JPH01291491A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）　産業上の利用分野 本発明は、プリント基板を搬送するもので、その搬送途
中で位置決め装置により前記基板の位置決めをした後に
所定作業が行なわれた当該基板を下流に搬送する基板搬
送装置に関する。

（口）　従来の技術 従来の此種搬送装置は、特開昭６１−２６４７９１号公
報等に開示されている。

一方プリント基板によっては、多数の電子部品を装着し
なければならない場合があり、この場合コンベアに載せ
て装着した後、再度コンベアに載せて装着する必要があ
る。このとき、全てのプリント基板上に部品を装着し終
えて、アンローダに収納した後に、アンローダの基板ス
トッカとローダの基板ストッカとを交換し、再度ブリ〉
ト基板を搬送して装着すればよい。

（ハ）　発明が解決しようとする課題 しかし、前記基板ストッカを変換する場合に、その基板
ストッカの向きを反対側にしなければならないからプリ
ント基板の位置決め時の基準側が前回のときと反対とな
ってしまい、部品の装着精度に悪影響を与えることにな
る。

このため、使用者は、アンローダの収納箱から、「１−
グの収納箱に手で直接にか、或いは治具を用いてプリン
ト基板を移し換えて、再びコンベア搬送して電子部品等
を装着していた。

しかし、このように移し換え作業を行なうと、既に装着
した電子部品の位置ずれやときに破損したりすることが
あって、品質上大きな問題があった。また当然に移し換
えの作業の手間が掛るという問題があった。

そこで本発明は、再び搬送・装着する際にもプリント基
板の位置決め時の基準側を前回と同じにし、品質上の問
題及び作業の手間が掛るという問題を解決するものであ
る。

（ニ）　課題を解決するための手段 このために本発明は、プリント基板を搬送するもので、
その搬送途中で位置決め装置により前記基板の位置決め
をした後に所定作業が行なわれた当該基板を下流に搬送
する基板搬送装置に於いて、曲記位蟹決め装置の上流側
に、前記基板の流れ方向の向きを反転させる反転装置を
設けたものである。

（ホ）　作用 コンベアに搬送され、電子部品等が装着されてアンロー
ダの収納箱にプリント基板の収納が完了した場合に於い
て、再度搬送・装着するときには、アンローダの収納箱
とローダの収納箱とを移し換えて、順次コンベアにより
プリント基板を搬送する。そして当該プリント基板を位
置決め固定する前に、反転装置により水平方向に於いて
１８０度反転させて再搬送し、前回の位置決め基準と同
一とした状態で位置決め装置にて位置決めできる。

くべ）　実旌例 以下本発明の一実施例を図に基づき説明する。

〈１）は電子部品装着装置の本体で、該本体（１）には
プリント基板（厚膜基板含む）（Ｐ）、リードフ【・−
ム等を搬送するコンベア（２）と、該コンベア（２）に
於ける上流側に設けられる反転装置（３）と、該反転装
置（３）の下流側に設けられる一対の位置決め装！（４
）（５）と、取付台（６）上に固定される吸着フレット
交換装置（７）（８）と、４個のウェハーテーブル（９
）（１０）有してＸＹ力方向の移動及び平面方向で回転
可焼なウェハー支持台（１１）（１２）と、天板（１３
）に吊持されてＸＹ力方向移動可能な装着ヘッド（１４
）（１５）とが設けられている。

前記コンベア（２）は、一対の駆動スプロケット（１６
）（１１３）、従動スプロケット（１７）（１７）間に
張設された一対のチェーン（１８Ａ）（１８Ｂ＞から敗
り、該チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ＞上に載置してプリ
ント基板（Ｐ）を上流側から下流側へ搬送する。このと
きチェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）には所定間隔を存して
基板（Ｐ）の送り方向の後端部に係止する係合片（１９
）が立設され、基板（Ｐ）は両チ５．−ン（１８Ａ）（
１８Ｂ＞上にＩＩ！、置し且つ各係合片（１９）で係止
された状態で上流側から下流側に間欠的に搬送される。

尚各係合片（１９）が設けられるその相互間隔は。

チェーンピッチの整数倍となっており、この間隔内に収
まる基板（Ｐ）は全て搬送動作に関しては、段取りなし
で共通に送ることができる。

次にコンベア（２）及び可動シュート（２ＯＡ）の移動
について述べる。駆動モータ（２１）が通電されると、
ベルト〈２３）を介してその駆動が伝達されてインデッ
クス装置（２２）の出力軸が間欠駆動し、その出力軸に
取付けられた出力軸プーリ（２４）とプーリ（２５）と
の間に張設きれたベルト（２θ）によりスプライン軸（
２７）が間欠回転するので両プーリ（２８Ａ）（２８Ｂ
＞（２９Ａ）（２９Ｂ）間に張設されたベルト（３０）
（３１）により支軸（３２）＜３３）を介して両駆動ス
プロケット（１６）（１６）が間欠回転する。これによ
り両スプロケット（１６）（１６＞、　（１７）（１７
）が回転するので、チェーン（１８Ａ＞（１８Ｂ）上の
プリント基板（Ｐ）は間欠的に定まった距離搬送される
ことになる。

一方可動シュート（２ＯＡ）の両端に設けられたナツト
体（３４）（３５）にボールネジ体（３６）（３７）が
嵌合し、駆動モータ（３８）によりベルト（３９）及び
プーリ（４０）（４１）を介して該ネジ体（３６）（３
７）が回転すると、可動シュート＜２ＯＡ）が固定シュ
ート（２０Ｂ）に対して進退動することになる。即ち基
板（Ｐ）の流れ方向と直交する方向の幅寸法に対応して
、両シュー　ト（２０Ａ）（２０Ｂ）間の距離を拡げた
り狭めたりすることができる。このとき、可動シュー）
、（２ＯＡ）はスプライン軸受（４２）によってスプラ
イン軸（２７）に沿って移動することになる。

（４３）は前記フンベア（２）による送りが停止してい
る状態での位置決め装置（４）より１ピッチ分上流に位
置する係合片（１９）の存在を検知する一対の光学的手
段から成るセンサーで、間欠移動するコンベア（２）の
位置ずれを検知する。即ち経時変化等でチェーン（１８
Ａ）が伸びて係合片（１９）の停止位置がずれて、ある
許容範囲を越えた場合には、前記センサー（４３）が「
無し」と検知すると、電子部品装着装置全体を停止させ
る。この場合１作業者は手動でもってインデックス装置
（２２）の軸を回し、ずれ量を補正する。

反転装置（３）は、前記コンベア（２）に於ける上流側
の前記チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）間の下方位置に配
設され、必要に応じ前記基板（Ｐ）の流れ方向の向きを
反転させるものである。該反転装ｅ（３）は、Ｘ軸周モ
ータ（４４）、Ｙ動用モータ（４５）によりＸ方向及び
Ｙ方向に移動可能なＸＹテーブル（４６）と、得々のも
のが取付けられるものであってＸＹテーブル＜４６）上
に設けられる取付台（４７）とから構成きれる。　（４
ｇ＞は取付台（４７）に固定され上下杆（４９）を上下
動可能に案内するガイド、（５０）は前記上下杆（４９
）の頂部に設けられてコンベア（２）より上方へ突出可
能な押上体、（５１）は前記上下杆（４９）の下部に設
けられたプーリ（５２）とモータ（５３）の出力軸プー
リ（５４）間に張設されたベルト、（５５）は一端がシ
リンダー（５６）の作動杆と回動可使に連結これ他端が
上下杆（４９）の下端部の支持部（５７）間に嵌合され
中間部を支点として揺動可能な揺動部材である。

そして、該反転装置（３）の押上体（５０）には、所定
間隔を存して複数の吸引路（５８）が形成きれ、上下杆
（４９）には該吸引路（５８）に連通する真空通路（５
９）が形成され、更に該通路（５９）にはロークリジツ
イント（６０）及びチューブ（６１）を介して図示しな
い真空源に連通する。

尚インデックス装ｆｉ！（２２）の出力側には出力軸プ
ーリ（２４）との間にトルクリミッタ（６２）が設けら
れ、その端部に過負荷検出板（６３）が設けられている
。従って、プリント基板搬送中に異常が起き、過負荷状
態になって、前記検出板（６３）が軸方向に移動した場
合に、一対の光センサ−（６４）で過負荷状態を検出す
ることができる。

