JPH0130910B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0130910B2 JPH0130910B2 JP61296410A JP29641086A JPH0130910B2 JP H0130910 B2 JPH0130910 B2 JP H0130910B2 JP 61296410 A JP61296410 A JP 61296410A JP 29641086 A JP29641086 A JP 29641086A JP H0130910 B2 JPH0130910 B2 JP H0130910B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating
- thickness
- tic
- tin
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Milling Processes (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
本発明は４層以上の多層被覆を施した切削工具
に係り、特に緻密で高硬度の表面を有する切削工
具に関する。 超硬合金又は高速度鋼からなる硬質物質上に高
硬度高融点物質を被覆することは、化学蒸着法な
どにより主として切削工具材料に応用され、被覆
構造、被覆方法について多くの提案がなされてい
る。 しかし、この化学蒸着法などでは微量ずつ付着
する際に、既に付着している部分の影響を受け
て、被覆物質である炭化物又は窒化物の粒子が柱
状に成長して大きくなる傾向がある。したがつ
て、被覆層が厚くなるにつれて、被覆層表面の炭
化物または窒化物の粒子は、粗大となり微密度が
低下する。 このように緻密度が低下した被覆層は、粗大化
した粒子間に応力の集中が起りやすく切削工具の
ように、繰返し衝撃荷重下に置かれると粗大粒子
間の応力集中点を起点として被覆層にクラツクが
入り、これによつて剥離しやすくなるという欠点
があつた。 そして、このような欠点を除去する方法として
たとえば炭化物と窒化物とを交互に多層に被覆す
ることにより改良する方法が公知である。しかし
この炭化物と窒化物とを交互に多層被覆する方法
は、被覆層表面を緻密にする点では効果的である
が別な面で欠点を有しまだ十分ではない。たとえ
ばTiCとTiNの熱膨脹はそれぞれ7.4×10-6／℃、
9.35×10-6／℃であるように、炭化物と窒化物と
では熱膨脹差が違うことにより、これらが交互に
多層被覆される各々の境界面に内部歪が蓄積され
るからである。さらに、炭化物と窒化物とは異種
の合金であるため、被覆進行中に多少の相互拡散
があるとはいえ、やはり前述した熱膨脹差による
内部歪と相まつて、その結合強度が弱く、切削工
具として使用した場合、炭化物および窒化物間が
剥利しやすい欠点をもつている。 本発明は、前記多層被覆における被覆層の緻密
化の利点を活かし、一方前述した炭化物と窒化物
との多層被層の欠点を除去するためなされたもの
である。 すなわち、本発明は、超硬合金からなる工具母
材上には、高硬度高融点物質からなる４層以上の
被覆層が被覆されるようにした多層被覆を施した
切削工具において、前記被覆層はTiC、TiN、Ti
（Ｃ、Ｎ）、Ti（Ｃ、Ｏ）、Ti（Ｎ、Ｏ）、Ti（Ｃ、
Ｎ、Ｏ）の６種から選択して異種の隣接層（ただ
し、TiC、TiNの隣接層を除く）が形成され、し
かも各層の厚さA1、A2、A3、……Aoがそれぞれ
１〜0.3μｍの範囲内で設定され、また各層間の厚
さ比A1／A2、A2／A3……Ao-1／Aoがそれぞれ
１／10〜10／１の範囲内にあつて、全被覆層の厚
さA1＋A2＋A3＋……＋Aoが15μｍ以下となるよ
うにしたものである。 したがつて本発明により得られる切削工具は、
相互拡散が十分でありしかも粒成長は抑制され
る。また炭窒化物の場合は、熱膨張係数が、その
