JPH01313703A - 外乱除去型ヘテロダイン干渉法光ファイバセンサ - Google Patents

外乱除去型ヘテロダイン干渉法光ファイバセンサ

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JPH01313703A
JPH01313703A JP63146255A JP14625588A JPH01313703A JP H01313703 A JPH01313703 A JP H01313703A JP 63146255 A JP63146255 A JP 63146255A JP 14625588 A JP14625588 A JP 14625588A JP H01313703 A JPH01313703 A JP H01313703A
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Japan
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optical fiber
optical
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Noboru Nakatani
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 従来のヘテロゲイン干渉法による光フアイバセンサは、
測定光路と参照光路とが異なるため、参照光路での外乱
の影響を受は易い。
本特許の光フアイバセンサでは、参照光路を用いないで
、差動型の光学系を構成し、２つの光路の位相差を測定
し、外乱除去が可能である。この装置の略図を図１に示
す、またこの原理を説明するため、光フアイバ先端部で
の光線の軌跡を図２に示す、レーザ・ビームは、ビーム
・スプリッタＢ、５．で２分され、それぞれ音響光学変
調素子Ａ、　　とＡ２に入射され１周波数の異なるｒ、
、ｒ２．のビームを出射する。ｒ、、ｒ２のビームは、
レンズ］、、Ｊ２　を通して、光ファイバＦ、　　、　
　Ｆ２に入射スる。光ファイバＦ１のビームは、途中方
向性結合器ＣＩ　　を通り、残りの光フアイバ部分を通
過し、光フアイバ出射端面に至る。出射端面ば、ビート
の参照光を得るため反射率２０％の誘電体多層膜ｒ、ｃ
、がコートされている。その端面で、ビームは１部反射
され光ファイバＦ、を戻っていく、光ファイバＦ、端面
での透過光は、ファイバ出射後屈折率分布型レンズ！６
　　を通して平行にされ９．ｓ定物体ｏｂ、に照射され
る。反射光は屈折率分布型レンズ１ｑを通して、光ファ
イバＦｚに逆入射される。レンズ１２を通して。
光ファイバＦλへの入射光の場合については上記の光フ
ァイバＦ、の場合と同じような経路をたどる。光検出器
ＰＭＩでは、光ファイバＦＩ　の端面ζ、ｃ、での反射
光電気ベクトルＩＥ、と光ファイバＦ２から出て測定物
体ｏｂ。
で反射された光四ユのビートが観測される。
光検出器ＰＭ２では光ファイバＦ２　の端面「、Ｃ０で
の反射光重２と光ファイバＦ、から出て測定物体ｏｂ、
で１反射された光＋Ｂ／のビートが観測される。両者の
ビートの位相差１＋　　！２　　を位相計ｐ、ｄ、で検
出する光フアイバ中の位相分が両者に同符号で含まれ、
変位ベクトル成分（ＩＫ３−ＩＫ（、）　）ｒが逆符号
で含まれる。このため、光フアイバ中の位相分は、キャ
ンセルされ、変位ベクトル成分は、２倍になって２位相
計から出力される従って、外乱・を除去できるとともに
、変位に対して２倍の感度で測定できる。
４、図面の簡単な説明　図１は、外乱除去型ヘテロダイ
ン干渉法光フアイバセンサの略図図２は原理を説明用の
光線追跡図である。
中写奮 逼−

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ヘテロダイン干渉法光ファイバセンサでの外乱の影響を
    、光ファイバの光路中の位相を差動法によりキャンセル
    し、除去すること。
JP63146255A 1988-06-14 1988-06-14 外乱除去型ヘテロダイン干渉法光ファイバセンサ Expired - Fee Related JPH0663726B2 (ja)

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JPS5991303A (ja) * 1982-11-17 1984-05-26 Nippon Denki Sanei Kk 光フアイバ計測器
JPS62229004A (ja) * 1986-03-31 1987-10-07 Japan Aviation Electronics Ind Ltd ヘテロダイン形光フアイバ変位計

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