（６５Ａ）＜６５Ｂ）は前記シュート（２０Ａ＞（２０
Ｂ）の上流側端部に夫々対向する如く内側に設けられた
ブレーキ部材で、夫々上面には真空源に連通ずる吸引口
（６６）が複数開設きれている。　（６７Ａ）はローダ
で、複数のプリント基板（Ｐ）を棚上に収納すると共に
図示しないエレベータにより昇降可能な収納箱（６８Ａ
）と該箱（６８Ａ）内の最下位にある基板（Ｉ”）を前
記コンベア（１８Ａ）（１８Ｂ）上に押出す押出部材（
６９）とより成る。この押出部材（６９）より収納箱（
６８Ａ）内の基板（Ｐ）が押出建れた際に、コンベア（
１８Ａ）（１８Ｂン上にスームズに乗り移らず、りい余
ってコンベア（１８Ａ）　（１８Ｂ）からから落下した
りしないように、前記ブレーキ部材（６５Ａ）（０５Ｂ
）によって吸引され確実に安定した状態で乗り移れるよ
うにされている。即ち押出部材（６９）の押出動作開始
時に真空源による吸引を開始し、押出動作が終了したら
吸引を解除する。

次に一対の基板位置決め装！（４）（５）について説明
するが、両者は同様な構成であるため、一方（５）につ
いてのみ説明する。該位置決め装置（４）（５）は、基
板（Ｐ）の送り方向、これと直交する幅力向及び基板（
Ｐ）の厚さ方向の各方向の位置決めを行なうものであり
、以下説明する。

一対の軸受（７０）（７１）を貫通する軸杆（７２）に
は、第１図及び第２図の左から幅寄せカム（７３）、リ
フトカム（７４）及びクランプカム（７５）が設けられ
、該軸杆（７２）左端部のプーリ（７６）とモータ（７
７）の出力軸プーリ（７８）間にはベルト（７９）が張
設されている。従ってモータ（７７）の通電により軸杆
（７２）が回転すると、各カム（７３）（７４）（７５
）が回転し、６力ｌ・フォロワー（８０）（８１バ８２
）を介して各」；下部材（８６）＜８７）（８ｇ＞が上
下動し、これに伴ない各カムレバー（８９）（９Ｇ）（
９１）も上下動する。

先ず基板（Ｐ）の送り方向の規制位置決めを行なう装置
（９２）について説明する。

（９３）（９４）は前記基板（Ｐ）の流れ方向の端部に
接触する基準クランプ、可動クランプで、夫々支軸゛（
９５）（９６）を支点として回動可使である。そしてバ
ネ（９７）により基準クランプ（９３）は外方に回動す
るように付勢され、可動クランプ（９４）はバネ（９８
）により内方へ回動するように付勢されている。　（９
１）は前述の如く前記上下部材（８Ｂ）の頂部に設けら
れたカムレバーで、前記クランプ（９３）（９４）に突
出し　−たピン（９９）（１００）に係合して、該クラ
ンプ（９３）（９４）の揺動を制御する。

一方基板（Ｐ）の流れ方向に延びたリニアガイド（ｉｏ
ｌ）によりＸテーブル（１０２）が水平移動可能であり
、該テーブル（１０２）には前記可動クランプ（９４）
を回動可能に支持する可動体（１０３）が固定されると
共に、駆動ｇ（図示せず）により回転するネジ軸（１０
４）が嵌合するボールネジ体（１０５）と一体化された
連結体（１０６）が固定される。　（１０７）（１０８
）は軸受である。

従って駆動源によりネジ軸（１０４）が回転することに
より連結体（１０６）を介してＸテーブル（１０２）が
流れ方向に移動するため、可動体（１０３）も移動し、
基準クランプ（９３）に対して可動クランプ（９４）が
遠近移動することができ、種々の基板（Ｐ）の送り方向
の長さに対応できる。

またカムレバー（９１）が上動すると、可動クランプ（
９４）はピン（１００）を介して外方向に回動し、基準
クランプ（９３）もバネ（９７）により外方向に回動し
、両クランプ（９３）（９４）は基板（Ｐ）より下方に
位置することになる。

以上のように、上下部材（８８）は、ガイド（８５）を
介して上下動可能であり、固定シュート（２０Ｂ）に突
出したピン（１１０）と上下部材（８８）に突出したピ
ン（１１１）との間にはバネ（１１２）が張架きれ、該
、上下部材（８８）を上方へ付勢している。従って上下
部材（８８）端部のカムフォロワー（８２）は、クラン
プカム（７５）に圧接するので、該カム（７５）の形状
に合わせて上下部材（８Ｂ）はＬ下することになる。

次に基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方向の規制につ
い１述べる。先ず固定シュート（２０［１）の上部には
、固定板（１１５）が設けられ、該固定板＜１１５）上
には所定間隔を存して可動ベアリング体＜１１６）及び
基準ベアリング体（１１７）が設けられる。一方可動シ
ュート（２０Ａ）に設けられる軸受（１１８）（１１８
）に回転可能に支持される支軸（１１９）には、複数個
の幅寄せ部材（１２０）を取付け、図示しない軸により
回転可能なその円筒部分の周縁が基板（Ｐ）に当接可ｔ
ｒ＆である。そして一対の支持部（１２１）（１２１）
間に支持された取付杆（１２２）に付勢体としてのバネ
（１２３）の一端が固定され、前記幅寄せ部材（１２０
）は夫々基板（Ｐ）方向に回動するように付勢されてい
る。また一対の支持部（１２１）（１２１）間に支持さ
れた支軸（１２４）により回動可能ときれた伝達アーム
（１２５）の上部には、係合ロッド（１２６）が設けら
れ、前記幅寄せ部材（１２０）の夫々を基板（Ｐ）から
遠ざけるように作動する。前記伝達アーｌ、（１２５）
の他端部にはカムフォロワー（１２７）が設けられ、前
記幅寄せカム（７３）と係合するカムフォロワー（８０
）を有する上下部材（８６）の上下動に伴うカムレバー
（８９）の」二下勤によって、該レバー（８９）により
前記カムフォロワー（１２７）を介して前記伝達アーム
（１２５）は回動されることになる。

次に基板（Ｐ）への部品実装面の位置を、該基板ＣＰ）
の厚さ如何に係わらず一定とするための規制装置（１３
０）について説明する。固定シュート（２０Ｂ＞及び可
動シュート（２０Ａ）には、夫々リニアガイド（８４）
（８４）により吸着用上下部材（８７Ａ）（８７＾）が
上下動可能とされている。また両シュート（２０Ｂ）（
２０Ａ）から突設したピン（１３１）（１３１）と各上
下部材（８７Ａ）（８７Ａ）下部に突設したピン（１３
２）（１３２）との間にはバネ（１３３）（１３３）が
張架され、上下部材（８７）（８７）を夫々上方へ付勢
している。

一方上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）端部に設けられたカ
ム７ｔＯワー（１３４）（１３４）は、カムレバー　（
９０）＋：　、Ｊ、り押下げられる。即ち、リフトカム
（７４）に係合するカムフォロワー（８１）を有する上
下部材（８７）の上端部に前記カムレバー（９ｏ〉を設
けているので、リフトカム（７４）により吸着用上下部
材（８７Ａ）（８７Ａ）は夫々上下動することになる。

また（１３５）（１３５）は前記シュート（２０Ａ）（
２０Ｂ＞（７）上部に設けられる基板押えで、前記基板
（Ｐ）の上面と係合可使な係合部（１３６）（１３６）
を有している。

更に、前記吸着用上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）のと流
寄りの吸着部＜１３８）には、複数の吸着孔（１３７）
が開設され、真空バイブ（１３９）（１３９）を介して
図示しない真空源に連通している。従って前記上下部材
（８７Ａ）（８７Ａ）の上部にプリント基板（Ｐ）の下
面が吸着可能である。

また前記上下部材（８７Ａ）（８７＾）の上部面は、コ
ンベア（２）搬送面よりわ・ずかに高いレベルに設定さ
れており、チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）の係合片（１
９）（１９）により基板（Ｐ）は、コンベア（２）搬送
面から前記上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）に乗り移り、
その時点で、真空吸着を開始する。そしてコンベア（２
）が停止したときにその吸着を停止するが、この吸着に
よりコンベア（２）が停止したときの慣性によってプリ
ント基板（Ｐ）が移動することはない、従って大きな位
置ずれを起すことなく、該上下部材（８７Ａ）（８７Ａ
）によってリフＩ・アップされ、プリント基板（Ｐ）は
その送り方向及びこの送り方向と直交する幅方向の位置
決めがなきれた状態で、基板押え（１３５）（１３５）
の係合部（１３６）（１３６）に押しつけられる。

次にウェハー支持台（１１）（１２）について詳述する
が、両者は同一構造であり支持台（１１）についてのみ
説明する。　（１４０）はＸＹテーブルで、Ｘ軸層モー
タ（１４１）、Ｙ軸周モータ（１４２）により、Ｘ軸方
向ガイド（１４３）及びＹ軸方向ガイド（１４４）に沿
って、平面方向に移動可能である。また該ＸＹテーブル
（１４Ｇ）上に載置したウェハーテーブル（９）は、図
示しない駆動源により正逆回転可能である。

