JPH0645480B2 - 膜の形成方法 - Google Patents
膜の形成方法Info
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- JPH0645480B2 JPH0645480B2 JP62157630A JP15763087A JPH0645480B2 JP H0645480 B2 JPH0645480 B2 JP H0645480B2 JP 62157630 A JP62157630 A JP 62157630A JP 15763087 A JP15763087 A JP 15763087A JP H0645480 B2 JPH0645480 B2 JP H0645480B2
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Landscapes
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、所要形状に切断されたガラス板表面に膜を形
成するに際し、膜をガラス板の全周周縁部に形成させな
いようにするとともにガラス板の裏面まで被膜を形成さ
せないようにする膜の形成方法に関するものであり、特
に透明導電性膜等をスパッタリング法により前記ガラス
板、ことに曲げガラス板の全周周縁部を残して形成する
際に適し、車輌用、建築用合せ、複層ガラス等、より機
能的ガラス板を提供する際に好適な膜形成手段を提供す
るものである。
成するに際し、膜をガラス板の全周周縁部に形成させな
いようにするとともにガラス板の裏面まで被膜を形成さ
せないようにする膜の形成方法に関するものであり、特
に透明導電性膜等をスパッタリング法により前記ガラス
板、ことに曲げガラス板の全周周縁部を残して形成する
際に適し、車輌用、建築用合せ、複層ガラス等、より機
能的ガラス板を提供する際に好適な膜形成手段を提供す
るものである。
また、スパッタリング法以外の成膜法である蒸着法、Ｃ
ＶＤ法等にも広く採用し得るものである。
ＶＤ法等にも広く採用し得るものである。
従来、車輌用のリヤウインドガラスにおいては防曇ある
いはアンテナ等の機能を持ったものが広く採用されてお
り、その付与手段としてはガラス表面上に導電性ペース
トをスクリーン印刷して端子部と発熱用線条部を設けて
焼付ける方法あるいは合せガラスの合せ面側に極微細線
を埋め込む方法によっているが、最近では車輌用のフロ
ントガラス等においても前記防曇効果等に加えて熱線反
射機能をも持たせることができる金属薄膜等多機能の透
明導電膜を前記合せ面側ガラス表面に設ける構成の合せ
ガラスが採用されてきている。該透明導電膜を形成する
手段としては蒸着法、ＣＶＤ法等、近年ではスパッタリ
ング法も用いられ、耐熱性の点で該透明導電膜は曲げ加
工後のガラス板表面上に形成する必要があり、使用時の
車輌本体との絶縁の点および前記透明導電膜の接着性と
耐久性の点でガラス板の周縁部すなわち端面より例えば
数mm除いて膜を形成する必要があるものである。
いはアンテナ等の機能を持ったものが広く採用されてお
り、その付与手段としてはガラス表面上に導電性ペース
トをスクリーン印刷して端子部と発熱用線条部を設けて
焼付ける方法あるいは合せガラスの合せ面側に極微細線
を埋め込む方法によっているが、最近では車輌用のフロ
ントガラス等においても前記防曇効果等に加えて熱線反
射機能をも持たせることができる金属薄膜等多機能の透
明導電膜を前記合せ面側ガラス表面に設ける構成の合せ
ガラスが採用されてきている。該透明導電膜を形成する
手段としては蒸着法、ＣＶＤ法等、近年ではスパッタリ
ング法も用いられ、耐熱性の点で該透明導電膜は曲げ加
工後のガラス板表面上に形成する必要があり、使用時の
車輌本体との絶縁の点および前記透明導電膜の接着性と
耐久性の点でガラス板の周縁部すなわち端面より例えば
数mm除いて膜を形成する必要があるものである。
一方、建築用窓ガラスにおいても、例えば複層ガラスの
密閉空間に面したガラス表面上に熱線反射機能をもたせ
たフィルムを封着部を除いて貼着することが実開昭56-7
0079号公報に記載されており、さらに特開昭59-45947号
公報あるいは実開昭61-7539号公報には、複層ガラスに
おいて、蒸着法、スパッタリング法で金属薄膜等の熱線
反射膜あるいは通電加熱膜を形成するなかで、該膜被膜
を全ガラス板表面上にした後、ガラス板周辺部あるいは
周縁部の被膜をトリミング等の手段で取除いて複層化す
