JPH01302736A - ボンデイングワイヤをボンディグヘッドのウエッジ・毛管チューブに供給するための制御装置及びその制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業＋ｒ−，Ｉ７）利用分野） 本発明は、ボンディングワイヤ、特には金製のボッディ
ングｒアイヤをボンディング−ラドのつエツジや毛管チ
ューブに供給するのを制御するための装置とその制御方
法に関するものである。

（従来の技術） 超小型電子技術の分野において用いられる「ボンディン
グ」という語句は、スズと鉛の合金からなるはんだにて
所望の接着を行なう多くの一般的な接着技術とは別に、
通常は溶接手段にて電子装置を互いに接着することを言
う。この１分野においては装置自体が支持基板に接着さ
れるチップ（グイ）ボンディング方法と、装置の端子が
極細ワイヤによって支持キャリア基板に接続されるワイ
ヤボンディング方法とが明確に区別されている０本発明
は後者に関するものであるに の場合又、ネイルヘッドボンディングの名称でも知られ
る所謂熱圧縮式ボンディング方法が、所謂超音波ウェッ
ジボンディング方法と区別されている。所謂熱音波ボン
ディングとは、熱圧縮式ボンディングｈ法と超音波ウェ
ッジボンディング方法とを組み合させたものであり、こ
の方法は一層その利用範囲を広げている。

ポールボンディング方法と同様に、この熱音波ボンディ
ング方法においても金製ワイヤを用いたものが多く、金
製ワイヤは溶融されるとボール形状となる。溶融工程は
超音波手段によって生ずる穏やかな熱を用いて行なわれ
る。この方法は比較的管理が容易であり、自動制御を行
うのにも適している。

前記した従来技術に関する技術の例として、米国特許部
ＵＳ−Ａ３４５９３５５号、第３３５７０１１０号、及
び第３１２８６４９号、そして西ドイツ特許部ＤＥ−Ａ
３３３５８４０号や第［ＩＥ−Ｃ３５３７５５ｍｍ号が
挙げられるが、そのどれもが前述したワイヤボンディン
グ技術でのある種の一般的考察を備えたものである。

すべてのワイヤボンディング手段においては、ボンディ
ングワイヤはクランプ又はボンディングパッドへの舌状
部のいずれかにより引き出されるか、ボンディング終了
後にボンディングワイヤがボンディングパッドから取り
外されて引き離されるようにしである。ループ形成時に
はこのクランプや舌状部は開状態となって、余分な抵抗
が生ずることなくボンディングワイヤが締結される。

しかしながら、このような方法を用いた場合に、引き出
されたワイヤの長さやこのループの大きさが、ワイヤコ
イルやワイヤ送り機構内で生ずる幾分偶発的な抵抗によ
って左右されるという結果が生じる。大きなループとな
る場合には、このループを形成するワイヤの長ネは短か
すぎることが多く、反対に小さなループとなる場合には
ループを形成するワイヤの長さが長すぎることが多い。

ポールボンディングでの他の問題は所謂「ゴルフストロ
ーク」と呼ばれる現象が生ずることである０毛管チュー
ブの開口部から数ミクロン離した位置に配置されるポー
ルは、パッドやボンディングが施される位行方向に押し
出され、このためボンディングが施されるべき箇所にポ
ールを溶着するのに十分な位置まで毛管チューブが下降
する前にこのポールがボンディング城に当って跳ね返り
、ボンディングワイヤは抵抗が全く加わらないままコイ
ルから引き抜かれることになる。

この結果、毛管チューブは略円錐状に張り開かれてボン
ディングが施される箇所と接する開口部上にポールが正
しく配置されなくなり、ボンディングは不完全なものと
なる。これらボンディング技術においてこのボンディン
グを正確に行なうためには、ワイヤの引張力がループ形
成時だけでなくポールへの接触時においても一定に保た
れなけらばならないことが明らかとなっている。

（発明が解決しようとする課題） それ故本発明は、ボールボンディングを施す際に上述し
た「ゴルフストローク」現象が起こることを防止し、か
つボンディングワイヤに作用する機械的なＩ＃πを最小
限にとどめるものである。更に本発明は、ボンディング
装置の作動サイクルの間中はずっとループの大きさを所
定値に維持しなければならないという従来技術からのボ
ンディングワイヤの供給制御に関する課題を解決するた
めになされたものである。