従って、突き」−げ針装置ｌｌ　（１４５）の上方位置
に、所望のウェハーシート（１４６）が位置することに
なる。ウェハーテーブル（９）は、４個あるために、少
なくとも１種以上４種以下の例えば夫々大きさが異なる
ウェハーを扱えることになる。

次に一方の装着ヘッド（１４）について詳述する。

該ヘッド（１４）は、天板（１３）に支持された支持部
材（１５０）に支持されたボールネジ（１５１）に沿っ
て第４３図に示す駆動モータ（１５４Ａ）によりＸ方向
の移動が可能であり、またガイド体（１５２）（１５２
）に沿って駆動モータ（１５４Ｂ）によりＹ・方向の移
動が可使となる。略箱状を呈したヘッド本体（１５３）
内に配設された駆動モータ（１５４Ｃ）の出力軸プーリ
（１５５）とネジ軸（１５６）端部のプーリ（１５７）
との間にはベルト（１５ｇ）が張設され、上下移動体（
１５９）がナツト体（１６０）によりガイド体（１６１
）を介して上下移動可能となる。

そしてｂ下移動体（１５９）には、加圧用モータ（１６
２）とロックソレノイド（１６３）が固定されており、
該モータ（１６２）の出力軸にはバネ取付ピン（１６４
）を有するレバー＜１６５）が設けられている。前記ソ
レノイド（１６３）のプランジャ（１６６）には取付ピ
ン（１６７）が突設され、上下移動体（１５９）に固定
されたＬ字形状の支持体＜１６８）に突設した取付ピン
（１６９）との間にはバネＡ（１７０）が張架されてい
る。

上下移動体（１５９）の軸受部（１７１）には支軸（１
７２）により揺動体＜１７３）が回動可能とされ、該揺
動体（１７ｇ）の上端部にはＵ字溝が切欠されて該溝に
前記取付ピン（１６７）が嵌合し、また揺動体（１７３
）の他端部には加圧ベアリング体（１７４）が設けられ
ている。

＜１７５）はロータリジヨイント（１７６）に突設した
鍔体（１７７）を、前記加圧ベアリング体（１７４）と
で挟持する固定ベアリング体であり、前記支持体（１６
Ｂ）の端部に設けられている。前記揺動体（１７３）に
突設した取付ピン（１７Ｂ）と加圧用モータ（１Ｂ２）
の出力軸に固定されたレバー（１６５）に突設した取付
ピン（１６４）との間に張架されたバネＢ　（１７９）
により前記加圧ベアリング体（１７４）を下方へ付勢し
ている。

そしてこの加圧用モータ（１６２）の回転角度を制御す
ることにより、加圧ベアリング体（１７４）によるロー
タリジヨイント（１７６）及び固定ベアリング体（１７
５）への押圧力を可変とすることができる。このバネＢ
　（１７９）は、ペレット（１８０Ａ）、　（１８０Ｂ
）を基板（Ｐ）に装着する際の押しっけ圧力を加°える
ためのものである。

また前記上下移動体（１５９＞に突設した取付ピン（１
８１）とロータリジヨイント（１７６）から突設した取
付ピン（１８２）との間には、ｌメランスバネＣ（１８
３）が張架され、該バネＢ　（１８３）の弾性力と吸着
ノズル体（１８４）及び吸着フレット＜１８５）の自重
が略等しくなるようにこの弾性力が設定されており、前
記自重の影響を除去している。

前記ロータリジヨイント（１７６）にはピン（１８６）
が突設しており、このピン（１８６）に嵌合する係止片
（１８７）により該ジョイン）（１７６）自身の回転は
防止されている。

吸着ノズル体（１８４）は、ロータリジヨイント（１７
６）、ホース（１９０）、大きなペレット（１８０Ｂ）
の吸着有無検出に使用する真空スイッチ（１９１）等を
介して図示しない真空源と連結している。該吸着ノズル
体（１８４）は、上下ガイド体（１９２）内を上下動可
能であるが、該ノズル体（１８４）の上部には面取部（
１９３）が形成されて規制ベアリング（１９４＞により
上下ガイド体（１９２）内でのθ回転はできない、前記
真空スイッチ（１９１）は、真空源による吸引圧力が一
定値以上になった場合に作動し、吸着コレット（１８５
）がベレットを吸着していないものと判断する。

また前記ヘッド本体（１５３）内には、駆動モータ（１
９５）が配設されその出力軸プーリ（１９６）と前記上
下ガイド体（１９２）周囲に固定きれたプーリ（１９７
）間にはベルト（１９ｇ）が張設きれ、前記モータ（１
９５）の通電によりベルト（１９８）を介して上下ガイ
ド体（１９２）がベアリング体（１９９）に案内きれつ
つ回転し吸着ノズル体（１Ｂ４）をもθ回転さすること
になる。

該吸着ノズル体（１８４）の下端には、吸着コレット（
１８５）がロック機構（２００）の施錠、解錠により若
脱可能に設けられる。

（２０１）は前記ヘッド本体（１５３）の側面に取付け
られたＤＣソしメイドで、そのプラン２〜（２０２）に
は中間部が枢支された作動レバー（２０３＞が回転可能
に連結している。　（２０４）はヘッド本体（１５３）
に上下に延びたガイドレール（２０５）に沿って上下動
可能な上下スライダーで、該スライダー（２０４）に突
設したピン（２０６）とヘッド本体（１５３）上部に突
設したビン（２０７）との間にはバネＤ（２０８）が張
架され、該スライダー（２０４）を上方へ付勢している
。

そしてこのスライダー（２０４）には、カムフォロワー
（２１０）が設けられており、ヘッド本体（１５３）に
は上限ストッパ（２１１）及び下限スト・シバ（２１２
）が設けられ前記作動レバー（２０３）がカムフォロワ
ー（２１０）に当接しているので、前記ンレノイド（２
０１）が励磁すると作動レバー（２０３）は反時計方向
へ回転してスライダー（２０４）を押下げカムフオｏ７
−（２１０）がストッパ（２１２）に当接して停止し同
様に消磁すると作動レバー（２０３）が時計方向へ回転
し該レバー（２０３）が上限ストッパ（２１１）に当接
するまでバネＤ（２０Ｂ）によりスライダー（２０４）
を押上げる。

従って発光素子（２１３）及び受光素子（２１４）を備
え且つ厚さが厚いが小さなベレット（１ｇＯＡ）の吸着
検出に使用する光電検知装置ｔ　（２１５）を下端部に
備えているので、この上下スライダー（２０４）の上下
により光電検知装置（２１５）も上下することになる。

このため、検知装［（２１５）が下方位置にあるとき、
吸着コレット（１８５）が吸着しているベレット（１８
０Ａ＞（１８０Ｂ）の有無状態を検知でき、上方位置に
あるとき、吸着コレット（１８５）自体の有無状態を検
知できる。

（２８４Ａ）（２８４Ｂ）は保持形の３！！！動する切
換スイッチで、使用者が任意に切換えられる。　（２８
５）（２８６）は夫々オア回路、アンド回路で、制御装
置であるマイクロ・コンピュータ（２８７）に接続され
ている。

従って切換スイッチ（２８４Ａ）（２８４Ｂ）が、第４
３図に示すように設定しである状態では、前記真空スイ
ッチ（１９１）が光電検知装！（２１５）かのいずれか
が、ペレット「無し」を検知したら、予めペレット無し
カウンター（図示せず）に゛設定された回数Ｎだけピッ
クアップ動作を繰り返し、Ｎ回を越えると、マイクロ拳
コンピュータ（２ｇ？）はモータ駆動回路（２８ｇ）を
介して各モータ（１５４Ａ）（１５４Ｂ）（１５４Ｃ）
を制御して、装着ヘッド（１４）、　（１５）を復帰さ
けた後当該装着装置の運転を停止すると共に報知手段（
２８９＞により表示灯、ブザー等の視覚か聴覚に訴えて
使用者に知らせる。然る後使用者は、ペレットｒ無し）
が事実か否かの確認をし、事実でなければ真空スイッチ
（１９１）の作動レベルを￥Ｉ４整したり、光電検知装
置（２１５）の高さ位置Ｕ４整を行なって一回試運転さ
せるか再運転させればよい。

また切換スイッチ（２８４Ａ）（２８４Ｂ）を切り換え
た場合には、真空スイング−（１９１）及び光電検知装
置（２１５）の両方がペレット１無し、を検知した場合
に、アンド回路（２８６）を介してマイクロ・コンピュ
ータ（２８７）が検知出力を受けて前述と同様に制御す
る。

尚ｖｆＩ記切換スイッデ（２８４Ａ）＜２８４Ｂ＞、オ
ア回路（２８５）、アンド回路（２８６）に代えて、同
等の機能をキー人力装置及びランダム・アクセス−メモ
リ（ＲＡＭ）によって置換えることも可能であることは
勿論である。