構成比に従つてその中間の値となるため、炭化物
と窒化物とが接するよりはるかに熱膨脹差による
内部歪が少なくなる。 以上により本発明品は、炭化物と窒化物の多層
被覆による粒成長抑制方法の欠点である炭化物と
窒化物との接合強度不足、熱膨脹差の大きいこと
による内部歪の増大の欠点を必ず同種のチタンの
固溶体と接することにより除去したものである。 たとえば、被覆を化学蒸着法で行なう場合に
は、TiC被覆では以下のように反応する。 TiCl4＋CH4→TiC＋4HCl また、TiN被覆では、以下のように反応する。 TiCl4＋2H2＋1/2N2 →TiN＋4HCl さらに、TiCとTiNの固溶体は以下のように反
応する。 2TiCl4＋CH4＋2H2＋1/2N2→TiC＋TiN＋8HCl したがつて、多被覆の場合TiCl4ガス、CH4ガ
ス、H2ガス、N2ガスの流量を調整することによ
り容易にできる。また酸素を含ませる場合には、
前記反応ガス中にCO又はCO2ガスを添加すれば
よい。 本発明の好適な実施例としては、２種のものを
選択した場合には、TiC−Ti（Ｃ、Ｎ）、TiC−Ti
（Ｃ、Ｎ、Ｏ）、TiN−Ti（Ｃ、Ｎ）、TiN−Ti
（Ｃ、Ｎ、Ｏ）、Ti（Ｃ、Ｏ）−Ti（Ｃ、Ｎ）、Ti
（Ｃ、Ｏ）−Ti（Ｃ、Ｎ、Ｏ）、Ti（Ｎ、Ｏ）−Ti
（Ｃ、Ｎ）、Ti（Ｎ、Ｏ）−Ti（Ｃ、Ｎ、Ｏ）、Ti
（Ｃ、Ｎ）−TiC、Ti（Ｃ、Ｎ）−TiN、Ti（Ｃ、
Ｎ、Ｏ）−TiC、Ti（Ｃ、Ｎ、Ｏ）−TiNなどをあ
げることができ、これらの組合せを交互に繰返す
ことにより多層被覆することができる。 そして、これらの組合せ順で４層以上の多層被
覆した場合各層の厚さA1、A2、A3、……Aoがそ
れぞれ１〜0.3μｍの範囲にあることが必要であ
る。また各層間の厚さ比A1／A2、A2／A3、……
Ao-1／Aoがそれぞれ１／10〜10／１であること
も必要である。 さらに、全被覆量A1＋A2＋A3＋……＋Aoにつ
いては15μｍ以下であることも必要である。 そして、これらの条件を充たした場合、各層の
粒子は異常成長することなく微細であり切削工具
として使用した場合、単層被覆の従来例よりも摩
耗が少なくしかも被覆層の耐剥離性も良好ですぐ
れた性能を発揮した。 本発明で多層被覆することにより粒子が微細で
緻密である理由は必ずしも明らかではない。しか
し、同一成分の結晶析出が続くと結晶のできやす
い方向が揃つてきて大きな結晶ができやすくなる
ことが考えられる。 被覆層の厚みと結晶粒の大きさの関係は、第１
図に示すように被覆層厚3μｍまでは徐々に大き
くなつていき、3μｍ以上になると急激に粒子は
大きくなる。したがつて、１つの層厚A1、A2、
A3、……Aoは少なくとも3μｍ以下であり、最適
には影響の少ない1μｍ以下である。 また各層の厚さ比A1／A2、A2／A3、……
AN-1／Aoがそれぞれ１／10〜10／１範囲でなけ
ればならない。これは、前述した被覆層の粒成長
抑制の効果からくるものである。すなわち、被覆
層があまり薄くなりすぎると隣接の被覆層の粒成
長抑制の効果がなくなるからである。 また他の実施例としては、被覆層が、TiC、
TiN、Ti（Ｃ、Ｎ）、Ti（Ｃ、Ｏ）、Ti（Ｎ、Ｏ）、
Ti（Ｃ、Ｎ、Ｏ）、の中から３種が選択され、こ
れらの選択順に従つて４層以上を形成した場合に
あげることができる。 これらの場合においても、各層の厚さ、各層間
の厚さの比、全被覆層厚は前述した条件に従うこ
とは必要である。 なお前述した６種の各種の組合せについても、
同様に試料を作成したがいずれも同様の効果が認
められた。 実験例 １ 実験例１は、超硬合金からなるスローアウエイ
チツプを工具母材として、Ti（Ｃ、Ｎ）−TiC−
Ti（Ｃ、Ｎ）−TiCの４層を被覆した場合（No.１〜
No.５）およびTi（Ｃ、Ｎ）−TiN−Ti（Ｃ、Ｎ）−
TiNの４層を被覆した場合（No.６〜No.10）であ
る。これらの場合工具母材側から第１層〜第４層