ることが記載されている。
密閉空間に面したガラス表面上に熱線反射機能をもたせ
たフィルムを封着部を除いて貼着することが実開昭56-7
0079号公報に記載されており、さらに特開昭59-45947号
公報あるいは実開昭61-7539号公報には、複層ガラスに
おいて、蒸着法、スパッタリング法で金属薄膜等の熱線
反射膜あるいは通電加熱膜を形成するなかで、該膜被膜
を全ガラス板表面上にした後、ガラス板周辺部あるいは
周縁部の被膜をトリミング等の手段で取除いて複層化す
ることが記載されている。
上述したように、ガラス板周縁部を除いて膜を形成する
手段としては従来単に膜形成側のみのマスキングテープ
貼着、成膜後の取除き等が通常用いられているものであ
った。
手段としては従来単に膜形成側のみのマスキングテープ
貼着、成膜後の取除き等が通常用いられているものであ
った。
さらにまた、例えば、曲げガラス板にスパッタリング法
で透明導電膜等を形成する際の搬送架台としては、基台
上に上面周縁部にマスキングテープを貼着した曲げガラ
スを直接載置し、スパッタリングチャンバー内に搬送す
るようになっていた。
で透明導電膜等を形成する際の搬送架台としては、基台
上に上面周縁部にマスキングテープを貼着した曲げガラ
スを直接載置し、スパッタリングチャンバー内に搬送す
るようになっていた。
前述したように、個々のガラス板ごとにマスキングテー
プを所要部分に貼り付ける作業あるいは所要部分のみト
リミング等で成膜した後取り除く作業については煩雑で
手間がかかり非能率であるものであった。また、種々の
異なる形状の曲げガラス板等を基台上に直接載置した
際、ガラスと基台の曲率が必ずしもすべて合致するもの
ではく場合によってはガラス板周縁部の裏面側まで被膜
が形成されるようなことがあったりして品質上も好まし
くないこともあった。
プを所要部分に貼り付ける作業あるいは所要部分のみト
リミング等で成膜した後取り除く作業については煩雑で
手間がかかり非能率であるものであった。また、種々の
異なる形状の曲げガラス板等を基台上に直接載置した
際、ガラスと基台の曲率が必ずしもすべて合致するもの
ではく場合によってはガラス板周縁部の裏面側まで被膜
が形成されるようなことがあったりして品質上も好まし
くないこともあった。
さらにマスキングテープは使い捨てのため不経済でもあ
った。またさらに、真空チャンバー内へガラス板を入れ
るため真空と大気圧との繰返し操作を行うことになり、
切換時における気流の乱れにより曲げガラス板等がバタ
ツキを生じ、時としては破損につながる場合もあるもの
であった。
った。またさらに、真空チャンバー内へガラス板を入れ
るため真空と大気圧との繰返し操作を行うことになり、
切換時における気流の乱れにより曲げガラス板等がバタ
ツキを生じ、時としては破損につながる場合もあるもの
であった。
本発明は、従来のかかる欠点に鑑みてなしたものであっ
て、四辺の枠部材から対応する二辺にそれぞれ少なくと
も２個のたるみをもった可撓性の帯状ガラス板支持部材
を設けて、該支持部材をガラス板の大きさ、形状等に対
応して移動し、該ガラス板の全周周縁部にキャップした
可撓性部材が充分当接するようにガラス板を支持部材上
に載置することによって、簡単に周縁部表裏両面をカバ
ーし得て確実に全周周縁部に膜を形成させない膜の形成
方法を提供するものである。
て、四辺の枠部材から対応する二辺にそれぞれ少なくと
も２個のたるみをもった可撓性の帯状ガラス板支持部材
を設けて、該支持部材をガラス板の大きさ、形状等に対
応して移動し、該ガラス板の全周周縁部にキャップした
可撓性部材が充分当接するようにガラス板を支持部材上
に載置することによって、簡単に周縁部表裏両面をカバ
ーし得て確実に全周周縁部に膜を形成させない膜の形成
方法を提供するものである。
すなわち、本発明は所要形状のガラス板の全周周縁部に
着脱自在な可撓性部材を嵌合せしめて、搬送架台の可撓
性を有するガラス板支持部材上に載置して膜を形成する
ことを特徴とする膜の形成方法を提供するものである。
着脱自在な可撓性部材を嵌合せしめて、搬送架台の可撓
性を有するガラス板支持部材上に載置して膜を形成する
ことを特徴とする膜の形成方法を提供するものである。
ここで、可撓性部材としては溝付きのシリコンゴムある
いはフッ素樹脂製等が好ましいものであるが、可撓性、
耐熱性、非付着性および耐化学薬品性等を有しているも
の、すなわち、スパッタリング処理等の繰返しに対して
性状変化が少ないものであれば採用し得るものである。