次に前記吸着コレット（１８５）について説明すると、
該、ノズル体（１８４）の下端部には、ロック機構取付
部（２１６）を形成し、該取付部（２１６）にロック機
構（２０Ｇ）を設ける。そして該取付部（２１６）には
、中空の取付空間（２１ｇ）が形成され前記吸着コレッ
ト（１８５）のアダプタ（２１９＞が嵌合する。また取
付部（２１６）の両側部には軸受体（２２０）（２２０
）間に夫々ロック爪体（２２１）を配設してこれらを支
軸（２２２）が貫通し、ロック爪体（２２１）の夫々を
対向するように配設してバネ（２２３）によりその下端
が互いに近づくように付勢している。　（２２４）は取
付部（２１６）下面に突設した位置決めピンであり、後
述のＵ字溝（２２５）に嵌合可能である。

吸着コレット（１８５）は、前記取付部（２１６）の取
付空間（２１８）に嵌合１゛るアダプタ（２１９）と、
該アダプタ（２１９）の下部には前記嵌合した際に前記
取付体（２１６）下面に当接するアダプタフランジ部（
２２６）と、ベレット（１８０Ａ）（１８０Ｂ）を直接
吸着する吸着部（２２７）とから構成される。前記フラ
ンジ部（２２６）の両側部には、下部が内方へ凹んだ係
止部（２２ｇ）が形成され、前記ロック爪体（２２１）
の下端が該係上部（２２８）に入り込んでロックするこ
とになる。

次に吸着コレット交換装置（７）、（８）について述べ
るが、両者は同一構造であるため、一方（７）について
のみ述べる。該交換装置（７）は、大きく分けて取付板
（２３０）に対して図示しない駆動源により上下動可能
なツールスト１カー（２３１）及びストッカー台（２３
２）と、所定間隔を存して複数のロック解除ピン（２３
３）を有するピン取付台（２３４）とから構成きれる。

面記ストッカー（２３１）及びストアカー台（２３２）
とは、略同形状であり、両者は所定間隔も存して互いに
合致する取付孔＜２３５）（２３６）が複数穿設されて
いる。そしてストッカー（２３１）及びストッカー台（
２３２）に穿設した孔には２本のフンプライアンスピン
（２３７）が遊嵌し、頭部（２３８）とフィルスプリン
グ（２３９）によりストッカー（２３−１＞及びストッ
カー台（２３２＞は、該ストッカー台（２３２）の上面
に開設した溝内にあるスチールポール（２２９）を介し
て互いに圧接される。このボール（２２９）によってス
トッカー台（２３２）上をストッカー（２３１）が転が
れるようになる。前記コンプライアンスピン（２３７）
の径より該ピン（２３７）が嵌合する孔径をやや大きく
とることによって、吸着コレット（１８５）の着脱時の
吸着ノズル体（１８４）のセンターとストッカー（２３
１）に収納された吸着コレット（１８５）のアダプタ（
２１９）のセンターの芯ずれを吸収できる。

前記ピン取付台（２３４）から立設した夫々同長のロッ
ク解除ピン（２３３）は、前記ストッカー（２３１）及
びストッカー台（２３２）を貫通している。

ストッカー（２３１）の取付孔（２３５’）の上面側開
口周縁部の前後部には、吸着コレット支持台（２４Ｇ）
が立設され、夫々位置決めピン（２４１）（２４１）が
突設している。従って該交換装Ｒ（７）に吸着フレット
（１８５）が置かれている場合には、前記支持台（２４
０）上に前記フランジ部（２２６）が当接し、然も該フ
ランジ部（２２６）の長手力向側の端部にはＵ宇Ｗ４（
２２５）（２２５）が形成され、夫々位置決めピン（２
４１）（２４１）が該溝＜２２５）（２２５）に嵌合し
、該コレｙト（１８５）のθ回転を阻止する。

前記ピン取付台（２３４）は取付板（２３０）に取付け
られたシリンダー（２４２）により、ガイド（２４３＞
（２４３）に軸杆（２４４）（２４４）が案内されなが
ら上下動が可能である。　（２４５）（２４５）は前記
ストッカー台（２３２）に設けられた軸受体で、該軸受
体（２４５）に所定間隔を存して複数の押え部材（２４
７）が固定きれた軸杆（２４６）が回動自在に支持され
ている。該押え部材（２４７）は略クランク形状を呈し
て一端部が前記アダプタフランジ部（２２６）に上面か
ら係合するもので、任意の押え部材（２４７）の他端部
には回動用駆動源としてのシリンダー（２４８）が連結
している。

尚前記ツールストッカー（２３１）及びストッカー台（
２３２）に開設した複数の取付孔（２３５）（２３６）
の開設ピッチ、同じくロック解除ピン（２３３）が嵌合
する孔（図示せず）の開設ピッチ、ロック解除ビン（２
３３）の取付ピッチは全て同ピツチである。

次に突き上げ針装置（１４５）について詳述する。

先ず図示しない駆動モータ及びその出力軸に設けられた
歯車と歯車（２５０）とが噛合しており、娘歯車（２５
０）により回転ガイド（２５１）及び回転板（２５２）
が９０度正逆回転可能である。　（２５４）はシリンダ
ー（２５３）により上下動するベース体で、該ベース体
＜２５４）に取付けられた回転ガイド軸受（２５５）に
案内されつつ前記回転ガイド（２５１）は回転可能であ
る。

そして回転板（２５２）には、９０度異な−）た位置に
夫々第１のガイドレール（２５６）（２５７）に沿って
移動可ずｔな第１の作動レバー（２５８）（２５９＞及
び夫々第２のガイドレール（２６０＞（２６１＞に沿っ
て移動可能な第２の作獅レバー（２６２＞（２６３＞が
設けられる。第２の作動レバー（２６２）（２６３）に
は、ガイド体（２６４）（２６５）が設けられている。

一方のガイド体（２６４）は、小さいペレット（１ｇＯ
Ａ）に対応するもので、そのステージ面（２６６）の外
径は小さく、吸着孔（２６７）の孔径も小さい、該ガイ
ド体（２６４）には、突き上げ針（２６８）を上下動可
能とする案内通路（２６９）が中央部に形成され、また
４個開設された吸着孔（２６７）は夫々１つの集合室＜
２７０）に連通した後１つの連通路（２７１＞及び導管
（２７２）を介して真空源に連通している。

また他方のガイド体（２６５）は、大きいペレット（１
８０Ｂ）に対応するもので、そのステージ面（２７３）
の外径は前記ステージ面（２６６）のそれより大きく、
吸着孔（２７４）の孔径も前記吸着孔（２６７）のそれ
よりも大きい、そしてガイド体＜２６５）には、例えば
４木の突き上げ針（２７５）を上下動可能とする案内通
路（２７６）及び前記針（２７５）を支持する支持杆＜
２７６）を上下動可能とする案内通路（２７７）が形成
され、また８個開設された吸着孔（２７４）は夫々１つ
の集合室（２７９＞に連通した後１つの連通路（２８０
）及び導管（２８１）を介して真空源に連通している。

従って、該ガイド体＜２６５）の総吸引力は、ガイド体
（２６４）のそれよりも大きく設定しである。

そして、前記突き上げ針（２６ｇ）及び支持杆（２７７
）の下部には、夫々フィルバネ（２８２）（２８３）が
巻装された状態で第１の作動レバー（２５８）（２５９
）に夫々取付けられる。従ってこれらバネ（２８２＞（
２８３）によって、両レバー（２５８）（２５９）、　
（２６２）（２６３）が離反するように付勢される。

（２９０）（２９１）は下限ストッパで、第１の作動レ
バー　（２５８）（２５９）の係合部（２９２バ２９３
）が当接することにより該レバー（２５Ｂ＞（２５９）
の下限が決定される。

即ち前記針（２６８）（２７５）の下限が決定されるこ
とによる。

そして、後述の上下ローラー（２９４＞により夫々第１
の作動レバー（２５ｇ＞、　（２５９）が上動したとき
に、バネ（２８２）、　（２８３）によって第２の作動
レバー＜２６２＞、　（２６３）も上動するが、上限ス
トッパーポル１−　＜２９５）＜２９６）が上限ストッ
パ（２９７）（２９８）に当接すると上動は制限される
。更に第１のレバー（２５ｇ）。

（２５９）がバネ（２８２）、　（２８３）に抗して上
動すると、針Ｃ２６８＞（２７５）は上昇し、ウェハー
シート（１４６）のペレット＜１８ＯＡ）、　（１８０
Ｂ）を突き上げることになる。

（２９９）、　（３００）は押下げビンで、第１の作動
レバー（２５ｇ）、　（２５９）が下降するときに第２
の作動レバー　（２６２）（２６３）も下降することに
なる。