としたものであり、被覆層の厚さ、厚さ比につい
ては、第１表に示されるとおりである。
に係り、特に緻密で高硬度の表面を有する切削工
具に関する。 超硬合金又は高速度鋼からなる硬質物質上に高
硬度高融点物質を被覆することは、化学蒸着法な
どにより主として切削工具材料に応用され、被覆
構造、被覆方法について多くの提案がなされてい
る。 しかし、この化学蒸着法などでは微量ずつ付着
する際に、既に付着している部分の影響を受け
て、被覆物質である炭化物又は窒化物の粒子が柱
状に成長して大きくなる傾向がある。したがつ
て、被覆層が厚くなるにつれて、被覆層表面の炭
化物または窒化物の粒子は、粗大となり微密度が
低下する。 このように緻密度が低下した被覆層は、粗大化
した粒子間に応力の集中が起りやすく切削工具の
ように、繰返し衝撃荷重下に置かれると粗大粒子
間の応力集中点を起点として被覆層にクラツクが
入り、これによつて剥離しやすくなるという欠点
があつた。 そして、このような欠点を除去する方法として
たとえば炭化物と窒化物とを交互に多層に被覆す
ることにより改良する方法が公知である。しかし
この炭化物と窒化物とを交互に多層被覆する方法
は、被覆層表面を緻密にする点では効果的である
が別な面で欠点を有しまだ十分ではない。たとえ
ばTiCとTiNの熱膨脹はそれぞれ7.4×10-6／℃、
9.35×10-6／℃であるように、炭化物と窒化物と
では熱膨脹差が違うことにより、これらが交互に
多層被覆される各々の境界面に内部歪が蓄積され
るからである。さらに、炭化物と窒化物とは異種
の合金であるため、被覆進行中に多少の相互拡散
があるとはいえ、やはり前述した熱膨脹差による
内部歪と相まつて、その結合強度が弱く、切削工
具として使用した場合、炭化物および窒化物間が
剥利しやすい欠点をもつている。 本発明は、前記多層被覆における被覆層の緻密
化の利点を活かし、一方前述した炭化物と窒化物
との多層被層の欠点を除去するためなされたもの
である。 すなわち、本発明は、超硬合金からなる工具母
材上には、高硬度高融点物質からなる４層以上の
被覆層が被覆されるようにした多層被覆を施した
切削工具において、前記被覆層はTiC、TiN、Ti
（Ｃ、Ｎ）、Ti（Ｃ、Ｏ）、Ti（Ｎ、Ｏ）、Ti（Ｃ、
Ｎ、Ｏ）の６種から選択して異種の隣接層（ただ
し、TiC、TiNの隣接層を除く）が形成され、し
かも各層の厚さA1、A2、A3、……Aoがそれぞれ
１〜0.3μｍの範囲内で設定され、また各層間の厚
さ比A1／A2、A2／A3……Ao-1／Aoがそれぞれ
１／10〜10／１の範囲内にあつて、全被覆層の厚
さA1＋A2＋A3＋……＋Aoが15μｍ以下となるよ
うにしたものである。 したがつて本発明により得られる切削工具は、
相互拡散が十分でありしかも粒成長は抑制され
る。また炭窒化物の場合は、熱膨張係数が、その
構成比に従つてその中間の値となるため、炭化物
と窒化物とが接するよりはるかに熱膨脹差による
内部歪が少なくなる。 以上により本発明品は、炭化物と窒化物の多層
被覆による粒成長抑制方法の欠点である炭化物と
窒化物との接合強度不足、熱膨脹差の大きいこと
による内部歪の増大の欠点を必ず同種のチタンの
固溶体と接することにより除去したものである。 たとえば、被覆を化学蒸着法で行なう場合に
は、TiC被覆では以下のように反応する。 TiCl4＋CH4→TiC＋4HCl また、TiN被覆では、以下のように反応する。 TiCl4＋2H2＋1/2N2 →TiN＋4HCl さらに、TiCとTiNの固溶体は以下のように反
応する。 2TiCl4＋CH4＋2H2＋1/2N2→TiC＋TiN＋8HCl したがつて、多被覆の場合TiCl4ガス、CH4ガ
ス、H2ガス、N2ガスの流量を調整することによ
り容易にできる。また酸素を含ませる場合には、
前記反応ガス中にCO又はCO2ガスを添加すれば
よい。 本発明の好適な実施例としては、２種のものを
選択した場合には、TiC−Ti（Ｃ、Ｎ）、TiC−Ti
