JPH01317172A - セラミック薄板の製造方法 - Google Patents
セラミック薄板の製造方法Info
- Publication number
- JPH01317172A JPH01317172A JP63145848A JP14584888A JPH01317172A JP H01317172 A JPH01317172 A JP H01317172A JP 63145848 A JP63145848 A JP 63145848A JP 14584888 A JP14584888 A JP 14584888A JP H01317172 A JPH01317172 A JP H01317172A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic
- ceramic green
- thin plate
- manufacturing
- green sheet
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、セラミック薄板の製造方法に関するものであ
る。
る。
従来の技術
セラミック薄板はアルミナ基板や圧電ブザー素子などの
ように面積に比べて十分薄い厚みを有したセラミック焼
結体として広く実用化されている。
ように面積に比べて十分薄い厚みを有したセラミック焼
結体として広く実用化されている。
このようなセラミック薄板は焼成時のソリの防止と量産
性向上のため、通常複数枚のセラミックグリーンシート
を積重ねて、上下を耐熱性のセックと称する板でサンド
イッチ状に挾んで焼成される（第２図参照）６その際、
セラミックグリーンシートが荷重により反応し、融着す
るのを防止するため、セラミックグリーンシートとは非
反応性の敷粉を各シートの間に散布し、焼成後に容易に
１枚づつのセラミック薄板に分離できるようにしている
。このような技術を開示したものとして、たとえば特公
昭箱５７−２３６７７号公報がある。
性向上のため、通常複数枚のセラミックグリーンシート
を積重ねて、上下を耐熱性のセックと称する板でサンド
イッチ状に挾んで焼成される（第２図参照）６その際、
セラミックグリーンシートが荷重により反応し、融着す
るのを防止するため、セラミックグリーンシートとは非
反応性の敷粉を各シートの間に散布し、焼成後に容易に
１枚づつのセラミック薄板に分離できるようにしている
。このような技術を開示したものとして、たとえば特公
昭箱５７−２３６７７号公報がある。
より具体的に説明すると、剥離用の粉末を、セラミック
グリーンシートに均一に薄く散布する一般的な方法とし
て、敷粉の粒径より少し大きめの目を有した篩に敷粉を
入れ、並べたセラミッククリーンシート上で振動を与え
て敷粉を落として薄く散布する方法や、あるいはパーツ
フィーダにセラミックグリーンシートと剥離用敷粉を混
ぜて入れ、振動により摩擦静電気をおこして敷粉を吸着
させる方法が行なわれている。
グリーンシートに均一に薄く散布する一般的な方法とし
て、敷粉の粒径より少し大きめの目を有した篩に敷粉を
入れ、並べたセラミッククリーンシート上で振動を与え
て敷粉を落として薄く散布する方法や、あるいはパーツ
フィーダにセラミックグリーンシートと剥離用敷粉を混
ぜて入れ、振動により摩擦静電気をおこして敷粉を吸着
させる方法が行なわれている。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上述した従来の方法では、必ずしも各々
のセラミックグリーンシートには敷粉が均一に付着せず
、敷粉の付着しすぎたところや、あるいは敷粉の付着し
ないところがあって、焼成した後の剥離作業で、基板融
着によるワレや、ソリ、凸凹などの不良が発生していた
。
のセラミックグリーンシートには敷粉が均一に付着せず
、敷粉の付着しすぎたところや、あるいは敷粉の付着し
ないところがあって、焼成した後の剥離作業で、基板融
着によるワレや、ソリ、凸凹などの不良が発生していた
。
本発明はこのような課題を解決するもので、剥離不良が
発生せず、しかも量産性に優れたセラミック薄板の製造
方法の提供を目的とするものである。
発生せず、しかも量産性に優れたセラミック薄板の製造
方法の提供を目的とするものである。
課題を解決するための手段
上記目的を達成するために本発明は、薄板状のセラミッ
クグリーンシートを、コロナ放電などの手法で強制的に
帯電させ、この上に逆極性に帯電させた剥離用敷粉を静
電気力により吸着させたうえ、これを複数枚積重ねて、
焼成するものである。
クグリーンシートを、コロナ放電などの手法で強制的に
帯電させ、この上に逆極性に帯電させた剥離用敷粉を静
電気力により吸着させたうえ、これを複数枚積重ねて、
焼成するものである。
作用
セラミックグリーンシートの表面は一様に帯電した面か
露出しているため、これに逆極性に帯電した敷粉が容易
に、かつ均一に吸着し、セラミックグリーンシートの上
には薄く、むらのない敷粉の層か形成される。
露出しているため、これに逆極性に帯電した敷粉が容易
に、かつ均一に吸着し、セラミックグリーンシートの上
には薄く、むらのない敷粉の層か形成される。
実施例
以下、本発明の一実施例を添付図面に基づいて説明する
。
。
セラミッククリーンシートとして、ＰＺＴ系の圧電セラ
ミックのグリーンシートで、厚みが２４０μｍ、径か３
６ＩＩＩＩＩｌφのものを用いた。これを第１図のよう
