JPS6314317Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6314317Y2 JPS6314317Y2 JP1982145072U JP14507282U JPS6314317Y2 JP S6314317 Y2 JPS6314317 Y2 JP S6314317Y2 JP 1982145072 U JP1982145072 U JP 1982145072U JP 14507282 U JP14507282 U JP 14507282U JP S6314317 Y2 JPS6314317 Y2 JP S6314317Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- intermediate layer
- heat
- fired
- resistant substrate
- jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は、コンデンサ等に使用するセラミツ
クを焼成するために用いる治具に関するものであ
る。
クを焼成するために用いる治具に関するものであ
る。
コンデンサ用のセラミツク誘電体は、所定の形
状に成形したものを治具上に敷設し、これをトン
ネル型焼成炉に送り込んで焼成するものである。
状に成形したものを治具上に敷設し、これをトン
ネル型焼成炉に送り込んで焼成するものである。
従来誘電体等のセラミツクの焼成に用いる治具
は、第1図ないし第3図に示すように、アルミナ
60〜90%の材料を用いて形成した鉢1と、匣鉢1
とセラミツクの反応を防止するため、匣鉢1上に
敷設するアルミナやジルコニア製のセパレータ2
とで構成され、匣鉢1上にセパレータ2を介して
セラミツクを敷き、この匣鉢1を2〜10段程度積
上げ、これをトンネル型焼成炉に送り込むことに
よつてセラミツクの焼成を行なつている。
は、第1図ないし第3図に示すように、アルミナ
60〜90%の材料を用いて形成した鉢1と、匣鉢1
とセラミツクの反応を防止するため、匣鉢1上に
敷設するアルミナやジルコニア製のセパレータ2
とで構成され、匣鉢1上にセパレータ2を介して
セラミツクを敷き、この匣鉢1を2〜10段程度積
上げ、これをトンネル型焼成炉に送り込むことに
よつてセラミツクの焼成を行なつている。
しかし、匣鉢1とセパレータ2の組合せによつ
て構成される従来の治具は、その合計重量が2〜
3Kgと極めて重く、焼成せんとするセラミツクの
10〜20倍にも達するため、焼成工程時におけるエ
ネルギー効率が極めて悪くなり、焼成炉稼動コス
トが高くつくという問題がある。
て構成される従来の治具は、その合計重量が2〜
3Kgと極めて重く、焼成せんとするセラミツクの
10〜20倍にも達するため、焼成工程時におけるエ
ネルギー効率が極めて悪くなり、焼成炉稼動コス
トが高くつくという問題がある。
この考案は上記のような問題を解消するために
なされたものであり、軽量化および薄肉厚化によ
り、投下エネルギーの被焼成物に付加する効率を
大幅に向上させることができる焼成用治具を提供
するとを目的とする。
なされたものであり、軽量化および薄肉厚化によ
り、投下エネルギーの被焼成物に付加する効率を
大幅に向上させることができる焼成用治具を提供
するとを目的とする。
この考案の構成は、耐熱基板上に中間層を形成
し、この中間層上に被焼成物が接着しない程度に
分離できる材料で形成した粒体を、各粒体が互い
に密に接触しない程度に隙間をあけて配置し、前
記中間層をその線膨脹係数が耐熱基板と粒体の中
間の材料を用いて形成し、線膨張係数が大きく異
なる耐熱基板と粒体の複合化を可能にし、従来の
セパレータを省いて全体の軽量化をはかるように
したものである。
し、この中間層上に被焼成物が接着しない程度に
分離できる材料で形成した粒体を、各粒体が互い
に密に接触しない程度に隙間をあけて配置し、前
記中間層をその線膨脹係数が耐熱基板と粒体の中
間の材料を用いて形成し、線膨張係数が大きく異
なる耐熱基板と粒体の複合化を可能にし、従来の
セパレータを省いて全体の軽量化をはかるように
したものである。
以下、この考案の実施例を添付図面の第4図と
第5図にもとづいて説明する。
第5図にもとづいて説明する。
第4図のように、この考案の焼成用治具は、耐
熱基板11上に中間層12を形成し、この中間層
12上に粒体13群が互いに密に接触しない程度
に隙間をあけて配置されている。
熱基板11上に中間層12を形成し、この中間層
12上に粒体13群が互いに密に接触しない程度
に隙間をあけて配置されている。
上記耐熱基板11は炭化硅素系の材料を用いて
形成し、中間層12を介してこの基板11上に結
合する粒体13群は、被焼成物Aであるセラミツ
クと焼成時に接着しない程度に分離でき、しかも
セラミツクに対して反応性の少ない材料、例えば
ジルコニアを用いて形成されている。
形成し、中間層12を介してこの基板11上に結
合する粒体13群は、被焼成物Aであるセラミツ
クと焼成時に接着しない程度に分離でき、しかも
セラミツクに対して反応性の少ない材料、例えば
ジルコニアを用いて形成されている。
粒体13の形成に用いるジルコニアはセラミツ
クに対する分離性および反応性が少ないという利
点を有する反面、その線膨張係数は極めて大きく
線膨張係数の異なる耐熱基板11との結合におい
ては剥離を起すという問題がある。
クに対する分離性および反応性が少ないという利
点を有する反面、その線膨張係数は極めて大きく
線膨張係数の異なる耐熱基板11との結合におい
ては剥離を起すという問題がある。
そこで、この考案においては、ジルコニア製の
粒体13を0.1mm角または0.5〜1.0φmmの粒子に形
成し、線膨張係数差による歪を小さくし、粒体1
3と耐熱基板11の結合を行なう中間層12に、
アルミナ等、粒体13と耐熱基板11の中間の線