（課題を解決するための手段） 、上述した課題を解決するために本発明が採った手段は
、同軸ガス特には空気ガスをポールボンデインク工程時
、特にはループ形成時にボンディングヘッドのウェッジ
・毛管チューブ方向ヘポンディンングワイヤを押し出し
、更に前記ボンディングヘッドのウェッジ−毛管チュー
ブ方向とは反対方向へ向ってボンディングワイヤを引張
させ、ワイヤの引張力を一定に保とうとするものである
。

ウェッジ・毛管チューブの端部にはボンディングワイヤ
の送りダクトが設けられ、空気噴出流等のガス噴出口や
吸引口と適宜連通している流体パイプの開口部が先行し
て内設されている。このように、ボンディングワイヤを
流体を用いて制御することにより機械的な影響を汐ぼｔ
ことなく必要に応じてワイヤを進出させたり、ｌトめた
りすることが可能となる。

又、ワイヤの引張力が一定に維持され、ポ・−ルボンデ
ィング時にループを形成するのため所定の長さのワイヤ
長が常に確保され、所謂「ゴルフストローク」現象も同
様に防止することができる。

ループが比較的小さい場合には、ポールのタ、／４−ダ
ウン時にボンディングワイヤは流体制御によってその供
給が制御され、ループが大きい場合には流体制御により
好まし？供給されるのである。

縁り返し行なわれるボンディングのサイクル以前の通常
のボンディングワイヤの供給の制御や追加でさえ、本装
ηを用いれば流体制御することができる。このような場
合、ボンディングワイヤ八−の機械的影響はこのワイヤ
を引きちぎる時のみに必要である。このため、使用する
ワイヤは薄く繊細な金製であることが好ましい。

ボンディングワイヤの引張力を制御するため外部ガス流
を利用した技術はスイスＣの特許第Ｇ　Ｈ−Ａ３９２３
Ｇ５号によって知られている。しかしながらこの特許公
報においては、流体制御を用いてワイヤを供給したり抑
１トシたりするという意味からすればガス波がボンディ
ングワイヤに直接作用しているとは言えない、むしろ、
流体制御によって回転可能なチューブループにて間接的
に作用し、ボンディングワイヤはボンディングパッドへ
と供給されているのである。従って、−ヒ記スイス特許
第ＣＨ−＾５９２３６５号に記載された発明は、吸引口
と接続した場合であってもボンディングワイヤの引張力
に何ら影響を及すものではない。

更に、操作を行う上での精密さとスビ・−ドについての
改良がボンディングワイヤ、−（リップ／７ランプを用
いることで達成できる。前記□ポンディンゲワイヤスリ
ップクラ゛／プは、ボンディングワイヤ送りダクトと連
動し、ポンディユノｆＩ″フイヤ送りタクトのト流側か
ボンディングワ・ＩＶ送リすクトの上管チューブ側端部
に接続され、・后に或いはボ）・ディングヘッドがター
２ｆ−ダウンのために下に降りる時のみに作動して閉状
態となるよう構成され丁いる。

ボンディングワイヤスリップク）ノブは、クランプの操
作表面がフェルトか同種の材料によっＣ被覆加工されて
いるものが好ましい。このよう（ご構成することにより
、ボンディングワイヤが定められた引張力が維持される
間にり→ンプから引き出すことが可能となる。

前記したスリー２プクランプと間車１−て、刊ンディン
グワイヤ送りダクトの下漬側には固定式のボンデインク
ワイヤクランプが独やして設けられている。こ０）クラ
ンプは、ポンデインＨ−゛・・・ドの暫定的な位δや毛
管チップとボンディングパッド間の距離に応じて開閉さ
れ、タッチダウンがなされる直前には、毛管チップから
下側方向へ突出したワイヤボンディング部分が引っ込め
られて取り除かれる。

このため、ループを形成するのに最適なワイヤ長を予じ
め決定したり計算することが可能となる６ワイヤの長さ
を流体によって制御できないか、又は前述したスリップ
クランプを用いてボンディングワイヤを係止することが
できない場合には、このワイヤの長ずざる部分を毛管チ
ューブのチップ域にて取り除くことが可能である。この
ような効果はループ形成した後に好ましくない接触が生
ずるのを防止するのに有益である。とりわけ、ループ形
成後の第二回目のボンディングサイクルの時であっても
、ボンディングワイヤがボンディングパッド上で動きを
停止したり適切な接触部から突出した状態とならないた
めに効果的である。

前述のスリップクランプを同時に利用することにより、
最適な長さのループがしっかりと形成され、好ましくな
い接触が生ずることをを防止することができるのである
。

このボンディング工程は上述した手段を用いることによ
り、請求項１０から１２、又は請求項１２、請求項１３
、請求項１４のいずれか或いは請求項１３と請求項１４
の両方に規定される方法に実行されるのが好ましい。

