JPH01303911A - 弾性表面波素子、その製造方法、及びそれを利用した装置 - Google Patents
弾性表面波素子、その製造方法、及びそれを利用した装置Info
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- JPH01303911A JPH01303911A JP13268788A JP13268788A JPH01303911A JP H01303911 A JPH01303911 A JP H01303911A JP 13268788 A JP13268788 A JP 13268788A JP 13268788 A JP13268788 A JP 13268788A JP H01303911 A JPH01303911 A JP H01303911A
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- Japan
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- surface acoustic
- acoustic wave
- propagation path
- interdigital electrode
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、良好な減衰極特性を有する弾性表面波素子、
その製造方法、及びそれを利用した装置に関する。
その製造方法、及びそれを利用した装置に関する。
従来１弾性表面波素子の減衰極特性を向上させろ方法と
して、例えば特開昭５６−３９’６１５号公報に記載さ
れているような、回路基板の入力線と２本の出力線の距
離を等しくして、入出力線間を直接伝搬する電極波（直
達波）を低減するなどの手段がある。
して、例えば特開昭５６−３９’６１５号公報に記載さ
れているような、回路基板の入力線と２本の出力線の距
離を等しくして、入出力線間を直接伝搬する電極波（直
達波）を低減するなどの手段がある。
上記従来の技術は直達波による減衰極特性の劣化には有
効であるが、一般に減衰極特性の劣化は上記直達波のみ
が原因ではなく、他に弾性表面波の回折現象、弾性表面
波以外のバルク波等のスプリアス波の影響を複雑に受け
ている。
効であるが、一般に減衰極特性の劣化は上記直達波のみ
が原因ではなく、他に弾性表面波の回折現象、弾性表面
波以外のバルク波等のスプリアス波の影響を複雑に受け
ている。
本発明は、上記のように複雑な原因で減衰極特性が劣化
した場合でも、それを補償し、良好な減衰極特性が得ら
れるようにする手段を提供することを目的とする。
した場合でも、それを補償し、良好な減衰極特性が得ら
れるようにする手段を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために本発明においては、弾性表面
波基板上に入出力すだれ状電極を配置し、素子の帯域内
特性を主として決定する弾性表面波の主伝搬路の他に補
助伝搬路を併設し、補助伝搬路の特性を、主伝搬路によ
って決定される減衰極周波数の信号を打ち消すように定
めることにした。
波基板上に入出力すだれ状電極を配置し、素子の帯域内
特性を主として決定する弾性表面波の主伝搬路の他に補
助伝搬路を併設し、補助伝搬路の特性を、主伝搬路によ
って決定される減衰極周波数の信号を打ち消すように定
めることにした。
既述の如く、一般に釉々の原因で減衰極特性は劣化する
。その状態では、減衰極特性では、種々のスプリアスの
合成により、一つの振幅と位相を有する信号が発生して
いる。そこで、別に補助伝搬路を設け、この伝搬路で形
成される信号を用（、て、前記の信号を打ち消すことに
より総合の減衰極特性を向上させろことが出来る。
。その状態では、減衰極特性では、種々のスプリアスの
合成により、一つの振幅と位相を有する信号が発生して
いる。そこで、別に補助伝搬路を設け、この伝搬路で形
成される信号を用（、て、前記の信号を打ち消すことに