（Ｃ、Ｎ、Ｏ）、TiN−Ti（Ｃ、Ｎ）、TiN−Ti
（Ｃ、Ｎ、Ｏ）、Ti（Ｃ、Ｏ）−Ti（Ｃ、Ｎ）、Ti
（Ｃ、Ｏ）−Ti（Ｃ、Ｎ、Ｏ）、Ti（Ｎ、Ｏ）−Ti
（Ｃ、Ｎ）、Ti（Ｎ、Ｏ）−Ti（Ｃ、Ｎ、Ｏ）、Ti
（Ｃ、Ｎ）−TiC、Ti（Ｃ、Ｎ）−TiN、Ti（Ｃ、
Ｎ、Ｏ）−TiC、Ti（Ｃ、Ｎ、Ｏ）−TiNなどをあ
げることができ、これらの組合せを交互に繰返す
ことにより多層被覆することができる。 そして、これらの組合せ順で４層以上の多層被
覆した場合各層の厚さA1、A2、A3、……Aoがそ
れぞれ１〜0.3μｍの範囲にあることが必要であ
る。また各層間の厚さ比A1／A2、A2／A3、……
Ao-1／Aoがそれぞれ１／10〜10／１であること
も必要である。 さらに、全被覆量A1＋A2＋A3＋……＋Aoにつ
いては15μｍ以下であることも必要である。 そして、これらの条件を充たした場合、各層の
粒子は異常成長することなく微細であり切削工具
として使用した場合、単層被覆の従来例よりも摩
耗が少なくしかも被覆層の耐剥離性も良好ですぐ
れた性能を発揮した。 本発明で多層被覆することにより粒子が微細で
緻密である理由は必ずしも明らかではない。しか
し、同一成分の結晶析出が続くと結晶のできやす
い方向が揃つてきて大きな結晶ができやすくなる
ことが考えられる。 被覆層の厚みと結晶粒の大きさの関係は、第１
図に示すように被覆層厚3μｍまでは徐々に大き
くなつていき、3μｍ以上になると急激に粒子は
大きくなる。したがつて、１つの層厚A1、A2、
A3、……Aoは少なくとも3μｍ以下であり、最適
には影響の少ない1μｍ以下である。 また各層の厚さ比A1／A2、A2／A3、……
AN-1／Aoがそれぞれ１／10〜10／１範囲でなけ
ればならない。これは、前述した被覆層の粒成長
抑制の効果からくるものである。すなわち、被覆
層があまり薄くなりすぎると隣接の被覆層の粒成
長抑制の効果がなくなるからである。 また他の実施例としては、被覆層が、TiC、
TiN、Ti（Ｃ、Ｎ）、Ti（Ｃ、Ｏ）、Ti（Ｎ、Ｏ）、
Ti（Ｃ、Ｎ、Ｏ）、の中から３種が選択され、こ
れらの選択順に従つて４層以上を形成した場合に
あげることができる。 これらの場合においても、各層の厚さ、各層間
の厚さの比、全被覆層厚は前述した条件に従うこ
とは必要である。 なお前述した６種の各種の組合せについても、
同様に試料を作成したがいずれも同様の効果が認
められた。 実験例 １ 実験例１は、超硬合金からなるスローアウエイ
チツプを工具母材として、Ti（Ｃ、Ｎ）−TiC−
Ti（Ｃ、Ｎ）−TiCの４層を被覆した場合（No.１〜
No.５）およびTi（Ｃ、Ｎ）−TiN−Ti（Ｃ、Ｎ）−
TiNの４層を被覆した場合（No.６〜No.10）であ
る。これらの場合工具母材側から第１層〜第４層
としたものであり、被覆層の厚さ、厚さ比につい
ては、第１表に示されるとおりである。
【表】
切削試験は、第１表に示される本発明品によつ
て、S48Cを連続旋削したものである。このとき
の切削条件は、切削速度Ｖ＝160ｍ／min、送り
ｆ＝0.3mm／rev、切込みｄ＝1.5mmを設定したも
のである。 この結果、TiC、TiNをそれぞれ4μｍ被覆した
従来品は、20分間切削時点でクレーターが発生し
たが、本発明品は、同時点でいずれもクレーター
が認められなかつた。 なお、本発明品間では、No.１〜No.５の方がNo.６
〜No.10よりも耐摩耗性および耐剥離性が良かつ
た。これは、高硬度で密着性のよいTiC成分が多
いためである。また、No.１〜No.５の順で被覆層が
厚くなつているため耐摩耗性が良かつた。 実験例 ２ 実験例２は、超硬合金からなるスローアウエイ
チツプを工具母材として、TiC−Ti（Ｃ、Ｎ）−
TiN−Ti（Ｃ、Ｎ）−TiCの５層を被覆した場合
（No.11〜No.15）およびTiN−Ti（Ｃ、Ｎ）−TiC−
Ti（Ｃ、Ｎ）−TiNの５層を被覆した場合（No.16
