JPH01318501A - 磁気浮上式搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、書類等の小荷物を搬送する磁気浮上式搬送装
置に係り、特に搬送車を加速減速するのに好適な磁気浮
上式搬送装置に関する。

（従来の技術） 近年、オフィスオートメーションやファクトリ−オート
メーションの一環として、建屋内の複数の地点間におい
て伝票、書類、現金、製品等を搬送装置を用いて移動さ
せることが広く行われている。

このような用途に用いられる搬送装置は、搬送物を速や
かに、かつ静かに移動させ得るものであること、また、
半導体工場においては無発塵などが要求される。このた
め、この種の搬送装置においては、ガイドレール上で搬
送車を非接触で支持することが行われている。中でも、
搬送車を磁気的に非接触支持する方式は、ガイドレール
に対する追従性や騒音１発塵防止効果に優れている。

しかし、搬送車を磁気力によって支持する場合、この磁
気力を全て電磁石によって賄おうとすると、電磁石を常
時付勢しなければならず、消費電流が大きくならざるを
得い。

そこで、本出願人は、先に複合電磁石に要求される起磁
力の大部分を永久磁石によって与え、消費電力の低減か
を図った、いわゆるゼロパワーフッイードバック制御方
式を提案した。

この制御方式は、搬送車の重量が変動しても常に永久磁
石による磁気力と搬送車の重量が平衡するように両者間
のギャップを制御しようとするものであり、これにより
、複合電磁石に殆ど電流を流すことなく磁気浮上させる
ことができ、搬送車に搭載する電池容量を小型化するこ
とができる。

第５図はその具体的構成を示す。即ち、同図において搬
送路は、断面が逆目字状をなす軌道枠１と、軌道枠１の
上部壁下面の離れた位置に埋設され強磁性体よりなる２
本のガイドレール２と、軌道枠１の側壁内面にそれぞれ
断面が口字状をなし互いの開放側を対向して取付けられ
た非常用ガイドレール３と、軌道枠１の２本のガイドレ
ール２の中間に配置され、かつ長手方向に所定の距離を
隔てて取付けられたリニアインダクシヨンモータの固定
子４とから構成されている。また、この搬送路に沿って
走行移動自在とした搬送車５には、搬送車枠６の上部に
上記したガイドレール２のそれぞれに所定のギャップを
持って配置された複合電磁石（磁気支持ユニット）７と
、これら複合電磁石７を固定すると共にガイドレール２
の下面と対向するように配置された平板状の基台８を取
付けている。しかして、複合電磁石７は、第６図および
第７図に示すように上記ガイドレール２に所定のギャッ
プを持ち両側に配置した継鉄９およびこれら継鉄９にそ
れぞれ巻付けた電磁石コイル１０とからなる２組の電磁
石１１と、２個の継鉄９の間に配置された永久磁石１２
とから構成され、全体として１字状をなし、２個の電磁
石コイル１０を直列に接続することによって、２組の電
磁石１１が形成する磁束が互いに加算されるようになっ
ている。

なお、複合電磁石７には、同複合電磁石７とガイ・トレ
ール２の下面との空隙長を検出する光学ギャップセンサ
１３が取付けられている。

また、搬送車５の駆動は、１次側となる固定子４を搬送
路側に適宜の距離を置いて離散的に配置する一方、２次
側導体となるリアクションプレートを搬送車側に配置し
たリニアインダクシヨンモータ駆動方式によっている（
特開昭６１−１０２１０５号公報参照）。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記従来方式によると、搬送路に取付け
ているガイドレール（磁性体）２に対し、複合電磁石７
が直角に取付けられているために、搬送路、搬送車の外
形が大きくなる。

このことは、例えば半導体製造工場のクリーンルーム内
における空気の層流を乱し、これが半導体製品の品質な
どに影響を与えることになる。ざらに、複合電磁石７が
固定されているため、搬送路のカーブセクションを走行
する場合、その半径を大きくしなければならないなど問
題となっていた。

そこで、本発明の目的は、搬送車、ｌｆｌ送路の外形を
小さくすることにより、据付スペースを少なくし、シス
テムとしてのコストも低減する磁気浮上式搬送装置を提
供することにある。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明は、強磁性体のガイドレールが敷設された搬送路
と、この搬送路に長手方向に沿い所定間隔を置いて配設
された１次側固定子と、この固定子と組合わされてリニ
アインダクシヨンモータを形成する２次側導体と、ガイ
ドレールとの間で磁力作用を生じる複合電磁石と、この
複合電磁石に流す電流を調部する制ＷＪ装置と、２次側
導体、複合電磁石及び制御装置を搭載し、前記磁力作用
により浮上しかつリニアインダクシヨンモータの形成に
より搬送路に沿って走行移動する搬送車とを備えた磁気
浮上式搬送装置において、複合電磁石を、搬送車にガイ
ドレールの長手方向に沿って配置し、かつ回動自在に取
付けると共に、磁束がはぼ２等分されるような継鉄構造
として中間に介挿した永久磁石の磁束と加算するように
構成したことを特徴とするものである。

（作　用） 複合電磁石がガイドレールの長手方向に沿って配置され
かつ回動自在に取付けられているから、搬送路の曲線部
を走行移動する際にこの曲線部に応じて回動する。従っ
て、搬送路の曲率半径を小さくすることができ、この設
置スペースを低減することができる。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。第
１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は本発明
の一実施例の複合電磁石を示す断面図、第３図は第２図
のＡ−Ａ線に沿った平面図を示す。