・一方、ベース体（２５４）の上部には駆動モータ（３
０１）が取付けられ、その出力軸プーリ（３０２＞とネ
ジ軸（３０３）の上部のプーリ（３０４＞との間にベル
ト（３０５）が張設される。　（３０６）は前記ネジ軸
（３０３）を支持する支持体で、（３０７）は前記ネジ
軸（３０３）が嵌合し該ネジ軸（３０３）の回転により
上下する上下バーである。該上下バー（３０７）は回転
ガイド（２５１）の中空部に遊挿され、該バー（３０７
）端部の上下ローラー（２９４＞が該バー（３０７）の
上動に伴ない第１の作動レバー＜２５８）、　（２５９
）のいずれかを前述の如く上動させるものである。

（３０８）、　（３０９）は回転板ストッパで、夫々回
転板（２５２）に当接して、該回転板（２５２）の停止
１：、位置を確実なものとしており、このストッパ（３
０８）、　（３０９）に回転板（２５２）が当接する際
の衝撃を緩和するためにショ・ンクアブソーバが設けら
れている。

そして第４０図に示すように、前記ガイド体（２６４）
、　（２６５）と真空源との間には、第１のフィルター
（３１０）、（３１１）と、切換弁（３１２＞、　（３
１３）と、該切換弁（３１２）、　（３１３）と真空源
との間に並列に接続される二又絞り弁（３１４）（３１
５）、　（３１６）（３１７）、第２のフィルター（３
１８）＜３１９＞、　（３２０）＜３２１）及びパルプ
（３２２）（３２３）、　（３２４）（３２５＞とが設
けられる。

尚真空圧のＩＬＬ！！は、二又絞り弁（３１４）（３１
５）。

（３１６）（３１７＞の一方の大気に開放している弁（
３２６）（３２７）、　（３２８）（３２９）の絞り具
合により決まる。

前記第１のフィルター（３１Ｇ）、　（３１１）は、吸
着孔（２６７）、　（２７４）から吸い込んだ塵埃を除
塵して、切換弁（３１２）、　（３１３）及び二又絞り
弁（３２６）（３２７）。

（３２８）（３２９）を保護し、第２のフィルター（３
１ｇ）。

（３１９）、　（ａ２ｏ）、　（３２１）は、前記二又
絞り弁（３２６）（３２７）、（３２８）（３２９）カ
ラ吸イ込ンタ塵埃をｖＲ塵し、夫々バルブ（３２２）（
３２３）、　（３２４）（３２５）を保護する。

以上の構成により以下動作について説明する。

い）　コンベア（２）幅のＩＲ整動作 固定シュート（２０Ｂ）に対１゛る可動シュート（２０
Ａ）の移動動作について以下述べる。１ａ々の大ききの
プリント基板（Ｐ）をコンベア（２）を搬送できるよう
にするために、先ず駆動モータ（３８）によりベルト（
３９）及び各プーリ（４０）＜４１）を介してポールネ
ジ体（３６）（３７）を回転させる。するとナツト体（
３５）〈３６）が可動シュート（２０Ａ）と共に進退動
するが、このとき可動シュート（２０Ａ）はスプライン
軸（２７）に案内されながら移動することになる。従っ
て両ス−ｊ　ｏケラト（１６）、　（１７）間に張設さ
れたチェーン（１８Ｂ）も移動することにムリ、プリン
ト基板（Ｐ）の送り方向と直交する方向の幅に対応でき
ることになる。

（ｉ）　　プリント基板（Ｐ）の搬送動作駆動モータ（
２１）が通電されると、ベルト（２３）を介してインデ
ックス装置（２２）が働らき、その出力軸プーリ（２０
とプーリ（２５）との間に張設されたベルト（２６）に
より支軸（３２）（３３）を介して駆動スプロケット（
１６）（１６）が回転する。このため従動スプロケット
（１７）（１７）も回転し、チェーン（１８Ａ）（１８
Ｂ）上°、のプリント基板ＣＰ）は間欠的に搬送される
ことになる。

このとき、プリント基板（Ｐ）は、各係合片（１９）に
その上流側端部が係合した状態で、間欠的に搬送される
。

尚、駆動スプロケット（１６）の加工上の寸法誤差が送
り精度のバラツキ、にならないようインデックス装置（
２２）の１割出しによって、該スプロケット（１６）が
１回転するようにし、このスプロケット（１６）の１回
転が間欠搬送の１ピツチとなるように該スプロケット（
１６）、プーリの歯数が決めである。

またローダ（６７Ａ）から前記チェーン（１８Ａ）（１
８Ｂ）上へプリント基板（Ｐ）の橋渡しは、先ず収納箱
（６８Ａ）内の最下位にある基板（Ｐ）を押出部材（６
９）により押出すことにより行なわれる。即ち押出部材
（６９）は、前記各係合片（１９）間に各基板（Ｐ）が
位置するように作動する。

前記押出部材（６９）が基板（Ｐ）を押出すと、この押
出動作開始に同期して各ブレーキ部材（６５Ａ）（６５
Ｂ）により各吸引口（６６）を介して基板（Ｐ）の動き
に真空によってブレーキをかけるので、コンベア（１８
Ａ）（１８Ｂ）上に確実に安定した状態で乗り移れる。

而してこの乗り移った後は、前記押出動作終了に同期し
て真空源による吸引を解除する。

尚基板（Ｐ）の搬送中に何らかの事故が起きて、過負荷
状態となると、ドルクリミック（６２）が働らきその検
出板（６３）が軸方向に移動することになるので、一対
の光センサ−（６４）で過負荷状態を検出することがで
きる。このときには、当該駆動モータ（２１）を非通電
とすると共に図示しない報知手段で使用者にその旨を報
知する。従って使用者は、その事故の原因を取除けばよ
い。

またこのようにしてプリント基板（１’）の搬送は行な
われるが、経時変化等でチェーン（１８Ａ）が伸びて係
合片（１９）の停止位置がずれである許容範囲。

を越えた場合には、センサー（４３）が保合片（１９）
に遮光されず係合片（１９）の存在を１無し」と検知す
ると、電子部品装着装置全体を停止させる。この場合、
作業者は、手動でもってインデックス装置（２２）の軸
を回し、ずれ量を補正し、正規の位置に戻せばよい。

（ｉ）　　プリント基板（Ｐ）の位置決め動作そしてチ
ェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）により、位置決め装置２！
（４）の位置に到達したのが検知されると、駆動モータ
（２１）の通電は断たれプリント基板（Ｐ）の搬送は停
止する。

すると、モータ（７７）が通電されベルト（７９）を介
して軸杆（７２）が回転するので、各カム（７３）（７
４）（７５）も回転し、該カムの形状に合わせてカムフ
ォロワー（８０）（８１）＜８２＞を介して、各上下部
材（８６）（８７）（８８）は上下動することになる。

これによりプリント基板（Ｐ）の送り方向、この送り方
向と直交する幅方向、これらの方向と直交する垂直方向
の位置規制を行なう。

■　プリント基板（Ｐ）の送り方向の位置規制基板（Ｐ
）がこの位置決め位置に到達する前は、カムレバー（９
１）が上昇位置にあるため第８図に示す状態にある。

そして、モータ（７７）の通電により回転するクランプ
カム（７５）に合わせて、上下部材（８８）がバネ（１
１２＞に抗して下降すると、バネ（９８）により可動ク
ランプ（９４）がバネ（９７）に抗して基準クランプ（
９３）が夫々回動じてプリント基板（Ｐ）の送り方向の
位置規制が行なわれる。

即ち、ガイド（８５）に沿って上下部材（８８）が下降
すると、６Ｔ動クランプ（９４）は支軸（９６）を支点
とし基準り２ンブ（９３）は支軸（９５）を支点とし℃
夫々回動する。このため、各タテ）・プが基板（Ｐ）の
上流側端面及び下流０１端面に当接することになる。

尚プリント基板（Ｐ）の送り方向の寸法が変更する場合
には、チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）にａｔする前に１
図示しない駆動源によりネジ軸（１０４）を回転させる
ことにより行なう、このネジ軸（１０４＞が回転すると
、ボールネジ体（１０５）及び連結体（１０６）を介し
てリニアガイド（１０１）に沿ってＸテーブル（１０２
）が移動する。このＸテーブル（１０２）には、可動ク
ランプ（９４）を支持する可動体（１０３）が固定され
ているので、基準クランプ（９３）に対して可動クラン
プ（９４）が遠ざかったり近づいたりすることが′でき
る。これにより、プリント基板（Ｐ）の送り方向の寸法
が変っても、対処できることになる。

■　プリント基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方向の
位置規制 基板（Ｐ）がこの位置決め位置に到達する前は、−１１
下部材（８６）及びカムレバー（８９）が上昇位置にあ
るので、バネ（１２３）に抗して幅寄せ部材（１２０）
は第１１図に示すような状態にある。

