JPH01295183A - 治具接続装置と接続手段 - Google Patents
治具接続装置と接続手段Info
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- JPH01295183A JPH01295183A JP63125589A JP12558988A JPH01295183A JP H01295183 A JPH01295183 A JP H01295183A JP 63125589 A JP63125589 A JP 63125589A JP 12558988 A JP12558988 A JP 12558988A JP H01295183 A JPH01295183 A JP H01295183A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims abstract description 5
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 4
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 4
- 229920002457 flexible plastic Polymers 0.000 claims 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 2
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈発明の技術分野〉
本発明は治具と装置本体の接続装置に関わり、特に電子
部品測定用の個別の治具と測定器のテストヘッド（装置
本体と呼称する）との接続を行う場合に至便である接続
装置に関する。
部品測定用の個別の治具と測定器のテストヘッド（装置
本体と呼称する）との接続を行う場合に至便である接続
装置に関する。
〈従来技術とその問題点〉
近年ＩＣ（集積回路）テスタに代表される電子でいる。
そこでテスタを汎用部分と被測定部品固有の部分に分割
するようになった。汎用部分は、測定を行う機能を有す
る部分と、テストヘッドと呼ばれる上記固有の部分との
接続部分とから構成されている。固有の部分は治具ある
いはフィツスは装置本体とも呼称される）と治具の接続
のうち電気的接続は、バネ付勢ピンと対応する電極の組
によって行われる。従来より、最も簡便な方法として、
テストヘッドと治具の機械的接続をネジとナツトで行っ
ていた。ところが、被測定電子部品の端子数が増加し、
その各端子に略対応するハネ付勢ピン数が増加したため
、治具とテストヘッドの接続に要する押圧が非常に大き
くなった。例えば、代表的なバネ付勢ピンのバネ圧力は
２００グラムである。大規模ＩＣの端子数を１００とす
れば、端子当り３本のバネ付勢ピンを有する標準的な測
定装置において、押圧は６０キログラムに達する。この
ような押圧を必要とする場合、ネジ締結は非常に困難で
ある。複数のネジを用いても、締結作業時、選択されて
締付中の１つのネジに大きな力が集中し、相手ナンドと
の整列が乱れそれ粉が生じ、近年要求される測定環境を
汚染するという問題も住している。一つの解決方法では
、インテスト社において行われているように、相互に連
動する大型のネジ状機構を設けて、単一の機構に力が集
中したりしないように、治具とテストヘッドの整列関係
を保ったまま離接できるようになっている。この方法で
は装置が大型で、操作不便であり、高価でもある。
するようになった。汎用部分は、測定を行う機能を有す
る部分と、テストヘッドと呼ばれる上記固有の部分との
接続部分とから構成されている。固有の部分は治具ある
いはフィツスは装置本体とも呼称される）と治具の接続
のうち電気的接続は、バネ付勢ピンと対応する電極の組
によって行われる。従来より、最も簡便な方法として、
テストヘッドと治具の機械的接続をネジとナツトで行っ
ていた。ところが、被測定電子部品の端子数が増加し、
その各端子に略対応するハネ付勢ピン数が増加したため
、治具とテストヘッドの接続に要する押圧が非常に大き
くなった。例えば、代表的なバネ付勢ピンのバネ圧力は
２００グラムである。大規模ＩＣの端子数を１００とす
れば、端子当り３本のバネ付勢ピンを有する標準的な測
定装置において、押圧は６０キログラムに達する。この