第１図において、搬送路は、全体構造は上記した従来の
軌道枠１と同じであるが幅を小さくした軌道枠２０と、
強磁性体よりなり軌道枠２０の上部壁下面に埋設され、
かつ上記した従来のガイドレール２より幅を小ざくした
２本のガイドレール２１と、軌道枠２０の側壁内面に取
付けられた非常用ガイドレール３と、軌道枠２０に取付
けられた固定子４とから構成されている。また、この搬
送路に沿って走行自在とした搬送車２２には、搬送車枠
２３の上部に上記したガイドレール２１のそれぞれに所
定のギャップを持って配置された２組の複合電磁石２４
と、これら複合電磁石２４を固定すると共にガイドレー
ル２１の下面と対向するように配置された平板状の基台
２５を取付けている。しかして、複合電磁石２４は、第
２図及び第３図に示すように上記したガイドレール２１
に対し所定のギャップを持ち、基台２５に対してはベー
ス２６及びピン２７を介して回動自在に取付けられてお
り、かつ上記したガイドレール２１の長手方向に沿って
中央と両側に配列された３個の継鉄２８及びこれら３個
の継鉄２８のうち少なくとも１個に巻き付けた電磁石コ
イル２９とからなる電磁石３０と、３個の継鉄２８の中
間にそれぞれ配置された２個の永久磁石３１とから構成
され、電磁石コイル２９を付勢することによって形成さ
れる磁束がほぼ２等分され、それぞれの永久磁石３１の
磁束と加算され、ガイドレール２１との間にほぼ等しい
２個の独立した磁束の閉ループを形成するようになって
いる。なお、この複合電磁石２４には、２個の光学ギャ
ップセンサ１３が、この継鉄２８の間に取付けられてい
る。

次に、以上のように構成された磁気浮上式搬送装置の作
用を説明する。まず、直線状の搬送路では、搬送車２２
の各複合型［［Ｅｉ２４は、ガイドレール２１との間に
作用する磁気力が均等になるから回動しない。つまり、
平面で見た複合電磁石２４とガイドレール２１の中心軸
は平行し、搬送車２２は直線状に走行移動をする。次に
、曲線状の搬送路では、搬送車２２の各複合型１ｉ５２
４は、本発明者の研究継鉄２８の外側間寸法をガイドレ
ール２１の幅より大きくすることにより、ガイドレール
２１の曲線に応じて磁気力がバランスするように回動す
ることが分かった。つまり、各複合電磁石２４は、搬送
車２２に取付けられていても、ガイドレール２１の曲線
部を走行移動する場合にはその曲線部に応じてそれぞれ
が回動する。従って、ガイドレール２１の曲率半径、つ
まり搬送路の曲率半径を小さくしても、搬送車２２の走
行移動が可能となる。

また、搬送路は、通常別個に製作した単位搬送路を組合
わせて設置することが多いが、この場合には温度による
膨張や単位搬送路の寸法公差に基ずく調整代等のため、
隣接するものの間に適宜の隙間（第２図にＧで示す）を
必要とする。ところが、複合電磁石２４は、２個の独立
した磁束の閉ループを形成しているから、この隙間を通
過する際にも、何れかの閉ループは保持され、磁気力の
消滅による不具合をなくすことができる。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、複合電磁石が搬送
車に回動できるように取付けられているから、搬送路の
曲線部の曲率半径を小ざくすることができ、これによっ
て搬送路の設置スペースを小ざくして設置空間全体の有
効活用を図り、かつコストも低減することができる。ま
た、複合電磁石が搬送路の長手方向に沿って取付けられ
ているから、搬送車の外形を従来より小ざくすることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は本発
明の一実施例の複合電磁石を示す断面図、第３図は第２
図のＡ−Ａ線に沿って矢印方向に見た平面図、第４図は
本発明の一実施例の作用を示す説明図、第５図は従来の
磁気浮上式搬送装置の断面図、第６図は従来の磁気浮上
式搬送装置の複合電磁石を示す平面図、第７図は第６図
のＡ−Ａ線に沿った矢印方向に見た断面図でおる。 ２０・・・軌道枠、　　　　ガイドレール２２・・・搬
送車、２４・・・複合電磁石２７・・・ピン、２８・・
・継鉄 ２９・・・電磁石コイル ３１・・・永久磁石 代理人　弁理士　則　近　憲　佑 同　　第子丸　健 第１図 第５図 第２図 第３図 第４図 第６図 第７図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）強磁性体のガイドレールが敷設された搬送路と、
   この搬送路に長手方向に沿い所定間隔を置いて配設され
   た１次側固定子と、この固定子と組合わされてリニアイ
   ンダクシヨンモータを形成する２次側導体と、前記ガイ
   ドレールとの間で磁力作用を生じる複合電磁石と、この
   複合磁石に流す電流を調節する制御装置と、前記２次側
   導体、前記複合電磁石および前記制御装置を搭載し、前
   記磁力作用により浮上しかつ前記リニアインダクシヨン
   モータの形成により前記搬送路に沿つて走行移動する搬
   送車とを備えた磁気浮上式搬送装置において、前記複合
   電磁石を、前記搬送車に前記ガイドレールの長手方向に
   沿つて配置されかつ回動自在に取付けると共に、磁束が
   ほぼ２等分されるような継鉄構造として中間に介挿した
   永久磁石の磁束と加算するように構成したことを特徴と
   する磁気浮上式搬送装置。