に、ベルトコンベア６で連続的に、あるいは間欠的に移
送しながら、その移送経路上で電子写真などに一般的に
用いられる高圧電源２に接続されたコロナ放電器３によ
り、セラミッククリーンシート１を帯電させる。この時
のセラミッククリーンシート１は有機バインダとしてポ
リビニルブチラール樹脂を２重量％含んでいるが、体積
固有抵抗は帯電させるのに十分な値を有している。
ミックのグリーンシートで、厚みが２４０μｍ、径か３
６ＩＩＩＩＩｌφのものを用いた。これを第１図のよう
に、ベルトコンベア６で連続的に、あるいは間欠的に移
送しながら、その移送経路上で電子写真などに一般的に
用いられる高圧電源２に接続されたコロナ放電器３によ
り、セラミッククリーンシート１を帯電させる。この時
のセラミッククリーンシート１は有機バインダとしてポ
リビニルブチラール樹脂を２重量％含んでいるが、体積
固有抵抗は帯電させるのに十分な値を有している。
次に、帯電させたセラミックグリーンシート１を、磁気
ブラシ５で撹拌して逆極性に帯電させた３８０メツシユ
のジルコニアの敷粉７を散布するためにチャンバ４を通
過させる。この時ジルコニアの敷粉７はチャンバ４内で
帯電して浮遊しており、逆極性に帯電したセラミックグ
リーンシート１が移動してくると、その表面に均一に薄
く吸着される。
ブラシ５で撹拌して逆極性に帯電させた３８０メツシユ
のジルコニアの敷粉７を散布するためにチャンバ４を通
過させる。この時ジルコニアの敷粉７はチャンバ４内で
帯電して浮遊しており、逆極性に帯電したセラミックグ
リーンシート１が移動してくると、その表面に均一に薄
く吸着される。
このようにして敷粉７の層が表面に形成されたセラミッ
クグリーンシート１を２０段重ね、第２図に示すように
、上下をφ３６ｘ ３１ｎ１のマグネジアセツタ１０で
挾んで、サヤ９内に収納して１２５０℃で１時間焼成し
た。焼成したシートブロック８は１枚づつのセラミック
薄板１１に容易に剥離できた。
クグリーンシート１を２０段重ね、第２図に示すように
、上下をφ３６ｘ ３１ｎ１のマグネジアセツタ１０で
挾んで、サヤ９内に収納して１２５０℃で１時間焼成し
た。焼成したシートブロック８は１枚づつのセラミック
薄板１１に容易に剥離できた。
なお、この時比較のため従来例として、３８０メツシユ
の篩で３８０メツシユのジルコニア粉末を敷粉として散
布したセラミックグリーンシートを同様の条件で処理し
た。
の篩で３８０メツシユのジルコニア粉末を敷粉として散
布したセラミックグリーンシートを同様の条件で処理し
た。
第１表に、ｎ＝１０枚についての従来法と本発明実施例
の凸凹の大きさ、及びｎ＝１００枚についての両者の剥
離不良率の比教を示す。
の凸凹の大きさ、及びｎ＝１００枚についての両者の剥
離不良率の比教を示す。
第１表
発明の効果
このように本発明は、焼成したセラミック薄板の表面の
凸凹も小さく、剥離時の融着による不良も少なく、量産
性に優れた製造方法である。
凸凹も小さく、剥離時の融着による不良も少なく、量産
性に優れた製造方法である。
第１図は本発明の一実施例によるセラミック薄板の製造
方法において剥離用敷粉をグリーンシートに吸着させる
工程を示す側面図、第２図は同じくセラミック薄板の焼
成工程を示す断面図である。 １・・・セラミックグリーンシート ３・・・コロナ放
電器 ５・・・磁気ブラシ ７・・・敷粉 １０・・・
セック１１・・・セラミック薄板
方法において剥離用敷粉をグリーンシートに吸着させる
工程を示す側面図、第２図は同じくセラミック薄板の焼
成工程を示す断面図である。 １・・・セラミックグリーンシート ３・・・コロナ放
電器 ５・・・磁気ブラシ ７・・・敷粉 １０・・・
セック１１・・・セラミック薄板
Claims (1)
- 薄板状のセラミックグリーンシートを電気的に帯電させ
、その上に剥離用敷粉を静電気力により吸着させたもの
を積重ねて焼成することを特徴とするセラミック薄板の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63145848A JPH01317172A (ja) | 1988-06-15 | 1988-06-15 | セラミック薄板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63145848A JPH01317172A (ja) | 1988-06-15 | 1988-06-15 | セラミック薄板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01317172A true JPH01317172A (ja) | 1989-12-21 |
Family
ID=15394494
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63145848A Pending JPH01317172A (ja) | 1988-06-15 | 1988-06-15 | セラミック薄板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01317172A (ja) |
-
1988
- 1988-06-15 JP JP63145848A patent/JPH01317172A/ja active Pending
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