ような押圧を必要とする場合、ネジ締結は非常に困難で
ある。複数のネジを用いても、締結作業時、選択されて
締付中の１つのネジに大きな力が集中し、相手ナンドと
の整列が乱れそれ粉が生じ、近年要求される測定環境を
汚染するという問題も住している。一つの解決方法では
、インテスト社において行われているように、相互に連
動する大型のネジ状機構を設けて、単一の機構に力が集
中したりしないように、治具とテストヘッドの整列関係
を保ったまま離接できるようになっている。この方法で
は装置が大型で、操作不便であり、高価でもある。
〈発明の目的〉
治具と装置本体の接続を容易確実にできる廉価な接続装
置を提供することが本発明の目的である。
置を提供することが本発明の目的である。
〈発明の概要〉
本発明の一実施例では、治具とテストヘッドの機械的接
続をカムとカムフォロワで行う。カムを治具に装置する
。暖いけい合状態でのカムの無用の回転を避けるため、
プラスチックスペーサをバネ付勢してカムの回転に対し
ての摩擦力を与えている。また、治具はガイドと位置決
めピンを有している。テストヘッドにはガイドと位置決
めピンを受ける穴がある。治具の装着時には、まずガイ
ドがガイド穴に挿入され、その後位置決めピンが位置決
め穴に挿入されるようになっている。ガイドは位置決め
ピンより長く、かつ柔軟性をもっている。従って、ガイ
ドにより粗く位置決めした後、位置決めのピンにより高
確度の位置決めが行われる。ガイドは治具を保管する場
合の位置決めピンの保護機能をも有する。
続をカムとカムフォロワで行う。カムを治具に装置する
。暖いけい合状態でのカムの無用の回転を避けるため、
プラスチックスペーサをバネ付勢してカムの回転に対し
ての摩擦力を与えている。また、治具はガイドと位置決
めピンを有している。テストヘッドにはガイドと位置決
めピンを受ける穴がある。治具の装着時には、まずガイ
ドがガイド穴に挿入され、その後位置決めピンが位置決
め穴に挿入されるようになっている。ガイドは位置決め
ピンより長く、かつ柔軟性をもっている。従って、ガイ
ドにより粗く位置決めした後、位置決めのピンにより高
確度の位置決めが行われる。ガイドは治具を保管する場
合の位置決めピンの保護機能をも有する。
〈発明の実施例〉
第３図は本発明の一実施例の治具接続装置を使用した治
具とテストヘッド３１の組合わせ装置の等角図である。
具とテストヘッド３１の組合わせ装置の等角図である。
治具３０はさらに、治具本体３２、取っ手３４、蓋３３
、フィツスチャ３５、測定端子（ソケット）４０、カム
３６、レバー３７等から成る。
、フィツスチャ３５、測定端子（ソケット）４０、カム
３６、レバー３７等から成る。
第４図は第３図の治具３０を当接面側からみた概略の等
角図である。治具３０の当接平面４５上には、それに垂
直に４個のガイド４３が治具の４隅に固定されている。
角図である。治具３０の当接平面４５上には、それに垂
直に４個のガイド４３が治具の４隅に固定されている。
ガイド４３の先端は先細であり、テストヘッド３１にあ
る穴への挿入を容易−５〜 にしている。
る穴への挿入を容易−５〜 にしている。
第４図ではフイクスチャ３５は取り去られており、フイ
クスチャ４や３５の基板２０のガイドピン２４を挿入す
るための穴４２が４個フィクスチャ取付板４１に設けら
れている。第４図で省略されているものはこの他ムこ以
下のものがある。
クスチャ４や３５の基板２０のガイドピン２４を挿入す
るための穴４２が４個フィクスチャ取付板４１に設けら
れている。第４図で省略されているものはこの他ムこ以
下のものがある。
穴４２に挿入されるガイドカラー２５、基板２０固定用
のプレスフィツト（穴４２の近傍に設けられる。）位置
決めピン１０（カム３６の中心を詳細は第１図に示され
る。第１図は第３図の治具の概略断面図である。カム３
６のカム軸３６３の中心線を含む治具の垂直平面による
断面を示す。
のプレスフィツト（穴４２の近傍に設けられる。）位置
決めピン１０（カム３６の中心を詳細は第１図に示され
る。第１図は第３図の治具の概略断面図である。カム３
６のカム軸３６３の中心線を含む治具の垂直平面による
断面を示す。
説明を容易にするためタブ２２とガスケット２３から成
るプレスフィツトとガイド２４とガイドカラー２５の位
置はそれが実際存在する位置とは異るが、本発明の要旨
