JPH01294032A - 低い可視光透過率の熱線遮断板 - Google Patents
低い可視光透過率の熱線遮断板Info
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- JPH01294032A JPH01294032A JP63125195A JP12519588A JPH01294032A JP H01294032 A JPH01294032 A JP H01294032A JP 63125195 A JP63125195 A JP 63125195A JP 12519588 A JP12519588 A JP 12519588A JP H01294032 A JPH01294032 A JP H01294032A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3429—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
- C03C17/3435—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は建築物、または自動車の窓ガラスに用いるのに
好適な低い可視光透過率の熱線遮断板に関するものであ
る。
好適な低い可視光透過率の熱線遮断板に関するものであ
る。
従来この種の熱線遮断板としては第５図および第６図に
示すものがあった。第５図に示したものは熱線反射膜１
０３を付着したクリアのフロートガラス手反１０１とク
リアのフロートガラス板１０１とを中間樹脂膜１０４で
接着した合せガラス１０５である。また、第６図に示し
たものは熱線反射膜１０３を付着したクリアのフロート
ガラス板１０１とクリアのフロートガラス板１０２とを
空間１０７を介してセパレータ１０６により結合した複
層ガラス１０８である。これらの合せガラス１０５およ
び複層ガラス１０Ｂの熱線反射ｊｌ１０３を付着したク
リアのフロートガラス板１０１は第７図に示されるよう
にフロートガラス板１０１の上に順次膜厚３００Å〜４
００人のＺｎＯ膜１０９、膜厚７０Å〜１５０人のＡｇ
膜１１０、膜厚３００〜４００人のＺｎＯ膜１１１の３
層をを積層している。
示すものがあった。第５図に示したものは熱線反射膜１
０３を付着したクリアのフロートガラス手反１０１とク
リアのフロートガラス板１０１とを中間樹脂膜１０４で
接着した合せガラス１０５である。また、第６図に示し
たものは熱線反射膜１０３を付着したクリアのフロート
ガラス板１０１とクリアのフロートガラス板１０２とを
空間１０７を介してセパレータ１０６により結合した複
層ガラス１０８である。これらの合せガラス１０５およ
び複層ガラス１０Ｂの熱線反射ｊｌ１０３を付着したク
リアのフロートガラス板１０１は第７図に示されるよう
にフロートガラス板１０１の上に順次膜厚３００Å〜４
００人のＺｎＯ膜１０９、膜厚７０Å〜１５０人のＡｇ
膜１１０、膜厚３００〜４００人のＺｎＯ膜１１１の３
層をを積層している。
基板１０１から遠い方のＺｎＯ膜１１１を成膜する際に
Ａｇ成膜１０が酸化されるのを防ぐためにＡ、膜１１０
とＺｎＯ膜１１１の間に１０Å〜２０人のＺｎ膜を通常
形成するが、このＺｎ膜は後に酸化してＺｎＯ膜となり
１１１のＺｎＯと一体となるので最終的には第７図に示
した膜構成となっている。
Ａｇ成膜１０が酸化されるのを防ぐためにＡ、膜１１０
とＺｎＯ膜１１１の間に１０Å〜２０人のＺｎ膜を通常
形成するが、このＺｎ膜は後に酸化してＺｎＯ膜となり
１１１のＺｎＯと一体となるので最終的には第７図に示
した膜構成となっている。
これらの従来の製品はＡｇ成膜１０の持つ優れた光学的
性質、即ち高い可視光透過率、低い日射透過率を主に利
用し、更にＡｇ成膜１０の上下に設けられたＺｎＯ膜１
０９，１１１がＡｇ膜１１０とガラス板または空気、中
間膜との間の反射防止層として働くことにより可視光透
過率をより一層向上し、また同時にこのＺｎＯ膜１０９
，１１１力＜Ｑｇ膜１１０の腐食をある程度防いでいた
。更にＡｇ成膜１０はＺｎＯ膜１０９，１１１があるに
も係らず湿気を含んだ外気中では数日〜数カ月で腐食し
てしまうため、第５図、第６図に示したように合せガラ
ス１０５及び複層ガラス１０８にし、湿気を含んだ外気
に触れないようにして数年以上経ってもＡｇ成膜１０が