〜No.20）である。そして、被覆層の厚さ、厚さ比
については、第２表に示されるとおりである。
て、S48Cを連続旋削したものである。このとき
の切削条件は、切削速度Ｖ＝160ｍ／min、送り
ｆ＝0.3mm／rev、切込みｄ＝1.5mmを設定したも
のである。 この結果、TiC、TiNをそれぞれ4μｍ被覆した
従来品は、20分間切削時点でクレーターが発生し
たが、本発明品は、同時点でいずれもクレーター
が認められなかつた。 なお、本発明品間では、No.１〜No.５の方がNo.６
〜No.10よりも耐摩耗性および耐剥離性が良かつ
た。これは、高硬度で密着性のよいTiC成分が多
いためである。また、No.１〜No.５の順で被覆層が
厚くなつているため耐摩耗性が良かつた。 実験例 ２ 実験例２は、超硬合金からなるスローアウエイ
チツプを工具母材として、TiC−Ti（Ｃ、Ｎ）−
TiN−Ti（Ｃ、Ｎ）−TiCの５層を被覆した場合
（No.11〜No.15）およびTiN−Ti（Ｃ、Ｎ）−TiC−
Ti（Ｃ、Ｎ）−TiNの５層を被覆した場合（No.16
〜No.20）である。そして、被覆層の厚さ、厚さ比
については、第２表に示されるとおりである。
【表】
切削試験は、第２表に示される本発明品によつ
て、SCM−４の丸棒を連続外周旋削したもので
ある。このときの切削条件は、切削速度Ｖ＝150
ｍ／min、送りｆ＝0.3mm／rev、切込みｄ＝1.5mm
としたものである。 この結果、比較の従来品（TiC5μｍ単層被覆）
は、20分切削時点ですくい面にクレーターを生じ
たが、本発明品は、同時点でいずれもクレーター
を生じなかつた。 また、本発明品間では、No.11〜No.15の方がNo.16
〜No.20よりも耐摩耗性、耐欠損性が良好であつ
た。これは、高硬度で密着性のよいTiC成分が多
かつたことによる。さらに、また、No.11〜No.15の
順で耐摩耗性および耐欠損性が良かつた。これ
は、全被覆層の厚さが厚いためである。 実験例 ３ 実験例３は、超硬合金からなるスローアウエイ
チツプを工具母材として、TiC−Ti（Ｃ、Ｏ）−
Ti（Ｃ、Ｎ、Ｏ）−TiN−Ti（Ｎ、Ｏ）の６層を被
覆した場合（No.21〜No.25）およびTi（Ｃ、Ｏ）−
TiN−Ti（Ｃ、Ｏ）−TiN−Ti（Ｃ、Ｏ）−TiNの
６層を被覆した場合（No.26〜No.30）である。そし
て、被覆層の厚さ、厚さ比については第３表に示
されるとおりである。
て、SCM−４の丸棒を連続外周旋削したもので
ある。このときの切削条件は、切削速度Ｖ＝150
ｍ／min、送りｆ＝0.3mm／rev、切込みｄ＝1.5mm
としたものである。 この結果、比較の従来品（TiC5μｍ単層被覆）
は、20分切削時点ですくい面にクレーターを生じ
たが、本発明品は、同時点でいずれもクレーター
を生じなかつた。 また、本発明品間では、No.11〜No.15の方がNo.16
〜No.20よりも耐摩耗性、耐欠損性が良好であつ
た。これは、高硬度で密着性のよいTiC成分が多
かつたことによる。さらに、また、No.11〜No.15の
順で耐摩耗性および耐欠損性が良かつた。これ
は、全被覆層の厚さが厚いためである。 実験例 ３ 実験例３は、超硬合金からなるスローアウエイ
チツプを工具母材として、TiC−Ti（Ｃ、Ｏ）−
Ti（Ｃ、Ｎ、Ｏ）−TiN−Ti（Ｎ、Ｏ）の６層を被
覆した場合（No.21〜No.25）およびTi（Ｃ、Ｏ）−
TiN−Ti（Ｃ、Ｏ）−TiN−Ti（Ｃ、Ｏ）−TiNの
６層を被覆した場合（No.26〜No.30）である。そし
て、被覆層の厚さ、厚さ比については第３表に示
されるとおりである。
【表】
切削試験は、第３表に示される本発明品で、
S55Cの丸棒を外周連続旋削したものである。こ
のときの切削条件は、切削速度Ｖ＝160ｍ／min、
送りｆ＝0.3mm／rev、切込みｄ＝1.5mmとした。 この結果、比較の従来品（4μｍ厚さのTiN単
層被覆）は、20分切削時点でクレーターを発生し
