JPH013035A - 膜の形成方法 - Google Patents
膜の形成方法Info
- Publication number
- JPH013035A JPH013035A JP62-157630A JP15763087A JPH013035A JP H013035 A JPH013035 A JP H013035A JP 15763087 A JP15763087 A JP 15763087A JP H013035 A JPH013035 A JP H013035A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass plate
- film
- glass
- forming
- flexible member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、所要形状に切断されたガラス板表面に膜を形
成するに際し、膜をガラス板周縁部に形成させないよう
にするとともにガラス板の裏面まで被膜を形成させない
ようにする１漠の形成方法に関するものであり、特に透
明導電性膜等をスパッタリング法により前記ガラス板、
ことに曲げガラス板の周縁部を残して形成する際に適し
、車輌用、建築用合せ、複層ガラス等、より機能的ガラ
ス板を提供する際に好適な膜形成手段を提供するもので
ある。
成するに際し、膜をガラス板周縁部に形成させないよう
にするとともにガラス板の裏面まで被膜を形成させない
ようにする１漠の形成方法に関するものであり、特に透
明導電性膜等をスパッタリング法により前記ガラス板、
ことに曲げガラス板の周縁部を残して形成する際に適し
、車輌用、建築用合せ、複層ガラス等、より機能的ガラ
ス板を提供する際に好適な膜形成手段を提供するもので
ある。
また、スパッタリング法以外の成膜法である蒸着法、Ｃ
ＶＤ法等にも広く採用し得るものである。
ＶＤ法等にも広く採用し得るものである。
従来、車輌用のリヤウィンドガラスにおいては防曇ある
いはアンテナ等の機能を持ったものが広く採用されてお
り、その付与手段としてはガラス表面上に導電性ペース
トをスクリーン印刷して端子部と発熱用線条部を設けて
焼付ける方法あるいは合せガラスの合せ面側に極微細線
を埋め込む方法によっているが、最近では車輌用のフロ
ントガラス等においても前記防曇効果等に加えて熱線反
射機能をも持たせることができる金属ｉ！ＩＩ！！２等
多機能の透明導電膜を前記合せ面側ガラス表面に設ける
構成の合せガラスが採用されてきている。該透明導電膜
を形成する手段としては蒸着法、ＣＶＤ法等、近年では
スパッタリング法も用いられ、耐熱性の点で該透明導電
膜は曲げ加工後のガラス板表面上に形成する必要があり
、使用時の車輌本体との絶縁の点および前記透明導電膜
の接着性と耐久性の点でガラス板の周縁部すなわち端面
より例えば数龍除いて膜を形成する必要があるものであ
る。
いはアンテナ等の機能を持ったものが広く採用されてお
り、その付与手段としてはガラス表面上に導電性ペース
トをスクリーン印刷して端子部と発熱用線条部を設けて
焼付ける方法あるいは合せガラスの合せ面側に極微細線
を埋め込む方法によっているが、最近では車輌用のフロ
ントガラス等においても前記防曇効果等に加えて熱線反
射機能をも持たせることができる金属ｉ！ＩＩ！！２等
多機能の透明導電膜を前記合せ面側ガラス表面に設ける
構成の合せガラスが採用されてきている。該透明導電膜
を形成する手段としては蒸着法、ＣＶＤ法等、近年では
スパッタリング法も用いられ、耐熱性の点で該透明導電
膜は曲げ加工後のガラス板表面上に形成する必要があり
、使用時の車輌本体との絶縁の点および前記透明導電膜
の接着性と耐久性の点でガラス板の周縁部すなわち端面
より例えば数龍除いて膜を形成する必要があるものであ
る。
一方、建築用窓ガラスにおいても、例えば複層ガラスの
密閉空間に面したガラス表面上に熱線反射機能をもたせ
たフィルムを封着部を除いて貼着することが実開昭５６
−７００７９号公報に記載されており、さらに特開昭５
９−４５９４７号公報あるいは実開昭６１−７５３９号
公報には、複層ガラスにおいて、蒸着法、スパッタリン
グ法で金属薄膜等の熱線反射膜あるいは通電加熱膜を形
成するなかで、該膜被覆を全ガラス仮友面上にした後、
ガラス板周辺部あるいは周縁部の被ｊ模をトリミング等
の手段で取除いて複ｊ′ｈＪ化することが記載されてい
る。
密閉空間に面したガラス表面上に熱線反射機能をもたせ