（実施例） 以下本発明の実施例を添付の図面に従い説明する。

第１図及び第２図に示すように、ボンディングワイヤ（
１０）をボンディングヘッド（２１）のウェッジ・毛管
チューブ（２２）へ制御して供給するためのボンディン
グワイヤガイド（１２）が、設けられている。このワイ
ヤガイド（１２）はウェッジ会毛管チューブ（２２）の
上流側に設けられ、そこにはガス口、即ち圧縮空気噴出
口（１３）：吸引口（１４）と選択的に連通している流
体パイプ（１５）が開口している。後名の流体パイプ（
１５）はこの流体パイプ（１５）を圧縮空気噴出口（１
３）か吸引口（１４）のいずれかに連通させる切り換え
バルブ（１Ｂ）と連動している。切り換えバルブプ（１
６）はボンダー自体やそのボンディング＼シト（２１）
の制御工程と連動しているが、ここではその詳細につい
ては述べない。

ボンディングワイヤガイド（１２）は通路（１８）と装
着ブロック（１７）とを有している。ワイヤコイルと面
している通路（１８）の末端には、ワイヤ送りオリフィ
ス（１８）が固定されている０通路（１８）のウェッジ
・毛管チューブ（２２）の末端にはワイヤ管送り（２０
）が挿入されている。流体パイプ（１５）は圧縮空気噴
出口（１３）や吸引口（１４）と連通しているのである
が、この流体パイプ（１５）はオリフィス（１９）のす
ぐ下流側に配設されている。流体パイプ（１５）は通路
（１８）内のワイヤ送りオリフィス（１８）と送りガイ
ド（２０）との間の位置に配設されている。

ワイヤ送りオリフィス（１８）はボンディング毛管チュ
ーブ（２２）と良く似た形状をしている。そのウェッジ
や毛管チューブ（２２）面の末端においては。

ワイヤコイル（図示しない）から供給されるボンディン
グワイヤ（１０）が挿通されるべきノズルの形状が限定
されている。ボンディングワイヤ（１ｏ）が供給される
時はいつでも、切り換えバルブ（１Ｂ）を所定位置にセ
ットすることで空気噴出流が流体パイプ（１５）を通っ
て通路（１８）内へ導入され、ウェッジ・毛管チューブ
（２２）にボンディングワイヤ（１０）が挿通されるこ
とを助けるのである。

流体パイプ（１５）はワイヤ送りオリフィス（１８）と
通路（１８）内でその縦軸に対し鋭角に開口しているの
で、圧縮空気噴出流が通路（１８）内に噴出されると、
ボンディングワイヤ（１ｏ）はこの流体の制御下でボン
ディングワイヤガイド（１２）に押し出される、そこで
はウェッジ・毛管チューブ（２２）へ向かう同軸の空気
噴出流がボンディングワイヤ（１０）を取り巻く送りガ
イド（２０）と通路（１８）内に生じる。

この導入された同軸の強力な空気源は、ボンデインクワ
イヤ（１０）が連続的に供給されるのを助けるのである
。

尚、２５弘から　１００牌の間の範囲にある直径を有す
る金製のワイヤ（１０）が使用される場合には、ワイヤ
送りオリフィス（１８）の出口端部における最小の内径
は、１００　ｇから１３０　ｇの範囲に制限される。し
かしながら、ワイヤ送りチューブと同様通路（１８）は
、およそ１．５　ａｍから２．２　ｓ＋ｗの内径である
。一般にはこの直径の比率が適用される。

流体パイプ（１５）が吸引口（１４）と連通していると
きには、市実り常にワイヤの中長力が維持されており、
ボンディングワイヤ（１０）の供給は止っている。従っ
て特にループを形成している時においては、不適当なル
ープを生じるような余分な長さのワイヤを引き出すこと
もない。

しかしながら大きなループが形成されようとしている時
は、空気噴出流が流体パイプ（１５）に噴出されること
が好ましい、ボンディングワイヤ（１０）は空気噴出流
によって実際に進行し供給されるので、ループを形成す
るのに十分な長さのワイヤが得られることとなる。従っ
て本発明に係る装置は種々の大きさのループを次々と形
成するのには極めて最適であるといえる。ボンディング
ワイヤ（１０）の流体制御に対応して、切り換え／＜ル
ブ（１６）によってボンディングヘッド（２１）への制
御指令が行なわれる。

