JPH01295146A - Ｘ線回折装置 - Google Patents
Ｘ線回折装置Info
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- JPH01295146A JPH01295146A JP12409788A JP12409788A JPH01295146A JP H01295146 A JPH01295146 A JP H01295146A JP 12409788 A JP12409788 A JP 12409788A JP 12409788 A JP12409788 A JP 12409788A JP H01295146 A JPH01295146 A JP H01295146A
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- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 title claims description 24
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 17
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、単結晶試料及び多結晶試料のいずれの試料も
測定可能にしたＸ線回折装置に関する。
測定可能にしたＸ線回折装置に関する。
［従来の技術］
従来、単結晶試料のＸ線回折測定をする場合と、多結晶
試料のＸ線回折測定する場合とでは、各々別個の専用の
装置が用いられていた。
試料のＸ線回折測定する場合とでは、各々別個の専用の
装置が用いられていた。
これは、通常、単結晶試料のＸ線回折測定をする場合に
は、試料に照射するＸ線を単色化する必要があるのに対
し、多結晶試料のＸ線回折測定の場合には、その必要か
ないために、装置の構成が大巾に異なるためである。
は、試料に照射するＸ線を単色化する必要があるのに対
し、多結晶試料のＸ線回折測定の場合には、その必要か
ないために、装置の構成が大巾に異なるためである。
［発明か解決しようとする課題］
それゆえ、従来は、単結晶試料と多結晶試料とのＸ線回
折測定を行うためには、２台の装置が必要であり、設備
費がかさむとともに、設置スペースを確保する必要かあ
る等の問題があった。
折測定を行うためには、２台の装置が必要であり、設備
費がかさむとともに、設置スペースを確保する必要かあ
る等の問題があった。
本発明の目的は、上記問題点を除去できるＸ線回折装置
を提供することにある。
を提供することにある。
［課題を解決するだめの手段］
本発明は、Ｘ線源と、このＸ線源から射出されるＸ線を
単色化するモノクロメータを着脱自在に保持するモノク
ロメータ取り付け台と、被測定試料と該試料からの回折
Ｘ線を検出するＸ線検出器とを一定の速度関係（θ−２
θの速度関係）で回転して回折Ｘ線の回折角を測定する
ゴニオメータを備え、 かつ、前記ゴニオメータを前記モノクロメータ取りイ４
け台の基準点を中心にして回転可能にするという極めて
簡単な構成により、単結晶試料のＸ線回折測定と多結晶
試料のＸ線回折測定とのいずれにも適用できる装置を得
たものである。
単色化するモノクロメータを着脱自在に保持するモノク
ロメータ取り付け台と、被測定試料と該試料からの回折
Ｘ線を検出するＸ線検出器とを一定の速度関係（θ−２
θの速度関係）で回転して回折Ｘ線の回折角を測定する
ゴニオメータを備え、 かつ、前記ゴニオメータを前記モノクロメータ取りイ４
け台の基準点を中心にして回転可能にするという極めて
簡単な構成により、単結晶試料のＸ線回折測定と多結晶
試料のＸ線回折測定とのいずれにも適用できる装置を得
たものである。
［作用］
前記構成において、単結晶試料を測定する際には、前記
モノクロメータ取り付け台にモノクロメータを保持し、
次に、前記Ｘ線源から射出されたＸ線かこのモノクロメ
ータによって単色化されて進行する方向に前記被測定試
料か位置するように、前記ゴニオメータを回転してセッ
トする。これにより、単色化されたＸ線か試料に照射さ
れることになり、前記ゴニオメータを動作させて被測定
試料とＸ線検出器とをθ・２θの関係で回転してその回
折角を測定することにより、単結晶試料のＸ線回折測定
を行うことかできる。