たフィルムを封着部を除いて貼着することが実開昭５６
−７００７９号公報に記載されており、さらに特開昭５
９−４５９４７号公報あるいは実開昭６１−７５３９号
公報には、複層ガラスにおいて、蒸着法、スパッタリン
グ法で金属薄膜等の熱線反射膜あるいは通電加熱膜を形
成するなかで、該膜被覆を全ガラス仮友面上にした後、
ガラス板周辺部あるいは周縁部の被ｊ模をトリミング等
の手段で取除いて複ｊ′ｈＪ化することが記載されてい
る。
上述したように、ガラス板周縁部を除いて膜を形成する
手段としては従来単に膜形成側のみのマスキングテープ
貼着、成膜後の取除き等が通常用いられているものであ
った。
手段としては従来単に膜形成側のみのマスキングテープ
貼着、成膜後の取除き等が通常用いられているものであ
った。
さらにまた、例えば、曲げガラス板にスバ・ツタリング
法で透明導電膜等を形成する際の搬送架台としては、基
台上に上面周縁部にマスキングテープを貼着した曲げガ
ラスを直接載置し、スパッタリングチャンバー内に搬送
するようになっていた。
法で透明導電膜等を形成する際の搬送架台としては、基
台上に上面周縁部にマスキングテープを貼着した曲げガ
ラスを直接載置し、スパッタリングチャンバー内に搬送
するようになっていた。
前述したように、個々のガラス板ごとにマスキングテー
プを所要部分に貼り付ける作業あるいは所要部分のみト
リミング等で成膜した後取り除く作業については煩雑で
手間がかかり非能率であるものであった。また、種々の
異なる形状の曲げガラス板等を基台上に直接載置した際
、ガラスと基台の曲率が必ずしもすべて合致するもので
はく場合によってはガラス板Ｉ″ｌ縁部の裏面側まで被
膜が形成されるようなことがあったりして品質上も好ま
しくないこともあった。
プを所要部分に貼り付ける作業あるいは所要部分のみト
リミング等で成膜した後取り除く作業については煩雑で
手間がかかり非能率であるものであった。また、種々の
異なる形状の曲げガラス板等を基台上に直接載置した際
、ガラスと基台の曲率が必ずしもすべて合致するもので
はく場合によってはガラス板Ｉ″ｌ縁部の裏面側まで被
膜が形成されるようなことがあったりして品質上も好ま
しくないこともあった。
さらにマスキングテープは使い捨てのため不経済でもあ
った。またさらに、真空チャンバー内へガラス板を入れ
るため真空と大気圧との繰返し操作を行うことになり、
切換時における気流の乱れにより曲げガラス板等がバタ
ツキを生じ、時としては破損につながる場合もあるもの
であった。
った。またさらに、真空チャンバー内へガラス板を入れ
るため真空と大気圧との繰返し操作を行うことになり、
切換時における気流の乱れにより曲げガラス板等がバタ
ツキを生じ、時としては破損につながる場合もあるもの
であった。
本発明は、従来のかかる欠点に鑑みてなしたものであっ
て、四辺の枠部材から対応する二辺にそれぞれ少なくと
も２個のたるみをもった可撓性の帯状ガラス板支持部材
を設けて、該支持部材をガラス板の大きさ、形状等に対
応して移動し、該ガラス板周縁部にキャップした可撓性
部材が充分当接するようにガラス板を支持部材上に載置
することによって、簡単に周縁部表裏両面をカバーし得
て確実に周縁部に腰を形成させない模の形成方法を提供
するものである。
て、四辺の枠部材から対応する二辺にそれぞれ少なくと
も２個のたるみをもった可撓性の帯状ガラス板支持部材
を設けて、該支持部材をガラス板の大きさ、形状等に対
応して移動し、該ガラス板周縁部にキャップした可撓性
部材が充分当接するようにガラス板を支持部材上に載置
することによって、簡単に周縁部表裏両面をカバーし得
て確実に周縁部に腰を形成させない模の形成方法を提供
するものである。
すなわち、本発明は所要形状のガラス板周縁部に着脱自
在な可撓性部材を嵌合せしめて、搬送架台のガラス板支
持部材上に載置して膜を形成することを特徴とする膜の
形成方法を提供するものである。
在な可撓性部材を嵌合せしめて、搬送架台のガラス板支
持部材上に載置して膜を形成することを特徴とする膜の
形成方法を提供するものである。
ここで、可撓性部材としては溝付きのシリコンゴムある
いはフッ素樹脂製等が好ましいものであるが、可撓性、
耐熱性、非付着性および耐化学薬品性等を有しているも
の、すなわち、スパッタリング処理等の繰返しに対して
性状変化が少ないものであれば採用し得るものである。
いはフッ素樹脂製等が好ましいものであるが、可撓性、
