JPH01307539A - 制振支持構造 - Google Patents
制振支持構造Info
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- JPH01307539A JPH01307539A JP63140288A JP14028888A JPH01307539A JP H01307539 A JPH01307539 A JP H01307539A JP 63140288 A JP63140288 A JP 63140288A JP 14028888 A JP14028888 A JP 14028888A JP H01307539 A JPH01307539 A JP H01307539A
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- vibration
- air
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- device mounting
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/50—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for positioning, orientation or alignment
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/0032—Arrangements for preventing or isolating vibrations in parts of the machine
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
- F16F15/023—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means
- F16F15/027—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means comprising control arrangements
- F16F15/0275—Control of stiffness
-
- G—PHYSICS
- G12—INSTRUMENT DETAILS
- G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G12B5/00—Adjusting position or attitude, e.g. level, of instruments or other apparatus, or of parts thereof; Compensating for the effects of tilting or acceleration, e.g. for optical apparatus
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/0061—Tools for holding the circuit boards during processing; handling transport of printed circuit boards
- H05K13/0069—Holders for printed circuit boards
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- Buildings Adapted To Withstand Abnormal External Influences (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、地震に起因する振動とか、自動車等に起因し
て発生される微振動などの振動を構造体の床等の支持体
から受け、それに起因して、ＬＳＩ製造工場やレーザ一
応用製品工場などにおける半導体やプリント基板といっ
た超精密製品を製造する製造装置を載置する装置載置台
が振動することを防止するように構成した制振支持構造
に関する。
て発生される微振動などの振動を構造体の床等の支持体
から受け、それに起因して、ＬＳＩ製造工場やレーザ一
応用製品工場などにおける半導体やプリント基板といっ
た超精密製品を製造する製造装置を載置する装置載置台
が振動することを防止するように構成した制振支持構造