ポールボンディングにおいては、ワイヤの張力の流体制
御による保持が、前述したような「ゴルフストローク」
効果が回避されるよう「ポール」の配列がそのまま維持
されている間は、毛管チューブと一緒にポールをボンデ
ィングパッド（３１）に向けゆっくり下げていくことで
行なわれる。

同軸噴出流は、通路（１８）とワイヤ管送り（２０）内
でボンディングワイヤ（１０）を取り巻き真直ぐにさせ
るスピン分力を生じさせる０図面に示された実施例では
、ワイヤ管送り（２０）はウェッジ・毛管チューブ（２
２）の下流方向に向は垂直の角度になるよう曲折してい
る。実施例の装置や方法は、マウンティングを次々と行
ったり、従来のボンダーを適用するのに最も好ましいも
のである。上述した装置や方法は、金製のワイヤボンデ
ィング技術と相まって特に優れた効果を示した。

ボンデインクワイヤ（１０）の流体制御は様々なバリエ
ーションが可能であり、例えば圧力と容積といった空気
噴出流の関係を変えたり、ワイヤ（１０）の張力を変化
させるなどして、ボンディングヘッド（３１）の種々の
態様に適応できるようにすることもできる。

第２図は第１図に示した装置にボンディングワイヤスリ
ップクランプ（２３）を設けたものであり、第１図に示
したようにボンディングワイヤ送りダクト（１２）（１
８）（ｒ９）（２０）カ又は毛管チューブ（２２）　ｉ
：而しているワイヤ管送り（２０）の端部に設けられて
いる。この装置においては、ボンディングワイヤスリッ
プクランプ（２３）は有効に作用しており、常に或いは
ボンディングヘッド（２１）が所謂タッチダウンのため
、下へ下げられた時のみのいずれかには閉状態となって
いる。

ボンディングワイヤスリップクランプ（２３）は、作動
クランプの表面がフェルト材もしくはそれに類するもの
でコーティングされ、クランプ（２３）が閉状態の時で
さえ、このクランプ（２３）を通してボンディングワイ
ヤ（１０）が引き出されるようになっている。更には、
ワイヤ（１ｏ）中に存在するスピンが取り除かれる間は
所定のワイヤ引張力と強度が維持されるようになってい
る。

本発明に係る装置によれば、従来技術によって生じるル
ープよりも基本的に強度の高いループが生じることとな
り、加えてスピンによって生じる歪みからは何ら影響さ
れないループが形成されることを可能にした。前述した
スリップクランプ（２３）を使用することによって形成
されるループは、第４図に示すような好ましくない接触
によって形成されるループが破壊されるという危険性が
ない、むしろ、第５図に示すような好ましいループの形
状が得られるのである。

第２図に示す実施例にあっては、更に固定式のボンディ
ングワイヤクランプ（２４）がボンディングワイヤ送り
ダクト（１２）（１８）（＋９）（２０）の下流側、よ
り正確にはワイヤ管送り（２０）の下流側に取り付けら
れ、このクランプ（２４）はボンディングへ、ド（２１
）と共に移動されない限りはずっと固定されている。

ボンディングヘッド（２１）の位置レベルや、毛管チュ
ーブチップ（２Ｂ）とボンディングパッド（２５）との
間隔に従い、クランプ（２４）はタッチダウンの直前に
下方に向は突出するボンディングワイヤ部分（２？）　
（第３図参照のこと）の引き込み作用と、それに対応す
る引き離し作用と共に開閉するのである。他方のボンデ
ィングワイヤクランプ（２４）は毛管チューブ（２２）
と連動し、ボンディングパッド（２１）と共に上下に移
動する。

ボンディングワイヤ（１０）は、以下に説明する方法に
よりクランプ（２４）（２８）そしてスリップクランプ
（２３）を使用することで毛管チューブ（２２）に供給
される。

まず最初に、ボンディングヘッド（２１）は上方での開
始もしくは初期の位置から下方に下げられて、ボンディ
ングヘッド（２１）に配設されたクランプ（２８）によ
ってボンディングワイヤ（１０）を移動させる。一方、
ボンディングワイヤ（１０）は、小さな引張力でボンデ
ィングワイヤ（１０）を維持しているワイヤ管送り（２
０）内での同軸の噴出流の影響に逆って供給されるのみ
ならず、ボンディングワイヤ（１０）のフリーな端部で
前回や今回のポールを同時に形成しながら、スリップク
ランプ（２３）の影響にも逆って供給されるのである。