いはフッ素樹脂製等が好ましいものであるが、可撓性、
耐熱性、非付着性および耐化学薬品性等を有しているも
の、すなわち、スパッタリング処理等の繰返しに対して
性状変化が少ないものであれば採用し得るものである。
なお、可撓性部材の下部には弾力性をもたせしめると
か、あるいは突起部を設ける等、これに類する部材また
は形状を設けることが、仮令ガラス支持部材と隙間が生
じたとしてもカバーできて好ましいものであり、さら
に、可撓性部材の上面の端部はテーパー加工を施した方
が成膜時における膜の境界部分の厚みむらを解消でき好
ましいものである。
か、あるいは突起部を設ける等、これに類する部材また
は形状を設けることが、仮令ガラス支持部材と隙間が生
じたとしてもカバーできて好ましいものであり、さら
に、可撓性部材の上面の端部はテーパー加工を施した方
が成膜時における膜の境界部分の厚みむらを解消でき好
ましいものである。
また、ガラス板支持部材としては、ステンレス、アルミ
ニウムあるいはフッ素樹脂等、可撓性、耐熱性などを有
し、スパッタリング処理等の繰返し使用に耐えるもので
あればよく、薄い帯状体から成り、四辺の枠部材から対
応する二辺にそれぞれ少なくとも２個のたるみをもたせ
た帯状体を架設し、しかもガラス板の大きさおよび形状
等によってそれぞれ移動可能に取り付けてあり、ガラス
板の全周周縁部にキャップした可撓性部材と整合して充
分当接するようにすることができるものであり、さら
に、ガラス板の全周周縁部がガラス板支持部材と重なる
部分の寸法は約10mmくらいが好ましいものである。
ニウムあるいはフッ素樹脂等、可撓性、耐熱性などを有
し、スパッタリング処理等の繰返し使用に耐えるもので
あればよく、薄い帯状体から成り、四辺の枠部材から対
応する二辺にそれぞれ少なくとも２個のたるみをもたせ
た帯状体を架設し、しかもガラス板の大きさおよび形状
等によってそれぞれ移動可能に取り付けてあり、ガラス
板の全周周縁部にキャップした可撓性部材と整合して充
分当接するようにすることができるものであり、さら
に、ガラス板の全周周縁部がガラス板支持部材と重なる
部分の寸法は約10mmくらいが好ましいものである。
なお、帯状体のたるみの調整については適時枠部材に弾
力性のある部材をもちいてその張り具合によってもよい
し、あるいは帯状体のそれぞれに調整部材を取り付けて
行ってもよく、さらに、帯状体およびガラス板のセット
後の固定についても必要に応じて止め具等を用いてもよ
いことは言うまでもない。
力性のある部材をもちいてその張り具合によってもよい
し、あるいは帯状体のそれぞれに調整部材を取り付けて
行ってもよく、さらに、帯状体およびガラス板のセット
後の固定についても必要に応じて止め具等を用いてもよ
いことは言うまでもない。
さらに、膜形成の方法としては、スパッタリング法が好
ましいが、蒸着法、ＣＶＤ法等を含み、任意に適用でき
るものである。
ましいが、蒸着法、ＣＶＤ法等を含み、任意に適用でき
るものである。
以下本発明の一実施例を図に基づいて説明する。
第１図は、スパッタリング装置（図示せず）内へ搬送す
る前におけるガラス板７を搬送架台１のガラス板支持部
材6a、6b、6c、6d上に載置した状態を示す斜視図であり、
搬送架台１は切欠き部３を有する基台２の所要位置にあ
る四辺形の四角に脚部材４を配設し、該脚部材４の上部
に枠部材５を設けてそれぞれ連結した状態とし、該枠部
材５からなる四辺において相対する二辺を結び移動可能
な帯状体のガラス板支持部材6a、6b、6c、6dをたるんだ状
態で架設して取り付け、該支持部材で形成する中央部
に、周縁部にキャップされた可撓性部材８が充分重なり
合って整合当接するようにガラス板７を載置したもの
で、セットを完了した状態を示すものであり、この状態
でこの搬送架台１をスパッタリング装置内に移送し、ガ
ラス板７のマスクされた部分を除く全上面に、例えば金
属薄膜、金属酸化膜等の透明導電膜、種々の多層膜など
をスパッタリング法で形成した。
る前におけるガラス板７を搬送架台１のガラス板支持部
材6a、6b、6c、6d上に載置した状態を示す斜視図であり、
搬送架台１は切欠き部３を有する基台２の所要位置にあ
る四辺形の四角に脚部材４を配設し、該脚部材４の上部
に枠部材５を設けてそれぞれ連結した状態とし、該枠部
材５からなる四辺において相対する二辺を結び移動可能
な帯状体のガラス板支持部材6a、6b、6c、6dをたるんだ状
態で架設して取り付け、該支持部材で形成する中央部
に、周縁部にキャップされた可撓性部材８が充分重なり