より総合の減衰極特性を向上させろことが出来る。
第１図は本発明の第１実施例を模式的に示す図である。
弾性表面波基板１上に入力すだれ状１極２と出力すだれ
状電極３及び入出力の直達波を抑圧する斜めに匝４を設
けである。入出力電極の両側には基板端面からの反射波
を防止するための吸音剤５を塗布しである。第１実施例
は国内ＴＶ受信機用ＩＦフィルタであり、入力すだれ状
電極２は正規型で開口を１５００μフルとし、出力すだ
れ状電極３はｌ１ｉｉＩ口重み付電極で最大開口を１０
００μｍとした。
状電極３及び入出力の直達波を抑圧する斜めに匝４を設
けである。入出力電極の両側には基板端面からの反射波
を防止するための吸音剤５を塗布しである。第１実施例
は国内ＴＶ受信機用ＩＦフィルタであり、入力すだれ状
電極２は正規型で開口を１５００μフルとし、出力すだ
れ状電極３はｌ１ｉｉＩ口重み付電極で最大開口を１０
００μｍとした。
図示したように主伝搬路７と補助伝搬路６を分離し、主
伝搬路７に′Ｊｄける入力すだれ状電極部１０の励振源
対数を１５ダ］、出力すだｉＬ秋電電極部１１励振源７
・］数を６０対とした。また補助伝搬路６における入力
すだれ状電極部８の励振源２」数を＋ ４７ｊ、出力す
だれ状電極部９の励振源対数を５７・Ｊとした。弾性表
面波基板１は１２８度Ｙ −Ｘ Ｌ ｉ ＮｂＪを用い
た。
伝搬路７に′Ｊｄける入力すだれ状電極部１０の励振源
対数を１５ダ］、出力すだｉＬ秋電電極部１１励振源７
・］数を６０対とした。また補助伝搬路６における入力
すだれ状電極部８の励振源２」数を＋ ４７ｊ、出力す
だれ状電極部９の励振源対数を５７・Ｊとした。弾性表
面波基板１は１２８度Ｙ −Ｘ Ｌ ｉ ＮｂＪを用い
た。
第２図は上記試料の振幅周波数特性を示している。
実線１２は主伝搬路７の特性である。図示したように主
伝搬路では、下隣接音声トラップ（ｆ＝６０．２５ＭＩ
Ｉｚ ）の減衰度が劣化している。破線１３は補助伝搬
路を設けた時の特性であり、上記トラップでの減衰度が
５ｄＢ向上して℃・る。
伝搬路では、下隣接音声トラップ（ｆ＝６０．２５ＭＩ
Ｉｚ ）の減衰度が劣化している。破線１３は補助伝搬
路を設けた時の特性であり、上記トラップでの減衰度が
５ｄＢ向上して℃・る。
ここで減衰極特性の向上のための補助伝搬路の信号の条
件を定める。主伝搬路の減衰極周波数ωにおける信号の
振幅をＡ１、位相を０、補助伝搬路の上記周波数での信
号の振幅をＡ７、上記信号との位相差を−とすると、合
成信号Ｓは Ｓ＝Ａ Ｉ ａｓ（ω ｔ ＋０ ）＋、４．ｃｏ
ｓ （ω ｔ ＋ ０ ＋ ｐ ） ・−
−−−（１）と表わされる。上式を整理すると、 Ｓ＝ Ａ、”＋Ａ、２＋２Ａ、Ａ２ｃｍＰ ｓｍ （
ωを十〇＋ｃｘ ） 、、、、、、 １４ｉと表わさ
れる。従って合成信号の振幅ＡはＡ−ＡＨ” ＋Ａ２”
＋２ Ａ１Ａ２ Ｃ０５ｌ’ ””” （”とな
る。元の信号振幅（主伝搬路の信号振幅）Ａ１より上式
が小さくなる条件は Ａｔ ＞ Ａ１” ＋Ａ、２＋ ２ＡＩ Ａｔユφ
・・・・・・・・・・・・・・・（５）となり、更にＡ
２／−４１−ａ として整理すると、’＞ １十ａ”
＋２ａｃｏｓ−・・・・・・・・・・・・・・・ ＋６
１となる。
件を定める。主伝搬路の減衰極周波数ωにおける信号の
振幅をＡ１、位相を０、補助伝搬路の上記周波数での信
号の振幅をＡ７、上記信号との位相差を−とすると、合
成信号Ｓは Ｓ＝Ａ Ｉ ａｓ（ω ｔ ＋０ ）＋、４．ｃｏ
ｓ （ω ｔ ＋ ０ ＋ ｐ ） ・−
−−−（１）と表わされる。上式を整理すると、 Ｓ＝ Ａ、”＋Ａ、２＋２Ａ、Ａ２ｃｍＰ ｓｍ （
ωを十〇＋ｃｘ ） 、、、、、、 １４ｉと表わさ
れる。従って合成信号の振幅ＡはＡ−ＡＨ” ＋Ａ２”
＋２ Ａ１Ａ２ Ｃ０５ｌ’ ””” （”とな
る。元の信号振幅（主伝搬路の信号振幅）Ａ１より上式
が小さくなる条件は Ａｔ ＞ Ａ１” ＋Ａ、２＋ ２ＡＩ Ａｔユφ
・・・・・・・・・・・・・・・（５）となり、更にＡ
２／−４１−ａ として整理すると、’＞ １十ａ”
