JPH01295143A - リード曲り検出方法 - Google Patents
リード曲り検出方法Info
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- JPH01295143A JPH01295143A JP63125391A JP12539188A JPH01295143A JP H01295143 A JPH01295143 A JP H01295143A JP 63125391 A JP63125391 A JP 63125391A JP 12539188 A JP12539188 A JP 12539188A JP H01295143 A JPH01295143 A JP H01295143A
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- Japan
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- line
- sensor camera
- line sensor
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 2
- XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000013480 data collection Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95684—Patterns showing highly reflecting parts, e.g. metallic elements
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はＩＣの外観検査装置、特にリードのピッチ方向
向りの検査装置に関する。
向りの検査装置に関する。
従来、この種の検査方法は第３図のように透過形センナ
部ＦＳ（紙面の上部を投光器１紙面の下部を受光器の構
成とする）にＩＣのリードを定速でＤＩＲ方向に通過さ
せ、リードＰ１〜Ｐ、の無から有に切換る時間（Ｌ、１
． Ｌ、２．・・・Ｌｒ＋・・・）、及びリードＰ１〜
Ｐ、の有から無に切換る時間（Ｌ ＝ｔ 、 Ｌ ＋？
、、・・・Ｌ ｆｌ・・・）を求め、リード間隔（Ｌｒ
２ １．ｒｌ） 、 （Ｌ、−３Ｌｒ２） ・・・（
Ｌｒ＋＋＋＋＋−Ｌ□）・・・を求めていた。又エリア
センサを使用し、リード部を撮影し、リード部にウィン
ドウを設け、ウィンドウ内のり−ドデータにより処理を
行っていた。Ｓ Ｔｌ＋は測定ラインを示ず。
部ＦＳ（紙面の上部を投光器１紙面の下部を受光器の構
成とする）にＩＣのリードを定速でＤＩＲ方向に通過さ
せ、リードＰ１〜Ｐ、の無から有に切換る時間（Ｌ、１
． Ｌ、２．・・・Ｌｒ＋・・・）、及びリードＰ１〜
Ｐ、の有から無に切換る時間（Ｌ ＝ｔ 、 Ｌ ＋？
、、・・・Ｌ ｆｌ・・・）を求め、リード間隔（Ｌｒ
２ １．ｒｌ） 、 （Ｌ、−３Ｌｒ２） ・・・（
Ｌｒ＋＋＋＋＋−Ｌ□）・・・を求めていた。又エリア
センサを使用し、リード部を撮影し、リード部にウィン
ドウを設け、ウィンドウ内のり−ドデータにより処理を
行っていた。Ｓ Ｔｌ＋は測定ラインを示ず。
上述した従来の透過センサ検査方法は、リードの一点の
みしか検出していないため、第３図のリードＰ４のよう
にリードの途中で曲っているものに対しては検出できな
いという欠点がある。
みしか検出していないため、第３図のリードＰ４のよう
にリードの途中で曲っているものに対しては検出できな
いという欠点がある。
又エリアセンサ検査方法に対しては、検出精度向上のな
め、ウィンドウを大きく取る必要があり、これは検査時
間の増加につながるという欠点がある。
め、ウィンドウを大きく取る必要があり、これは検査時
間の増加につながるという欠点がある。
本発明の目的は前記課題を解決したリード曲り検出装置
を提供することにある。
