JPH01307493A

JPH01307493A - 銅めっき廃液の処理法

Info

Publication number: JPH01307493A
Application number: JP13864688A
Authority: JP
Inventors: Tomoji Takura; 田蔵　友治; Akihiro Tsukada; 明宏塚田; Hatsue Uchida; 内田　初江
Original assignee: Hitachi Condenser Co Ltd
Current assignee: Lincstech Circuit Co Ltd
Priority date: 1988-06-06
Filing date: 1988-06-06
Publication date: 1989-12-12

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、めっき工場や印刷配線板￥Ｊ造工場から排出
される銅成分を含有する廃液の処理法に関する。

従来の技術従来、銅めっき廃液を中性及至弱アルカリ性に調整して
、水酸化銅として沈澱分離する方法が公知である。この
方法は安価な処理方法であるが、銅キレート等を含むア
ルカリ性の廃液には適用できず、さらに水酸化銅が水に
微溶性であるため、ｔＩｉ４濃度を２００　ＰＰＭ以下
に処理することはできなかった。

また、別の従氷方法として、ホルマリン等の還元剤を用
い廃液を高温まで加熱し、銅イオンを金属銅に還元Ｊる
方法が公知であるが廃液を加熱するため、処理作業性が
悪く、処理コストが高くなるという問題がある。

発明が解決しようとする課題本発明は、銅めっき廃液の処理方法において、従来方法
より安価で、かつ処理作業性に優れた方法を提供するこ
とを目的とする。

課題を解決するための手段本発明の銅めっき廃液の処理法は、銅めっき廃液にシュ
ウ酸を添加し、シュウＭ銅を生成せしめ、銅をシ〕つ酸
銅の沈澱物として分離処理する方法である。

また、シ１つ酸を用いる場合のほか、炭酸塩及びケイ酸
塩を用いることがよい。

銅塩を含有づる廃液に、あらかじめ酸性（Ｐ　ｌ−１−
６，５以下）に調整した襖、シュウ酸を添加づる。また
シュウ酸塩を添加した後、＆ｒＥ灰、苛性ソーダ等のア
ルカリを添加し、アルカリ性（Ｐ　Ｈ−１２〜１３）に
調整し、青色沈澱物をアルカリ状態で分離した後、再び
酸で中和することにより、銅の除去率を高くすることが
できる。シュウ酸の添加量は！ｉｉ４濃度１１０００Ｐ
Ｐの廃液１１に対し、シュウ酸を０．１５モル以上添加
することにより、銅濃度を２　ＰＰＭ以下にすることが
できる。

また、シ１つ酸に代え炭酸塩を用いるとよい。

炭Ｐａ塩としては、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム
、炭酸バリウム等のアルカリ土類金属の炭酸塩が特に好
ましく、炭酸リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム
等のアルカリ金属の炭酸塩及び炭酸アンモニウム等があ
る。酸性の廃液に炭酸塩を添加するとき、ＰＨ＝３．５
以下では、炭１％！塩が急激に分解、天吊の泡が発生す
るので、反応槽から泡が吹き出す危険性があるので、Ｐ
　ｌ−１＝　３　。

５以下の酸性の廃液は、炭ｉ’ｉｌｊ！ｉ、を添加する
曲に、アルカリを添加しＰＨ＝４〜５に調整しておくこ
とがよい。炭酸塩の添加量は、廃液の銅濃度によって変
化させるが、銅濃度１１０００ＰＰの廃液１１に対し、
炭酸塩を０．０８モル以上添加すれば処理液の銅濃度を
Ｉ　ＰＰＭ以下にすることができる。

さらに、シュウ酸に代えケイ酸塩を用いるとよい。ケイ
酸塩としては、ケイ酸リチウム、ケイ酸ソーダ、ケイ酸
カリウム等のアルカリ金属のケイＭ塩が特に好ましく、
その他ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシウム、ケイ酸
バリウム等のアルカリ土類金属のケイ酸Ｊｎ及びケイ酸
アンモニウム等がよい。ケイ酸塩の添加量は、廃液中に
含有される銅濃度によって変化させるが、銅濃度１１０
００ＰＰの廃液１１に対し、ケイ酸塩を０．０４モル以
上添加することにより、処理液の銅′ａ度を０゜５　Ｐ
ＰＭ以下にすることができる。

作用木１１明の銅めっき廃液の処理法は安価な処理費で実施
でき、処理作業性に優れるという特徴を有している。

本発明の処理法は、生物処理を必要とするＥＩ′）１Ａ
、フェノール、有機酸、界面活性剤等の有機物を含有１
Ｊる廃液の処理方法として好適である。

これらの有機物の吸着除去能力が高く、銅と有機物を同
時に除去することがでさるために処理液のＢＯＤ、ＣＯ
Ｄが小さくなり、生物処理が容易になる。

実施例本発明の詳細な説明する。

実施例１ＥＤＩＡ１１度２６ｇ／ｌ、８濃度１２００ＰＰＭ。

Ｃｏｔ）８０００ＰＰＭを含有するＰＨ＝１１のめっき
廃液１１にシュウ酸を所定量添加し、３０分間攪拌する
。その後硝石灰を添加し、ＰＨ＝’１２゜５に調整し、
さらに３０分間攪拌する。生成した青色沈澱物を分離し
た処理液の銅′ａ度を表１に示す。