＋２ａｃｏｓ−・・・・・・・・・・・・・・・ ＋６
１となる。
次に第２実施例を第３図、第４図により説明する。第３
図は第２実施例を模式的に示すもので、図中、電極は線
で示しである。一般にＴＶ受信機のＩＦフィルタに必要
なトラップは二つ（下隣接音声トラップｆｌ−６０，２
５ＪｆＨｚと、上隣接映像トラップｌｘ −５２，７！
ｌ＋ＭＨｚ ）ある。第２実施例では夫々のトラップに
対応した補助伝搬路６．６′を設け、夫々出力すだれ状
電極部１４．１４′、１５．１５′設けている。
図は第２実施例を模式的に示すもので、図中、電極は線
で示しである。一般にＴＶ受信機のＩＦフィルタに必要
なトラップは二つ（下隣接音声トラップｆｌ−６０，２
５ＪｆＨｚと、上隣接映像トラップｌｘ −５２，７！
ｌ＋ＭＨｚ ）ある。第２実施例では夫々のトラップに
対応した補助伝搬路６．６′を設け、夫々出力すだれ状
電極部１４．１４′、１５．１５′設けている。
１４．１４′及び１５．１５′の間の距離りは上記トラ
ップ周波数において、夫々の相手側の補助伝搬路特性が
影響を与えないように以下の式で定めた。
ップ周波数において、夫々の相手側の補助伝搬路特性が
影響を与えないように以下の式で定めた。
ここで、ルは自然数、ｆｏはフィルタの中心周波数、ハ
は下隣接音声トラップ周波数、ｆ、は上隣接映像トラッ
プ周波数、λは中心周波数での弾性表面波の波長である
。第４図は上記試料の振幅周波数特性である。実線１２
は第２図と同様に主伝搬路の特性である。また補助伝搬
路６の特性を実線１７、補助伝搬路６′の特性を破線１
６で示している。夫々相手側のトラップ周波数で極小値
となり、影響を与えていない。総合周波数特性は一点鎖
線１８で示すようになり、夫々のトラップ周波数で５ｄ
Ｂ程度の改善効果が得られている。本実施例は減衰極が
複数個ある場合に有効である。
は下隣接音声トラップ周波数、ｆ、は上隣接映像トラッ
プ周波数、λは中心周波数での弾性表面波の波長である
。第４図は上記試料の振幅周波数特性である。実線１２
は第２図と同様に主伝搬路の特性である。また補助伝搬
路６の特性を実線１７、補助伝搬路６′の特性を破線１
６で示している。夫々相手側のトラップ周波数で極小値
となり、影響を与えていない。総合周波数特性は一点鎖
線１８で示すようになり、夫々のトラップ周波数で５ｄ
Ｂ程度の改善効果が得られている。本実施例は減衰極が
複数個ある場合に有効である。
第５図は本発明の第３実施例を模式的に示す。
第２実施例と同様に補助伝搬路を２個所膜け、夫々に出
力すだれ状電極部１９．１９′、２０．２０′を配置し
ている。また１９．１９′及び２０．２０′の距離をＬ
′とし、その値は（７）式を用いて定めた。第２実施例
では補助伝搬路の出力すだれ状電極部１４．１５を入力
側に配置しているため、その電極により主伝搬路の特性
が変化し易いという欠点がある。第３実施例では上記電
極部を、図示の如く入力側とは反対側に配置し、上記欠
点を改善している。
力すだれ状電極部１９．１９′、２０．２０′を配置し
ている。また１９．１９′及び２０．２０′の距離をＬ
′とし、その値は（７）式を用いて定めた。第２実施例
では補助伝搬路の出力すだれ状電極部１４．１５を入力
側に配置しているため、その電極により主伝搬路の特性
が変化し易いという欠点がある。第３実施例では上記電
極部を、図示の如く入力側とは反対側に配置し、上記欠
点を改善している。
第６図は本発明の第４実施例を模式的に示す。
補助伝搬路６．６′における出力すだれ状電極２１．２
１′、２２．２２′を主伝搬路のすだれ状電極の電極指
延長方向に配置した。一般に弾性表面波フィルタでは回
折効果抑圧のため、入出力すだれ状電極の開口を異なら
せる事が多い。本実施例ではそれを利用し、出力すだれ
状電極で今まで受からない部分を補助伝搬路として用い
たものである。第３実施例では入力すだれ状電極と反対
の側に補助伝搬路の出力すだれ状電極を設けているため
、ナツプ ４サイズが伸びて大きくなる。第４実施例で