を提供することにある。
上述した従来の検査方式に対し、本発明はリアルタイム
なデータの採取及び処理、さらにリード全体の特徴をつ
かんだ検出方式を実現させるという相違点を有する。
なデータの採取及び処理、さらにリード全体の特徴をつ
かんだ検出方式を実現させるという相違点を有する。
上記目的を達成するため、本発明のリード曲り検出装置
においては、定速で移動する集積回路を撮像するライン
センサカメラよりの１ライン分の出力を２値化する手段
と、１ライン内の特定エリアを設定する手段と、特定エ
リア内のデータを加算する手段と、加算結果を記憶する
手段と、各ラインの加算結果に対し、任意に設定した値
と比較を行いリードの有無を検出する手段とを有するも
のである。
においては、定速で移動する集積回路を撮像するライン
センサカメラよりの１ライン分の出力を２値化する手段
と、１ライン内の特定エリアを設定する手段と、特定エ
リア内のデータを加算する手段と、加算結果を記憶する
手段と、各ラインの加算結果に対し、任意に設定した値
と比較を行いリードの有無を検出する手段とを有するも
のである。
次に本発明について図を参照して説明す□る。
（実施例１）
第１図は本発明の実方麺例１を示ず構成図である。
図において、本発明は定速で移動する集積回路パッケー
ジ（以下、ＩＣという）をリードＰ、〜Ｐｌを含めて撮
像するラインセンサカメラＬ Ｓと、ラインセンサカメ
ラＬＳからの１ライン分の出力を２値化する２値化回路
ＣＯＭＰと、ラインセンサカメラＬＳの出力１ライン分
の特定エリアを制御する制御回路ＣＴＲＬと、制御口Ｉ
？８ｃＴＲＬの信号により特定エリア内のデータを加算
する加算回路ＡＤＤと、その出力を記憶する記憶口Ｆｌ
＠ Ｍ ＥＭＯと、各ラインの加算結果に対し、任意に
設定した値と比較を行い、リードの有無を判定する判定
回路ＪＧより構成される。
ジ（以下、ＩＣという）をリードＰ、〜Ｐｌを含めて撮
像するラインセンサカメラＬ Ｓと、ラインセンサカメ
ラＬＳからの１ライン分の出力を２値化する２値化回路
ＣＯＭＰと、ラインセンサカメラＬＳの出力１ライン分
の特定エリアを制御する制御回路ＣＴＲＬと、制御口Ｉ
？８ｃＴＲＬの信号により特定エリア内のデータを加算
する加算回路ＡＤＤと、その出力を記憶する記憶口Ｆｌ
＠ Ｍ ＥＭＯと、各ラインの加算結果に対し、任意に
設定した値と比較を行い、リードの有無を判定する判定
回路ＪＧより構成される。
実施例において、今、ラインセンサカメラＬＳの真下を
ＩＣがＤＩＲ方向に定速で移動するものとする。そして
ラインセンサカメラＬＳかＩＣを検出した時から一定時
間間隔でＩＣが通過し終るまで連続的にデータを収るも
のとする。さらにラインセンサカメラＬＳの１ライン分
のうちの特定のエリアの開始点ＳＴＡから最終点ＳＴＰ
を設定し、このエリア内の加算データを記憶回路ＭＥＭ
Ｏに蓄える。
ＩＣがＤＩＲ方向に定速で移動するものとする。そして
ラインセンサカメラＬＳかＩＣを検出した時から一定時
間間隔でＩＣが通過し終るまで連続的にデータを収るも
のとする。さらにラインセンサカメラＬＳの１ライン分
のうちの特定のエリアの開始点ＳＴＡから最終点ＳＴＰ
を設定し、このエリア内の加算データを記憶回路ＭＥＭ
Ｏに蓄える。
今、ＩＣがＤＩＲの方向に定速に移動し、移動し終ると
、記憶回路ＭＥＭＯにはリードＰ１に対しＨ２のヒスト
グラム、リードＰ２に対しＨ２のヒストグラム、・・・
リードＰ、に対しＨ、のヒストグラムが得られる。この
様子が第１図のリードＰ、に対するヒストグラムＨ３で
あり、Ｈ、の縦軸一定時間間隔に対する横軸度数分布を
示している。Ｐ ｒ １＋〜ｐ ｒｌはリードの無から
有の点、Ｐ、ｌ〜Ｐｆ１はリードの有から無の点をそれ
ぞれ示し、）（’ｒＨは任意の設定値を示す。
、記憶回路ＭＥＭＯにはリードＰ１に対しＨ２のヒスト
グラム、リードＰ２に対しＨ２のヒストグラム、・・・
リードＰ、に対しＨ、のヒストグラムが得られる。この
様子が第１図のリードＰ、に対するヒストグラムＨ３で
