JPH01291676A - 振動波モータ駆動回路 - Google Patents

振動波モータ駆動回路

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JPH01291676A
JPH01291676A JP63119985A JP11998588A JPH01291676A JP H01291676 A JPH01291676 A JP H01291676A JP 63119985 A JP63119985 A JP 63119985A JP 11998588 A JP11998588 A JP 11998588A JP H01291676 A JPH01291676 A JP H01291676A
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佐々木 豊治
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は振動波モータの速度を0から最高速度まで変
化でき、しかも定速度の駆動が可能な振動波モータ駆動
回路に関する。
〔従来の技術〕
近年、振動波モータが実用化されている。振動波モータ
は従来のDCモータ等に比べて低速・高トルクという特
徴の他、モータの形状がリング状にできるため、ギア類
が不必要でありモータの動作時の音が小さい等の長所が
ある。
しかしながら、DCモータに比べてその駆動回路が複雑
になる欠点がある。これは、外的要因、例えば負荷や温
度、圧力等によって最適な駆動周波数foが変化するの
で、振動波モータを設計する際には、駆動周波数を最適
な駆動周波数に追尾する回路が必要になるからである。
周波数追尾回路の従来例が特開昭60−176470号
公報、特開昭61−124275号公報、特開昭61−
295884号公報に開示されている。
また、振動波モータの速度を0から最高速度の間の任意
の一定速度に設定することが困難である。
例えば、DCモータでは供給電源をオフしても慣性力が
あるために回転を維持できるため、供給電源のオフ時間
を制御しさえすれば、定速回転が可能である。しかし、
振動波モータは摩擦駆動であるので、供給電源をオフし
てしまうと、モータが急停止してしまうので、別方式の
速度制御回路が必要である。
これらの条件を満たした振動波モータ駆動回路の従来例
のブロック図を第12図に示す。進行波型の振動波モー
タ4は入力電極4a、4bを有し、これらの電極4a、
4bに振幅、周波数が等しく位相が90’ずれている正
弦波(sir+θ。
±cosθ)、または方形波等を印加すると、モータ4
は回転を開始する。
電圧制御発振器(VCO)1の出力が分周・移相器2、
パワーアンプ3を介して入力電極4a。
4bに供給される。VCOIは同じ周波数の鋸歯状波、
方形波信号を出力し、鋸歯状波信号はパルス幅変調(P
 W M )回路9に、方形波信号は分周・移相器2に
供給される。PWM回路9の詳細を第13図に示し、第
13図中の周波数/電圧(F/V)変換器9aの詳細を
第14図に示す。
分周・移相器2、パワーアンプ3の詳細な回路図を第1
5図に、その信号波形を第16図に示す。VCO1から
の方形波信号は分周・移相器2中のリングカウンタ2a
により4分周され、φ01〜φ04(第16図に示した
φ1〜φ4の破線の部分)とされる。φ01〜φ04が
アンドゲートに供給され、PWM回路9の出力でゲート
され、φ1〜φ4とされる。
φ1〜φ4により、パワーアンプ3中のトランジスタQ
1〜Q4が順次オンしていく。トランジスタQl、Q3
とトランスLl、およびトランジスタQ2.Q4とトラ
ンスL2はそれぞれプッシュプル増幅器として動作する
ため、モータ4の入力電極4a、4bへの印加電圧はト
ランスLl。
L2の巻線比により決まる振幅、及びVCOIの出力の
1/4の周波数を有する交流電圧となる。
さらに、その両型圧はトランジスタQ1とQ2、トラン