そして航記モータ（７７）の通電により回転する幅寄せ
カム（７３）の形状に合わせて上下部材（８６）が下降
する。このためバネ＜１２３）によって幅寄せ部材（１
２０）は支軸＜１１９＞を支点として上部が基板（Ｐ）
側に回動する。この回動により基板（Ｐ）を可動ベアリ
ング体（１１６）とで挾持することになる。従って基板
（Ｐ）の幅方向の位置が規制されることになる。

尚このプリント基板ＣＰ＞の送り方向と直交する幅方向
の寸法が変った場合には、前述の如く、駆動モータ（３
８）により可動シュート（２０Ａ）を移動さけ、固定シ
ュート（２０Ｂ）との間隔を拡開したり、狭めることに
よって結果的にこれら幅寄せ部材（１２０）を移動させ
ればよい。

■　プリント基板（Ｐ）の垂直方向の規制基板（Ｐ）が
この位置決め位置に到達する前は、上下部材（８７）及
びカムレバー（９ｏ）は第１３図に示すように下降位置
にあって、吸着用」；下部材（８７Ａ）（８７Ｂ）の上
面はチェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）の上面よりわずかに
高いレベルにあり、各チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）の
係合片（１９）により基板（Ｆ’）はチェーンから各上
下部材（８７Ａ）（８７Ｂ）の上面に乗り移って吸着さ
れる。そしてコンベア（２）が停止したときにその吸着
を停止することになるが、この吸着によりコンベア（２
）が停止したときの慣性によってプリント基板（Ｐ）が
移動することは少ない。

そして前記モータ（７７）の通電により回転するりフト
カム（７４）の形状に合わせて、上下部材（８７）及び
カムレバー（９０）が上昇すると、プリント基板（Ｐ）
は、バネ（１３３）（１３３）により上昇する前記上下
部材（８７Ａ）＜８７Ａ）によって押上げられる。この
ため基板（Ｐ）は、送り方向及びこの送り方向と直交す
る幅方向の位置規制がなされた状態で、基板押え（１３
５）（１３５）の保合部（１３６）＜１３Ｇ＞の下面に
当接した状態となる（第１４図参照）。

従って、この規制装！　（１３０）によって、基板（Ｐ
）ノ＼の部品実装面の位置を、該基板（Ｐ）の厚さに影
ａすれず常に一定とすることができる。

以上の基板（Ｐ）の各位置規制は、モータ（７７）の通
電により略同時に開始されることになるが、送り方向の
位置規制、この送り方向とは直交する幅方向の位置規制
、これらの方向と直交する垂直方向の位置規制の順に終
了する。

（ｉｖ）　　ウェハーテーブル（９）等の動作前述のよ
うに位置規制谷れた状態にあるプリント基板（Ｐ）にペ
レットを装着するわけであるが、この装着前にウェハー
テーブル（９）上の所望ウェハーシート（１４６）がス
テーション（Ａ）に移動するように、ウェハー支持台（
１１）を図示しない駆動滉により正逆いずれかに回転さ
せる。

次にＸ軸周モータ（１４１）、Ｙ軸周モータ（１４２）
により各カイト（１４３）（１４４）に沿ッテ、ＸＹｙ
−プル（１４０＞及び支持台（１１）を平面方向に移動
きせて、突き上げ計装！（１４５）のガイド体（２６４
）の上方位置に所望のウェハーシート（１４６）上のペ
レット（１ＢＯＡ）が位置するようにする。

そしてシリンダー（２５３）によりべ一体（２５４）を
上動させ、前記ガイド体（２６４）をウェハーシート（
１４６）に近接させる。その後駆動モータ（３０１）を
通電させ、各プーリ（３０２）（３０４＞及びベルト（
３０５）を介してネジ軸（３０３）を回転させ上下バー
（３０７）を−上昇させる。すると該パー（３０７）は
、第１の作動レバー（２５８）を−ｈＪ？、きせるので
、バネ（２８２）によって第２のレバー（２６２）も上
昇するが、ボルト（２９５）が上限ストッパ（２９７）
に当接するので、この上動は制限される。

しかし、更に第１のレバー（２５８）は上動するので、
突き上げ針（２６８）は上昇する。従って第３６図に示
すように、真空源により導管（２７２）、連通路（２７
１）及び吸着孔（２６７）を介して、ステージ面（２６
６）、ヒに吸着したシート（１４６）を突き上げ、シー
ト（１４６）面からペレット（１ＢＯＡ）を剥がすよう
にして装着ヘッド（４）の吸着部（２２７）とで保持す
る状態として該吸着部（２２７）が確実にペレット（１
８０Ａ）を吸着する。

但し、このとき突き上げ針（２６８）は、その下限停止
位置から一気に突き上げるのではなく、ベレット吸着後
の吸着コレット（１８５）の上昇クイミ２ングと同期を
とるために、先ず突き上げ針（２６８）上端がステージ
面（２６６）と同一レベルで待機して、しかるべきタイ
ミング信号でもつで上昇して前記シート（１４６）を突
き上げる（第３６図参照）、このとき降下している吸着
コレット（１８５）の吸着部（２２７）の下端部とでペ
レット（１ＢＯＡ）を挾持しても、更に針（２６８）は
上昇するので、装着ヘッド（１４）の上下移動体（１５
９）が停止状態にあってもバネＢ　（１７９）に抗して
吸着ノズル体（１８４）を上昇させる。

この後突き上げ針（２６８）と吸着ノズル体（１Ｂ４）
は、同期してペレット（１８０Ａ）を挟持した状態で共
に上昇する。モして、所定の上昇に到達した後は、前記
ノズル体（１８４）のみ上昇し、前記針（２６Ｂ）は下
降し待機位置に戻る。

この吸着後は、前記駆動モータ（３０１）の回転を逆転
さけ、上下バー（３Ｇ？）を下動きせバネ（２８２）に
より第１の作動レバー（２５８）を下降させるので前記
針（２６８）は下降し、更に上下バー（３０７＞が下動
すると、第２の作動レバー（２６２）も下降し、この突
き上げ針装置！（１４５）はシリンダー（２５３）によ
って下降することによって初期状態となる。

次に大きなペレット（１８０Ｂ＞を装着したい場合には
、そのウェハーシート（１４６＞がステージ日〉・（Ａ
）に位置するように支持台（１１）を回転きせると共に
ＸＹテーブル（１４Ｇ）及び支持台（１１）を平面方向
に移動させて、次の装着動作に備える。°また突き上げ
針装置（１４５）の回転板（２５２＞を９０度回転きせ
る。即ち、図示しない駆動モータに通電して、その出力
軸に設けられたｔＩｉＩ車に噛合する歯車（２５０）に
より回転ガイド（２５１）及び回転板（２５２）を回転
きけ、回転板ストッパ＜３０８）に当接して停止位置を
確実なものにしている。

従って、大きなペレット（１８０Ｂ）用のガイド体（２
６５）がウェハーシート（１４６）の直下方に位置する
ことになる。

尚第４０図に示すように、ペレットをウェハーシー　ト
（１４６）から剥離する際に、ウェハーシート（１４６
）をステージ面（２６６）に吸着するための真空圧も変
更することができる。即ち比較的小言なペレ７　ト（１
８０Ａ）の場合には、切換弁（３１２）を切換えること
によって、二叉絞り弁（３１４）、　（３１５）のいず
れかを選択して異なる真空圧で吸引でき、また比較的大
きなペレット（１８０Ｂ＞の場合には、切換弁（３１３
）を切換えることによって、二又絞り弁（３１６）、　
（３１７）のいＣれかを選択して異なる真空圧で吸引で
きる。

従って、各ガイド体（２６４）、　（２６５）につき２
ａ類の真空圧を選択調整でき、各ウェハーテーブル（９
）（１０）上のウェハーの大きさの異なる種類に応じて
対応することができる。

例えば、前述の小さなぺ【・ット（１８０Ａ）を扱う場
合には、切換弁（３１２）を切換えて、二又絞り弁（３
１４）を選択し、各パルプ（３２３）、　＜３２４）、
　（３２５）を閉ビ、パルプ（３２２）は開く、すると
真空圧は、例えば２５０ｆｆ５１１ｇとなる。またこの
とき、ガイド体（２６４）の吸２１孔（２６７）を介し
て吸い込んだ塵埃は第１のフィルター（３１０）で除！
！！きれ、切換弁（３１２）及び二又絞り方（３１４）
は保：１１＊れる。更には、二又絞り弁（３１４）の弁
（３２６）から吸い込んだ塵埃は第２のフィルター（３
１８）で除塵され、パルプ（３２２）は保護される。こ
のベレ・シト（ＩＩＯＡ）より少許大きなペレットを扱
う場合には、切換弁（３１２）を切換えて二又絞り弁（
３１５）を選択して、真空圧を例えば３５００１１１１
ｇとする。