腐食しないように工夫されていた。
性質、即ち高い可視光透過率、低い日射透過率を主に利
用し、更にＡｇ成膜１０の上下に設けられたＺｎＯ膜１
０９，１１１がＡｇ膜１１０とガラス板または空気、中
間膜との間の反射防止層として働くことにより可視光透
過率をより一層向上し、また同時にこのＺｎＯ膜１０９
，１１１力＜Ｑｇ膜１１０の腐食をある程度防いでいた
。更にＡｇ成膜１０はＺｎＯ膜１０９，１１１があるに
も係らず湿気を含んだ外気中では数日〜数カ月で腐食し
てしまうため、第５図、第６図に示したように合せガラ
ス１０５及び複層ガラス１０８にし、湿気を含んだ外気
に触れないようにして数年以上経ってもＡｇ成膜１０が
腐食しないように工夫されていた。
これら２つの従来例のＡｇ膜を用いたものは非常に優れ
た高い可視光透過率と低い日射透過率を有する熱線遮蔽
板となる。
た高い可視光透過率と低い日射透過率を有する熱線遮蔽
板となる。
しかしながら、この熱線反射膜１０３を直接湿気を含ん
だ外気にさらす使用状況では数日〜数カ月のうちにＡｇ
成膜１０が腐食して、光学特性が変化すると可視光透過
率の減少と共に日射透過率の上昇が起こり、また外観上
も腐食個所がまだらになって見えるようになってしまう
と言う欠点があった。このため自動車のサイドウィンド
ウのようにガラス板を単板で用いその表面に形成されて
いる膜が直接外気に触れる用途には従来のＡｇ１Ｉｌｌ
ｌｌＯを含んだ製品を用いることはできなかった。
だ外気にさらす使用状況では数日〜数カ月のうちにＡｇ
成膜１０が腐食して、光学特性が変化すると可視光透過
率の減少と共に日射透過率の上昇が起こり、また外観上
も腐食個所がまだらになって見えるようになってしまう
と言う欠点があった。このため自動車のサイドウィンド
ウのようにガラス板を単板で用いその表面に形成されて
いる膜が直接外気に触れる用途には従来のＡｇ１Ｉｌｌ
ｌｌＯを含んだ製品を用いることはできなかった。
しかも可視光透過率が約３０％乃至７０％の範囲で、日
射透過率が可視光透過率よりも少なくとも５％以上低い
ものは従来の熱線反射膜では得難い。
射透過率が可視光透過率よりも少なくとも５％以上低い
ものは従来の熱線反射膜では得難い。
本発明は前記したような従来のものの欠点を除去するた
めになされたものであって、比較的可視光透過率が低く
、且つ日射通過率が可視光透過率よりも少なくとも５％
以上低い被膜をもち、該被膜が外気にさらされる環境に
おいても用いることができる耐久性のある熱線遮蔽板を
提供するものである。すなわち、本発明は、ガラス又は
合成樹脂等の透明基板と、該透明基板の一方の表面に形
成された、厚み力（５０Å〜６００人のジルコニウム、
チタン、およびハフニウムのいずれかの金属の窒化物層
とからなる低い可視光透過率の熱線遮蔽板である。
めになされたものであって、比較的可視光透過率が低く
、且つ日射通過率が可視光透過率よりも少なくとも５％
以上低い被膜をもち、該被膜が外気にさらされる環境に
おいても用いることができる耐久性のある熱線遮蔽板を
提供するものである。すなわち、本発明は、ガラス又は
合成樹脂等の透明基板と、該透明基板の一方の表面に形
成された、厚み力（５０Å〜６００人のジルコニウム、
チタン、およびハフニウムのいずれかの金属の窒化物層
とからなる低い可視光透過率の熱線遮蔽板である。
また、本発明は、前記金属の窒化物層上に屈折率が１．
８〜２．４で、且つ厚みが１０Å〜６００人の金属酸化
物誘電体層を形成した特許請求の範囲第１項に記載の低
い可視光透過率の熱線遮蔽板である。
８〜２．４で、且つ厚みが１０Å〜６００人の金属酸化
物誘電体層を形成した特許請求の範囲第１項に記載の低
い可視光透過率の熱線遮蔽板である。
更にまた本発明は、ガラス又は合成樹脂等の透明基板と
、該透明基板の一方の表面に形成された、屈折率が１．
８〜２．４で且つ厚みが２００Å〜６００人の第１の金
属酸化物誘電体層と、該金属酸化物誘電体層上に形成し
た厚みが１００Å〜６００人のジルコニウム、チタン、
およびハフニウムのいずれかの金属の窒化物層と、該金
属の窒化物価−ヒに形成した、屈折率が１．９〜２．１
５で且つ厚みが２００Å〜６００人の第２の金属酸化物
誘電体層とからなる低い可視光透過率の熱線遮蔽板であ
る。
、該透明基板の一方の表面に形成された、屈折率が１．
８〜２．４で且つ厚みが２００Å〜６００人の第１の金