ジスタQ3とQ4のオンのタイミングがちょうど90°
ずれているので、互いに90°ずれた出力となる。
こうして、モータ4は回転を開始するが、これだけでは
最適な駆動周波数foを実現できない。
そこで、駆動周波数を最適な駆動周波数foに追尾する
ために周波数追尾回路6が設けられている。
モータ4に取付けられたモニタ電極4cからモータを駆
動する進行波が発生する逆起電力VPBが検出される。
VCO1の発振周波数の基準値は最適な駆動周波数fo
に対応しているが、振動波モータ4の特性は環境温度等
により変わりやすいので、周波数追尾回路6は分周・移
相器2の出力を受けた基準位相器5の出力する基準位相
θ0と、VEBの位相(正確には、VFRを波形整形し
たもの)を比較して、その両位相が一致するようにVC
OIへの制御電圧v contを制御する。このような
追尾が可能なのは、モニタ電極4cの検出電圧VPBの
位相は第17図に示したように共振点fo付近で大きく
変化するからである。
モータの速度制御は前述したφ1〜φ4のパルス幅、す
なわちトランジスタQ1〜Q4をオンする時間を制御す
ることで、モータ4に加える電力を変化させることによ
り実現できる。第12図で説明すると、モータ4にエン
コーダ7が接続され、エンコーダ7の出力が波形整形回
路8を介してモータの回転速度に比例した周波数を有す
る方形波となる。これが、PWM回路9へ供給され、パ
ルス幅制御が行われる。
PWM回路9では第13図に示すように、波形整形回路
8からの信号が周波数/電圧(F/V)コンバータ9a
により、電圧v encに変換される。
第14図に示すように、F/Vコンバータ9aはワンシ
ョトマルチバイブレータと、ローパスフィルタからなる
。
この電圧V eneと速度制御電圧Vsp(外部からの
信号)とが差動増幅器9bに入力され、両者の差か増幅
されて比較器9cに供給される。差動増幅器9bの出力
を第16図のVCOIの出力鋸歯状波(実線)に対して
一点鎖線で示す。第16図では差動増幅器9bの出力が
鋸歯状波の振幅のちょうど]−/2の場合を示す。
比較器9cはこの出力とVCO1がらの鋸歯状波とを比
較してVCOIの方形波出力と同期したパルス幅が可変
のパルスをP W M 9の出力として分周・移相器2
に供給する。このため、差動増幅器9bの出力か大きく
なれば、φ1〜φ4のパルス幅が広がり、逆に小さくな
るとパルス幅が狭くなる。
このような従来の駆動回路は常に周波数追尾をしながら
、かつ速度制御のためにPWMを行ってモータを駆動す
るので、任意の定速回転が効率良く行われる。
なお、この駆動方法の他に、周波数を最適点からずらせ
ていって、回転数を落とす方法や、1) w M以外の
方法でモータ入力電力を小さくすることにより任意の速
度を得る方法がある。
〔発明か解決しようとする課題〕
振動波モータの駆動回路の速度制御として求められる条
件としては次の3つかある。
(1)定速度性が良い (2)応答性が良い (3)安定性が良い (1)の定速度性が良いという条件は負荷、温度、電源
電圧の変動に対しても定速回転が得られるということで
ある。
(2)の応答性が良いという条件は速度を例えば5 O
rpmから1 Orpmに下げようとした時に、速度制
御電圧の変化にリアルタイムで追従することである。
(3)の安定性がよいという条件は具体的には回転の滑
らかさであり、回転のフラッキや、可聴音の発生(モー
タのうなり等による)がないことである。
しかし、これら3つの条件を全て満足することは困難で
ある。というのは、それらが互いに背反的な内容である
からである 例えば、(1)の条件を満たすためには、第13図に示
す差動増幅器9bの利得αを十分に大きくする必要があ
る。
(2)の条件は第14図に示したF/V変換器の具体例
で説明する。ワンショトマルチバイブレークにより一定
幅tのパルスが得られるので、電源電圧をVccとする
と、F/V変換出力V encは(t/T)XVcc−