耐熱性、非付着性および耐化学薬品性等を有しているも
の、すなわち、スパッタリング処理等の繰返しに対して
性状変化が少ないものであれば採用し得るものである。
なお、可撓性部材の下部には弾力性をもたせしめるとか
、あるいは突起部を設ける等、これに類する部材または
形状を設けることが、仮令ガラス支持部材と隙間が生じ
たとしてもカバーできて好ましいものであり、さらに、
可撓性部材の上面の端部はテーバ−加工を施した方が成
膜時における膜の境界部分の厚みむらを解消でき好まし
いものである。
、あるいは突起部を設ける等、これに類する部材または
形状を設けることが、仮令ガラス支持部材と隙間が生じ
たとしてもカバーできて好ましいものであり、さらに、
可撓性部材の上面の端部はテーバ−加工を施した方が成
膜時における膜の境界部分の厚みむらを解消でき好まし
いものである。
また、ガラス板支持部材としては、ステンレス、アルミ
ニウムあるいはフッ素樹脂等、可撓性、耐熱性などを有
し、スパッタリング処理等の繰返し使用に耐えるもので
あればよく、薄い帯状体から成り、四辺の枠部材から対
応する二辺にそれぞれ少なくとも２個のたるみをもたせ
た帯状体を架設し、しかもガラス板の大きさおよび形状
等によってそれぞれ移動可能に取り付けてあり、ガラス
板周縁部にキャップした可撓性部材と整合して充分当接
するようにすることができるものであり、さらに、ガラ
ス板周縁部がガラス板支持部材と重なる部分の寸法は約
１０１くらいが好ましいものである。
ニウムあるいはフッ素樹脂等、可撓性、耐熱性などを有
し、スパッタリング処理等の繰返し使用に耐えるもので
あればよく、薄い帯状体から成り、四辺の枠部材から対
応する二辺にそれぞれ少なくとも２個のたるみをもたせ
た帯状体を架設し、しかもガラス板の大きさおよび形状
等によってそれぞれ移動可能に取り付けてあり、ガラス
板周縁部にキャップした可撓性部材と整合して充分当接
するようにすることができるものであり、さらに、ガラ
ス板周縁部がガラス板支持部材と重なる部分の寸法は約
１０１くらいが好ましいものである。
なお、帯状体のたるみの間接については適時枠部材に弾
力性のある部材をもちいてその張り具合によってもよい
し、あるいは帯状体のそれぞれにａ接部材を取り付けて
行ってもよく、さらに、帯状体およびガラス板のセント
後の固定についても必要に応じて止め具等を用いてもよ
いことは言うまでもない。
力性のある部材をもちいてその張り具合によってもよい
し、あるいは帯状体のそれぞれにａ接部材を取り付けて
行ってもよく、さらに、帯状体およびガラス板のセント
後の固定についても必要に応じて止め具等を用いてもよ
いことは言うまでもない。
さらに、膜形成の方法としては、スパッタリング法が好
ましいが、蒸着法、ＣＶＤ法等を含み、任意に通用でき
るものである。
ましいが、蒸着法、ＣＶＤ法等を含み、任意に通用でき
るものである。
以下本発明の一実施例を図に基づいて説明する。
第１図は、スパッタリング装置（図示４ず）内へ搬送す
る前におけるガラス板７を搬送架台１のガラス板支持部
材６ａ、６ｂ、 ６ｃ、、６ｄ上に載置した状態を示す
斜視図であり、搬送架台１は切欠き部３を有する基台２
の所要位置にある四辺形の四角に脚部材４を配設し、該
脚部材４の上部に枠部材５を設けてそれぞれ連結した状
態とし、該枠部材５からなる四辺において相対する二辺
を結び移動可能な帯状体のガラス板支持部材６ａ、 ６
ｂ、 ６ｃ、 ６ｄをたるんだ状態で架設して取り付け
、該支持部材で形成する中央部に、周縁部にキャップさ
れた可撓性部材８が充分型なり合って整合当接するよう
にガラス板７を載置したもので、セントを完了した状態
を示すものであり、この状態でこの１般送架台１をスパ
ッタリング装置内に移送し、ガラス板７のマスクされた
部分を除く全上面に、例えば金属薄膜、全屈酸化膜等の
透明導電膜、種々の多層膜などをスパッタリング法で形
成した。
る前におけるガラス板７を搬送架台１のガラス板支持部
材６ａ、６ｂ、 ６ｃ、、６ｄ上に載置した状態を示す
斜視図であり、搬送架台１は切欠き部３を有する基台２
の所要位置にある四辺形の四角に脚部材４を配設し、該
脚部材４の上部に枠部材５を設けてそれぞれ連結した状
態とし、該枠部材５からなる四辺において相対する二辺
を結び移動可能な帯状体のガラス板支持部材６ａ、 ６
ｂ、 ６ｃ、 ６ｄをたるんだ状態で架設して取り付け
、該支持部材で形成する中央部に、周縁部にキャップさ
れた可撓性部材８が充分型なり合って整合当接するよう