に関する。
〈従来の技術〉
ＬＳＩ製造工場やレーザ一応用製品工場などでは、微振
動によっても製品の不良発生を招くため、それらの振動
を抑制することが必要であり、従来では、製造装置を載
置する装置載置台等と構造体の床等の支持体との間に、
積層ゴムと空気バネといったバネ要素を介在し、それら
のバネ要素によって装置載置台を弾性支持し、振動によ
る衝撃を緩和しながら微振動を効率良く吸収するように
構成していた。
動によっても製品の不良発生を招くため、それらの振動
を抑制することが必要であり、従来では、製造装置を載
置する装置載置台等と構造体の床等の支持体との間に、
積層ゴムと空気バネといったバネ要素を介在し、それら
のバネ要素によって装置載置台を弾性支持し、振動によ
る衝撃を緩和しながら微振動を効率良く吸収するように
構成していた。
〈発明が解決しようとする課題〉
しかしながら、装置載置台に伝播する振動を緩和できる
ものの、その振動を無くすことはできないものであった
。
ものの、その振動を無くすことはできないものであった
。
そこで、補助質量を付設するとともに、油圧シリンダな
どのダンパーを設け、装置載置台が振動しないようにし
たものもあるが、補助質量やダンパーを設けるために装
ｚｉｚ台が大型化する欠点があり、また、装置載置台の
重量が増大し、それらを弾性支持する構成に強度が要求
される欠点がある。
どのダンパーを設け、装置載置台が振動しないようにし
たものもあるが、補助質量やダンパーを設けるために装
ｚｉｚ台が大型化する欠点があり、また、装置載置台の
重量が増大し、それらを弾性支持する構成に強度が要求
される欠点がある。
また、ダンパーは、油の粘性により減衰力を調整するも
のであるから、微少振動では粘性が大きく、装置載置台
の防振性能を劣化させる問題を生じる。
のであるから、微少振動では粘性が大きく、装置載置台
の防振性能を劣化させる問題を生じる。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、地震に起因する振動とか、自動車等に起因して発生
される微振動などが床やそれに載置される装Ｗ！３！置
台に伝播することを、装置載置台を大型化することなく
、かつ、装置載置台に載置される機器の重量などに対応
させて極めて有効に抑制できるようにすることを目的と
する。
て、地震に起因する振動とか、自動車等に起因して発生
される微振動などが床やそれに載置される装Ｗ！３！置
台に伝播することを、装置載置台を大型化することなく
、かつ、装置載置台に載置される機器の重量などに対応
させて極めて有効に抑制できるようにすることを目的と
する。
〈課題を解決するための手段〉
本発明の制振支持構造は、このような目的を達成するた
めに、固定部に、水平方向に変位可能に支持台を吊り下
げ支持するとともに、その支持台に複数の支持部材を介
して装置載置台を設け、前記支持台と前記支持部材との
間、前記支持部材どうしの間、および、前記支持部材と
前記装置載置台との間それぞれに空気バネを介在すると
ともに、それらの空気バネの少なくとも一個を作用状態
と非作用状態とに切換える固定機構を設け、かつ、前記
固定部と前記装置８８台とを、水平方向で互いに直交す
る二方向および鉛直方向それぞれの方向に作用するリニ
アモータを介して連動連結し、前記装置載置台に振動セ
ンサを付設するとともに、その振動センサによる検出結
果に基づき、振動を打ち消すようにリニアモータを作動
する制御装置を備えて構成する。
めに、固定部に、水平方向に変位可能に支持台を吊り下
げ支持するとともに、その支持台に複数の支持部材を介
して装置載置台を設け、前記支持台と前記支持部材との
間、前記支持部材どうしの間、および、前記支持部材と
前記装置載置台との間それぞれに空気バネを介在すると
ともに、それらの空気バネの少なくとも一個を作用状態
と非作用状態とに切換える固定機構を設け、かつ、前記
固定部と前記装置８８台とを、水平方向で互いに直交す
る二方向および鉛直方向それぞれの方向に作用するリニ
アモータを介して連動連結し、前記装置載置台に振動セ
ンサを付設するとともに、その振動センサによる検出結
果に基づき、振動を打ち消すようにリニアモータを作動
する制御装置を備えて構成する。
〈作用〉
上記構成によれば、地震や微振動等に起因して固定部が
振動すると、水平方向では、固定部の振動とは遅れた状
態で、吊り下げ支持された支持台に伝播させ、そして、
鉛直方向では、３個以上の空気バネにより、順次振動を
緩和しながら微振動を吸収していき、それら３個以上の