txVccxFとナル。ココテ、F (−1/T)は波
形整形回路8の出力の周波数である。そのため、(2)
の条件を満たすためには、ローパスフィルタの時定数(
RIXCI)を小さくしなければならない。
ところか、この時定数を小さくすると、RCによる充放
電が繰返されるので、C1の電位の変化か大きくなり、
F/V変換出力V enCが安定しないとともに、ノイ
ズがのりやすい。
逆に、時定数を大きくすると、エンコーダ出力が周波数
Fの変動に鈍感になってしまい、回転の安定性が失われ
る。さらに差動増幅器9bの利得αが大きいと、回転の
不安定さか一層顕著になってしまうので、安定性を求め
れば、定速度性・応答性はある程度犠牲にしなければな
らない。
こうした条件の下では、次のような問題が生じる。
(a)低速回転では負荷の変動により定速性が失われる
(定速性の欠如) (b)速度を任意に変化させようとしても追従しない(
応答性の欠如) (c)低速回転に設定してモータを駆動させようとする
と、スイッチのオン直後にモータが高速で回転し、低速
度になるのに、時間がかがる(応答性の欠如) (d)低速〜中速において回転がふらついたり、振動し
たりする(安定性の欠如) この発明は上述の問題を解決するためになされたもので
、その目的は定速度性、応答性、安定性が良い振動波モ
ータ駆動回路を提供することである。
〔課題を解決するための手段、および作用〕この発明で
はモータの速度に応じた電圧と速度制御電圧を比較する
比較器と、その比較結果に基づいてアップカウント、ま
たはダウンカウントするカウンタと、カウンタの出力を
アナログ信号に変換する変換器を具備し、その変換器の
出力信号によりモータへ印加する駆動パルスのパルス幅
、または周波数を変化させ、モータへの印加電力を調整
する。
C実施例〕 以下図面を参照して、この発明による振動波モータ駆動
回路の実施例を説明する。第1実施例の全体の構成は第
12図に示した従来例と同様であり、第1図はそのPW
M回路のブロック因であり、第2図はその詳細な回路図
である。
F/V変換器9aの出力venc  (−t X Vc
(XF)と速度制御電圧Vspが電圧比較器9dで比較
される。電圧比較器9dはv sp> v encなら
ば“0”を、Vsp≦v encならば“1“を出力す
る。
電圧比較器9dの出力がアップ/ダウン(U/D)カウ
ンタ9eの制御端子に供給れる。U/Dカウンタ9eは
この信号が0”ならばダウンカウントを、“1′ならば
アップカウントを行う。
U/Dカウンタ9eの出力Ql、・・・Qnは電圧加算
型のディジタル/アナログ(D/A)変換器9fでアナ
ログ値に変換され、比較器9Cの反転入力端に人力され
る。比較器9Cの非反転入力端にはVCOIから鋸歯状
波が供給される。
D/A変換器9fの出力が0ならば、比較器9Cの出力
は常に“1″なので、パルス幅は最大になり、モータに
印加される電圧は最大となる。
逆に、D/A変換器9fの出力が増加すると、モータに
印加される電圧は減少する。従って、VSp> V e
ncならば、D/A変換器9fの出力が低くなり、モー
タへの電力供給が増え、Vsp≦V encならば、D
/A変換器9fの出力が高くなり、モータへの電力供給
が減る。この一連の動作によりV Sl)” V en
cで収束するように、モータへの電力供給が制御される
。
なお、第2図において、電圧比較器9dの出力が1″、
または“0”のまま変化しないと、カウンタ9eの出力
Ql、・・・Qnが(0,・・・0)〜(1,・・・1
)をスイープする形で繰返すことになる。
これを防止した変形例を第3図に示す。電圧比較器9d
の出力とカウンタ9eの出力Q2.・・・QnがAND
ゲート9g、NORゲート9hに入力される。ANDゲ
ート9g、NORゲート9hの出力がORゲート91を
介してカウンタ9eのイネーブル端子に入力される。こ
れにより、カウンタ9eの出力Q2.・・・Qnが0.