ポンデイ：／グヘッド（２１）やそれに共なうボンディ
ング毛管チューブ（２２）がそれぞれ下流方向へ移動し
ている間は、ボンディングワイヤ（１０）は吸引口（１
４）に連通しているワイヤ管送り（２０）内での流体制
御と、機構的にはボンディングワイヤスリップクランプ
（２３）によって引張された状態で維持されている。

タッチダウンの直前には、毛管チューブ（２２）に沿っ
て移動するボンディングワイヤクランプ（２８）は開状
態となり、ボンディングワイヤ（１０）のフリーな端部
で形成されるポールが前述した「ゴルフストローク」効
果を回避しつつ、円錐もしくはポールソケット形状の毛
管チューブチップ（２６）に対して維持されている。そ
の後、毛管チューブ（２２）での超音流による刺激と最
初のボンディングパッド（２５）の形成とタッチダウン
とが同時に起きる。

最初のポール（２５）がパッド（３１）上に形成される
と、ボンディングヘッド（２１）は毛管チューブ（２２
）と−Ｈに再び当初のループの位置まで上昇し、もし制
御可能なスリップクランプ（２３）が備わっている場合
には、好ましくはスリップクランプ（２３）の開口部も
同時に伴なって上昇するのが望ましい。

もし可能ならば形成されるループのサイズに従い、同軸
の空気噴出流の停止や切り換えも同時に行なうのがよい
。

その後第二のボンディング（２８）が毛管チューブ（２
２）の反対側に形成される。ボンディングヘッド（２１
）は、毛管チューブ（２２）と共に下方へ下げられ、ボ
ンディングワイヤ（１０）を移動させ、再び前述した同
軸の空気流の影響に逆うことになる。そして場合により
第二のタッチダウンやそれに統〈タッチダウンが起って
超音流による効果の下に第二のボンディングパッド（２
９）が形成されるまでは、再び閉状態になったスリップ
クランプ（２３）と−緒にボンディングヘッド（２１）
が下方に下げられる。

好ましくは、第二のタッチダウンの直前でループの高さ
を考慮に入れてボンディングへｙ）”（３１）上の固定
式クランプ（２４）を閉状態にし、ボンディングワイヤ
（１０）を固定して毛管チューブ（２２）内を対応して
引き込ませるようにする。この時毛管チューブ（２２）
は下方に向かって移動する。

この方法では、第３図に示すように、毛管チューブチッ
プ（２Ｂ）から下方に向は突出するボンディングワイヤ
部分（２７）が、第二のタッチダウンの直前に移動され
る。このため、実際の接触箇所以外にボンディングワイ
ヤ（１０）を基板上に残し、たり接触させることなく、
第５図に示すように第二のボンディングパッド（２９）
が形成されるのである。

もし余分なボンディングワイヤ部分（２７）が切り離さ
れないと、第４図に示すような第二のボンディングパッ
ド（２９）、例えば基板上に不適当な長さのワイヤが残
されたボンディングパッド（２９）が生じる危険性があ
る。ボンディングヘッド（２１）や毛管チューブ（２２
）において予め決められたりプログラム化されたレベル
では、ボンディングワイヤ（１０）の材質とループのサ
イズに応じ、クランプ（２４）は閉状態とされる。

第二のボンディングパッド（２９）が形成された後、ク
ランプ（２４）は再び開状態となる。更に、ボンディン
グヘッド（２１）はその後所謂テール長の１７ベルまで
再び上げられる。この状態で、スリー２プクランブ（２
３）は制御可能タイプであれば好ま［、・（は開状態と
される。しかしながら、前述したのと同じように、前述
した同軸の噴出流は好まし２〈その効力を発揮し、ボン
ディングワイヤ（１０）カ維持されるようなっている。

このことは特に、スリップクランプ（２３）がワイヤ管
送り（２ｏ）のモ管チュブ（２２）に而している端部に
設けられている場合においては適しているといえよう。

同軸の噴出波の切り換犬、即ち一′ぞ方向への流れを他
方へ切り換λるのと同様に、噴出流の供給と停止は、ボ
ンディングワイヤ（１０）の本来の強度即ちその材質と
直径に依存する。

ボンディング・＼、・ド（２１）がティル長のレベルま
で届くと、このへ−２ドに連動するり〉ンプ（２８）は
珂び閉状態となる。そしてボンディングヘッド（２１）
は又元の位置に戻り、ボンディングワイヤ（１０）を切
り離す。ボンディングのサイクルは前述のごとく繰り返
されるのである。