モノクロメータ取り付け台にモノクロメータを保持し、
次に、前記Ｘ線源から射出されたＸ線かこのモノクロメ
ータによって単色化されて進行する方向に前記被測定試
料か位置するように、前記ゴニオメータを回転してセッ
トする。これにより、単色化されたＸ線か試料に照射さ
れることになり、前記ゴニオメータを動作させて被測定
試料とＸ線検出器とをθ・２θの関係で回転してその回
折角を測定することにより、単結晶試料のＸ線回折測定
を行うことかできる。
また、多結晶試料を測定する際には、前記モノクロメー
タ取り付け台からモノクロメータを収り外し、前記ゴニ
オメータを回転して該ゴニオメータに保持された被測定
試料に前記Ｘ線源から射出されるＸ線が直接照射される
ようにする。これにより、前記Ｘ線源と前記レジ−ピン
クスリットとが前記試料回転台の回転軸を中心とする１
つの円上に位置することになる。したがって、前記ゴニ
オメータを動作させて被測定試料とＸ線検出器とをθ・
２θの関係で回転してその回折角を測定する場合を考え
ると、まず、前記Ｘ線源、試料及びレシービングスリッ
トか常に共通の仮想円（ローランド円）上にあり、さら
に、Ｘ線源と試料との距離及び試料と検出器との距離が
常に一定となって、いわゆる集中条件を満たすことにな
る。すなわち、これにより集中法による多結晶試料のＸ
線回折測定を行うことかできる。
タ取り付け台からモノクロメータを収り外し、前記ゴニ
オメータを回転して該ゴニオメータに保持された被測定
試料に前記Ｘ線源から射出されるＸ線が直接照射される
ようにする。これにより、前記Ｘ線源と前記レジ−ピン
クスリットとが前記試料回転台の回転軸を中心とする１
つの円上に位置することになる。したがって、前記ゴニ
オメータを動作させて被測定試料とＸ線検出器とをθ・
２θの関係で回転してその回折角を測定する場合を考え
ると、まず、前記Ｘ線源、試料及びレシービングスリッ
トか常に共通の仮想円（ローランド円）上にあり、さら
に、Ｘ線源と試料との距離及び試料と検出器との距離が
常に一定となって、いわゆる集中条件を満たすことにな
る。すなわち、これにより集中法による多結晶試料のＸ
線回折測定を行うことかできる。
このようにして、１台の装置によって、単結晶試料及び
多結晶試料のＸ線回折測定を行うことができる。
多結晶試料のＸ線回折測定を行うことができる。
［実施例］
第１図は本発明の一実施例にかかるＸ線回折装置を示す
斜視図である。
斜視図である。
第１図において、符号１はＸ線源、符号２がモノクロメ
ータ取り付け台、符号３がゴニオメータである。
ータ取り付け台、符号３がゴニオメータである。
前記Ｘ線源１は図示しないＸ線発生装置の本体部のテー
ブル部に立設されており、また、前記モノクロメータ取
り付け台２及び°ゴニオメータ３は、前記図示しないＸ
線発生装置のテーブル部に載置された基台４に取り付け
られている。
ブル部に立設されており、また、前記モノクロメータ取
り付け台２及び°ゴニオメータ３は、前記図示しないＸ
線発生装置のテーブル部に載置された基台４に取り付け
られている。
前記モノクロメータ取り付け台２は、該モノクロメータ
取り付け台２上にモノクロメータ２１を着脱自在に取り
付けることができるようになっており、また、前記モノ
クロメータ２１を取り付けた場合、該モノクロメータ２
１が前記Ｘ線源１から射出されるＸ線１１の進行方向を
含む線上に位置するようになっている。
取り付け台２上にモノクロメータ２１を着脱自在に取り
付けることができるようになっており、また、前記モノ
クロメータ２１を取り付けた場合、該モノクロメータ２
１が前記Ｘ線源１から射出されるＸ線１１の進行方向を
含む線上に位置するようになっている。
また、前記基台４には、前記モノクロメータ取り付け台
２の基準点Ｐ、すなわち、前記モノクロメータ２１の反
射面の中心部に位置する基準点Ｐを通る鉛直線である軸
線０１と前記基台４との交点Ｐ１を中心とする円弧状の
軌道４１が設りられている。
２の基準点Ｐ、すなわち、前記モノクロメータ２１の反
射面の中心部に位置する基準点Ｐを通る鉛直線である軸
線０１と前記基台４との交点Ｐ１を中心とする円弧状の
軌道４１が設りられている。
前記ゴニオメータ３は、被測定試料３１を載置して該試
料３１の被測定面を含む鉛直線たる中心軸０２を中心に
角速度θで回転可能に支持された試料回転台３２と、前