・・・0で、かつダウンカウントの時、またはQ2.・
・・Qnが1゜・・・1で、かつアップカウントの時に
はカウントを禁止する。
第13図に示したように、従来では差動増幅器9bの出
力(−ax (Vsp−Venc ) )によりパルス
幅を変化させていた。従って、VSII−Vene自体
の値が小さいため、利得αを大きくする必要があった。
ところが、そうすると、前述したように安定な回転が得
られなかった。
これに対して、この実施例では、差動増幅器9bではな
く、電圧比較器9dによりディジタル的ニパルス幅を変
化させるので、たとえ低速回転においても、Vsp>V
encならば最大パルス幅にまで変化可能である。この
ことは、いわば利得αが無限大であることを意味してい
る。
しかしながら、従来例と比べて単位時間当りの最大変化
量は小さくなる。このことが、利得αが無限大でありな
がら、回転の安定性を乱さない結果となる。例えば、ク
ロックから次のクロックまでの時間にV sp > V
 eneを読取れば、ΔV(−vsp−Vene)の量
に係わらず、カウンタ9eは1ビット分しかカウントア
ツプしない。
そのため、この実施例は安定性については同等問題はな
い。
従来例では、差動増幅器9bの利得αを大きくすると、
はとんど瞬時にΔVを埋合わせるだけの帰還をかけてし
まう。この時、F/V変換器9aの出力が安定していな
かったり、ノイズがのっていたりすると、その利得αの
大きさゆえに、正常な動作は望めなかった。
応答性は、従来はF/V変換器9aの時定数に関わって
いた。ところが、第1実施例においては、U/Dカウン
タ9eに入力するクロックCLKに主として関わること
になる。何故ならば、カウンタ9eがアップカウントす
るか、ダウンカウントするかは、CL Kのタイミング
で判断されるためである。
つまり、V eneをサンプリングするため、従来例の
ようにF/V変換器9aの時定数を大きくする必要がな
い。こうしたサンプリングはアナログ回路に比べて信号
の不規則な変動や、ノイズに強い特徴を持っている。従
って、応答性はクロックによりほぼ決定されるので、ク
ロックを適当な周波数に設定することにより、応答性を
良くできる。
安定性については、従来例で説明しなかった他の問題点
かある。F/V変換器9aの出力の不安定性については
、サンプリングとカウンタ9eによる単位時間当りの変
化量の制限により解決されるが、モータ自体の応答の遅
れの問題がある。すなわち、モータへの供給電力や、駆
動周波数が変化しても、回転数がリアルタイムで変化す
るのではなく、ある時間遅れが存在する。しかも、振動
波モータは一定条件下で完全な定速回転となっているわ
けではなく、ある周期を持ったかすかな回転むらを有し
ている場合がある。
従って、応答性をあまり良くしすぎると、回転むらを抑
えるためにパルス幅が変化するが、パルス幅を変化させ
てもある一定時間後でないと、その効果はあられれない
。そのため、かすかな回転むらの周期と、モータの応答
時間遅れが同程度のある場合にはあたかも発振を起こし
たかのような状態になってしまう。すなわち、かすかな
回転むらを増大する結果になる。
これを防ぐにはカウンタ9eへのクロック時間、つまり
サンプリング時1i51を大きくしてやる必要があるが
、こうすると、応答性が劣化してしまう。
従来例てはF/V変換器9aの時定数を大きくすればよ
かったが、この場合には、この時定数を大きくしても、
何の効果も得られず、時としては、逆効果である。
これを解決した変形例を第4図に示す。D/A変換器9
fの出力が緩衝器18を介してF/V変換器9aに供給
される。
第5図に緩衝器18の詳細を示す。緩衝器18は演算増
幅器18a、抵抗R3,R4,、R5からなる。D/A
変換器9fの出力VDAが抵抗R4を介して演算増幅器
18aの反転入力端子に供給される。演算増幅器18 
aの非反転入力端子には基準電圧V rerが供給され
る。演算増幅器18aの出力端子と反転入力端子との間
には帰還抵抗R5が接続される。演算増幅器18aの出
力端子が抵抗R3を介して接地されるとともに、F/V
変換器9aのコンデンサC1に接続される。
演算増幅器18aの出力、すなわち、抵抗R3とコンデ
ンサC1の接続点の電圧VoはVo −Vref + (15/R4)(Vref −VDA)であり、D
/A変換器9fの出力が反転されて演算増幅器18aの
出力に生じる。
また、コンデンサC1の電荷はRIXCIの時定数によ
り放電されるので、この時定数よりも短い時間にわたる