ボンディングワイヤクランプ（２４）（２８）は従来の
クランプであるため、特にこれ以−ヒ詳細に述べる必要
はないであろう、このことは、毛管チューブ（２２）の
構造にについても同様である。

スリー２プクランブ（２３）は従来のワイヤクランプの
構造に応じて設計されている。しかしながら、クランプ
（２３）の表面がフェルトもしくは類似のｌ質で出来て
いるため閉じた状態のクランプであってもボンディング
ワイヤ（１ｏ）を引き出すことができる４ｉが異なって
いる。スリップクランプ（２３）のクラ〉′プカは好ま
しく調部されており、特には材質や直径が異なった接続
ワイヤにも合致するようにしである。

第２図に示す装置は従来のボンディング装置で連続的な
ボンディングを行うのに適している、出願書類で開示さ
れた全ての特徴は本発明の不可欠なものとして主張され
、個別にもその組合せにおいても従来技術を超えた新規
な範囲まで及ぶものである。

（発明の効果） 以上説明したように本発明に係るボンディングワイヤを
ボンディングヘッドのウェッジ−毛管チューブに供給す
るための制御装置及びその制御方法にあっては、ウェッ
ジ・毛管チューブの端部にボンディングワイヤの送りダ
クトが設けられ、空気噴出流等のガス噴出口や吸引口と
適宜連通している流体パイプの開口部が先行して内設さ
れているので、ボンディングワイヤを流体を用いて制御
することにより機械的な影響を及すことなく必要に応じ
てワイヤを進出させたり、止めたりすることが可能とな
る。

又、ワイヤの引張力が一定に維持され、ポール、　ボン
ディング時にループを形成するのため所定の長さのワイ
ヤ長が常に確保され、所謂「ゴルフストロークＪ現象も
同様に防止することができる。

そして、繰り返し行なわれるボンディングのサイクル以
前の通常のボンディングワイヤの供給の制御や追加でさ
え１本装置を用いれば流体制御することができる。

更に本発明にあってはボンディングワイヤスリップクラ
ンプは、ボンディングワイヤの所定の引張力や強度を維
持するだけでなく、ボンディングワイヤにおいて特有の
スピンをワイヤから取り除くことができ、ループ形成時
に起りがちな制御不能なボンディングワイヤの歪みを防
止することができるという効果を有する。

加えて本発明においては、ボンディングワイヤ送りダク
トの毛管チューブ側の端部にスリップクランプが取り付
けられているので、ボンディングヘッド付近のボンディ
ングを効果的に行うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る装置の一実施例における主要部分
断面図、第２図は第１図とは別の実施例における主要部
分断面図、第３図は第二のタッチダウン直前のループの
形成と毛管チューブの位置を示す主要部分正面図、第４
図は従来のボンディング装置を使用した場合に頻繁に生
じる不必要なポンドと不適当なループの形成を示す主要
部分正面図、第５図は本発明に係る装置及び方法により
（最適なボンディングとループの形成を示す主要部分正
面図である。 符号の説明 １０’・・・　ボンディングワイヤ、 １２・・・　ボンディングワイヤ送りダクト。 １３・・・　噴出口、　１４・・・　吸引口、１５・・
・　流体パイプ、　１６・・・　切り換えバルブ、１７
・・・　装着ブロック、　１８・・・　通路、１９・・
・　ワイヤ送りオリフィス、 ２０・・・　ワイヤ管送り、 ２１・・・　ボンディングヘット１ ２２・・・　ウェッジ・毛管チューブ、２３・・・　ボ
ンディングワイヤスリップクランプ、２４・・・　ボン
ディングワイヤクランプ、２５・・・　ポール、２Ｂ・
・・　毛管チップ、２７・・・　ボンディングワイヤ部
分、２日・・・　ボンディングへ一２ドクランプ。 ２９・・・　第二ボンディングバット、３０・・・　両
方向矢印、 ３！・・・　ボンディンググツド・