属酸化物誘電体層と、該金属酸化物誘電体層上に形成し
た厚みが１００Å〜６００人のジルコニウム、チタン、
およびハフニウムのいずれかの金属の窒化物層と、該金
属の窒化物価−ヒに形成した、屈折率が１．９〜２．１
５で且つ厚みが２００Å〜６００人の第２の金属酸化物
誘電体層とからなる低い可視光透過率の熱線遮蔽板であ
る。
本発明において、金属の窒化物層の窒化物とはＭＮＸ
（Ｍはジルコニウム、チタン、およびハフニウム、Ｘ＝
０．１−１．２）で表されるものを意味する。
（Ｍはジルコニウム、チタン、およびハフニウム、Ｘ＝
０．１−１．２）で表されるものを意味する。
また、本発明において、前記金属酸化物誘電体層として
酸化錫２Ｍ化チタン、酸化タンタル、酸化アルミニュウ
ム、酸化タングステン、酸化ジルコニュウム、酸化亜鉛
、及び錫をドープした酸化インジウムのいずれかが用い
られる。
酸化錫２Ｍ化チタン、酸化タンタル、酸化アルミニュウ
ム、酸化タングステン、酸化ジルコニュウム、酸化亜鉛
、及び錫をドープした酸化インジウムのいずれかが用い
られる。
〔作 用）
本発明に用いられている被膜は金属窒化物、あるいは金
属窒化物と金属酸化物誘電体層からなるため、従来用い
られていたＡｇ簿膜のように大気中で腐食することがな
く、耐摩耗性に優れている。
属窒化物と金属酸化物誘電体層からなるため、従来用い
られていたＡｇ簿膜のように大気中で腐食することがな
く、耐摩耗性に優れている。
また、本発明に用いられている被膜の厚みを選ぶことに
より、可視光線透過率を３０％〜７０％の範囲で、且つ
日射透過率が可視光線透過率よりも５％以上低い熱線遮
断板を得ることができる。
より、可視光線透過率を３０％〜７０％の範囲で、且つ
日射透過率が可視光線透過率よりも５％以上低い熱線遮
断板を得ることができる。
以下、本発明を図面に示した実施例について説明する。
〔実施例１〕
１１は屈折率が１．５１の５龍厚さのクリアのフロート
ガラス板であって、ガラス板１１の表面に、厚みが２５
０人の窒化ジルコニウム（ＺｒＮ、、、 ｘは０．１〜
１．２のいずれかの値）膜工２をスパッタリング法で形
成される（第１図）。
ガラス板であって、ガラス板１１の表面に、厚みが２５
０人の窒化ジルコニウム（ＺｒＮ、、、 ｘは０．１〜
１．２のいずれかの値）膜工２をスパッタリング法で形
成される（第１図）。
窒化ジルコニウム膜には５ Ｘ １０−”Ｔｏｒｒに減
圧された５、４容量％の窒素ガスを含むアルゴンガス中
でジルコニウムターゲットに一３３０ｖを印加して、１
．９Ａの電流を流すことによる反応性直流スパッタリン
グでガラス板１１上に形成される。
圧された５、４容量％の窒素ガスを含むアルゴンガス中
でジルコニウムターゲットに一３３０ｖを印加して、１
．９Ａの電流を流すことによる反応性直流スパッタリン
グでガラス板１１上に形成される。
このスパッタリング中アルゴンガスと酸素ガスを夫々４
７．５ ＳＣＣＭ及び２．５ ＳＣＣＭの流量で供給し
ながら、スパッタリング雰囲気５ Ｘ １０−’Ｔｏｒ
ｒに保った。得られた熱線遮蔽ガラスの光学特性を第１
表及び第４図に示した。
７．５ ＳＣＣＭ及び２．５ ＳＣＣＭの流量で供給し
ながら、スパッタリング雰囲気５ Ｘ １０−’Ｔｏｒ
ｒに保った。得られた熱線遮蔽ガラスの光学特性を第１
表及び第４図に示した。
〔実施例２〕
２１は屈折率力月、５１の５酊厚さのクリアのフロート
ガラス板であって、ガラス板２１の表面に順次、厚みが
２５０人の窒化ジルコニウム（Ｚ ｒ Ｎ ）ｌ ％Ｘ
は０．１〜１．２のいずれかの値）膜２２と、厚みが１
００人の酸化錫（ＳｎＯｚ）膜２３とが夫々スパッタリ
ング法で形成される（第２図）。窒化ジルコニウム膜２
２は実施例１と同様に付着され、酸化錫膜２３は２．５
Ｘ １０−３Ｔｏｒｒに減圧された８０容量％の酸素
ガスを含むアルゴンガス中で金属錫ターゲットに一４０
０Ｖを印加して、２．５Ａの電流を流すことによる反応
性直流スパッタリングで形成される。このスパッタリン
グ中アルゴンガスと酸素ガスを夫々１０． ＯＳＣＣＭ
及び４０． ＯＳＣＣＭの流量で供給しながら、スパッ
タリング雰囲気を２．５Ｘ １０ ”’Ｔｏｒｒに保っ
た。得られた熱線遮断ガラスの光学特性を第１表及び第
４図に示した。この熱線遮断ガラスは二層膜の光干渉に
よって光学特性を向上し、且つ酸化錫膜２３により、実