記中心軸０２を中心にして前記試料回転台３２と連動し
て角速度２θで回転可能に保持された腕部３３と、この
腕部３３に固定されたレジ−ピンクスリット３４及びＸ
線検出器３５と、前記モノクロメータ取り付け台２及び
試料回転台３２の中間に配置されるスリット３６を保持
するスリット台３７とを備えている。
料３１の被測定面を含む鉛直線たる中心軸０２を中心に
角速度θで回転可能に支持された試料回転台３２と、前
記中心軸０２を中心にして前記試料回転台３２と連動し
て角速度２θで回転可能に保持された腕部３３と、この
腕部３３に固定されたレジ−ピンクスリット３４及びＸ
線検出器３５と、前記モノクロメータ取り付け台２及び
試料回転台３２の中間に配置されるスリット３６を保持
するスリット台３７とを備えている。
さらに、このゴニオメータ３の底部には、前記円弧状の
軌道４１に摺動自在に係合する係合部が形成されており
、該ゴニオメータ３が前記軌道４１に沿って移動できる
ようになっている。
軌道４１に摺動自在に係合する係合部が形成されており
、該ゴニオメータ３が前記軌道４１に沿って移動できる
ようになっている。
この場合、前記ゴニオメータ３を前記円弧軌道４１上を
移動させて、前記Ｘ線源１から射出されるＸ線１１の進
行方向を含む線上に前記ゴニオメータ３上に載置された
試料３１が位置するようにしたとき、前記Ｘ線源１及び
レシービングスリット３４かともに前記中心軸０２を中
心とする１つの円上に位置するように構成されている。
移動させて、前記Ｘ線源１から射出されるＸ線１１の進
行方向を含む線上に前記ゴニオメータ３上に載置された
試料３１が位置するようにしたとき、前記Ｘ線源１及び
レシービングスリット３４かともに前記中心軸０２を中
心とする１つの円上に位置するように構成されている。
これにより、前記Ｘ線源と前記レシービングスリットと
が前記試料回転台の回転軸を中心とする１つの円上に位
置することになる。したがって、前記ゴニオメータを動
作させて被測定試料とＸ線検出器とをθ・２θの関係で
回転してその回折角を測定する場合を考えると、まず、
前記Ｘ線源、試料及びレシービングスリットが常に共通
の仮想円（ローランド円）上にあり、さらに、Ｘ線源と
試料との距離及び試料と検出器との距離が常に一定とな
って、いわゆる集中条件を満たすことになる。すなわち
、これにより、集中法による測定ができるようになって
いる。
が前記試料回転台の回転軸を中心とする１つの円上に位
置することになる。したがって、前記ゴニオメータを動
作させて被測定試料とＸ線検出器とをθ・２θの関係で
回転してその回折角を測定する場合を考えると、まず、
前記Ｘ線源、試料及びレシービングスリットが常に共通
の仮想円（ローランド円）上にあり、さらに、Ｘ線源と
試料との距離及び試料と検出器との距離が常に一定とな
って、いわゆる集中条件を満たすことになる。すなわち
、これにより、集中法による測定ができるようになって
いる。
なお、前記ゴニオメータ３の本体部３８内には図示しな
い外部制御装置からの指令によって前記試料回転台３２
と腕部３３とをθ・２θの角速度関係で回転する駆動装
置が収納されている。
い外部制御装置からの指令によって前記試料回転台３２
と腕部３３とをθ・２θの角速度関係で回転する駆動装
置が収納されている。
上述の装置によって単結晶試料のＸ線回折測定を行うと
きは、第２図に示されるように、前記モノクロメータ取
り付け台２にモノクロメータ２１を取り付け、次に、前
記ゴニオメータ３を前記軌道４１上で移動させて、前記
モノクロメータ２１によって反射されて単色化されたＸ
線１２が前記試料３１に照射されるようにセットする。
きは、第２図に示されるように、前記モノクロメータ取
り付け台２にモノクロメータ２１を取り付け、次に、前
記ゴニオメータ３を前記軌道４１上で移動させて、前記
モノクロメータ２１によって反射されて単色化されたＸ
線１２が前記試料３１に照射されるようにセットする。
次いで、この状態で、前記試料３１とＸ線検出器３５（
腕部３３）とをθ・２θの角速度関係で回転させる。こ
れにより、単結晶試料のＸ線回折測定を行うことができ
る。
腕部３３）とをθ・２θの角速度関係で回転させる。こ
れにより、単結晶試料のＸ線回折測定を行うことができ
る。
また、上述の装置によって、多結晶試料のＸ線回折測定