変化のみがF/V変換器9aの出力に伝達される。
このため、D/A変換器9fの出力がスタティックな場
合、F/V変換器9aの出力v enaはD/A変換器
9fの出力には全く影響されない。
ところが、D/A変換器9fの出力が短時間の内に急激
に大きく変化すると、コンデンサC1は接地側がΔVo
変化したときに、R1側もΔVOだけ変化する。従って
、モータのかすかな回転むらのために、例えばカウンタ
9eがアップカウントしても、緩衝器18がD/A変換
器9fの出力を反転して、VOを急激に引下げ、従って
V encも引下げるため、比較器9dは逆に“0′の
出力を出し、カウンタ9eはダウンカウントする。
この緩衝器18の反転増幅率を適当に選択しておけば、
この緩衝器18はV encとVspとかある電位差の
以下の時しか影響を与えない。つまり、V encとV
SI)との電位差がΔVO以内でなければ、この効力は
発揮されない。従って、任意の速度変化を意図する時に
は、何ら影響を与えないため、応答性が悪化することも
ない。
第6図は緩衝器18の他の具体例である。この例でも、
コンデンサC2のVo側の大きな変位が生じる時に、コ
ンデンサC1の電位に変化が生じるような構成になって
いる。
このように第1実施例によれば、モータの速度に応じた
電圧を目標速度に応じた電圧と比較し、比較結果に応じ
てカウンタをアップカウント、またはダウンカウントさ
せ、このカウント値に基づいてパルス幅変調された駆動
パルスによりモータへの印加電力を調整することにより
、定速度性、応答性、安定性がよい振動子モータ駆動回
路が提供される。また、モータの急激な速度変化を緩和
しているので、モータ自体の応答の遅れによりモータの
かすかな回転むらを増大することが防止される。
第7図に第2実施例のブロック図、第8図にその詳細な
回路図を示す。
第2実施例は速度制御を周波数制御によって行う実施例
である。波形整形回路10はモニタ電極4cから得られ
た電圧VPBを波形整形する。この信号と、基準位ト目
器5から出力された基準位相とが駆動点検出回路11で
比較される。ここで、波形整形回路10の出力と基僧位
相器5の出力の位相が一致するときに最適な駆動周波数
になるように設定しておけば、スイッチSWIがX−X
oてオンの時、U/Dカウンタ14は駆動点検出回路1
1の出力によりアップカウント、またはダウンカウント
するので、カウンタ14の出力をD/A変換器15を介
してVCO1に制御電圧として供給すれば、VCOIは
常に最適な駆動周波数で発振する。
速度制御の際は、スイッチSWIをX−Xlでオンする
。この時は、第1図に示した第1実な包例と同じ構成に
なる。
第8図において、スイッチSWIがX−Xoでオンの場
合を先ず説明する。基準位を目は駆動点検出回路11と
してのD型フリップフロップにクロックとして入力され
る。D型フリップフロップの出力がスイッチSWIのX
−Xoを介(、てU/Dカウンタ14のU/D制御端子
に供給される。基準位相の立上がりエツジの点で波形整
形回路10の出力か“0゛だとU/Dカウンタ14はダ
ウンカウント、“1“だとアップカウントを行う。
カウンタ14の出力はD/A変換器15によりアナログ
値に変換され、VCOIの制御電圧V contとなる
。VCOlの発振周波数はvcont−0の時、つまり
カウンタ14の出力Q1.・・・Qnが0.・・・0の
時、最低値f minとなり、Ql。
・・・Qnが1.・・・1の時に、発振周波数は最高値
f n+axとなる。つまり、カウンタ14がアップ力
ウトすれば、発振周波数か高くなり、ダウンカウントす
ると、発振周波数は低くなる。これにより、基準位相の
立上がりエツジと波形整形回路10の出力の立上がりエ
ツジとが一致する周波数を追尾する。
次に、スイッチSW1がX−XIでオンの速度制御の場
合を説明する。電圧比較器13はF/V変換器12の出
力V C!neと、速度制御電圧Vspとを比較し、V
ene>Vspならば“O”、Vene≦Vspならば
“1#を出力する。フリップフロップ11の出力が“O
”の時、すなわち、最適な駆動周波数よりも高い時には
、NANDゲートNAIにより、カウンタ14はV Q
nQ > V Spならばアップカウント、v enc
≦VSI)ならばダウンカウントする。第17図に示し
たように、周波数が最適駆動周波数よりも高くなればな
る程、回転数は低くなるので、VQne−Vspの点で
収束する。フリップフロップ11の出力か“1”の時、
すなわち、最適な駆動周波数よりも低い時には、NAN