に影響を与えるものではない。
るプレスフィツトとガイド２４とガイドカラー２５の位
置はそれが実際存在する位置とは異るが、本発明の要旨
に影響を与えるものではない。
第１図のＡ−Ａ断面は第２図に示すとおりである。第２
図はカム３６のカムカバー３６１を除去した断面を示す
ものでカバー３２が参考のために背面に示されている。
図はカム３６のカムカバー３６１を除去した断面を示す
ものでカバー３２が参考のために背面に示されている。
カム本体３６２はカム軸３６３とともに回転し、カム本
体３６４の係合面３６２Ａとカムフォロワ３６５と接触
し、カムフォロワ３６５の固定されたテストヘッド３１
と治具３０を相互に引き寄せる。レバー３７はレバー取
りつけ部３９０にネジ込んでカムに取りつけられる。３
個のネジ穴３９２はカムカバー３６１を取りつけるため
のもので、カムカバー３６１はカムの補強を行う役割を
も持っている。第２図にはカム軸３６３の前面外周４０
０、スペーサ３６６、カバー３２の穴４０２、カム本体
をカム軸にネジ取めするためのネジ穴３６４の位置も示
されている。第１図において、カム軸３６３にカム本体
３６２、カムカバー３６１が固定され、さらにストッパ
３８０が割ピン３８７によって同じくカム軸３６３に止
められる。スプリング３８４はストン樹脂性スペンサー
３６６はカム支持板３６７とカム本体３６２に挟持圧縮
される。従ってカム３６の回転に対し摩擦力を発生でき
る。ポス３６９はカム支持板３６７にネジ止めされる。
体３６４の係合面３６２Ａとカムフォロワ３６５と接触
し、カムフォロワ３６５の固定されたテストヘッド３１
と治具３０を相互に引き寄せる。レバー３７はレバー取
りつけ部３９０にネジ込んでカムに取りつけられる。３
個のネジ穴３９２はカムカバー３６１を取りつけるため
のもので、カムカバー３６１はカムの補強を行う役割を
も持っている。第２図にはカム軸３６３の前面外周４０
０、スペーサ３６６、カバー３２の穴４０２、カム本体
をカム軸にネジ取めするためのネジ穴３６４の位置も示
されている。第１図において、カム軸３６３にカム本体
３６２、カムカバー３６１が固定され、さらにストッパ
３８０が割ピン３８７によって同じくカム軸３６３に止
められる。スプリング３８４はストン樹脂性スペンサー
３６６はカム支持板３６７とカム本体３６２に挟持圧縮
される。従ってカム３６の回転に対し摩擦力を発生でき
る。ポス３６９はカム支持板３６７にネジ止めされる。
カム支持板３６７の下面、位置決めピン１０が植え込ま
れている面が当接面４５である。カム支持板３６７には
補強板３６８が挿入される溝が設けられる。補強板３６
８はフイクスチャ取付板４１と結合され、フイクスチャ
取付板４１は当接面４５側でカム支持板３６７に固定さ
れるので、これらＸの板による治具の主要構造は十分強
固である。被測定部品用の基板（あるいはその取付板）
２０はフイクスチャ取付板４１に設けられたガスケット
２３とガイドカラー２５に該基板２０上のタブ２２とガ
イドピン２４を挿入して取りつける。電気的接続のため
の３個の別々の電極２１が基板に設けられてしてガード
電位と電気信号がハネ付勢ピン１１１．１１２．１１３
のそれぞれと接触する。位置決定ピン１０の挿入穴は隣
青銅等のカラー１０２に設−７＝ けられ支柱１００に埋め込まれる。カムフォロワ３６５
、支柱１００は機械的に一体化されており、電子回路１
０５、プローブ本体１０９バネ付勢ピン１１１．１１２
．１１３等も本質的に支柱１００に一体化される。治具
３０とテストヘッド３１の接続を行うにはまずレバー３
７を図示しない手前のストッパに接触するまで回転させ
、第２図の状態として、ガイド４３を対応するテストヘ
ッドの穴に挿入する。このとき、位置決定ピン１０はそ
の挿入穴に１部挿入されている。レバー３７を回転して
反対側のストッパまで移動させると位置決定ピン１０は
その挿入穴に差し込まれて、治具とテストヘッドは正確
に位置決めされて接続される。レバー３７の回転による
治具の移動量は、本実施例では約３Ｍである。このよう
に移動量が小さいときは、２つのカムを連動せずに、順
次に行っても支障がないことがわかっている。従来技術
と同様に、ベルトやワイアを用いたりリンク機構を用い
て、２つのカムを連動させることも可能である。第５図
はベルトを用いた例を示す。図においてカム１とカム２