表１の結果から、シュウ酸の添加量が多くなるほど、処
理液の温度が低下し、銅濃度１２００ＰＰＭの廃液では
、０．１５モル以上、シュウ酸を添加することにより、
処理液の銅濃度が２　ＰＰＭ以下になることがわかる。

実施例２ＥＤＴＡ瀧度−２０’ｊ／１．１ｉＪ濃度−１２００Ｐ
ＰＭ　、ＣＯＤ＝８０００ＰＰＭを含有するＰ　Ｈ＝１
１のメッキ液廃液１１１を前もって硫酸を添ｈｌシて、
ＰＨ＝４の酸性に調整し、シュウ酸を所定量添加し、３
０分間攪拌する。その後硝石灰を添加し、ＰＩ−１＝１
２．５のアルカリ性に調整し、３０分間攪拌を行う。生
成した青色の沈澱物を分離した処理液の銅濃度及びＣＯ
Ｄ値を表２に示す。

表２　酸性化前処狸後、シュウ酸処理を行った時の処理
液の銅′ａ度とＣＯＤ値実施例１と実施例２の実験に使
用した廃液は、同一であるが、表２より、前もって廃液
を酸性に調整することにより、処理液のｌｉ１濃度をさ
らに低下することができ、処理液のＣＯＤ値も８０００
ＰＰＭから１００ＯＰＰＨに大きく低下することが判る
。

実施例３ＥＤＩＡ濃度＝１７ｇ／ｌ、銅濃度＝１１００ＰＰＭ　
、ＣＯＤ＝６８００ＰＰＭを含有するＰＨ＝１０．６の
廃液を、６Ｍ　　８ｆｆｉの回転羽根の設置された反応
槽に５Ｍ’入れ、攪拌しながら４５％硫酸を添加し、Ｐ
Ｈ＝４に調整する。その後シュウ酸を７５Ｎｙ添加し、
１時間攪拌を行う。その後、硝石法２０Ｋｙを添加し、
さらに１時間攪拌を行った後、２５％苛性ソーダを添加
し、’ＰＨ＝１２゜５に調整し、さらに３０分間攪拌を
続ける。

その後、攪拌を停止し、反応処理済廃液を沈澱槽に移し
、青色沈澱物と上澄みを分離させる。青色沈澱物は、カ
ゴ型遠心分ｗｉ機で分＠する。

このようにして処理した処理液の銅濃度は、０．２２Ｐ
ＰＭ　、ＣＯＤは１１６０ＰＰ１４　、　ＥＤＴＡ濃度
は０．０５ｑ／Ｉである。

実施例１１ＥＤ１’Ａ濃度＝２６ｇ／ＩＳ銅濃度−１２００ＰＰＭ
　、ＣＯＤ＝８０００ＰＰＭを含むＰＨ＝１１のメッキ
液廃液を１１１に炭酸塩を所定量添加し、３０分間攪拌
した後、硝石法でＰＨ＝１２．５まで調整し、さらに３
０分間攪拌する。生成した青色の沈澱物を分離した処理
液の！ｌｉ４濃度を表１１に示す。

表１１の結果から、炭酸塩の中で炭酸カルシウム（Ｃａ
ＣＯ３）の銅除去能力が高いことが判る。

実施例１２ＥＤＴＡＩ！反＝２６ｇ＃、銅濃度＝１２００ＰＰＭ　
、ＣＯＤ＝８０００ＰＰＭを含むＰＨ＝１１のメッキ液
廃液を１１を前もって硫酸を添加してＰ）−１＝　４の
酸性に調整し、炭酸カルシウムを所定量添加し、３０分
間攪拌する。その後、硝石法を添加し、ＰＨ＝１２．５
のアルカリ性に調整し、３０分間攪拌を行う。生成した
青色の沈澱物を分離した処理液の銅濃度及びＣＯＤ値を
表１２にホブ。

表１２　前もって酸性化処理し、炭酸カルシウム処理を
行った時の処理液の銅ｍ度とＣＯＤ値実施例１１と実施
例１２の実験に使用した廃液は同一であるが、表１２よ
り、前もって廃液を酸性に調整することにより、処理液
の銅濃度をさらに低下することができ、銅の除去率が高
いことが判る。また、Ｃ０Ｄ＝８０００ＰＰ１４の廃液
が約１１０００ＰＰまで低下することが判る。

実施例１３Ｅ　Ｄ　Ｔ　Ａ濃度＝２６９／ｉ　′ＩＰ４濃度＝１２
００ＰＰＭ　１ＣＯＤ＝８０００ＰＰＭを含むＰＨ＝１
１の廃液を、６Ｍ　の回転羽根の設置された反応槽に５
Ｍ’入れ、攪拌しながら４５％硫酸を添加し、ＰＩＩ＝
４に調整する。その後、炭酸カルシウムを６（ｌｙ添加
し、１時間攪拌を行う。その後、硝石法２０Ｋｙを添加
し、さらに１時間攪拌を行った後、２５％苛性ソーダを
添加し、ＰＨ＝１２．５に調整し、さらに３０分間攪拌
を続ける。