空気バネにより、最終的には、長い周期の振動を装置！
！２置台に伝播させるようにし、その長い周期の振動を
振動センサで検出し、その検出された振動に基づいてリ
ニアモータを作動し、装置載置台に振動が伝播すること
を抑制することができる。
振動すると、水平方向では、固定部の振動とは遅れた状
態で、吊り下げ支持された支持台に伝播させ、そして、
鉛直方向では、３個以上の空気バネにより、順次振動を
緩和しながら微振動を吸収していき、それら３個以上の
空気バネにより、最終的には、長い周期の振動を装置！
！２置台に伝播させるようにし、その長い周期の振動を
振動センサで検出し、その検出された振動に基づいてリ
ニアモータを作動し、装置載置台に振動が伝播すること
を抑制することができる。
また、作用させる空気バネの個数を固定機構によって変
更することにより、水平方向および上下方向の剛性およ
び固有振動数それぞれを調整し、装置載置台にＲ置する
１ａ器の重量などに応じ、それぞれに適した剛性および
固有振動数を与えることができる。
更することにより、水平方向および上下方向の剛性およ
び固有振動数それぞれを調整し、装置載置台にＲ置する
１ａ器の重量などに応じ、それぞれに適した剛性および
固有振動数を与えることができる。
〈実施例〉
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。
。
第１図は、本発明の制振支持構造に係る実施例の全体平
面図、第２図は、第１図の全体側面図、第３図は、第２
図の■−■線矢視図、第４図は、第１図のＴＶ−ＩＶ線
断面図であり、床に設置された固定部としてのベースプ
レート１に、吊り材２・・・を介して水平方向に変位可
能に支持台としての１段目の第１エアータンク３ａが吊
り下げられている。
面図、第２図は、第１図の全体側面図、第３図は、第２
図の■−■線矢視図、第４図は、第１図のＴＶ−ＩＶ線
断面図であり、床に設置された固定部としてのベースプ
レート１に、吊り材２・・・を介して水平方向に変位可
能に支持台としての１段目の第１エアータンク３ａが吊
り下げられている。
第１エアータンク３ａ上には、第５図の断面図（第１図
のＶ−Ｖ線断面図）に示すように、１段目の第１空気バ
ネ４ａが設けられるとともに、第１エアータンク３ａと
第１空気バネ４ａとがオリフィス５を介して連通接続さ
れている。
のＶ−Ｖ線断面図）に示すように、１段目の第１空気バ
ネ４ａが設けられるとともに、第１エアータンク３ａと
第１空気バネ４ａとがオリフィス５を介して連通接続さ
れている。
前記第１空気バネ４ａ上に、支持部材としての２段目の
第２エアータンク３ｂが支持され、その第２エアータン
ク３ｂ上に、２段目の第２空気バネ４ｂが設けられると
ともに、第２エアータンク３ｂと第２空気バネ４ｂとが
オリフィス５を介して連通接続されている。
第２エアータンク３ｂが支持され、その第２エアータン
ク３ｂ上に、２段目の第２空気バネ４ｂが設けられると
ともに、第２エアータンク３ｂと第２空気バネ４ｂとが
オリフィス５を介して連通接続されている。
また、前記第２空気バネ４ｂ上に、支持部材としての３
段目の第３エアータンク３Ｃが支持され、その第３エア
ータンク３ｃ上に、３段目の第３空気バネ４ｃが設けら
れるとともに、第３エアータンク３ｃと第３空気バネ４
ｃとがオリフィス５を介して連通接続され、更に、第３
空気バネ４ｃ上に装置載置台６が搭載支持されている。
段目の第３エアータンク３Ｃが支持され、その第３エア
ータンク３ｃ上に、３段目の第３空気バネ４ｃが設けら
れるとともに、第３エアータンク３ｃと第３空気バネ４
ｃとがオリフィス５を介して連通接続され、更に、第３
空気バネ４ｃ上に装置載置台６が搭載支持されている。
第１エアータンク３ａ、第２エアータンク３ｂおよび第
３エアータンク３ｃそれぞれは、平面視で十字形状に構
成され、その第１エアータンク３ａ゛、第２エアータン
ク３ｂおよび第３エアータンク３ｃそれぞれには、補助
エアータンク７ａ、７ｂ、７ｃが連通接続されている。
３エアータンク３ｃそれぞれは、平面視で十字形状に構
成され、その第１エアータンク３ａ゛、第２エアータン
ク３ｂおよび第３エアータンク３ｃそれぞれには、補助
エアータンク７ａ、７ｂ、７ｃが連通接続されている。
ベースプレート１に支持脚８が立設され、その支持脚８
に鉛直方向制御用リニアモータ９が設けられ、また、所
定の支持脚８の上部に、互いに変位方向が直交するよう
に、一対づつの水平方向制御用リニアモータ１０，１１
が取り付けられている。