DゲートNAIの出力は常に“1”となるので、カウン
タ14はアップカウントしか行わない。すなわち、必ず
最適な駆動周波数よりも高い周波数でしか駆動できない
。一般に、最適な駆動周波数よりも低い周波数は、効率
が悪い、不安定である、周波数の変化に対する回転数の
変化の割合いが大である等の理白により使われない。
さらに、カウンタ14の出力Q2.・・・Qnが1゜・
・・1で、かつ、電圧比較器13の出力が“0“の時、
つまりアンプカウントの時には、カウント基土になるた
め、f ll1aXを越えること、すなわち、カウンタ
の繰返し動作によるf minへの変遷は行われない。
従って、速度制御の際には、周波数をfo〜f ll1
aXの範囲内で、変化させて速度を一定に保つことがで
きる。なお、第2実施例においても第1実施例と同様な
緩衝器を設けてもよい。
第9図に第3実施例のブロック図を示す。第3実施例は
パワーアンプ13内のトランジスタQ1〜Q4のベース
電流を制御することで、モータ4に印加される電力を変
化させて、速度制御する。
D/A変換器9fの出力が比較器9Cではなく電流源1
6に入力される。電流源16ではD/A変換器9fの出
力VDAを受けて、抵抗ROの電位Vl?OをVDAに
保つように演算増幅器OP2が働く。
すると、抵抗ROには■−voA/Roの電流が流れ、
カレントミラー回路を介して分周・移相器2のマルチプ
レクサ2bにも電流Iか流れる。マルチプレクサ2bは
コントローラ2aによりvCO]の周波数に同期して、
φ1→φ2−φ3−φ4→φ]→φ2→・・・の順にス
イッチングされる。
従って、第13図に示した従来例と動作は同じであるか
、トランジスタQ1〜Q4にカウンタ14のカウント値
に応じた可変電流■を流すこと・ができる点で第13図
とは異なっている。この電流■はトランジスタQ1〜Q
4のベース電流として加えられるので、トランジスタQ
1〜Q4はそのhf’e倍の電流を流すことができる。
従って、電流Iを制御することで、速度制御ができる。
第10図は第9図のトランジスタQ1〜Q4をパワーF
ETQ1=〜Q4−に変えて電流源16の代わりに電圧
源16″を使用し、同じように速度制御した変形例であ
る。
第11図に第4実施例のブロック図を示す。
第4実施例は、周波数・パルス幅・ベース電流、または
ゲート電圧を複合的に変化させて、速度制御を行う実施
例である。電圧比較器13までは同様であるが、電圧比
較器13の後段に速度制御回路17を設けたこと、さら
にその後段にパルス幅・周波数・ベース電流、ゲート電
圧をそれぞれ変化させることができるように、それぞれ
U/Dカウンタ14°、14’、DA変換器15′。
15′と、電流・電圧コントローラ16′を用いている
ことが新たな点である。
そして、速度制御を、例えば、ある範囲までをPWMで
変化させ、あとは周仮数で変化させるといったような方
法で実現する。これが可能なのは、電圧比較器9cから
U/Dカウンタ14までの処1里かディジタル化されて
いるからである。
こうすることで、周波数による速度制御やPWMなどの
電力変化による速度制御の欠点を互いに補うことができ
る。すなわち、周波数による速度制御では、別モードの
振動が入り込むため、速度0においてもステータが浮い
た状態になるので、速度Oてカクッと止まることがない
ため、0まての低速化がやりやすいが、低速で、効率が
悪く、また周波数もモータによっては広くとれるような
構造にする必要がある。逆に、PWM等の電力変化によ
る速度制御は効率が悪いが、速度0付近で急にカクッと
止まる点ができる場合があり、周波数による速度制御程
には滑らかではない。そこで、中〜高速ではPWM等で
電力を制限する方法で速度制御を行い、低速では、パル
ス幅を狭くし、またはベース電流を低めに押えて、あと
は周波数を変えて速度制御を行うと効率や低速度性につ
いて優れた制御が可能である。
〔発明の効果〕
以上説明したように、この発明の振動波モータ駆動回路
によれば、低速度においても利得が無限大と考えられる
ので、負荷、電源電圧、その他の影響により定速度性が
失われることがない。速度を任意に変化させようとする
と、モータの回転速度もそれに追従するので、応答性が
よい。さらに、回転開始時のモータの急激な回転がなく
、低速〜中速度でも回転が滑らかであるため、安定性に
優れている。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の振動波モータ駆動回路の第1実施例