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）、両方向矢印（３０）のごとく上下動するボンディ
   ングヘッド（２１）のウェッジ・毛管チューブ（２２）
   にボンディングワイヤ、特には金製のボンディングワイ
   ヤ（１０）を供給するのを制御するための装置であって
   、 前記ウェッジ・毛管チューブ（２２）の上流側に配設さ
   れるボンディングワイヤ送りダクト（１２、１８、１９
   、２０）を有し、この送りダクト（１２、１８、１９、
   ２０）内に向けてガス噴出口、特には空気ガス噴出口（
   １３）或いは吸引口（１４）に適宜連結される流体パイ
   プ（１５）が開口していることを特徴とするボンディン
   グワイヤをボンディングヘッドのウェッジ・毛管チュー
   ブに供給するための制御装置。 ２）、前記流体パイプ（１５）と連動しボンディングヘ
   ッド制御装置に接続する切り換えバルブ（１６）を有す
   るとともに、前記切り換えバルブ（１６）は前記流体パ
   イプ（１５）が前記ガス噴出口、即ち空気ガス噴出口（
   １３）或いは吸引口（１４）のいずれかと連通するよう
   にしていることを特徴とする請求項１記載のボンディン
   グワイヤをボンディングヘッドのウェッジ、毛管チュー
   ブに供給するための制御装置。 ３）、前記ボンディングワイヤ送りダクト（１２）がワ
   イヤ送りオリフィス（１９）と内径がより大のワイヤ管
   送り（２０）とを有するとともに、前記ウェッジ・毛管
   チューブ側の前記ダクト（１２）が前記ワイヤ送りオリ
   フィス（１９）のすぐ先端側に位置する前記ガス噴出口
   、即ち空気ガス噴出口（１３）或いは吸引口（１４）と
   適宜連通している流体パイプ（１５）と隣接しているこ
   とを特徴とする請求項１又は２記載のボンディングワイ
   ヤをボンディングヘッドのウェッジ・毛管チューブに供
   給するための制御装置。 ４）、前記ワイヤ送りオリフィス（１９）が装着ブロッ
   ク（１７）内に設けられた通路（１８）の上流側端部に
   固設されるとともに、前記ワイヤ管送り（２０）が前記
   通路（１８）のウェッジ・毛管チューブ側端部に接続さ
   れ、ガス噴出口、即ち空気ガス噴出口（１３）或いは吸
   引口（１４）と適宜連通する流体パイプ（１５）が、前
   記ワイヤ送りオリフィス（１９）と前記ワイヤ管送り（
   ２０）の間の位置にて前記通路（１８）内に開口してい
   ることを特徴とする請求項３記載のボンディングワイヤ
   をボンディングヘッドのウェッジ・毛管チューブに供給
   するための制御装置。 ５）、前記ガス噴出口、即ち空気ガス噴出口（１３）或
   いは吸引口（１４）と適宜連通する流体パイプ（１５）
   が、前記ボンディングワイヤ送りダクト（１２）内に前
   記ワイヤ送りオリフィス（１９）と鋭角を成して開口し
   ていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記
   載のボンディングワイヤをボンディングヘッドのウェッ
   ジ・毛管チューブに供給するための制御装置。 ６）、前記ワイヤ送りオリフィス（１９）の出口端部の
   内径が、ワイヤゲージが２００μ未満にあっては１００
   μから１３０μの範囲であり、ワイヤ送りオリフィス（
   １９）と接続するワイヤ管送り（２０）の内径は約１．
   ５ｍｍから２．２ｍｍの範囲であることを特徴とする請
   求項３から５のいずれかに記載のボンディングワイヤを
   ボンディングヘッドのウェッジ・毛管チューブに供給す
   るための制御装置。 ７）、前記ボンディングワイヤ送りダクト（１２、１８
   、１３、２０）と連動し、かつこのボンディングワイヤ
   送りダクト（１２、１８、１９、２０）の手前側か毛管
   チューブに面する側に設けられるボンディングワイヤス
   リップクランプ（２３）を有するとともに、このクラン
   プ（２３）は閉状態となっていて、常に或いは前記ボン
   ディングヘッド（２１）がタッチダウンのため下降され
   る時のみに作動することを特徴とする請求項１から６の
   いずれかに記載のボンディングワイヤをボンディングヘ
   ッドのウェッジ・毛管チューブに供給するための制御装
   置。 ８）、前記ボンディングワイヤスリップクランプ（２３
   ）の作用クランプ面がフェルト材等でコーティングされ
   ていることを特徴とする請求項７記載のボンディングワ
   イヤをボンディングヘッドのウェッジ・毛管チューブに
   供給するための制御装置。 ９）、固定式ボンディングワイヤクランプ（２４）が、