勿論大きなペレット（１８０Ｂ）を扱う場合には、切換
弁（３１３）を切換えて、二又絞り弁（３２８）、　（
３２９）のいずれかを選択して、真空圧を例えば３００
＋１１１！ＩＩ＠。

４００ｍＨｇのいずれかに設定することができる。

（Ｖ）　　ペレットの装着動作 装着ヘッド（１４）は、駆動モータ（１５４Ａ）によっ
て回転されるボールネジ（１５１＾）によりＸ方向の移
動ができ、駆動モータ（１５４Ｂ）によって回転される
ポールネジ（１５１１Ｓ）によりガイド体（１５２）（
１５２）に沿っ°てＹ方向の移動が可能となる。

従って、装着ヘッド（１４）は、ステージＲン（Ａ）に
位置するウェハーシート（１４６）の吸着すべきペレッ
ト（１ＢＯＡ＞の上方位置まで移動でき、次いで吸着コ
レット（１８５）を降下させることにより所望のペレッ
ト（１８０Ａ）を吸着できる。この点につき以下詳述す
る。

先ず駆動モータ（１５４Ｇ）に通電して、各プーリ（１
５５）、　（１５７）、ベルト（１５ｇ＞を介してネジ
軸（１５６）を回転させ、上下移動体（１５９）を降下
きせる。ｆると、加圧用モータ（１６２）によりバネＢ
　（１７９）によって、加圧ベアリング体（１７４）が
ロータリジヨイント（１７６）及び固定ベアリング体（
１７５）に押圧しているので、吸着ノズル体（１８４）
は上下ガイド体（１９２）に沿ってウェハーシート（１
４６）まで降下する。このため、前述の如く突き上げ計
装Ｗ　（１４５）の針（２６８）と相俟ってペレット（
１８０Ａ）を確実に吸着できる。

そして、この吸着後は前記モータ（１５４Ｇ）の回転を
逆転させて、ネジ軸（１５６）により上下移動体（１５
９）を上昇させるが、この上昇後はロックソレノイド（
１６３）を励磁させる。このため吸引されたブチンジャ
（１６６）によりバネ（１７０）に抗して揺動（１７３
）を支軸（１７２）を支点として回動させる。従って上
下移動体（１５９）に固定された支持体（１６８）に設
けられた固定ベアリング体（１７５）と加圧ベアリング
体（１７４）とで、ロータリジヨイント（１７６）の鍔
体（１７７）を挾持した状態にロックする。勿論このロ
ック動作は、装着ヘッド（１４）の水平移動中に行なわ
れ、このｏ　＝ｙり動作後必要あらば吸着ノズル体（１
８４）（７）　Ｏｒｉｉ１転を行ナイ、ぺＬ・ｙ　）　
（１８０Ａ）（７）　平面方向における向きを基板（Ｐ
）への装着向きに合わせる。

即ら、駆動モータ（１９５）の通電により各プーリ（１
９６＞、　（１９７）、ベルト（１９８）を介して、上
下ガイド体（１９２）及び規制ベアリング（１９４）に
よって吸着７・ゾル体（１８０はθ回転することになる
。

この吸着ノズル体（１８４）は、装着ヘッド（１４）の
水平方向の移動によって、前述のように位置規制された
状態にあるプリント基板（Ｐ）の上方位置ま゛で移動し
、該基板（Ｐ）の所望位置にペレ・ント（１８０＾）を
装着することができる。

即ち、前述の如く、モータ（１５４Ｃ）に通電して、上
下移動体（１５９）を降下させ、吸着ノズル体（１８４
）を基板（Ｐ）上まで降下させるがその途中で、前記ロ
ックソレノイド（１６３）を消磁させてロック動作を解
除する。

この装着時には、ノ七ネＢ　（１７９）によってペレッ
ト（１ＢＯＡ）はプリント基板（Ｐ）に押圧されること
になる。従ってこの押圧力を変更したい場合には、加圧
用モータ（１６２）の回転角度を希望の値にデータ設定
することにより行なえる。

尚、前記吸着コレット（１８５）による吸看動作時に、
図示しない真空源による真空吸引動作が開始した場合に
、当該装着装置の全てを統轄制御するマイクロ・コンピ
ュータ（２８７）は、前記真空スイッチ（１９１）、光
電検知装置（２１５）からの検知データをオア回路（２
８５）かアンド回路（２８６）を介して取り込む、そし
て、切換スイッチ（２８４Ａ）（２８４Ｂ）の状態によ
り少なくとも一方の検知データか両方の検知データの内
容がベレットｒ無し」であれば、予めペレット無しカウ
ンター（図示せず）に設定された回数Ｎだけ、ピックア
ップ動作を繰り返し、８回を越えると、装着ヘッド（１
４）、　（１５）を原点に復帰させて、当該装着装置の
運転を停止すると共に使用者に報知手段（２ｇ９）によ
って視覚か聴覚により使用者にその旨を報知する。従っ
て使用者は、ペレット１無し」が事実か否かの確認をし
、事実でなければ真空スイッチ（１９１）の作動レベル
を調整したり、光電検知装置（２１５）の高さ位置調整
を行なって一回試運転させるか再運転許せて、その調整
が適切か否かを確認する。適切でなければ、再度調整し
、適切であれば通常運転を続行すればよい。

また装着ヘッド＜１４）（１５）は、前記チェーン（１
８Ａ）（１８Ｂ）の各保合片（１９）の間隔の整数倍の
間隔を存して配設してあり、このためタイミング上同時
に両ヘッドがボンディング動作ができる。

（ｖｉ）　　吸着コレット（１８５）の交換動作以上の
ように装着動作が行なわれることになる、が、例えば次
に装着したいペレットが大きなペレット（１８０Ｂ）の
場合には、それに合った吸着コレット（１８５）に交換
しなければならない、以下その交換動作について、第２
５図〜第３２図に基づいて説明する。

先ず第２２図に示すように、前述の如く吸着ノズル体（
１８４）及び吸着フレット（１８５）を降下させ、吸、
ｎフレット交換装置（°７）の吸着フレットが収納きれ
ていないシールストッカー（２３１）の取付？Ｌ（２３
５）と方位置に移動させる。

次にシリンダー（２４２）の駆動によりピン取付台（２
３４）及び図示しない駆動源によりシールストッカー（
２３１）を上昇させる（第２５図参照）。

この後、前記ノズル体（１８４）及びコレット（１８５
）を更に降下させると、ロック爪体（２２１）、　（２
２１）がロック解除ピン（２３３）に当接して支軸（２
２２）、　（２２２）を支点として回動して開く（第２
６図参照）、このため、ロックが解除されることになる
が、シリンダー　（２４Ｂ＞によって外更に回動してい
た押え部材（２４７）がこのシリンダー（２４ｇ）の駆
動により内方に回動してアダプタフランジ部（２２６）
を押える。

勿論、このときフランジ部（２２６）に形成されたＵ字
溝（２２５）内に支持台（２４０）上の位置決めピン（
２４１）（２４１）が夫々嵌合し、吸着フレット（１８
５）のθ回転は防止される。

そして、第２７図に示すように駆動源によりストッカー
（２３１）を降下させると、アダプタ（２１９）は取付
空間（２１８）から抜けて下がる０次に吸着ノズル体（
１８４）は前述のように上昇し、ピン取付台（２３４）
及びロック解除ピン（２３３）が下降する（第２８図参
照）、この後、吸着ノズル体（１８４）は、大きなペレ
ット（１ＢＯＡ）用の吸着コレット（１８５）の上方位
置まで移動して下降し、一方前記ピン（２３ｉ）も上昇
する。従って、該ピン（２３３）によってロック爪体（
２２１）（２２１）が開く（第２９図参照）。

そしてシールストッカー（２３１）及びストッカー台（
２３２）が上昇し、吸着コレット（１８５）のアダプタ
（２１９）を前記取付空間（２１ｇ）内に挿入する。こ
のとき取付部（２１６）下面の位置決めピン（２２４”
）がアダプタフランジ部（２２６）のＵ字溝（２２５）
内に嵌合することにより、この挿入時のθずれを防止し
ている。

然る後、シリンダー（２４ｇ）の駆動によって、押え部
材（２４７）を外方へ回動させる。

この後前記解除ピン＜２３３）を降下させるので、ロッ
ク爪体（２２１）（２２１＞がバネ（２２３）（２２３
＞により内方へ回動し、係止部（２２ｇ）内に入り込ん
でロックすることになる（第３１図参照）、そして吸着
ノズル体（１８４）及び吸着コレット（１８５）は上昇
し、前記押え部材（２４７）を今度は内方へ回動きせ、
ストッカー　（２３１）及びストッカー台（２３２）を
下降させることによって、吸着フレッ１−（１８５）の
交換動作が終了する。