のブロック図、第2図は第1図の詳細な回路図、第3図
は第1実施例の第1の変形例のブロック図、第4図は第
1実施例の第2の変形例のブロック図、第5図は第4図
の詳細な回路図、第6図は第1実施例の第3の変形例の
ブロック図、第7図はこの発明の第2実施例のブロック
図、第8図は第7図の詳細な回路図、第9図はこの発明
の第3実施例のブロック図、第10図は第3実施例の変
形例のブロック図、第11図はこの発明の第4実施例の
ブロック図、第12図は振動波モータ駆動回路の従来例
のブロック図、第13図は従来例のパルス幅変調回路の
ブロック図、第14図は従来例の周波数/電圧変換器の
ブロック図、第15図は従来例の分周・移相器のブロッ
ク図、第16図は従来例の信号波形図、第17図は一般
的な振動波モータの特性を示す図である。 1・・・電圧制御発振器、2・・・分周・移相器、4・
・・振動波モータ、6・・・周波数追尾回路、9・・・
パルス幅変調回路、9a・・・周波数/電圧変換器、9
d・・・電圧比較器、9e・・・アップ/ダウンカウン
タ、9f・・・ディジタル/アナログ変換器。 出願人代理人 弁理士 坪井 淳 第110 第 4 図 第12図 第13図 第14図 第 9 b ;;16[d 局波叡f 手続補正書 昭和  年63プ)Q、i 特許庁長官 吉 1)文 孜 殿 1、事件の表示 Ir:′1願昭63−119985号 2、発明の名称 振動波モータ駆動回路 3、補正をする者 事件との関係  特許出願人 (037)オリンパス光学工業(ニド式会社4、代理人 東京都千代田区霞が関3丁目7番2号 UBEビル〒1
00  電話 03 C502>3181 (大代表)
(0881)   弁理士  坪  井      淳
   15、自発補正              1
と 「φ1〜φ4のパルス幅が・・・狭くなる」を「φ1〜
φ4のパルス幅が挟まり、逆に小さくなるとパルス幅が
広がる」と訂正する。 (2)  明細(!f第11頁第15行目に記載の「供
給れる」を「供給される」と訂正する。 叱坪’−,,ri’ 1.4=二J:2 !看桓

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)振動波モータの回転速度に比例した周波数の信号
    を出力する回転検出手段と、前記回転検出手段の出力を
    アナログ電圧値に変換する手段と、前記変換手段の出力
    を目標速度信号と比較する手段と、カウント値が前記比
    較手段の出力により増加、または減少するカウンタ手段
    と、前記カウンタ手段の出力をアナログ値に変換するD
    /A変換器と、前記アナログ値によって決定される電力
    を振動波モータへ印加する手段を具備する振動波モータ
    駆動回路。
  2. (2)回転速度の急激な変化による印加電圧の急激な変
    化を緩和するための緩衝器をさらに具備することを特徴
    とする請求項1記載の振動波モータ駆動回路。
JP63119985A 1988-05-17 1988-05-17 振動波モータ駆動回路 Pending JPH01291676A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03256578A (ja) * 1990-03-06 1991-11-15 Seiko Instr Inc 超音波モータ装置
WO2007082601A1 (de) * 2006-01-18 2007-07-26 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Selbsterregender pwm-controller für einen einphasenultraschallmotor

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03256578A (ja) * 1990-03-06 1991-11-15 Seiko Instr Inc 超音波モータ装置
WO2007082601A1 (de) * 2006-01-18 2007-07-26 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Selbsterregender pwm-controller für einen einphasenultraschallmotor

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