たが、本発明品は、いずれも同時点でクレーター
を生じなかつた。これは、本発明品の被覆層が緻
密化されているためである。 また、本発明品間では、No.26〜No.30の方が耐摩
耗性が良かつた。これは、高硬度であるTiCおよ
びTi（Ｃ、Ｏ）成分が多かつたことによる。 なお、全被覆層の厚さについて各種の試験をし
てみたが、15μｍをこえるものについては、被膜
の剥離が起り易く実用的ではなかつた。また層厚
が0.3μｍ未満の場合には、粒成長抑制効果が弱
く、実用的でないことも確認された。これは、各
層間の厚さ比１／10〜10／１と各層の厚さ制限
1μｍ以下から導き出された結果である。 本発明は以上説明したように、超硬合金上に、
TiC、TiN、Ti（Ｃ、Ｎ）、Ti（Ｃ、Ｏ）、Ti（Ｎ、
Ｏ）、Ti（Ｃ、Ｎ、Ｏ）の６種から選択された少
なくとも２種の４層以上が、異種の隣接層（ただ
し、TiC、TiNの隣接層を除く）として形成さ
れ、その被覆層の厚さ、厚さ比、全被覆層厚さを
特定し、これにより粒成長が抑制されたものであ
る。したがつて、特に緻密で高硬度の表面を有す
る切削工具が提供され、その切削能率の向上を期
待できるという利点を有する。
S55Cの丸棒を外周連続旋削したものである。こ
のときの切削条件は、切削速度Ｖ＝160ｍ／min、
送りｆ＝0.3mm／rev、切込みｄ＝1.5mmとした。 この結果、比較の従来品（4μｍ厚さのTiN単
層被覆）は、20分切削時点でクレーターを発生し
たが、本発明品は、いずれも同時点でクレーター
を生じなかつた。これは、本発明品の被覆層が緻
密化されているためである。 また、本発明品間では、No.26〜No.30の方が耐摩
耗性が良かつた。これは、高硬度であるTiCおよ
びTi（Ｃ、Ｏ）成分が多かつたことによる。 なお、全被覆層の厚さについて各種の試験をし
てみたが、15μｍをこえるものについては、被膜
の剥離が起り易く実用的ではなかつた。また層厚
が0.3μｍ未満の場合には、粒成長抑制効果が弱
く、実用的でないことも確認された。これは、各
層間の厚さ比１／10〜10／１と各層の厚さ制限
1μｍ以下から導き出された結果である。 本発明は以上説明したように、超硬合金上に、
TiC、TiN、Ti（Ｃ、Ｎ）、Ti（Ｃ、Ｏ）、Ti（Ｎ、
Ｏ）、Ti（Ｃ、Ｎ、Ｏ）の６種から選択された少
なくとも２種の４層以上が、異種の隣接層（ただ
し、TiC、TiNの隣接層を除く）として形成さ
れ、その被覆層の厚さ、厚さ比、全被覆層厚さを
特定し、これにより粒成長が抑制されたものであ
る。したがつて、特に緻密で高硬度の表面を有す
る切削工具が提供され、その切削能率の向上を期
待できるという利点を有する。
第１図は、被覆層の厚さと結晶粒の大きさとの
関係を示した曲線図である。
関係を示した曲線図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 超硬合金からなる工具母材上には、高硬度高
融点物質からなる４層以上の被覆層が被層される
ようにした多層被覆を施した切削工具において、 前記被覆層はTiC、TiN、Ti（Ｃ、Ｎ）、Ti
（Ｃ、Ｏ）、Ti（Ｎ、Ｏ）Ti（Ｃ、Ｎ、Ｏ）の６種
から選択して異種の隣接層（ただし、TiC、TiN
の隣接層を除く）が形成され、しかも各層の厚さ
A1、A2、A3、……Aoがそれぞれ１〜0.3μｍの範
囲内で設定され、また各層間の厚さ比A1／A2、
A2／A3……Ao-1／Aoがそれぞれ１／10〜10／１
の範囲内にあつて、全被覆層の厚さA1＋A2＋A3
＋……＋Aoが15μｍ以下であることを特徴とする