その後、攪拌を停止し、反応処理済廃液を沈澱槽に移し
、青色沈澱物と上澄みを分離させる。青色沈澱物は、カ
ゴ型遠心分離機で分離する。

このようにして処理した処理液の銅濃度は、０．１８Ｐ
ＰＭ　、ＣＯＤは１３６０ＰＰＭ、Ｅ［）ＴＡ濃度は０
．０Ｂｇ／ｌである。

実施例２１ＥＤＴＡ漠度＝２ｆ３ｇ／ｌ、銅濃度＝１２００ＰＰＭ
　ＳＣｏｔ）＝８０００ＰＰＭを含有するＰＨ＝１１の
メッキ液廃液を１１にケイ酸塩を所定量添加し、１時間
攪拌する。その複鎖石灰を添加し、ＰＨ＝１２．５に調
整し、さらに３０分間攪拌する。生成した青色沈澱物を
分離した処理液の銅濃度を表２１に示す。

表２１の結果から、ケイ酸の中でアルカリ金属のケイ酸
塩である、ケイ酸ソーダ、ケイ酸リチウム、ケイ酸カリ
ウムの銅除去能力が特に高いことが判る。

実施例２２Ｅ　Ｄ　Ｔ　Ａ濃度＝２０ｇ／ｌ、銅濃度＝１２００Ｐ
ＰＭ　、ＣＯＤ＝８０００ＰＰＭを含有するＰ　ｌ−１
−１１のメッキ液廃液１１を前もってＩａＭを添加して
、ＰＨ＝４の酸性に調整し、ケイ酸ソーダ（８水塩）を
所定量添加し、１時間攪拌する。その後蛸石灰を添加し
、ＰＩ−１＝１２．５のアルカリ性に調整し、３０分間
攪拌を行う。生成した青色の沈澱物を分離した処理液の
銅濃度及びＣＯＤ値を表２２に示ず。

表２２　前もって酸性化処理し、ケイ酸ソーダ処理を行
った時の処理液の銅濃度とＣＯＤ値実施例２１と実施例
２２の実験に使用した廃液は同一であるが、表２２より
、前もって廃液を酸性に調整することにより、処理液の
銅濃度をさらに低下することができ、銅の除去率が高い
ことが判る。

また、ＣＯＤ　＝　８０００　ＰＰＭの廃液が約７００
〜１１０００ＰＰまで低下することが判る。

実施例２３ＥＤＴＡ濃度＝１７ｇ／ｌ銅濃度＝１８００ＰＰＭ　、
ＣＯＤ＝６５００ＰＰＭを含むＰ　Ｈ＝　１０　。

８の廃液を６Ｍ３容吊の回転羽根の設置された反応槽に
５Ｍ’入れ、攪拌しながら４５％硫酸を添加し、Ｐ　Ｈ
＝　４に調整する。その後、ケイ酸ソーダ（８水塩）を
６０Ｋｇ添加し、１時間攪拌を行う。

その後、硝石法２０ｈを添加し、さらに１時間攪拌を行
った後、２５％苛性ソーダを添加し、Ｐ　）−１＝１２
．５に調整し、さらに３０分間撹拌を続ける。

その後、攪拌を停止し、反応処理済廃液を沈澱槽に移し
、青色沈澱物と上澄みを分離させる。青仏法澱物は、カ
ゴ型遠心分離機で分離する。

このようにして処理した処理液の銅濃度は、０゜０９Ｐ
ＰＩ４．ＣＯＤは６８０ＰＰＭ　、ＥＤＴＡ澹度は０．
０４び／１である。

発明の効宋本発明の銅めっき廃液の処理法は、安価な処理費で、処
理作業も簡単に行うことができ、かつ生物処理も容易に
行なうことができる発明である。

特許出願人　日立コンデンサ株式会社

Claims

【特許請求の範囲】

（１）銅めっき廃液にシユウ酸を添加し、シュウ酸銅を
生成せしめ、銅をシュウ酸銅の沈澱物として分離するこ
とを特徴とする銅めつき廃液の処理法。
（２）銅めつき廃液を酸性に調整後、シュウ酸を添加し
酸性で反応せしめた後、アルカリを添加し、アルカリ性
でシュウ酸銅を沈澱物として分離することを特徴とする
銅めっき廃液の処理法。
（３）銅めつき廃液にケイ酸塩を添加し、水に不溶性の
ケイ酸銅を生成せしめ、銅をケイ酸銅の沈澱物として分
離することを特徴とする銅めっき廃液の処理法。
（４）銅めっき廃液に炭酸塩を添加し、水に不溶性の炭
酸銅を生成せしめ、銅を炭酸銅の沈澱物として分離する
ことを特徴とする銅めっき廃液の処理法。