にガラス板７を載置したもので、セントを完了した状態
を示すものであり、この状態でこの１般送架台１をスパ
ッタリング装置内に移送し、ガラス板７のマスクされた
部分を除く全上面に、例えば金属薄膜、全屈酸化膜等の
透明導電膜、種々の多層膜などをスパッタリング法で形
成した。
その結果、ガラス板の周縁部の所要部分を除き、膜の境
界部分もハツキリと厚みむらもなく、全面に均一に成膜
でき、ガラス板の裏面に被膜することもなく、安定して
膜の形成ができた。
界部分もハツキリと厚みむらもなく、全面に均一に成膜
でき、ガラス板の裏面に被膜することもなく、安定して
膜の形成ができた。
なお、基台の切欠き部は、ガラス板の検知を行うもので
ある。
ある。
第２図は、第１図のＡ −Ａ’部分の断面図であり、ガ
ラス板支持部材６ａ、６ｂ、 ６ｃ、 ６ｄに可撓性部
材８が充分密着して当接しガラス板７に整合して合致せ
しめることを示す断面図である。
ラス板支持部材６ａ、６ｂ、 ６ｃ、 ６ｄに可撓性部
材８が充分密着して当接しガラス板７に整合して合致せ
しめることを示す断面図である。
第３図は、透明導電膜を形成後、スパッタリング装置内
から取り出した可撓性部材８を取り除く前のガラス板７
を示す斜視図である。
から取り出した可撓性部材８を取り除く前のガラス板７
を示す斜視図である。
第４図は、ガラス板７の周縁部にテーパ一部９付の可撓
性部材８をキャップし透明導電膜を形成したところの部
分拡大断面図である。
性部材８をキャップし透明導電膜を形成したところの部
分拡大断面図である。
前述したように、本発明によれば、ガラス板の周縁部に
キャップした可撓性部材とたるんだ状態で余裕をもたせ
ガラス板の曲率等積々の形状に適用可能な′？？Ｊ膜帯
状体のガラス板支持部材を当接するようにして膜の形成
を行うので、スパッタリング処理における種々の環境変
化に対しても、可撓性部材とガラス板支持部材とがよく
合致して隙間を生じさせないため、ガラス板およびガラ
ス板支持部材のバタツキ、破損がなく、ガラス板の裏面
までスパッタリング膜が形成されるような不都合もなく
、ガラス板も曲げガラス等の種々大きさ、形状に対して
ガラス板支持部材の影響を受けることがなく、熱的ある
いは機械的等積々の点で好ましいものであり、ガラス板
周縁部の膜境界部においても膜厚が均一になるという効
果をも奏するものである。
キャップした可撓性部材とたるんだ状態で余裕をもたせ
ガラス板の曲率等積々の形状に適用可能な′？？Ｊ膜帯
状体のガラス板支持部材を当接するようにして膜の形成
を行うので、スパッタリング処理における種々の環境変
化に対しても、可撓性部材とガラス板支持部材とがよく
合致して隙間を生じさせないため、ガラス板およびガラ
ス板支持部材のバタツキ、破損がなく、ガラス板の裏面
までスパッタリング膜が形成されるような不都合もなく
、ガラス板も曲げガラス等の種々大きさ、形状に対して
ガラス板支持部材の影響を受けることがなく、熱的ある
いは機械的等積々の点で好ましいものであり、ガラス板
周縁部の膜境界部においても膜厚が均一になるという効
果をも奏するものである。
また、マスキング作業の効率が格段に向」二するととも
に、可撓性部材も繰返し使用でき極めて経済的である。
に、可撓性部材も繰返し使用でき極めて経済的である。
図面は本発明の一実施例を示すものであり、第１図は’
ｔｉ］撓性部付性部材部にキャンプしたガラス板を搬送
架台上に載置した斜視図、第２図は第１図のＡ −Ａ’
部分の断面図、第３図は成膜後のガラス板の斜視図、第
４図は第３図のＢ−Ｂ部分の部分拡大断面図である。 １・・搬送架台、２・・基台、４・・脚部材、６ａ、
６ｂ、６ｃ、６ｄ・・ガラス板文持部材、７・・ガラス
板、８・・可撓性部材、 ９・・テーパ一部 特許出願人 セントラル硝子株式会社１、パ二： 第２図 第３図 を 第４図 ７
ｔｉ］撓性部付性部材部にキャンプしたガラス板を搬送
架台上に載置した斜視図、第２図は第１図のＡ −Ａ’
部分の断面図、第３図は成膜後のガラス板の斜視図、第
４図は第３図のＢ−Ｂ部分の部分拡大断面図である。 １・・搬送架台、２・・基台、４・・脚部材、６ａ、
６ｂ、６ｃ、６ｄ・・ガラス板文持部材、７・・ガラス
板、８・・可撓性部材、 ９・・テーパ一部 特許出願人 セントラル硝子株式会社１、パ二： 第２図 第３図 を 第４図 ７
Claims (1)
- 所要形状のガラス板周縁部に着脱自在な可撓性部材を嵌
合せしめて、搬送架台のガラス板支持部材上に載置して