あり、Ｈ、の縦軸一定時間間隔に対する横軸度数分布を
示している。Ｐ ｒ １＋〜ｐ ｒｌはリードの無から
有の点、Ｐ、ｌ〜Ｐｆ１はリードの有から無の点をそれ
ぞれ示し、）（’ｒＨは任意の設定値を示す。
ここで、加算結果に対し任意の値Ｈ７，，を設定し、こ
の値を境にリードの有無を決定する。ここではリード幅
はｐ ｒｌ〜ｐ ｒｌ、 Ｐｒ２〜ｐ 、、 、、、
ｐ ｒｌ〜Ｐ２．であり、リード間隔はＰｆ１〜Ｐ ｒ
２． Ｐ １２〜Ｐｒ３＋’・・Ｐｆ３〜Ｐ ｒｌｌ＋
ｌ＋となる。
の値を境にリードの有無を決定する。ここではリード幅
はｐ ｒｌ〜ｐ ｒｌ、 Ｐｒ２〜ｐ 、、 、、、
ｐ ｒｌ〜Ｐ２．であり、リード間隔はＰｆ１〜Ｐ ｒ
２． Ｐ １２〜Ｐｒ３＋’・・Ｐｆ３〜Ｐ ｒｌｌ＋
ｌ＋となる。
そこで、リード幅及びリード間隔をあらかじめ設定しで
ある判定基準と比較を行うことにより良否判定を行う。
ある判定基準と比較を行うことにより良否判定を行う。
（実施例２）
第２図は本発明の実施例２を示す原理図である。
−４一
実施例１ではＩＣの片方のリードに対して説明したが、
ＩＣパッケージの大きさ、ラインセンサカメラの１ライ
ン当りのビット数、及び精度を考慮すると、両リードの
データを同時に検出可能な場合かある６そこで、本実施
例はこの場合ラインセンサカメラＬＳの特定エリア５Ｔ
ＡＩ〜５ＴＰ１及び５ＴＡ１〜５ＴＰ２を２種類設け、
ＩＣの左右のリードを独立に管理するようにしたもので
ある。本実施例によれは、ＩＣの左右のリードを一度に
検査できる利点かある。
ＩＣパッケージの大きさ、ラインセンサカメラの１ライ
ン当りのビット数、及び精度を考慮すると、両リードの
データを同時に検出可能な場合かある６そこで、本実施
例はこの場合ラインセンサカメラＬＳの特定エリア５Ｔ
ＡＩ〜５ＴＰ１及び５ＴＡ１〜５ＴＰ２を２種類設け、
ＩＣの左右のリードを独立に管理するようにしたもので
ある。本実施例によれは、ＩＣの左右のリードを一度に
検査できる利点かある。
以上説明したように本発明は、リアルタイムにデータ収
集か行えることによる検査時間の短縮を実現できるとと
もに、個々のリードの特徴的なリードの曲りを判定でき
、品質の向上か期待できるという効果かある。
集か行えることによる検査時間の短縮を実現できるとと
もに、個々のリードの特徴的なリードの曲りを判定でき
、品質の向上か期待できるという効果かある。
第１図は本発明の実施例１を示す構成図、第２図は本発
明の実施例２を示す原理図、第３図は従来例を示す原理
図である。 ＬＳ・・・ラインセンサカメラ ＣＯＭＰ・・・２値化回路 ＣＴ ＲＬ・・・制御回路 ＡＤＤ・・・加算回路Ｍ
’ＥＭＯ・・・記憶回路 ＪＧ・・・判定回路ＳＴＡ
、５ＴＡＩ、５ＴＡ２・・・特定エリアの開始点 ＳＴＰ、５ＴＰＩ、５ＴＰ２・・・特定エリアの最終点 ＩＣ・・・集積回路パッケージ ＤＩＲ・・・ＩＣの移動方向 Ｐ＋ 、Ｐ２ 、Ｐ３ 、Ｐ４ 、 Ｐ＋・・・ＩＣの
リードＨ＋ 、Ｈ２、Ｈ３、Ｈ４、Ｈ＋・・・ヒストグ
ラムＰ ｒｌ＋ Ｐ ｒ２＋ Ｐ ｒ３＋ Ｐ
ｒ４＋ Ｐ ｒｌ”’リードの無から有の点 ｐ Ｈ，Ｐ ｔ２． Ｐ ｆ３＋ Ｐ ｔｌ、 Ｐ ｔ
＋・・・リードの有から無の点 Ｈ’ｒｏ・・・任意の設定値 特許出願人 日本電気株式会社
明の実施例２を示す原理図、第３図は従来例を示す原理
図である。 ＬＳ・・・ラインセンサカメラ ＣＯＭＰ・・・２値化回路 ＣＴ ＲＬ・・・制御回路 ＡＤＤ・・・加算回路Ｍ
’ＥＭＯ・・・記憶回路 ＪＧ・・・判定回路ＳＴＡ
、５ＴＡＩ、５ＴＡ２・・・特定エリアの開始点 ＳＴＰ、５ＴＰＩ、５ＴＰ２・・・特定エリアの最終点 ＩＣ・・・集積回路パッケージ ＤＩＲ・・・ＩＣの移動方向 Ｐ＋ 、Ｐ２ 、Ｐ３ 、Ｐ４ 、 Ｐ＋・・・ＩＣの
リードＨ＋ 、Ｈ２、Ｈ３、Ｈ４、Ｈ＋・・・ヒストグ
ラムＰ ｒｌ＋ Ｐ ｒ２＋ Ｐ ｒ３＋ Ｐ
ｒ４＋ Ｐ ｒｌ”’リードの無から有の点 ｐ Ｈ，Ｐ ｔ２． Ｐ ｆ３＋ Ｐ ｔｌ、 Ｐ ｔ