に鉛直方向制御用リニアモータ９が設けられ、また、所
定の支持脚８の上部に、互いに変位方向が直交するよう
に、一対づつの水平方向制御用リニアモータ１０，１１
が取り付けられている。
前記装置Ｒ置台６は平面視で四角形状に構成され、その
４隅部分それぞれにおいて、前記鉛直方向制御用リニア
モータ９および水平方向制御用リニアモータ１０．１１
それぞれと装置載置台６とがピアノ線１２を介、して連
動連結され、これらのリニアモータ９．１０．１１を駆
動することにより、装置載置台６に三次元方向の制御力
を付与して振動を制御できるように構成されている。
４隅部分それぞれにおいて、前記鉛直方向制御用リニア
モータ９および水平方向制御用リニアモータ１０．１１
それぞれと装置載置台６とがピアノ線１２を介、して連
動連結され、これらのリニアモータ９．１０．１１を駆
動することにより、装置載置台６に三次元方向の制御力
を付与して振動を制御できるように構成されている。
鉛直方向制御用リニアモータ９それぞれと装置載置台６
との連動連結箇所には、装置載置台６の鉛直方向の振動
を計測する鉛直センサ１３が取り付けられ、また、水平
方向制御用リニアモータ１０．１１それぞれと装置載置
台６との連動連結箇所近くには、装置載置台６の水平方
向（Ｘ、Ｙ方向）の振動を計測する水平センサ１４，１
５が各々取り付けられている。
との連動連結箇所には、装置載置台６の鉛直方向の振動
を計測する鉛直センサ１３が取り付けられ、また、水平
方向制御用リニアモータ１０．１１それぞれと装置載置
台６との連動連結箇所近くには、装置載置台６の水平方
向（Ｘ、Ｙ方向）の振動を計測する水平センサ１４，１
５が各々取り付けられている。
前記鉛直センサ１３および水平センサ１４，１５それぞ
れによる計測値は、第６図の概略構成図に示すように、
制御装置を構成するコンピュータ１６に増幅器１７およ
びＡ／Ｄコンバータ１８を介して入力され、それらの計
測値を予め設定されている関係式に入力して、リニアモ
ータ９，１０゜１１それぞれに対する動作量をリアルタ
イムで演算し、その算出された動作量に対応する制御出
力をＤ／Ａコンバータ１９および増幅器１７を介してリ
ニアモータ９，１０．１１それぞれに与え、計測値が零
になるように駆動し、装置載置台６の振動を打ち消すよ
うに制御するように構成されている。
れによる計測値は、第６図の概略構成図に示すように、
制御装置を構成するコンピュータ１６に増幅器１７およ
びＡ／Ｄコンバータ１８を介して入力され、それらの計
測値を予め設定されている関係式に入力して、リニアモ
ータ９，１０゜１１それぞれに対する動作量をリアルタ
イムで演算し、その算出された動作量に対応する制御出
力をＤ／Ａコンバータ１９および増幅器１７を介してリ
ニアモータ９，１０．１１それぞれに与え、計測値が零
になるように駆動し、装置載置台６の振動を打ち消すよ
うに制御するように構成されている。
リニアモータ９，１０．１１それぞれは、第７図の正面
図、第８図の側面図および第９図の一部切欠正面図それ
ぞれに示すように、シールドケース２０内に永久磁石２
１を取り付け、その永久磁石２１内に変位可能にボイス
コイル２２を付設した可動体２３を設けて構成され、そ
の可動体２３に連接された可動軸としてのロッド２４に
前記ピアノ線１２が連接され、ボイスコイル２２に流す
電流量を調整するとともに、その電流の方向を変えるこ
とにより、装置載置台６に所定方向に所定量だけ制御力
を付与して振動を制御できるように構成されている。
図、第８図の側面図および第９図の一部切欠正面図それ
ぞれに示すように、シールドケース２０内に永久磁石２
１を取り付け、その永久磁石２１内に変位可能にボイス
コイル２２を付設した可動体２３を設けて構成され、そ
の可動体２３に連接された可動軸としてのロッド２４に
前記ピアノ線１２が連接され、ボイスコイル２２に流す
電流量を調整するとともに、その電流の方向を変えるこ
とにより、装置載置台６に所定方向に所定量だけ制御力
を付与して振動を制御できるように構成されている。
前記シールドケース２０には軸受用枠体２５が取り付け
られ、その軸受用枠体２５に、第１０図の拡大側面画に
示すように、ロッド２４の移動方向への弾性変形を許容
するように切り欠き溝２６・・・を形成した板バネ２７
が取り付けられるとともに、その仮バネ２７とロッド２
４とが一体連接され、ロッド２４を、摩擦抵抗による影
響を受けること無（スムーズに変位できるように構成さ
れている。
られ、その軸受用枠体２５に、第１０図の拡大側面画に