膜を形成することを特徴とする膜の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62157630A JPH0645480B2 (ja) | 1987-06-26 | 1987-06-26 | 膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62157630A JPH0645480B2 (ja) | 1987-06-26 | 1987-06-26 | 膜の形成方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS643035A JPS643035A (en) | 1989-01-06 |
| JPH013035A true JPH013035A (ja) | 1989-01-06 |
| JPH0645480B2 JPH0645480B2 (ja) | 1994-06-15 |
Family
ID=15653922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62157630A Expired - Lifetime JPH0645480B2 (ja) | 1987-06-26 | 1987-06-26 | 膜の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0645480B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH079856Y2 (ja) * | 1990-05-30 | 1995-03-08 | セントラル硝子株式会社 | 搬送用架台 |
| JPH0589334U (ja) * | 1992-05-22 | 1993-12-07 | セントラル硝子株式会社 | ガラス板の搬送台 |
| DE4307382A1 (de) * | 1993-03-09 | 1994-09-15 | Leybold Ag | Maske zum Abdecken des radial äußeren Bereichs einer scheibenförmigen Substratoberfläche |
| DE10006121C1 (de) * | 2000-02-11 | 2001-05-23 | Sekurit Saint Gobain Deutsch | Verfahren zum Verhindern einer rückseitigen Beschichtung von starren, insbesondere gebogenen Scheiben und Verwendung einer Transportvorrichtung |
| JP4688373B2 (ja) * | 2001-09-18 | 2011-05-25 | 宇部興産株式会社 | ナイロン樹脂成形品の接着用継手及び接着方法 |
| WO2012090887A1 (ja) * | 2010-12-27 | 2012-07-05 | 淀川ヒューテック株式会社 | 板体の平置き載置用トレイ |
| FR3049943B1 (fr) * | 2016-04-06 | 2020-08-28 | Saint Gobain | Dispositif de convoyage et de maintien de feuilles de verre notamment dans une installation de lavage, et procede de mise en oeuvre |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0215261A3 (de) * | 1985-09-10 | 1989-07-05 | Balzers Aktiengesellschaft | Linsenhalterung, insbesondere Halterung für zu reinigende und nachfolgend zu beschichtende Brillenglaslinsen |
-
1987
- 1987-06-26 JP JP62157630A patent/JPH0645480B2/ja not_active Expired - Lifetime
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