はチップサイズを大きくせずにトラップ特性を改善する
ことができる。
１′、２２．２２′を主伝搬路のすだれ状電極の電極指
延長方向に配置した。一般に弾性表面波フィルタでは回
折効果抑圧のため、入出力すだれ状電極の開口を異なら
せる事が多い。本実施例ではそれを利用し、出力すだれ
状電極で今まで受からない部分を補助伝搬路として用い
たものである。第３実施例では入力すだれ状電極と反対
の側に補助伝搬路の出力すだれ状電極を設けているため
、ナツプ ４サイズが伸びて大きくなる。第４実施例で
はチップサイズを大きくせずにトラップ特性を改善する
ことができる。
第７図は本発明の第５実施例を模式的に示す。
補助伝搬路には出力すだれ状電極部２３．２６′が形成
され、主伝搬路の出力すだれ状電極部とモノリシックに
形成された容量素子２４を介して電気的に接続されてい
る。一般に補助伝搬路の信号は小さいため、設計した信
号と異なる信号が発生する可能性が太きい。そこで本実
施例では、素子を作成した後で其の調整を行う。即ち、
容量素子２４の電極を破線２５に沿ってレーザビーム又
は超音波カッタを用いて切除して調整を行い、目標を満
足する振幅とする。従って不良品の発生が少なくなり、
歩留向上に効果がある。
され、主伝搬路の出力すだれ状電極部とモノリシックに
形成された容量素子２４を介して電気的に接続されてい
る。一般に補助伝搬路の信号は小さいため、設計した信
号と異なる信号が発生する可能性が太きい。そこで本実
施例では、素子を作成した後で其の調整を行う。即ち、
容量素子２４の電極を破線２５に沿ってレーザビーム又
は超音波カッタを用いて切除して調整を行い、目標を満
足する振幅とする。従って不良品の発生が少なくなり、
歩留向上に効果がある。
以上説明したように本発明によれば、減衰極特性の改善
に効果があり、素子の性能向上、歩留向上、システムの
性能向上の効果が得られる。
に効果があり、素子の性能向上、歩留向上、システムの
性能向上の効果が得られる。
第１図は本発明の第１実施例の模式図、第２図は第１実
施例の振幅周波数特性図、第３図は第２実施例の模式図
、第４図は第２実施例の振幅周波数特性図、第５図は第
３実施例の模式図、第６図は第４実施例の模式図、第７
図は第５実施例の模式図である。 ２・・・・・・・・・・・・入力すだれ状電極３・・・
・・・・・・・・・出力すだれ状電極６・・・・・・・
・・・・・補助伝搬路 ７・・・・・・・・・・・
主伝搬路１４．１４′、１５．１５′、１９．１９′、
２０．２０′、２１．２１′、２２．２２′、２３．２
３′・・・・・・・・補助伝搬路におけろ出力すだれ状
電極部 ５ｆｌｉ１図 竿２図 周 濃 ４シし （ＭＨＩン 〒５図 〒４図 ５１．５ ５３．５ ５５．５ ５１，５ ５
３．５ Ｇ＋、５周 ｉ数 （閃Ｈ７） 〒５図 Ｕ ４６図
施例の振幅周波数特性図、第３図は第２実施例の模式図
、第４図は第２実施例の振幅周波数特性図、第５図は第
３実施例の模式図、第６図は第４実施例の模式図、第７
図は第５実施例の模式図である。 ２・・・・・・・・・・・・入力すだれ状電極３・・・
・・・・・・・・・出力すだれ状電極６・・・・・・・
・・・・・補助伝搬路 ７・・・・・・・・・・・
主伝搬路１４．１４′、１５．１５′、１９．１９′、
２０．２０′、２１．２１′、２２．２２′、２３．２
３′・・・・・・・・補助伝搬路におけろ出力すだれ状
電極部 ５ｆｌｉ１図 竿２図 周 濃 ４シし （ＭＨＩン 〒５図 〒４図 ５１．５ ５３．５ ５５．５ ５１，５ ５
３．５ Ｇ＋、５周 ｉ数 （閃Ｈ７） 〒５図 Ｕ ４６図
Claims (9)
- １．弾性表面波基板上に入出力すだれ状電極を配置し、
素子の帯域内特性を主として決定する弾性表面波の主伝
搬路の他に補助伝搬路を併設し補助伝搬路の特性を、主
伝搬路によって決定される減衰極周波数の信号を打ち消
すように定めたことを特徴とする弾性表面波素子。 - ２．減衰極周波数における補助伝搬路の信号振幅の主伝
搬路の信号振幅に対する比をα、且つ両伝搬路の信号の