を行う場合には、第３図に示されるように、前記モノク
ロメータ取り付け台２からモノクロメータ２１を取り外
し、次に、前記ゴニオメータ３を前記軌道４１上で移動
させて、前記Ｘ線源１から射出されるＸ線１１が直接試
料３１に照射されるようにセットする。
を行う場合には、第３図に示されるように、前記モノク
ロメータ取り付け台２からモノクロメータ２１を取り外
し、次に、前記ゴニオメータ３を前記軌道４１上で移動
させて、前記Ｘ線源１から射出されるＸ線１１が直接試
料３１に照射されるようにセットする。
次いで、この状態で、前記試料３１とＸ線検出器３５（
腕部３３）とをθ・２θの角速度関係で回転させる。こ
れにより、集中法による多結晶試料のＸ線回折測定を行
うことができる。
腕部３３）とをθ・２θの角速度関係で回転させる。こ
れにより、集中法による多結晶試料のＸ線回折測定を行
うことができる。
上述の実施例の装置によれば、前記ゴニオメータ３を移
動させる等の簡単な操作だけで単結晶試料の測定あるい
は多結晶試料の測定のいずれでも任意に選択して行うこ
とができる。したがって、従来のように、それぞれ高価
な専用の装置を別個に用意する必要かない。しかも、例
えば、単結晶−つ − 試料の測定の後に、多結晶試料の測定を行うときは、従
来は、単結晶試料測定用の装置を取り外してから多結晶
試料測定用装置を設置して、繁雑な光軸合わせ等のセツ
ティングを最初から行う必要があったのに対し、前記実
施例では、前記ゴニオメータ３のセツティング位置をあ
らかじめ正確に求めておけば、次からは、この位置に正
確に合わせるだけですむから、セツティングを・極めて
容易にすることかできる。したがって、例えは、測定の
スケジュール等を組む際に、従来のようにセツティング
時間を考慮にいれる必要がなく、これに拘束されずより
効率的なスケジュールを組むことを可能にする等の利点
がある。
動させる等の簡単な操作だけで単結晶試料の測定あるい
は多結晶試料の測定のいずれでも任意に選択して行うこ
とができる。したがって、従来のように、それぞれ高価
な専用の装置を別個に用意する必要かない。しかも、例
えば、単結晶−つ − 試料の測定の後に、多結晶試料の測定を行うときは、従
来は、単結晶試料測定用の装置を取り外してから多結晶
試料測定用装置を設置して、繁雑な光軸合わせ等のセツ
ティングを最初から行う必要があったのに対し、前記実
施例では、前記ゴニオメータ３のセツティング位置をあ
らかじめ正確に求めておけば、次からは、この位置に正
確に合わせるだけですむから、セツティングを・極めて
容易にすることかできる。したがって、例えは、測定の
スケジュール等を組む際に、従来のようにセツティング
時間を考慮にいれる必要がなく、これに拘束されずより
効率的なスケジュールを組むことを可能にする等の利点
がある。
［発明の効果］
以上詳述したように、本発明は、Ｘ線源から射出される
Ｘ線を単色化するモノクロメータを着脱自在に保持する
モノクロメータ取り付け台と、被測定試料と該試料から
の回折Ｘ線を検出するＸ線検出器とを一定の速度間係（
θ−２θの速度関係）で回転して回折Ｘ線の回折角を測
定するゴニオメ−タを備え、 かつ、前記ゴニオメータを前記モノクロメータ取り付け
台の基準点を中心にして回転可能にするという極めて簡
単な構成により、単結晶試料のＸ線回折測定と多結晶試
料のＸ線回折測定とのいずれにも適用できる装置を得た
ものである。
Ｘ線を単色化するモノクロメータを着脱自在に保持する
モノクロメータ取り付け台と、被測定試料と該試料から
の回折Ｘ線を検出するＸ線検出器とを一定の速度間係（
θ−２θの速度関係）で回転して回折Ｘ線の回折角を測
定するゴニオメ−タを備え、 かつ、前記ゴニオメータを前記モノクロメータ取り付け
台の基準点を中心にして回転可能にするという極めて簡
単な構成により、単結晶試料のＸ線回折測定と多結晶試
料のＸ線回折測定とのいずれにも適用できる装置を得た
ものである。
第１図は本発明の一実施例にかかるＸ線回折装置を示す
斜視図、第２図は第１図に示される装置によって単結晶
試料のＸ線回折測定を行う場合の装置のセッテンク状態
を示す図、第３図は第１図に示される装置によって多結
晶試料のＸ線回折測定を行う場合の装置のセッテンク状
