-05-17 磁気ディスク装置及びその清浄度測定方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11957788A JPH01290184A (ja) 1988-05-17 1988-05-17 磁気ディスク装置及びその清浄度測定方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH01290184A true JPH01290184A (ja) 1989-11-22

Family

ID=14764794

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11957788A Pending JPH01290184A (ja) 1988-05-17 1988-05-17 磁気ディスク装置及びその清浄度測定方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH01290184A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03187092A (ja) * 1989-12-15 1991-08-15 Nec Corp 磁気ディスク装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03187092A (ja) * 1989-12-15 1991-08-15 Nec Corp 磁気ディスク装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH08503327A (ja) ハードディスク駆動機構のエアフィルタおよび循環システム
JPS62259033A (ja) リーク検査装置のディテクタを較正する装置
JP5124248B2 (ja) 磁気ディスク装置の製造方法
JPH01290184A (ja) 磁気ディスク装置及びその清浄度測定方法
TW201834118A (zh) 用於控制針對半導體基板之輸送及大氣儲存的傳輸外殼之緊密性的裝置及方法
TW386275B (en) Particle measuring device having cyclone -shaped collector for semiconductor cleanroom application
JP2011090747A (ja) 磁気ディスク装置の製造方法
US7570454B1 (en) Fill valve with a press-fit member for a sealed housing
JP2009134777A (ja) 磁気ディスク装置およびその製造方法
TWI296024B (ja)
CN211347642U (zh) 一种高度集成化的气体吹扫装置
JPH05105206A (ja) クリーンルーム用気密ストツカー
CN103412496B (zh) 检测单真空源多工位吸头物料状态的方法及系统
JP3992906B2 (ja) 磁気転写装置のパーティクル監視方法
US7667924B2 (en) Particle extracting device of hard disk drive and hard disk drive including the same
TW202427638A (zh) 用於測量用於半導體晶圓之大氣輸送及儲存之輸送殼體的粒子污染的站台及方法
CN217683280U (zh) 一种用于高温环境的金属密封蝶阀
JP2722539B2 (ja) 磁気ディスク装置
US8123830B2 (en) Filter element with particle-trapping crevice
JPH02136116A (ja) 電気掃除機
JPH0281395A (ja) 磁気ディスク装置の外気通気孔構造
JPH0250386A (ja) 磁気ディスク装置
JPS61222085A (ja) 磁気デイスク装置
TWI696836B (zh) 基板處理裝置用之皮托管式流量計、基板處理裝置及基板處理方法
JPH0543537U (ja) ロードロツク室内のロボツト内部のn2 ガス置換装置