示すように、ロッド２４の移動方向への弾性変形を許容
するように切り欠き溝２６・・・を形成した板バネ２７
が取り付けられるとともに、その仮バネ２７とロッド２
４とが一体連接され、ロッド２４を、摩擦抵抗による影
響を受けること無（スムーズに変位できるように構成さ
れている。
前記第１エアータンク３ａの上部側に固定用ブラケット
２８が連接されるとともに、その固定用プラケント２８
に対向して、第２エアータンク３ｂの下部側に固定用ブ
ラケット２８が連接され、両固定用ブラケッ）２８．２
８どうしをボルト２９で連結固定することにより、第１
空気バネ４ａを非作用状態に切換えるように第１固定機
構３０ａが構成されている。
２８が連接されるとともに、その固定用プラケント２８
に対向して、第２エアータンク３ｂの下部側に固定用ブ
ラケット２８が連接され、両固定用ブラケッ）２８．２
８どうしをボルト２９で連結固定することにより、第１
空気バネ４ａを非作用状態に切換えるように第１固定機
構３０ａが構成されている。
また、前記第２エアータンク３ｂの固定用ブラケット２
８が上方まで一体連接されるとともに、その固定用ブラ
ケット２日に対向して、第３エアータンク３ｃの下部側
に固定用ブラケット２８が連接され、両固定用ブラケッ
ト２８．２８どうしをボルト２９で連結固定することに
より、第２空気バネ４ｂを非作用状態に切換えるように
第２固定機構３０ｂが構成されている。
８が上方まで一体連接されるとともに、その固定用ブラ
ケット２日に対向して、第３エアータンク３ｃの下部側
に固定用ブラケット２８が連接され、両固定用ブラケッ
ト２８．２８どうしをボルト２９で連結固定することに
より、第２空気バネ４ｂを非作用状態に切換えるように
第２固定機構３０ｂが構成されている。
これらの構成により、第１固定機構３０ａおよび第２固
定機構３０ｂのいずれか、あるいは、両者を作用状態に
することにより、第１空気バネ４ａまたは第２空気ハネ
４ｂのいずれか、あるいは、それらの両者による弾性支
持作用を解除し、第１ないし第３空気バネ４ａ、４ｂ、
４ｃで弾性支持する状態から、第２空気ハネ４ｂと第３
空気ハネ４ｃ、第１空気バネ４ａと第３空気ハ２４ｃ、
あるいは、第３空気バネ４ｃのみのいずれかによって装
置載置台６およびそれにＵ、置された各種装置の重量を
弾性支持する状態に切換えることができる。
定機構３０ｂのいずれか、あるいは、両者を作用状態に
することにより、第１空気バネ４ａまたは第２空気ハネ
４ｂのいずれか、あるいは、それらの両者による弾性支
持作用を解除し、第１ないし第３空気バネ４ａ、４ｂ、
４ｃで弾性支持する状態から、第２空気ハネ４ｂと第３
空気ハネ４ｃ、第１空気バネ４ａと第３空気ハ２４ｃ、
あるいは、第３空気バネ４ｃのみのいずれかによって装
置載置台６およびそれにＵ、置された各種装置の重量を
弾性支持する状態に切換えることができる。
また、第１エアータンク３ａの下方側の所定箇所に固定
用プラケフト３１が連接され、一方、ベースプレート１
の前記固定用ブラケフト３１に対応する箇所に、固定用
プラケフト３２が連接され、両固定用ブラケン）３１．
３２どうしをボルトで連結固定することにより、第１エ
アータンク３ａをベースプレートｌに連結固定し、第１
エアークンク３ａをベースプレート１にロックして、前
記第１ないし第３空気バネ４ａ、４ｂ、４ｃによっての
み水平方向の振動を抑制する状態に切り換えることがで
きるように構成されている。
用プラケフト３１が連接され、一方、ベースプレート１
の前記固定用ブラケフト３１に対応する箇所に、固定用
プラケフト３２が連接され、両固定用ブラケン）３１．
３２どうしをボルトで連結固定することにより、第１エ
アータンク３ａをベースプレートｌに連結固定し、第１
エアークンク３ａをベースプレート１にロックして、前
記第１ないし第３空気バネ４ａ、４ｂ、４ｃによっての
み水平方向の振動を抑制する状態に切り換えることがで
きるように構成されている。
上述のような固定機構３０ａ、３０ｂとしては、装置載
置台６と第３エアータンク３Ｃの上部側の互いに対応す
る位置に固定用ブラケット２８を連接し、それら固定用
ブラケット２８．２８どうしをボルト２９などの適当な
固定具で連結固定するようにするものでも良い。
置台６と第３エアータンク３Ｃの上部側の互いに対応す
る位置に固定用ブラケット２８を連接し、それら固定用
ブラケット２８．２８どうしをボルト２９などの適当な
固定具で連結固定するようにするものでも良い。
また、本発明としては、空気バネ４ａ・・・を４段以上