   前記ボンディングワイヤ送りダクト（１２、１８、１８
   、２０）の下流側に設けられ、このクランプ（２４）は
   前記ボンディングヘッド（２１）が予め定められたルー
   プの高さからプログラム化可能な中間レベルの高さまで
   その位置を下降した時には閉状態となり、それと同時に
   毛管チューブチップから下流方向へ突出しているボンデ
   ィングワイヤ部分（２７）を、繰り返されるタッチダウ
   ンの直前に引き込ませて取り除くことを特徴とする請求
   項１から８のいずれかに記載のボンディングワイヤをボ
   ンディングヘッドのウェッジ・毛管チューブに供給する
   ための制御装置。 １０）、両方向矢印（３０）のごとく上下動するボンデ
   ィングヘッドのウェッジ・毛管チューブにボンディング
   ワイヤ、特には金製のボンディングワイヤ（１０）を供
   給するのを制御する方法であって、 同軸ガス、特には空気噴出ガスがボンディングの工程中
   、就中ループ形成中においてボンディングワイヤ（１０
   ）をボンディングヘッド（２１）のウエッジ・毛管チュ
   ーブ（２２）方向へ向けて押し出し、ワイヤの引張力が
   ほぼ一定に保たれている間はボンディングワイヤ（１０
   ）への牽引力を前記ボンディングヘッド（２１）のウェ
   ッジ・毛管チューブ（２２）とは反対方向に向けさせる
   ことを特徴とするボンディングワイヤをボンディングヘ
   ッドのウェッジ、毛管チューブに供給するための制御方
   法。 １１）、同軸ガス、特にほ空気ガスの噴出方向が、これ
   らガスの圧力や容量を変化させるボンディング工程にお
   いては逆向きであることを特徴とする請求項１０記載の
   ボンディングワイヤをボンディングヘッドのウェッジ・
   毛管チューブに供給するための制御方法。 １２）、同軸ガス、特には空気噴出ガスが、ボンディン
   グワイヤ（１０）に対しスピン分力であることを特徴と
   する請求項１０又は１１記載のボンディングワイヤをボ
   ンディングヘッドのウェッジ・毛管チューブに供給する
   ための制御方法。 １３）両方向矢印（３０）のごとく上下動するボンディ
   ングヘッドのウェッジや毛管チューブにボンディングワ
   イヤ、特には金製のボンディングワイヤ（１０）を供給
   するのを制御する方法であって、以下の工程からなるこ
   とを特徴とするボンディングワイヤをボンディングヘッ
   ドのウェッジ、毛管チューブにボンディングワイヤを供
   給する制御方法； （１）前記ボンディングヘッド（２１）上に移動可能に
   配設されたボンディングヘッドクランプ（２８）による
   クランプ手段を用い、ボンディングヘッド（２１）をボ
   ンディングワイヤ（１０）に沿って移動させながらボン
   ディングヘッド（２１）を最初の開始位置から下降させ
   、 この時ボンディングワイヤ（１０）は同軸流とこのボン
   ディングワイヤ（１０）の小さな牽引力を維持させるス
   リップクランプ（２３）とのいずれか又は両方に逆って
   供給されて、 前記ボンディングワイヤ（１０）のフリーな端部では前
   以って又は同時にポールを形成する工程； （２）タッチダウンの直前に毛管チューブ（２２）とボ
   ンディングヘッドクランプ（２８）の開口部の両方に超
   音波による刺激を与えてからタッチダウンさせ、第一の
   ボンディングパッドを形成する工程； （３）ボンディングヘッド（２１）を予め定められたル
   ープの高さまで上昇させる工程であって、その時好まし
   くは前記スリップクランプ（２３）を開状態にしておき
   、必要な時はいつでも前記同軸ガスの流れを止めたり切
   り替えたりする工程； （４）第二のボンディングパッド（２９）を前記毛管チ
   ューブ（２２）とは反対側に位置させ、二回目のタッチ
   ダウンが行なわれるまでは好ましくは再び閉状態にされ
   たスリップクランプ（２３）及び再噴出された同軸ガス
   流に逆ってボンディングワイヤ（１０）を移動させる間
   に、このボンディングヘッド（２１）の位置を下げて超
   音波効果の下で第二のボンディングパッド（２９）を形
   成する工程；（５）前記ボンディングヘッドクランプ（
   ２８）を開状態にしたまま、更に好ましくは前記スリッ
   プクランプ（２３）も開状態にしたままで同軸ガス流を
   連続的に噴出させて前記ボンディングヘッド（２１）の
   位置を所謂テール長迄上昇させ、更に前記ボンディング
   ヘッドクランプ（２８）を再び閉状態にしながらボンデ
   ィングヘッド（２１）が最初の開始位置に戻るまで前記
   ボンディングヘッド（２１）を上方向へ移動し、その後
   ボンディングワイヤを引き離す工程；