多層被覆を施した切削工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29641086A JPS62142768A (ja) | 1977-08-22 | 1986-12-12 | 多層被覆を施した切削工具 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9953277A JPS5434189A (en) | 1977-08-22 | 1977-08-22 | Cutting tool provided with coating of multiilayer more than three layers |
| JP29641086A JPS62142768A (ja) | 1977-08-22 | 1986-12-12 | 多層被覆を施した切削工具 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9953277A Division JPS5434189A (en) | 1977-08-22 | 1977-08-22 | Cutting tool provided with coating of multiilayer more than three layers |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62142768A JPS62142768A (ja) | 1987-06-26 |
| JPH0130910B2 true JPH0130910B2 (ja) | 1989-06-22 |
Family
ID=26440659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29641086A Granted JPS62142768A (ja) | 1977-08-22 | 1986-12-12 | 多層被覆を施した切削工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62142768A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0662611U (ja) * | 1993-01-26 | 1994-09-02 | イワブチ株式会社 | Ｂｓアンテナの支持装置 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2540905B2 (ja) * | 1988-03-29 | 1996-10-09 | 三菱マテリアル株式会社 | 表面被覆硬質材料製切削工具 |
| JP2540904B2 (ja) * | 1988-03-29 | 1996-10-09 | 三菱マテリアル株式会社 | 表面被覆硬質材料製切削工具 |
| CA2090854C (en) * | 1990-09-17 | 1998-10-06 | Anakkavur T. Santhanam | Cvd and pvd coated cutting tools |
| JP3031907B2 (ja) | 1998-03-16 | 2000-04-10 | 日立ツール株式会社 | 多層膜被覆部材 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS614602A (ja) * | 1984-06-20 | 1986-01-10 | Ikura Seiki Seisakusho:Kk | ベルト式バ−材支持装置 |
-
1986
- 1986-12-12 JP JP29641086A patent/JPS62142768A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0662611U (ja) * | 1993-01-26 | 1994-09-02 | イワブチ株式会社 | Ｂｓアンテナの支持装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62142768A (ja) | 1987-06-26 |
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