合って整合当接するようにガラス板７を載置したもの
で、セットを完了した状態を示すものであり、この状態
でこの搬送架台１をスパッタリング装置内に移送し、ガ
ラス板７のマスクされた部分を除く全上面に、例えば金
属薄膜、金属酸化膜等の透明導電膜、種々の多層膜など
をスパッタリング法で形成した。
その結果、ガラス板の全周周縁部の所要部分を除き、膜
の境界部分もハッキリと厚みむらもなく、全面に均一に
成膜でき、ガラス板の裏面に被膜することもなく、安定
して膜の形成ができた。なお、基台の切欠き部は、ガラ
ス板の検知を行うものである。
の境界部分もハッキリと厚みむらもなく、全面に均一に
成膜でき、ガラス板の裏面に被膜することもなく、安定
して膜の形成ができた。なお、基台の切欠き部は、ガラ
ス板の検知を行うものである。
第２図は、第１図のＡ−Ａ′部分の断面図であり、ガラ
ス板支持部材6a、6b、6c、6dに可撓性部材８が充分密着し
て当接しガラス板７に整合して合致せしめることを示す
断面図である。
ス板支持部材6a、6b、6c、6dに可撓性部材８が充分密着し
て当接しガラス板７に整合して合致せしめることを示す
断面図である。
第３図は、透明導電膜を形成後、スパッタリング装置内
から取り出した可撓性部材８を取り除く前のガラス板７
を示す斜視図である。
から取り出した可撓性部材８を取り除く前のガラス板７
を示す斜視図である。
第４図は、ガラス板７の周縁部にテーパー部９付の可撓
性部材８をキャップし透明導電膜を形成したところの部
分拡大断面図である。
性部材８をキャップし透明導電膜を形成したところの部
分拡大断面図である。
前述したように、本発明によれば、ガラス板の全周周縁
部にキャップした可撓性部材とたるんだ状態で余裕をも
たせガラス板の曲率等種々の形状に適用可能な可撓性を
有す薄膜帯状体のガラス板支持部材を当接するようにし
て膜の形成を行うので、スパッタリング処理における種
々の環境変化に対しても、可撓性部材とガラス板支持部
材とがよく合致して隙間を生じさせないため、ガラス板
およびガラス板支持部材のバタツキ、破損がなく、ガラ
ス板の裏面までスパッタリング膜が形成されるような不
都合もなく、ガラス板も曲げガラス等の種々大きさ、形
状に対してガラス板支持部材の影響を受けることがな
く、熱的あるいは機械的等種々の点で好ましいものであ
り、ガラス板の全周周縁部の膜境界部においても膜厚が
均一になるという効果をも奏するものである。
部にキャップした可撓性部材とたるんだ状態で余裕をも
たせガラス板の曲率等種々の形状に適用可能な可撓性を
有す薄膜帯状体のガラス板支持部材を当接するようにし
て膜の形成を行うので、スパッタリング処理における種
々の環境変化に対しても、可撓性部材とガラス板支持部
材とがよく合致して隙間を生じさせないため、ガラス板
およびガラス板支持部材のバタツキ、破損がなく、ガラ
ス板の裏面までスパッタリング膜が形成されるような不
都合もなく、ガラス板も曲げガラス等の種々大きさ、形
状に対してガラス板支持部材の影響を受けることがな
く、熱的あるいは機械的等種々の点で好ましいものであ
り、ガラス板の全周周縁部の膜境界部においても膜厚が
均一になるという効果をも奏するものである。
また、マスキング作業の効率が格段に向上するととも
に、可撓性部材も繰返し使用でき極めて経済的である。
に、可撓性部材も繰返し使用でき極めて経済的である。
図面は本発明の一実施例を示すものであり、第１図は可
撓性部材を周縁部にキャップしたガラス板を搬送架台上
に載置した斜視図、第２図は第１図のＡ−Ａ′部分の断
面図、第３図は成膜後のガラス板の斜視図、第４図は第
３図のＢ−Ｂ部分の部分拡大断面図である。１ ……搬送架台、２……基台、４……脚部材、6a、6b、6
c、6d……ガラス板支持部材、７……ガラス板、８……可
撓性部材、９……テーパー部
撓性部材を周縁部にキャップしたガラス板を搬送架台上
に載置した斜視図、第２図は第１図のＡ−Ａ′部分の断
面図、第３図は成膜後のガラス板の斜視図、第４図は第
３図のＢ−Ｂ部分の部分拡大断面図である。１ ……搬送架台、２……基台、４……脚部材、6a、6b、6
c、6d……ガラス板支持部材、７……ガラス板、８……可
撓性部材、９……テーパー部
Claims (1)
- 【請求項１】所要形状のガラス板周縁部の全周に着脱自
在な可撓性部材を嵌合せしめて、搬送架台の可撓性を有
するガラス板支持部材上に載置して膜を形成することを