設けて構成するものでも良い。
設けて構成するものでも良い。
〈発明の効果〉
本発明によれば、装置載置台に補助質量を付設せずに、
装置載置台に振動が伝播することを抑制できるから、装
置！３２置装を大型化せずに済むとともに、その重量増
大を回避でき、空気バネとしても、必要以上に強度の高
いものを用いる必要が無く、全体として安価な構成であ
りながら、装置載置台の振動を良好に抑制できるように
なった。
装置載置台に振動が伝播することを抑制できるから、装
置！３２置装を大型化せずに済むとともに、その重量増
大を回避でき、空気バネとしても、必要以上に強度の高
いものを用いる必要が無く、全体として安価な構成であ
りながら、装置載置台の振動を良好に抑制できるように
なった。
また、空気バネを複数段設けるから、振動を良好に緩和
できるのみならず、微振動を順次良好に吸収していき、
最終的に装置載置台に伝播される振動の周期を制御でき
、その制御によって残された長い周期の振動に対して、
リニアモータの作動により、立ち上がりの少ない状態で
、振動を零にするように装置！！載置台駆動でき、装置
載置台の振動を良好に抑制で°きるようになった。
できるのみならず、微振動を順次良好に吸収していき、
最終的に装置載置台に伝播される振動の周期を制御でき
、その制御によって残された長い周期の振動に対して、
リニアモータの作動により、立ち上がりの少ない状態で
、振動を零にするように装置！！載置台駆動でき、装置
載置台の振動を良好に抑制で°きるようになった。
しかも、３個以上の空気バネの内の所定のものを固定機
構によって作用状態と非作用状態とに切換え、作用させ
る空気バネの個数を変更して、水平および上下方向のＭ
ｌ性および固有振動数それぞれを調整できるから、装置
載置台上に設置する機器の重量や、アクンチメントの追
加に伴う重量変化それぞれに応し、適切な剛性および固
有振動数を与えて、振動をより良好に抑制できるように
なった。
構によって作用状態と非作用状態とに切換え、作用させ
る空気バネの個数を変更して、水平および上下方向のＭ
ｌ性および固有振動数それぞれを調整できるから、装置
載置台上に設置する機器の重量や、アクンチメントの追
加に伴う重量変化それぞれに応し、適切な剛性および固
有振動数を与えて、振動をより良好に抑制できるように
なった。
図面は、本発明に係る制振支持構造の実施例を示し、第
１図は、制振支持構造の全体平面図、第２図は、第１図
の全体側面図、第３図は、第２図の１１１−Ｉ［１線矢
視図、第４図は、第１図のＩＶ−ＩＶ線断面図、第５図
は、第１図のＶ−Ｖ線断面図、第６図は概略構成図、第
７図はリニアモータの正面図、第８図は第７図の側面図
、第９図はリニアモータの一部切欠正面図、第１０図は
、仮ハネの拡大正面図である。 １・・・固定部としてのベースプレート３ａ・・・支持
台としての第１エアータンク３ｂ・・・支持部材として
の第２エアータンク３ｃ・・・支持部材としての第３エ
アータンク４ａ・・・第１空気バネ ４ｂ・・・第２空気バネ ４ｃ・・・第３空気バネ ６・・・装置載置台 ９・・・鉛直方向制御用リニアモータ １０．１１・・・水平方向制御用リニアモータ１３・・
・鉛直センサ １４．１５・・・水平センサ １６・・・制御装置としてのコンピュータ３０ａ・・・
第１固定機構 ３０ｂ・・・第２固定機構 出願人 株式会社 竹 中 工 務 店代理人 弁理士
杉 谷 勉第５図
１図は、制振支持構造の全体平面図、第２図は、第１図
の全体側面図、第３図は、第２図の１１１−Ｉ［１線矢
視図、第４図は、第１図のＩＶ−ＩＶ線断面図、第５図
は、第１図のＶ−Ｖ線断面図、第６図は概略構成図、第
７図はリニアモータの正面図、第８図は第７図の側面図
、第９図はリニアモータの一部切欠正面図、第１０図は
、仮ハネの拡大正面図である。 １・・・固定部としてのベースプレート３ａ・・・支持
台としての第１エアータンク３ｂ・・・支持部材として
の第２エアータンク３ｃ・・・支持部材としての第３エ
アータンク４ａ・・・第１空気バネ ４ｂ・・・第２空気バネ ４ｃ・・・第３空気バネ ６・・・装置載置台 ９・・・鉛直方向制御用リニアモータ １０．１１・・・水平方向制御用リニアモータ１３・・
・鉛直センサ １４．１５・・・水平センサ １６・・・制御装置としてのコンピュータ３０ａ・・・
第１固定機構 ３０ｂ・・・第２固定機構 出願人 株式会社 竹 中 工 務 店代理人 弁理士
杉 谷 勉第５図
Claims (1)
- （１）固定部に、水平方向に変位可能に支持台を吊り下