＋・・・リードの有から無の点 Ｈ’ｒｏ・・・任意の設定値 特許出願人 日本電気株式会社
Claims (1)
- （１）定速で移動する集積回路を撮像するラインセンサ
カメラよりの１ライン分の出力を２値化する手段と、１
ライン内の特定エリアを設定する手段と、特定エリア内
のデータを加算する手段と、加算結果を記憶する手段と
、各ラインの加算結果に対し、任意に設定した値と比較
を行いリードの有無を検出する手段とを有することを特
徴とするリード曲り検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63125391A JP2759963B2 (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | リード曲り検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63125391A JP2759963B2 (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | リード曲り検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01295143A true JPH01295143A (ja) | 1989-11-28 |
| JP2759963B2 JP2759963B2 (ja) | 1998-05-28 |
Family
ID=14908978
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63125391A Expired - Fee Related JP2759963B2 (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | リード曲り検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2759963B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102510529B1 (ko) * | 2018-02-26 | 2023-03-15 | 한화정밀기계 주식회사 | 리드 검사 시스템 및 방법 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58171611A (ja) * | 1982-04-02 | 1983-10-08 | Hitachi Ltd | 形状検出装置 |
| JPS61290311A (ja) * | 1985-06-19 | 1986-12-20 | Hitachi Ltd | はんだ付部の検査装置及びその方法 |
| JPS62133341A (ja) * | 1985-12-06 | 1987-06-16 | Hitachi Ltd | はんだ付部検査装置 |
-
1988
- 1988-05-23 JP JP63125391A patent/JP2759963B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58171611A (ja) * | 1982-04-02 | 1983-10-08 | Hitachi Ltd | 形状検出装置 |
| JPS61290311A (ja) * | 1985-06-19 | 1986-12-20 | Hitachi Ltd | はんだ付部の検査装置及びその方法 |
| JPS62133341A (ja) * | 1985-12-06 | 1987-06-16 | Hitachi Ltd | はんだ付部検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2759963B2 (ja) | 1998-05-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |