JPH01298631A - 電子銃 - Google Patents
電子銃Info
- Publication number
- JPH01298631A JPH01298631A JP1088164A JP8816489A JPH01298631A JP H01298631 A JPH01298631 A JP H01298631A JP 1088164 A JP1088164 A JP 1088164A JP 8816489 A JP8816489 A JP 8816489A JP H01298631 A JPH01298631 A JP H01298631A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bushing
- electron gun
- high vacuum
- screw
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 abstract 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/067—Replacing parts of guns; Mutual adjustment of electrodes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電子銃構造に関し、特にウェーネルト円筒の中
に配置される陰極とその陰極に対向して配備され、中心
に孔を設けた陽極とからなる特に電子顕微鏡用の電子銃
に関する。
に配置される陰極とその陰極に対向して配備され、中心
に孔を設けた陽極とからなる特に電子顕微鏡用の電子銃
に関する。
電子顕微鏡の電子銃は、一般に、電気絶縁材料よりなる
管状の真空ブッシングを用いた構造になっている。その
ブッシングの１つは、１端が電子顕微鏡の支柱のケーシ
ングに連結されており、他端は、実際の電子銃に連結さ
れている。他の公知の電子銃の構造は、電気絶縁材料よ
りなる板状の高真空ブッシングを具備しているもので、
その周囲が電子顕微鏡の支柱のケーシングに固着され、
一方該板の中央部に、気密にした電気ブツシングを配備
し、これに、実際の電子銃が固着されている。
管状の真空ブッシングを用いた構造になっている。その
ブッシングの１つは、１端が電子顕微鏡の支柱のケーシ
ングに連結されており、他端は、実際の電子銃に連結さ
れている。他の公知の電子銃の構造は、電気絶縁材料よ
りなる板状の高真空ブッシングを具備しているもので、
その周囲が電子顕微鏡の支柱のケーシングに固着され、
一方該板の中央部に、気密にした電気ブツシングを配備
し、これに、実際の電子銃が固着されている。
これらの公知の方法の問題点は、特に電子銃の寸法が大
きくなることである。管状の高真空電子ブッシングを用
いたそのような電子銃は長（なりすぎるし、−力板状の
高真空電子ブッシングを用いた電子銃は、幅が広くなり
すぎる。更に、これらの方法は、輻射に対する保護を考
慮して、大きな陽極カバーを使わねばならぬので、その
ため更に、電子銃の重さを増加し、これは、携帯用の電
子顕微鏡としては大きな不利となる。
きくなることである。管状の高真空電子ブッシングを用
いたそのような電子銃は長（なりすぎるし、−力板状の
高真空電子ブッシングを用いた電子銃は、幅が広くなり
すぎる。更に、これらの方法は、輻射に対する保護を考
慮して、大きな陽極カバーを使わねばならぬので、その
ため更に、電子銃の重さを増加し、これは、携帯用の電
子顕微鏡としては大きな不利となる。
上述の先行技術の欠点は、本発明によれば実際には、ウ
ェーネルト円筒内に配置された陰極と、その陰極に対向
して配備され、中心に孔を設けた陽極とからなる電子顕
ｆｊ＆鏡用の電子銃により除去されるのである。
ェーネルト円筒内に配置された陰極と、その陰極に対向
して配備され、中心に孔を設けた陽極とからなる電子顕
ｆｊ＆鏡用の電子銃により除去されるのである。
本発明の要点は、該ウェーネルト円筒が鈴の形状をした
高真空ブッシングの頂部に固定され、その開口端が、陽
極本体の上を滑動するように置かれるように構成されて
いる。そして、陽極本体と高真空ブッシングの間は、真
空封止を施した溝が更に設けられている。
高真空ブッシングの頂部に固定され、その開口端が、陽
極本体の上を滑動するように置かれるように構成されて
いる。そして、陽極本体と高真空ブッシングの間は、真
空封止を施した溝が更に設けられている。
本発明の好ましい実施例の１例では、溝は、陽極本体の
方に作られている。一方、他の本発明の実施例では、溝
は高真空ブッシングの表面と接触するようになっている
。更に、本発明の他の実施例では、陽極本体の直立継ぎ
管に、内部ねじをもつ数個の孔を所定の角度の間隔で半
径方向に設け、調整ねじがはめこまれ、この場合、作動
する調整ねじ頭部を顕微鏡支柱の外側に置き、ねじ端部
は高真空ブッシングの外表面に接するようにしである。
方に作られている。一方、他の本発明の実施例では、溝
は高真空ブッシングの表面と接触するようになっている
。更に、本発明の他の実施例では、陽極本体の直立継ぎ
管に、内部ねじをもつ数個の孔を所定の角度の間隔で半
径方向に設け、調整ねじがはめこまれ、この場合、作動
する調整ねじ頭部を顕微鏡支柱の外側に置き、ねじ端部
は高真空ブッシングの外表面に接するようにしである。
本発明による電子銃構造の特徴は、特に、電子銃がコン
パクトになることと、軽量になることであって、従って
携帯用電子顕微鏡に適した電子銃構造を可能にさせたこ
とである。他の特徴は陽極のケーシングを単純化したこ
と、と大直径の封止（シール）をする必要がな（なった
ことである。
パクトになることと、軽量になることであって、従って
携帯用電子顕微鏡に適した電子銃構造を可能にさせたこ
とである。他の特徴は陽極のケーシングを単純化したこ
と、と大直径の封止（シール）をする必要がな（なった
ことである。
本発明を第１図により詳しく説明しよう。図面は、図式
的に本発明による電子銃の好ましい実施例を１部所面の
形で示したものである。
的に本発明による電子銃の好ましい実施例を１部所面の
形で示したものである。
図において、１は高真空ブッシングであり、鈴の形をし
ている。高真空ブッシングｌの頂上の狭い部分と中心の
孔に、ウェーネルト円筒２が気密に固着されている。ウ
ェーネルト円筒２の気密封止は、０リング３によって行
われている。高真空ブッシング１は、陽極本体６にある
溝５にはめこまれている真空封止４の上に、その開口端
が座面を形成して着座する。
ている。高真空ブッシングｌの頂上の狭い部分と中心の
孔に、ウェーネルト円筒２が気密に固着されている。ウ
ェーネルト円筒２の気密封止は、０リング３によって行
われている。高真空ブッシング１は、陽極本体６にある
溝５にはめこまれている真空封止４の上に、その開口端
が座面を形成して着座する。
陽極本体６には直立継ぎ管７が形成され、それに数個の
、好ましくは３〜４個のねじ孔８が所定の間隔に、半径
方向に設けられている。該孔８に調整ねじ９が顕微鏡支
柱１０の外側に動作頭部がおかれるよう、そしてねじの
端部が、高真空ブッシング１の外表面に接するように、
はめこまれている。
、好ましくは３〜４個のねじ孔８が所定の間隔に、半径
方向に設けられている。該孔８に調整ねじ９が顕微鏡支
柱１０の外側に動作頭部がおかれるよう、そしてねじの
端部が、高真空ブッシング１の外表面に接するように、
はめこまれている。
継ぎ管７の上には、陽極壁１１が置かれている。
高圧ケーブル１２は、ウェーネルト円筒２と電気的に接
続されている。
続されている。
本発明による該電子銃の機能では高圧がウェーネルト円
筒２に高圧ケーブル１２を通して、供給されている。
筒２に高圧ケーブル１２を通して、供給されている。
高圧は陽極体６から、高真空ブッシング１の内側の空間
の真空により、そして、高真空ブッシング１の内面から
も、絶縁されている電子ビームの調整は、調整ねじ９に
よってなされ、ねじ９は高真空ブッシング１を陽極本体
６の中心の孔に対して、真空封止４の上で移動させる。
の真空により、そして、高真空ブッシング１の内面から
も、絶縁されている電子ビームの調整は、調整ねじ９に
よってなされ、ねじ９は高真空ブッシング１を陽極本体
６の中心の孔に対して、真空封止４の上で移動させる。
以上述べたように、本発明によると電子銃構造はコンパ
クトになり、軽量になることが大きな効果であり、また
陽極ケーシングが単純化されると共に、大きな直径の真
空封止をする必要がなくなる効果もあり、従って、本発
明は携帯用電子顕微鏡を構築する場谷に好んで利用され
得る最適のものであり、有意義なものである。
クトになり、軽量になることが大きな効果であり、また
陽極ケーシングが単純化されると共に、大きな直径の真
空封止をする必要がなくなる効果もあり、従って、本発
明は携帯用電子顕微鏡を構築する場谷に好んで利用され
得る最適のものであり、有意義なものである。
第１図は、本発明の電子銃の１実施例の部分断面図を示
したものである。 １・・・高真空ブッシング、 ２・・・ウェーネルト円筒、 ３・・・ＯＩＪソング ４・・・真空封止、５・
・・溝、 ６・・・陽極本体、７・・・直
立継ぎ管、 ８・・・ねじ孔、９・・・調整ねし
、 １０・・・顕微鏡支柱、１１・・・陽極壁
、 １２・・・高圧ケーブル。 第１図
したものである。 １・・・高真空ブッシング、 ２・・・ウェーネルト円筒、 ３・・・ＯＩＪソング ４・・・真空封止、５・
・・溝、 ６・・・陽極本体、７・・・直
立継ぎ管、 ８・・・ねじ孔、９・・・調整ねし
、 １０・・・顕微鏡支柱、１１・・・陽極壁
、 １２・・・高圧ケーブル。 第１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ウェーネルト円筒内に配置される陰極と該陰極に対
向して配備され、且つ中心の孔をもつ陽極よりなる電子
銃において、該ウェーネルト円筒が鈴形状の高真空ブッ
シングの頂部の内側に固定されると共に、その開口端は
陽極本体上に滑動し得る如く置かれ、且つ該陽極本体と
該高真空ブッシング間は溝中に設けられた真空封止を施
すよう構成されていることを特徴とする電子銃。 ２、該溝が陽極本体に設けられていることを特徴とする
請求項１記載の電子銃。 ３、該溝が該高真空ブッシングの開口面と接触を保って
いることを特徴とする請求項１記載の電子銃。 ４、陽極本体の直立した部分に複数個のねじ孔を所定の
間隔に且つ半径方向に並べて設け、調整ねじを該ねじ孔
にはめこむと共に、該調整ねじ頭部を顕微鏡支柱の外側
にし、該調整ねじの端部を高真空ブッシングの外面に接
触させる如くしたことを特徴とする請求項１乃至３記載
の電子銃。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS882400A CS268377B1 (en) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | Electron gun for electron microscope |
| CS2400-88 | 1988-04-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01298631A true JPH01298631A (ja) | 1989-12-01 |
Family
ID=5361045
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1088164A Pending JPH01298631A (ja) | 1988-04-08 | 1989-04-10 | 電子銃 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01298631A (ja) |
| CN (1) | CN1037615A (ja) |
| CS (1) | CS268377B1 (ja) |
| DE (1) | DE3911446A1 (ja) |
| GB (1) | GB2217104A (ja) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE903017C (de) * | 1951-01-31 | 1954-02-01 | Sueddeutsche Lab G M B H | Herstellung kleiner Kugeln aus hochschmelzbaren Materialien |
| US3636346A (en) * | 1968-03-17 | 1972-01-18 | Hitachi Ltd | Electron beam generator for electron microscope or the like apparatus |
| BE793443A (fr) * | 1971-12-29 | 1973-04-16 | Aquitaine Petrole | Tube a gaz d'emission d'electrons pour spectrometrie a rayons xpar excitation directe |
| JPS5937540B2 (ja) * | 1974-09-06 | 1984-09-10 | 株式会社日立製作所 | 電界放射形走査電子顕微鏡 |
-
1988
- 1988-04-08 CS CS882400A patent/CS268377B1/cs unknown
-
1989
- 1989-03-15 CN CN 89101491 patent/CN1037615A/zh active Pending
- 1989-03-29 GB GB8907103A patent/GB2217104A/en not_active Withdrawn
- 1989-04-07 DE DE19893911446 patent/DE3911446A1/de not_active Withdrawn
- 1989-04-10 JP JP1088164A patent/JPH01298631A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3911446A1 (de) | 1989-10-19 |
| GB2217104A (en) | 1989-10-18 |
| CN1037615A (zh) | 1989-11-29 |
| CS240088A1 (en) | 1989-08-14 |
| CS268377B1 (en) | 1990-03-14 |
| GB8907103D0 (en) | 1989-05-10 |
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