げ支持するとともに、その支持台に複数の支持部材を介
して装置載置台を設け、前記支持台と前記支持部材との
間、前記支持部材どうしの間、および、前記支持部材と
前記装置載置台との間それぞれに空気バネを介在すると
ともに、それらの空気バネの少なくとも一個を作用状態
と非作用状態とに切換える固定機構を設け、かつ、前記
固定部と前記装置載置台とを、水平方向で互いに直交す
る二方向および鉛直方向それぞれの方向に作用するリニ
アモータを介して連動連結し、前記装置載置台に振動セ
ンサを付設するとともに、その振動センサによる検出結
果に基づき、振動を打ち消すようにリニアモータを作動
する制御装置を備えたことを特徴とする制振支持構造。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63140288A JP2516404B2 (ja) | 1988-06-06 | 1988-06-06 | 制振支持構造 |
| DE3917408A DE3917408A1 (de) | 1988-06-06 | 1989-05-29 | Daempfungssockel |
| NL8901377A NL191799C (nl) | 1988-06-06 | 1989-05-31 | Dempingsondersteuningsstelsel. |
| US07/360,238 US4976415A (en) | 1988-06-06 | 1989-06-01 | Damping support structure |
| KR1019890007794A KR930006502B1 (ko) | 1988-06-06 | 1989-06-05 | 진동 흡수 구조체 |
| CA000601760A CA1323410C (en) | 1988-06-06 | 1989-06-05 | Damping support structure |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63140288A JP2516404B2 (ja) | 1988-06-06 | 1988-06-06 | 制振支持構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01307539A true JPH01307539A (ja) | 1989-12-12 |
| JP2516404B2 JP2516404B2 (ja) | 1996-07-24 |
Family
ID=15265300
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63140288A Expired - Lifetime JP2516404B2 (ja) | 1988-06-06 | 1988-06-06 | 制振支持構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2516404B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105957823A (zh) * | 2016-06-29 | 2016-09-21 | 昆山国显光电有限公司 | 基板偏离校正装置、基板偏离校正方法及具有基板偏离校正装置的载台 |
| CN107168382A (zh) * | 2017-05-16 | 2017-09-15 | 贺明丽 | 一种传感器方位自动调整装置 |
-
1988
- 1988-06-06 JP JP63140288A patent/JP2516404B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105957823A (zh) * | 2016-06-29 | 2016-09-21 | 昆山国显光电有限公司 | 基板偏离校正装置、基板偏离校正方法及具有基板偏离校正装置的载台 |
| CN107168382A (zh) * | 2017-05-16 | 2017-09-15 | 贺明丽 | 一种传感器方位自动调整装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2516404B2 (ja) | 1996-07-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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