膨張係数をもつ材料を用いている。
粒体13を0.1mm角または0.5〜1.0φmmの粒子に形
成し、線膨張係数差による歪を小さくし、粒体1
3と耐熱基板11の結合を行なう中間層12に、
アルミナ等、粒体13と耐熱基板11の中間の線
膨張係数をもつ材料を用いている。
なお、粒体13の配置は自由に選択すればよい
が、第5図に示すように、各粒体13の配置間隔
Pを0.7〜1.2mmとし、隣接する各粒体13間に0.1
〜0.5mm程度の隙間P′が生じるように配置するの
が好ましい。
が、第5図に示すように、各粒体13の配置間隔
Pを0.7〜1.2mmとし、隣接する各粒体13間に0.1
〜0.5mm程度の隙間P′が生じるように配置するの
が好ましい。
この考案の焼成用治具は上記のような構成であ
り、図示のように、焼成用治具の粒体13群上に
被焼成物Aを載置し、これを上下に多数段を積重
ねた状態でトンネル型焼成炉内に送り込み、被焼
成物Aの焼成を行なう。
り、図示のように、焼成用治具の粒体13群上に
被焼成物Aを載置し、これを上下に多数段を積重
ねた状態でトンネル型焼成炉内に送り込み、被焼
成物Aの焼成を行なう。
このとき、焼成用治具において、耐熱基板11
と粒体13に熱膨張の差が生じるが、粒体13は
粒径が小さく、線膨張係数差による歪が小さくな
つており、しかも中間層12が耐熱基板11と粒
体13の中間の線膨張係数を持つているので、粒
体13が剥離するようなことがない。
と粒体13に熱膨張の差が生じるが、粒体13は
粒径が小さく、線膨張係数差による歪が小さくな
つており、しかも中間層12が耐熱基板11と粒
体13の中間の線膨張係数を持つているので、粒
体13が剥離するようなことがない。
以上のように、この考案によると、耐熱基板の
上面に中間層を介して被焼成物が接着しない程度
に分離できる材料で形成した粒体を固定し、中間
層を耐熱基板と粒体の中間の線膨張係数としたの
で、大きな線膨張係数差のある耐熱基板と粒体の
結合が可能になり、従来のようなセパレータの使
用が不要になり、治具の重量を0.5Kg程度と従来
の1/5に減少することが可能になり、投下エネル
ギーの被焼成物に付加する効率は従来の5〜20%
から30〜40%に大幅にアツプする。
上面に中間層を介して被焼成物が接着しない程度
に分離できる材料で形成した粒体を固定し、中間
層を耐熱基板と粒体の中間の線膨張係数としたの
で、大きな線膨張係数差のある耐熱基板と粒体の
結合が可能になり、従来のようなセパレータの使
用が不要になり、治具の重量を0.5Kg程度と従来
の1/5に減少することが可能になり、投下エネル
ギーの被焼成物に付加する効率は従来の5〜20%
から30〜40%に大幅にアツプする。
さらに、治具の軽量化および薄肉化が可能にな
り、焼成時の多段積重ねが実現できるので、被焼
成物のエネルギーコストを従来の1/3〜1/5にダウ
ンさせることができる。
り、焼成時の多段積重ねが実現できるので、被焼
成物のエネルギーコストを従来の1/3〜1/5にダウ
ンさせることができる。
第1図は従来の治具を示す分解斜面図、第2図
は同上の組立状態を示す平面図、第3図は同正面
図、第4図はこの考案に係る治具の使用状態を示
す正面図、第5図は同上の拡大正面図である。 11……耐熱性基板、12……中間層、13…
…粒体、A……被焼成物。
は同上の組立状態を示す平面図、第3図は同正面
図、第4図はこの考案に係る治具の使用状態を示
す正面図、第5図は同上の拡大正面図である。 11……耐熱性基板、12……中間層、13…
…粒体、A……被焼成物。
Claims (1)
- 耐熱基板上に、中間層が形成されており、この
中間層を介して被焼成物が反応して接着しない程
度に分離できる材料で形成した粒体を、各粒体が
互いに密に接触しない程度に隙間をあけて配置
し、前記中間層が体熱基板と粒体の中間の線膨脹
係数をもつ材料を用いて形成されていることを特
徴とする焼成用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14507282U JPS5949899U (ja) | 1982-09-24 | 1982-09-24 | 焼成用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14507282U JPS5949899U (ja) | 1982-09-24 | 1982-09-24 | 焼成用治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5949899U JPS5949899U (ja) | 1984-04-02 |
| JPS6314317Y2 true JPS6314317Y2 (ja) | 1988-04-21 |
Family
ID=30323336
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14507282U Granted JPS5949899U (ja) | 1982-09-24 | 1982-09-24 | 焼成用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5949899U (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5535065U (ja) * | 1978-08-30 | 1980-03-06 |
-
1982
- 1982-09-24 JP JP14507282U patent/JPS5949899U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5949899U (ja) | 1984-04-02 |
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