施例１のものより、耐摩耗性と化学的安定性等の耐久性
が向上する。
ガラス板であって、ガラス板２１の表面に順次、厚みが
２５０人の窒化ジルコニウム（Ｚ ｒ Ｎ ）ｌ ％Ｘ
は０．１〜１．２のいずれかの値）膜２２と、厚みが１
００人の酸化錫（ＳｎＯｚ）膜２３とが夫々スパッタリ
ング法で形成される（第２図）。窒化ジルコニウム膜２
２は実施例１と同様に付着され、酸化錫膜２３は２．５
Ｘ １０−３Ｔｏｒｒに減圧された８０容量％の酸素
ガスを含むアルゴンガス中で金属錫ターゲットに一４０
０Ｖを印加して、２．５Ａの電流を流すことによる反応
性直流スパッタリングで形成される。このスパッタリン
グ中アルゴンガスと酸素ガスを夫々１０． ＯＳＣＣＭ
及び４０． ＯＳＣＣＭの流量で供給しながら、スパッ
タリング雰囲気を２．５Ｘ １０ ”’Ｔｏｒｒに保っ
た。得られた熱線遮断ガラスの光学特性を第１表及び第
４図に示した。この熱線遮断ガラスは二層膜の光干渉に
よって光学特性を向上し、且つ酸化錫膜２３により、実
施例１のものより、耐摩耗性と化学的安定性等の耐久性
が向上する。
〔実施例３〕
３１は屈折率が１．５１の５１園厚さのクリアのフロー
トガラス板であって、ガラス板３１の表面に順次、厚み
が４６０人の酸化錫膜３２と、厚みが４５０人の窒化ジ
ルコニウム（ＺｒＮｘ、Ｘは０．１〜１．２のいずれか
の値）膜３３と、厚みが３９０人の酸化錫膜３４とが夫
々スパッタリング法で形成される（第３図）。窒化ジル
コニウム膜３３及び酸化錫膜３２及び３４は実施例２と
同様に形成された、得られた熱線遮断ガラスの光学特性
を第１表及び第４図に示した。
トガラス板であって、ガラス板３１の表面に順次、厚み
が４６０人の酸化錫膜３２と、厚みが４５０人の窒化ジ
ルコニウム（ＺｒＮｘ、Ｘは０．１〜１．２のいずれか
の値）膜３３と、厚みが３９０人の酸化錫膜３４とが夫
々スパッタリング法で形成される（第３図）。窒化ジル
コニウム膜３３及び酸化錫膜３２及び３４は実施例２と
同様に形成された、得られた熱線遮断ガラスの光学特性
を第１表及び第４図に示した。
表１ 光学特性
この熱線遮断ガラスは三層膜の光干渉によって光学特性
を更に向上し、且つ耐摩耗性と科学的安定性等の耐久性
が向上する。
を更に向上し、且つ耐摩耗性と科学的安定性等の耐久性
が向上する。
以上のように、本発明によれば被膜の厚みを所定の値に
選ぶことにより、可視光、緑透過率を３０％〜７０％と
比較的低い範囲で、且つ日射透過率が可視光ｊｓ透過率
よりも５％以上、通常１０％以上低い熱線遮断板を得る
ことができる。また、本発明に用いられる被膜は金属窒
化物、あるいは金属窒化物と金属酸化物誘電体層からな
るため大気中で耐久性があり、且つ耐摩耗性に優れてい
る。
選ぶことにより、可視光、緑透過率を３０％〜７０％と
比較的低い範囲で、且つ日射透過率が可視光ｊｓ透過率
よりも５％以上、通常１０％以上低い熱線遮断板を得る
ことができる。また、本発明に用いられる被膜は金属窒
化物、あるいは金属窒化物と金属酸化物誘電体層からな
るため大気中で耐久性があり、且つ耐摩耗性に優れてい
る。
第１図乃至第３図は夫々本発明の熱線遮断ガラスの部分
断面図、第４図は本発明の熱線遮断ガラスの分光透過率
曲線、第５図乃至第６図は従来の熱線遮断ガラス、第７
図は従来の熱線遮断ガラスの部分拡大断面図である。 １１．２１，３１ニガラス板 １２．２２，３３：窒化ジルコニウム膜２３．３２，３
４：酸化錫膜 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図
断面図、第４図は本発明の熱線遮断ガラスの分光透過率
曲線、第５図乃至第６図は従来の熱線遮断ガラス、第７
図は従来の熱線遮断ガラスの部分拡大断面図である。 １１．２１，３１ニガラス板 １２．２２，３３：窒化ジルコニウム膜２３．３２，３
４：酸化錫膜 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図
Claims (3)
- （１）ガラス又は合成樹脂等の透明基板と、該透明基板
の一方の表面に形成された、厚みが５０Å〜６００Åの
ジルコニウム、チタン、およびハフニウムのいずれかの
金属の窒化物層とからなる低い可視光透過率の熱線遮蔽
板。 - （２）前記金属の窒化物層上に屈折率が１．８〜２．４