特徴とする膜の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62157630A JPH0645480B2 (ja) | 1987-06-26 | 1987-06-26 | 膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62157630A JPH0645480B2 (ja) | 1987-06-26 | 1987-06-26 | 膜の形成方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH013035A JPH013035A (ja) | 1989-01-06 |
| JPS643035A JPS643035A (en) | 1989-01-06 |
| JPH0645480B2 true JPH0645480B2 (ja) | 1994-06-15 |
Family
ID=15653922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62157630A Expired - Lifetime JPH0645480B2 (ja) | 1987-06-26 | 1987-06-26 | 膜の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0645480B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH079856Y2 (ja) * | 1990-05-30 | 1995-03-08 | セントラル硝子株式会社 | 搬送用架台 |
| JPH0589334U (ja) * | 1992-05-22 | 1993-12-07 | セントラル硝子株式会社 | ガラス板の搬送台 |
| DE4307382A1 (de) * | 1993-03-09 | 1994-09-15 | Leybold Ag | Maske zum Abdecken des radial äußeren Bereichs einer scheibenförmigen Substratoberfläche |
| DE10006121C1 (de) | 2000-02-11 | 2001-05-23 | Sekurit Saint Gobain Deutsch | Verfahren zum Verhindern einer rückseitigen Beschichtung von starren, insbesondere gebogenen Scheiben und Verwendung einer Transportvorrichtung |
| JP4688373B2 (ja) * | 2001-09-18 | 2011-05-25 | 宇部興産株式会社 | ナイロン樹脂成形品の接着用継手及び接着方法 |
| WO2012090887A1 (ja) * | 2010-12-27 | 2012-07-05 | 淀川ヒューテック株式会社 | 板体の平置き載置用トレイ |
| FR3049943B1 (fr) * | 2016-04-06 | 2020-08-28 | Saint Gobain | Dispositif de convoyage et de maintien de feuilles de verre notamment dans une installation de lavage, et procede de mise en oeuvre |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0215261A3 (de) * | 1985-09-10 | 1989-07-05 | Balzers Aktiengesellschaft | Linsenhalterung, insbesondere Halterung für zu reinigende und nachfolgend zu beschichtende Brillenglaslinsen |
-
1987
- 1987-06-26 JP JP62157630A patent/JPH0645480B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS643035A (en) | 1989-01-06 |
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