は中継ホイール３を介して連動している。ベルトＡ、ベ
ルトＢはそれぞれカム１と中継ホイール３、カム２と中
継ホイール３にそれぞれ固定されている。ベルトの代り
にリンクを用いることも可能なことは当業者に周知であ
る。
れている面が当接面４５である。カム支持板３６７には
補強板３６８が挿入される溝が設けられる。補強板３６
８はフイクスチャ取付板４１と結合され、フイクスチャ
取付板４１は当接面４５側でカム支持板３６７に固定さ
れるので、これらＸの板による治具の主要構造は十分強
固である。被測定部品用の基板（あるいはその取付板）
２０はフイクスチャ取付板４１に設けられたガスケット
２３とガイドカラー２５に該基板２０上のタブ２２とガ
イドピン２４を挿入して取りつける。電気的接続のため
の３個の別々の電極２１が基板に設けられてしてガード
電位と電気信号がハネ付勢ピン１１１．１１２．１１３
のそれぞれと接触する。位置決定ピン１０の挿入穴は隣
青銅等のカラー１０２に設−７＝ けられ支柱１００に埋め込まれる。カムフォロワ３６５
、支柱１００は機械的に一体化されており、電子回路１
０５、プローブ本体１０９バネ付勢ピン１１１．１１２
．１１３等も本質的に支柱１００に一体化される。治具
３０とテストヘッド３１の接続を行うにはまずレバー３
７を図示しない手前のストッパに接触するまで回転させ
、第２図の状態として、ガイド４３を対応するテストヘ
ッドの穴に挿入する。このとき、位置決定ピン１０はそ
の挿入穴に１部挿入されている。レバー３７を回転して
反対側のストッパまで移動させると位置決定ピン１０は
その挿入穴に差し込まれて、治具とテストヘッドは正確
に位置決めされて接続される。レバー３７の回転による
治具の移動量は、本実施例では約３Ｍである。このよう
に移動量が小さいときは、２つのカムを連動せずに、順
次に行っても支障がないことがわかっている。従来技術
と同様に、ベルトやワイアを用いたりリンク機構を用い
て、２つのカムを連動させることも可能である。第５図
はベルトを用いた例を示す。図においてカム１とカム２
は中継ホイール３を介して連動している。ベルトＡ、ベ
ルトＢはそれぞれカム１と中継ホイール３、カム２と中
継ホイール３にそれぞれ固定されている。ベルトの代り
にリンクを用いることも可能なことは当業者に周知であ
る。
〈発明の効果〉
以上詳述したように、本発明によれば、正確な位置決め
で、容易に治具とテストヘッドの接続が可能である。さ
らに、簡単な構造のカムを使用するのみであり廉価であ
る。ガイドは正確な位置決めのための位置決めピンが他
の物と触れないようにするので、位置決めピンの損傷が
防げる。
で、容易に治具とテストヘッドの接続が可能である。さ
らに、簡単な構造のカムを使用するのみであり廉価であ
る。ガイドは正確な位置決めのための位置決めピンが他
の物と触れないようにするので、位置決めピンの損傷が
防げる。
第１図は本発明の一実施例の治具接続装置の断面図、第
２図は本発明の一実施例に含まれるカムとカムフォロワ
ーを示す図、第３図は本発明の一実施例の治具接続装置
の等角図、第４図は第３図の治具を当接面側からみた等
角図、第５図はヘルドを用いてカムを連動する方法を説
明するための図である。 ■、２．３６−カム ３−中継ホイール １〇−位置決めピン ２〇一基板 ３〇−治具 ３１−装置本体（テストヘッド） ３５−フイクスチャ ３７−レバー ３６３＝カム軸 ３６５＝カムフオロワ
２図は本発明の一実施例に含まれるカムとカムフォロワ
ーを示す図、第３図は本発明の一実施例の治具接続装置
の等角図、第４図は第３図の治具を当接面側からみた等
角図、第５図はヘルドを用いてカムを連動する方法を説
明するための図である。 ■、２．３６−カム ３−中継ホイール １〇−位置決めピン ２〇一基板 ３〇−治具 ３１−装置本体（テストヘッド） ３５−フイクスチャ ３７−レバー ３６３＝カム軸 ３６５＝カムフオロワ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、治具と装置本体の接続のために、前記治具は複数の
ガイドと前記ガイドより短かい複数の位置決めピンを備
え、前記装置本体は前記ガイドと前記位置決めピンをそ
れぞれ挿入するためのガイド穴と位置決め穴とを備え、
前記治具と前記装置本体を接続手段により当接接続する