この吸着コレット（１８５）の交換により、大きなペレ
ッ）、　（１８０Ｂ）の装着に対応できることになる。

次にこの吸着フレット（１８５）の交換が確実に行なわ
れたか否かの確認動作について述べる。

先ずＤＣソレノイド（２０１）が励磁しでいる状態では
、バネＤ（２０８）に抗して作動レバー（２０３）かカ
ム７オロ７−　（２１０）を介して上下スライダ（２０
４）　ヲ下方に押圧しており、前記ブ第１プワー（２１
０）が下限ストッパ（２１２）に当接して係止している
状態にあるため、光電検知装置　（２１５）は吸着フレ
ット（１８５）がベレット（１ｇＯＡ＞、　（１８０Ｂ
）を吸着しているか否かの検知を行なっている。しかし
、前述のコレットＤ８５）の交換が行なわれたか否かの
確認をする場合には、前記ソレノイド（２０１）を消磁
させればよい、即ち、この消磁によって上下スライダ（
２０４）はバネＤ（２０８）によりと昇し、作動レバー
（２０３＞が上限ストッパ（２１１）に当接して係止す
る状態となり、第１９Ｂ図に示すように光電検知装置（
２１５）は吸着コレ・ｙト（１８５）の存在を確認でき
る。

仮に、存在ｒ無ｊを検知すると、以後の動作を中止する
と共に、使用者に図示しない報知手段により報知する。

以上のように装着動作が行なわれると、位置決め装置（
４）の各動作を停止する。即ち、前記モータ＜７７）を
再び通電して、幅寄せカム（７３）、　リフトカム（７
４）及びクランプカム（７５）を回１１４、カムレバー
（９１）（８９）を上昇さけると共にカムレバー（９０
）を降下させ、また吸着用上ｒ部材（８７Ａ）。

（８７Ａ）の吸着孔（１３７）を介するプリント基板（
Ｐ）の吸着を止めるように真空源による吸引を止めて大
気圧に戻し前記モータ（７７）を非通電とし、初期状態
に戻す、また然る後、駆動モータ（２１）に通電してプ
リント基板（Ｐ）をチェーン（１８＾）（１８Ｂ）によ
って下流に搬送する。

（ｖｉ）　　プリント基板（Ｐ）の反転動作このように
して、装着後のプリント基板（Ｐ）は下流に搬送きれて
、第４１図に示すように図示しないエレベータにより昇
降可能な収納箱（６８Ｂ＞に逐次収納される。この収納
箱（６８Ｂ＞は前述のローダ（６７Ａ）の収納箱（６８
Ａ）と全（同一構造である。従ってローダ（６７Ａ）の
収納箱（６８Ａ）内のプリント基板（Ｐ）の全てが、装
着し終ってアンローダ（６７Ｂ）の収納箱（６８Ｂ）内
に収納きれることになる。

ここで、プリント基板（Ｐ）にＪっては、多数のペレッ
トを装著しなければならないものがあり、この場合再度
チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）に載せて装着する必要が
ある。この場合、プリント基板ＣＰ＞が収納されている
収納箱（６８Ｂ）と収納されていない収納箱（６８Ａ）
とを交換し、夫々ローダ（６７Ａ）、アンローダ（６７
Ｂ＞にセットすればよい。

この場合、プリント基板（Ｐ）の位置決めの際の基準側
が反対側となってしまうが、反転装ｅ（３）により平面
方向に於いて反転させればよい、以下詳述する。

前述のようにローダ（６７Ａ）からチェーン（１８Ａ）
（１８Ｂ）上に基板（Ｐ）が載置して、間欠搬送きれて
、反転装ｆ（３）の直上方位置に来たら、搬送の駆動源
である駆動モータ（２１）の通電を停止してシリンダー
（５６）を駆動する。すると揺動部材（５５）が回動し
ガイド（４８）によって上下杆（４９）を上動させると
共に、図示しない真空源によりチューブ（６１）、上下
杆（４９）の真空通路（５９）及び押上体（５０）の吸
引路（５８）を介して、押上体（５０）の」二面にプリ
ント基板（Ｐ＞を吸着しつつ上昇させる。然る後、モー
タ（５３）に通電してプーリ（５４）、　（５２）及（
メベルト（５１）を介して平面方向に於いて１８０度分
押上体（５０）を回転させる。

この後前記シリンダー（５６）の駆動を停止して、前記
揺動部材（５５）を初期状態に戻して押上体（５０）を
降下させる。このとき、前記真空源による吸引を解除し
て大気圧に戻すから、プリント基板（Ｐ）はチェーン（
１８Ａ）　（１８Ｂ）、ヒに載置され、再び搬送用の駆
動モータ（２１）に通電して、１８０度反転されたプリ
ント基板ＣＰ）を再び搬送して、前述のように位置決め
し、所望のペレットを装置ｒればよい。

従って、プリント基板（Ｐ）の位置決めの際の基準側が
、最初に搬送位置決めしたときと同じ側となるから、装
着精度が向上する。

尚プリント基板（Ｐ）の搬送方向と直交する幅寸法が変
更した基板（Ｐ）を流す場合には、Ｘ軸周モータ（４４
）、Ｙ軸周モータ（４５）を駆動して、ＸＹテーブル（
４６）を移動移せ、その相互の間隔が変更したチェーン
＜１８Ａ）（１８Ｂ）のその丁度中間位置に前記押上体
〈５０）を移動することにより対処できる。

（ト）　発明の効果 以上のように本発明は、位置決め装置の上流側に、プリ
ント基板等の流れ方向の向きを反転きせる反転装置を設
けたから、アンローダの収納箱から、ローダの収納箱に
移し換える必要もなく、また移し換えにより生ずる品質
上のトラブルも生じない。

またプリント基板の位置決め基準を、同じにすることに
より電子部品等の装着精度が、従来に比して向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図はｔ子部品装着装置の平面図、第２図は同装ｆ！
装置の固定シｓ−トの内側から奥行方向を見た正面図、
第３図は同装着装置の搬送部の右側面図、第４図はチェ
ーン（１８Ａ）の部分正面図、第５図は第１図のｘ−ｘ
’断面図、第６図は第１図のＹ−Ｙ’断面図、第７ｖＡ
は送り方向の規制位置決めを行なう装置１（９２）の正
面図、第８図は同装置（９２）の作動待機状態の正面図
、第９図は同装置（９２）による送り方向の寸法が長い
プリント基板（Ｐ）の位置決め状態を示す正面図、第１
０図は位置決め装置（４）の平面図、第１１図は第１図
の２−２′断面図でプリント基板（Ｐ）の幅方向の位置
決め前の状態を示す要部断面図、第１２図は同じくブ゛
リント基板（Ｐ）の幅方向の位置決め状態を示す要部断
面図、第１３図は第１図のｖ−ｖ’断面図で規制袋！　
（１３０）による位置決め前の状態を示す要部断面図、
第１４図は同じく規制装置（１３０）による位置決め状
態を示す要部断面図、第１５図は基板の送り方向とは直
交する幅方向の位置を規制する装置を取除いた状態の部
分平面図、第１６図は装着ヘッドの一部断面せる正面図
、第１７図は装着ヘッドのノ従断右側面図、第１８図は
装着ヘッドの一部切欠せる平面図、第１９Ａ図は装着ヘ
ッドの一部切欠せる右側面図、第１９Ｂ図は上下スライ
ダーが上昇した状態の装着ヘッドの一部切欠せる右側面
図、第２０図は吸着ノズル下端部を縦断した状態及び吸
着コレットの正面図、第２１図は吸着ノズル下端部の左
側面図、第２２図は吸着ノズル交換装置の縦断正面図、
第２３図は同交換装置の平面図、第２４５Ａは同交換装
置の左側面図、第２５図乃至第３２図は吸着ロレットの
交換動作を示す図、第３３図は小さいペレットを扱う場
合の突き上げ針装置の正面図、第３４図は第３３図の右
側面図、第３５図は大きいペレットを扱う場合の同装置
の正面図、第３６図−は／Ｊ１さいベレット用の突き上
げガイドの縦断面図、第３７図は同ガイドの平面図、第
３８箇は大きいペレットを扱う場合の突き上げガイドの
縦断面図、第３９図は同ガイドの平面図、第４０図は突
き上げに必要な吸引回路図、第４１図は本発明装着装置
の模式図であって反転装置の動作を示す図、第４２図は
反転装置の動作説明図、第４３図は吸着コレットがペレ
ットを吸着したか否かの検出に係るブロック図を夫々示
す。 （２）・・・コンベア、（３）・・・反転装置、（４）
（５）・・・位置決め装置、（Ｐ）・・・プリント基板
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）プリント基板を搬送するもので、その搬送途中で
   位置決め装置により前記基板の位置決めをした後に所定
   作業が行なわれた当該基板を下流に搬送する基板搬送装
   置に於いて、前記位置決め装置の上流側に、前記基板の
   流れ方向の向きを反転させる反転装置を設けたことを特
   徴とする基板搬送装置。