JPH0131661B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0131661B2 JPH0131661B2 JP57172434A JP17243482A JPH0131661B2 JP H0131661 B2 JPH0131661 B2 JP H0131661B2 JP 57172434 A JP57172434 A JP 57172434A JP 17243482 A JP17243482 A JP 17243482A JP H0131661 B2 JPH0131661 B2 JP H0131661B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- collision
- ion
- ion detector
- magnetic field
- convergence
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 30
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 11
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 10
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 claims description 8
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 claims description 8
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 7
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 238000001819 mass spectrum Methods 0.000 description 2
- 230000005596 ionic collisions Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/28—Static spectrometers
- H01J49/32—Static spectrometers using double focusing
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は衝突解離装置を備えた逆配置二重収束
型質量分析装置に関する。
型質量分析装置に関する。
イオンを磁場で質量分析した後電場でエネルギ
ー分析する逆配置二重束型質量分析装置では、磁
場と電場との中間位置に質量スペクトル像が形成
されるので、磁場と電場との間にイオン検出器を
位置させると単収束型質量分析計としても使用で
き、またその位置に衝突室を位置させると、イオ
ンの衝突解離を起させることもでき、生じたイオ
ンを電場に入射させてエネルギー分析を行うこと
によりイオンの種類の判別或は近接した質量の２
種イオンを識別する情報を得ることができる。
ー分析する逆配置二重束型質量分析装置では、磁
場と電場との中間位置に質量スペクトル像が形成
されるので、磁場と電場との間にイオン検出器を
位置させると単収束型質量分析計としても使用で
き、またその位置に衝突室を位置させると、イオ
ンの衝突解離を起させることもでき、生じたイオ
ンを電場に入射させてエネルギー分析を行うこと
によりイオンの種類の判別或は近接した質量の２
種イオンを識別する情報を得ることができる。
逆配置二重収束型質量分析装置は上述したよう
に３通りの用法間の切換えが可能であるが、従来
これら３通りの用法間の切換えが一動作で簡単に
行えるものはなかつた。本発明はこれら３通りの
用法間の切換えが簡単にできる機構を提供するも
のである。
に３通りの用法間の切換えが可能であるが、従来
これら３通りの用法間の切換えが一動作で簡単に
行えるものはなかつた。本発明はこれら３通りの
用法間の切換えが簡単にできる機構を提供するも
のである。
本発明は質量分析用磁場とエネルギー分析用電
場との中間位置において、イオンビームと直角の
方向に摺動可能に、イオン検出器と衝突室との一
体結合構成を配置し、この一体結合構成の摺動を
真空器壁外から操作可能にした逆配置二重収束型
質量分析装置を提供するものである。以下実施例
によつて本発明を説明する。
場との中間位置において、イオンビームと直角の
方向に摺動可能に、イオン検出器と衝突室との一
体結合構成を配置し、この一体結合構成の摺動を
真空器壁外から操作可能にした逆配置二重収束型
質量分析装置を提供するものである。以下実施例
によつて本発明を説明する。
第１図は本発明の一実施例の全体を示す。Ｉは
イオン源、Ｍは質量分析用磁場を形成する電磁石
の磁極、Ｅはエネルギー分析用電場を形成する電
極で、Ｓ１は磁場Ｍと電場Ｅとの間に配置された
中間スリツト、Ｓ２は二重収束型質量分析装置の
出射スリツトである。中間スリツトＳ１上には磁
場Ｍによる質量スペクトル像が形成される。Ｄは
二重収束用イオン検出器、D1は単収束質量分析
モード用のイオン検出器で、Ｃが衝突室である。
イオン検出器D1と衝突室Ｃとは一体的に結合さ
れていて、図示矢印のようにイオンビームと直角
の方向に摺動できるようになつている。衝突室Ｃ
及びイオン検出器D1が共にイオンビームの通路
から退避させてあるときは装置は二重収束型質量
分析装置として用いられる。イオン検出器D1を
イオンビーム通路に進出させると装置は単収束型
質量分析装置として用いられる。衝突室Ｃをイオ
ンビーム通路に位置させると、イオンの衝突解離
を利用した分析モードとなる。
イオン源、Ｍは質量分析用磁場を形成する電磁石
の磁極、Ｅはエネルギー分析用電場を形成する電
極で、Ｓ１は磁場Ｍと電場Ｅとの間に配置された
中間スリツト、Ｓ２は二重収束型質量分析装置の
出射スリツトである。中間スリツトＳ１上には磁
場Ｍによる質量スペクトル像が形成される。Ｄは
二重収束用イオン検出器、D1は単収束質量分析
モード用のイオン検出器で、Ｃが衝突室である。
イオン検出器D1と衝突室Ｃとは一体的に結合さ
れていて、図示矢印のようにイオンビームと直角
の方向に摺動できるようになつている。衝突室Ｃ
及びイオン検出器D1が共にイオンビームの通路
から退避させてあるときは装置は二重収束型質量
分析装置として用いられる。イオン検出器D1を
イオンビーム通路に進出させると装置は単収束型
質量分析装置として用いられる。衝突室Ｃをイオ
ンビーム通路に位置させると、イオンの衝突解離
を利用した分析モードとなる。
第２図はイオン検出器D1と衝突室Ｃとの一体