位相差をφとしたとき次式 １＞√（１＋α＾２＋２αｃｏｓφ） を満足するように電極を配設したことを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の弾性表面波素子。 - ３．減衰極が複数個ある場合、補助伝搬路を減衰極の個
数だけ配設したことを特徴とする特許請求の範囲第２項
記載の弾性表面波素子。 - ４．補助伝搬路の一方のすだれ状電極の交差部分を、相
対する他方のすだれ状電極と反対の側に配置したことを
特徴とする特許請求の範囲第２項記載の弾性表面波素子
。 - ５．補助伝搬路の一方のすだれ状電極の交差部分を、主
伝搬路の交差部分の電極指延長方向に配設したことを特
徴とする特許請求の範囲第２項記載の弾性表面波素子。 - ６．特許請求の範囲第１項記載の弾性表面波素子の、主
伝搬路のすだれ状電極と補助伝搬路のすだれ状電極の間
に、結合率を変化させ得る可変電気素子を挿入し、この
素子の値を製作時に変えて、補助伝搬路と主伝搬路の減
衰極周波数における信号振幅比αを変化させることによ
り、素子の減衰極特性を向上させるようにしたことを特
徴とする弾性表面波素子の製造方法。 - ７．上記可変電気素子を同一弾性表面波基板上に設けた
容量パターンとし、このパターンをレーザビーム又は超
音波カッタにより切除して調整を行うようにしたことを
特徴とする特許請求の範囲第６項記載の弾性表面波素子
の製造方法。 - ８．特許請求の範囲第１項記載の弾性表面波素子を利用
した通信装置。 - ９．特許請求の範囲第１項記載の弾性表面波素子を利用
したテレビジョン受信機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13268788A JPH01303911A (ja) | 1988-06-01 | 1988-06-01 | 弾性表面波素子、その製造方法、及びそれを利用した装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13268788A JPH01303911A (ja) | 1988-06-01 | 1988-06-01 | 弾性表面波素子、その製造方法、及びそれを利用した装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01303911A true JPH01303911A (ja) | 1989-12-07 |
Family
ID=15087182
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13268788A Pending JPH01303911A (ja) | 1988-06-01 | 1988-06-01 | 弾性表面波素子、その製造方法、及びそれを利用した装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01303911A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7061346B2 (en) * | 2001-04-30 | 2006-06-13 | Epcos Ag | Transversal filter comprising an improved notch characteristic curve |
-
1988
- 1988-06-01 JP JP13268788A patent/JPH01303911A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7061346B2 (en) * | 2001-04-30 | 2006-06-13 | Epcos Ag | Transversal filter comprising an improved notch characteristic curve |
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