態を示す図である。 １・・・Ｘ線源、 ２・・・モノクロメータ取り付け台、 ２１・・・モノクロメータ、 ３・・・ゴニオメータ、 ３１・・・試料、 ３２・・・試料回転台、 ３５・・・Ｘ線検出器、 ４・・・基台、 ４１・・・円弧状軌道。 出願人 株式会社マックサイエンス
斜視図、第２図は第１図に示される装置によって単結晶
試料のＸ線回折測定を行う場合の装置のセッテンク状態
を示す図、第３図は第１図に示される装置によって多結
晶試料のＸ線回折測定を行う場合の装置のセッテンク状
態を示す図である。 １・・・Ｘ線源、 ２・・・モノクロメータ取り付け台、 ２１・・・モノクロメータ、 ３・・・ゴニオメータ、 ３１・・・試料、 ３２・・・試料回転台、 ３５・・・Ｘ線検出器、 ４・・・基台、 ４１・・・円弧状軌道。 出願人 株式会社マックサイエンス
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｘ線源と、 このＸ線源から射出されるＸ線を単色化するためのモノ
クロメータを着脱自在に取り付けるモノクロメータ取り
付け台と、 前記Ｘ線源から直接進行してくるＸ線、または、前記モ
ノクロメータを介して進行してくるＸ線が照射される試
料を保持して該試料を回転させ、該試料に対する前記各
Ｘ線の入射角を変化させる試料回転台及びこの試料回転
台の回転軸を中心に該試料回転台の回転速度と一定の速
度関係を有して回転可能に支持され、かつ、前記試料か
らの回折Ｘ線をレシービングスリットを介して検出する
Ｘ線検出器を備えたゴニオメータとを有し、 前記ゴニオメータは前記モノクロメータ取り付け台の基
準点を通る軸線を中心に回転可能に支持されているとと
もに、該ゴニオメータを前記軸線を中心に回転させるこ
とにより前記Ｘ線源から射出されるＸ線が前記試料に直
接照射されるように設置したときに、前記Ｘ線源と前記
レシービングスリットとが前記試料回転台の回転軸を中
心とする１つの円上に位置するように構成されているこ
とを特徴としたＸ線回折装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63124097A JP2535380B2 (ja) | 1988-05-21 | 1988-05-21 | Ｘ線回折装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63124097A JP2535380B2 (ja) | 1988-05-21 | 1988-05-21 | Ｘ線回折装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01295146A true JPH01295146A (ja) | 1989-11-28 |
| JP2535380B2 JP2535380B2 (ja) | 1996-09-18 |
Family
ID=14876849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63124097A Expired - Lifetime JP2535380B2 (ja) | 1988-05-21 | 1988-05-21 | Ｘ線回折装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2535380B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55116245A (en) * | 1979-02-23 | 1980-09-06 | Siemens Ag | Powder xxray diffraction meter |
-
1988
- 1988-05-21 JP JP63124097A patent/JP2535380B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55116245A (en) * | 1979-02-23 | 1980-09-06 | Siemens Ag | Powder xxray diffraction meter |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2535380B2 (ja) | 1996-09-18 |
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