で、且つ厚みが１０Å〜６００Åの金属酸化物誘電体層
を形成した特許請求の範囲第一項に記載の、低い可視光
透過率の熱線遮蔽板。 - （３）ガラス又は合成樹脂等の透明基板と、該透明基板
の一方の表面に形成された、屈折率が１．８〜２．４で
且つ厚みが２００Å〜６００Åの第１の金属酸化物誘電
体層と、該金属酸化物誘電体層上に形成した厚みが１０
０Å〜６００Åのジルコニウム、チタンおよびハフニウ
ムのいずれかの金属の窒化物層と、該金属の窒化物層上
に形成した、屈折率が１．８〜２．４で且つ厚みが２０
０Å〜６００Åの第２の金属酸化物誘電体層とからなる
低い可視光透過率の熱線遮断板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63125195A JPH01294032A (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | 低い可視光透過率の熱線遮断板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63125195A JPH01294032A (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | 低い可視光透過率の熱線遮断板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01294032A true JPH01294032A (ja) | 1989-11-28 |
Family
ID=14904273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63125195A Pending JPH01294032A (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | 低い可視光透過率の熱線遮断板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01294032A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2722775A1 (fr) * | 1994-07-25 | 1996-01-26 | Glaverbel | Vitrage portant un revetement pyrolytique |
| CN102432190A (zh) * | 2011-09-22 | 2012-05-02 | 浙江大学 | 制备高透过率氮化钛镀膜玻璃的方法 |
-
1988
- 1988-05-23 JP JP63125195A patent/JPH01294032A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2722775A1 (fr) * | 1994-07-25 | 1996-01-26 | Glaverbel | Vitrage portant un revetement pyrolytique |
| NL1000882C2 (nl) * | 1994-07-25 | 1996-04-15 | Glaverbel | Pyrolytisch bekleed beglazingspaneel. |
| BE1008681A3 (fr) * | 1994-07-25 | 1996-07-02 | Glaverbel | Vitrage portant un revetement pyrolytique. |
| ES2123387A1 (es) * | 1994-07-25 | 1999-01-01 | Glaverbel | Panel de acristalamiento revestido de pirolisis. |
| AT408980B (de) * | 1994-07-25 | 2002-04-25 | Glaverbel | Pyrolytisch beschichtete verglasungsscheibe |
| CN102432190A (zh) * | 2011-09-22 | 2012-05-02 | 浙江大学 | 制备高透过率氮化钛镀膜玻璃的方法 |
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