結合構成の詳細を示す。イオン衝突室Ｃは前後に
イオンビームの通過する開口ｎを有する箱で外部
からHeのような衝突ガスが供給される。このガ
スは質量分析装置の真空器壁Ｗの外からガス供給
管Ｔを通して行われる。衝突室Ｃは矢印方向に移
動せしめられるので、ガス供給管Ｔはこの移動に
応じられるように螺旋に巻いてある。イオン検出
器D1はこの実施例では電子増倍管でその外筒が
真空器壁Ｗを貫通しており、真空器壁Ｗとの間に
ＯリングＰを介在させて気密を保持して矢印方向
に摺動可能であり、自身が衝突室Ｃとイオン検出
器D1の一体結合構成の矢印方向の移動のガイド
となつている。
結合構成の詳細を示す。イオン衝突室Ｃは前後に
イオンビームの通過する開口ｎを有する箱で外部
からHeのような衝突ガスが供給される。このガ
スは質量分析装置の真空器壁Ｗの外からガス供給
管Ｔを通して行われる。衝突室Ｃは矢印方向に移
動せしめられるので、ガス供給管Ｔはこの移動に
応じられるように螺旋に巻いてある。イオン検出
器D1はこの実施例では電子増倍管でその外筒が
真空器壁Ｗを貫通しており、真空器壁Ｗとの間に
ＯリングＰを介在させて気密を保持して矢印方向
に摺動可能であり、自身が衝突室Ｃとイオン検出
器D1の一体結合構成の矢印方向の移動のガイド
となつている。
衝突解離を行う場合、衝突室Ｃを前後の開口ｈ
が中間スリツトＳ１と一直線に並ぶように位置さ
せる。磁場Ｍで質量による分散が行われてスリツ
トＳ１を通つた特定質量のイオンが衝突室Ｃに飛
び込み外から供給されているガス分子と衝突して
衝突解離が起り、生成したイオンが電場Ｅによつ
てエネルギー分析される。なお衝突室Ｃへのガス
供給管は第３図に示すようにイオン検出器D1の
外筒内を通し、真空外に可撓部分を設けてもよ
い。また衝突室とイオン検出器との一体構成をベ
ローにより真空器壁Ｗに気密かつ可動的に取付
け、別に設けたガイドに沿つて摺動させるように
してもよい。
が中間スリツトＳ１と一直線に並ぶように位置さ
せる。磁場Ｍで質量による分散が行われてスリツ
トＳ１を通つた特定質量のイオンが衝突室Ｃに飛
び込み外から供給されているガス分子と衝突して
衝突解離が起り、生成したイオンが電場Ｅによつ
てエネルギー分析される。なお衝突室Ｃへのガス
供給管は第３図に示すようにイオン検出器D1の
外筒内を通し、真空外に可撓部分を設けてもよ
い。また衝突室とイオン検出器との一体構成をベ
ローにより真空器壁Ｗに気密かつ可動的に取付
け、別に設けたガイドに沿つて摺動させるように
してもよい。
本発明装置は上述したように、単収束イオン検
出用のイオン検出器と衝突室とを一体的に結合
し、この一体的結合構成を真空器壁の外から摺動
させるようにしたから、２重収束、単収束、衝突
解離の３種の測定の切換え操作が一操作で行わ
れ、また衝突室とイオン検出器とが一体的に結合
されて摺動するので、真空器壁の衝突室、イオン
検出器収納スペースをコンパクトに設計すること
ができる。
出用のイオン検出器と衝突室とを一体的に結合
し、この一体的結合構成を真空器壁の外から摺動
させるようにしたから、２重収束、単収束、衝突
解離の３種の測定の切換え操作が一操作で行わ
れ、また衝突室とイオン検出器とが一体的に結合
されて摺動するので、真空器壁の衝突室、イオン
検出器収納スペースをコンパクトに設計すること
ができる。
第１図は本発明の一実施例装置の平面図、第２
図は同実施例の要部拡大平面断面図、第３図は同
じく要部の他の一実施例の平面断面図である。 Ｉ……イオン源、Ｍ……質量分析用磁場、Ｓ１
……中間スリツト、Ｅ……エネルギー分析用電
場、Ｓ２……出射スリツト、Ｄ……二重収束用イ
オン検出器、D1……単収束用イオン検出器、Ｃ
……衝突室、Ｔ……衝突ガス供給管、Ｗ……真空
器壁。
図は同実施例の要部拡大平面断面図、第３図は同
じく要部の他の一実施例の平面断面図である。 Ｉ……イオン源、Ｍ……質量分析用磁場、Ｓ１
……中間スリツト、Ｅ……エネルギー分析用電
場、Ｓ２……出射スリツト、Ｄ……二重収束用イ
オン検出器、D1……単収束用イオン検出器、Ｃ
……衝突室、Ｔ……衝突ガス供給管、Ｗ……真空
器壁。
Claims (1)
- １ イオン源、質量分析用磁場、エネルギー分析
用電場の順の配置を有し、上記質量分析用磁場と
エネルギー分析用電場との中間位置において、イ
オンビーム通路に出入自在に単収束イオン用イオ
ン検出器と衝突解離用の衝突室の一体結合構成体
を設け、この構成体を真空器壁外から摺動可動に
して、単収束、二重収束、衝突解離の３種の測定
モードの切換えを可能とした二重収束型質量分析
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57172434A JPS5960855A (ja) | 1982-09-29 | 1982-09-29 | 二重収束型質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57172434A JPS5960855A (ja) | 1982-09-29 | 1982-09-29 | 二重収束型質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5960855A JPS5960855A (ja) | 1984-04-06 |
| JPH0131661B2 true JPH0131661B2 (ja) | 1989-06-27 |
Family
ID=15941903
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57172434A Granted JPS5960855A (ja) | 1982-09-29 | 1982-09-29 | 二重収束型質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5960855A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0342615Y2 (ja) * | 1984-10-19 | 1991-09-06 | ||
| JP2647102B2 (ja) * | 1987-11-18 | 1997-08-27 | 日本原子力研究所 | 粒子ビーム測定装置 |
-
1982
- 1982-09-29 JP JP57172434A patent/JPS5960855A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5960855A (ja) | 1984-04-06 |
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