ようにした治具接続装置。 ２、前記ガイドが可撓性を有するプラスチックより成る
請求項１記載の治具接続装置。 ３、前記接続手段を前記治具に装着したカムと前記装置
本体に装着したカムフォロワより構成した請求項１記載
の治具接続装置。 ４、前記治具と前記装置本体の１方が他方の有する電極
に接続時当接するバネ付勢ピンを有する治具接続装置。 ５、前記カムと前記カムフォロワから構成され、前記カ
ムが該カムを固定した回転軸を有し、カム支持体とカム
間に弾性スペーサを挟持し、前記回転軸を軸方向に牽引
して前記弾性スペーサに圧縮力を生ぜしめて前記カムに
回転摩擦を与えるようにした請求項１記載の接続手段。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63125589A JP2674781B2 (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | 治具接続装置と接続手段 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63125589A JP2674781B2 (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | 治具接続装置と接続手段 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01295183A true JPH01295183A (ja) | 1989-11-28 |
| JP2674781B2 JP2674781B2 (ja) | 1997-11-12 |
Family
ID=14913912
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63125589A Expired - Fee Related JP2674781B2 (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | 治具接続装置と接続手段 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2674781B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6873167B2 (en) | 2001-10-25 | 2005-03-29 | Agilent Technologies, Inc. | Connection box, system, and method for evaluating a DUT board |
| JP2005315876A (ja) * | 2004-04-05 | 2005-11-10 | Agilent Technol Inc | インターフェースをテスト機器に着脱可能に接続するための機構 |
| JP2011149950A (ja) * | 2003-03-31 | 2011-08-04 | Intest Corp | テストヘッド位置決めシステムと方法 |
-
1988
- 1988-05-23 JP JP63125589A patent/JP2674781B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6873167B2 (en) | 2001-10-25 | 2005-03-29 | Agilent Technologies, Inc. | Connection box, system, and method for evaluating a DUT board |
| JP2011149950A (ja) * | 2003-03-31 | 2011-08-04 | Intest Corp | テストヘッド位置決めシステムと方法 |
| JP2005315876A (ja) * | 2004-04-05 | 2005-11-10 | Agilent Technol Inc | インターフェースをテスト機器に着脱可能に接続するための機構 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2674781B2 (ja) | 1997-11-12 |
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