JPH01318916A - 磁気エンコーダ - Google Patents
磁気エンコーダInfo
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- JPH01318916A JPH01318916A JP15036088A JP15036088A JPH01318916A JP H01318916 A JPH01318916 A JP H01318916A JP 15036088 A JP15036088 A JP 15036088A JP 15036088 A JP15036088 A JP 15036088A JP H01318916 A JPH01318916 A JP H01318916A
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Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の産業上の利用分野]
この発明は、自動機器などに使用されている磁気エンコ
ーダに関し、特に精度が良好で且つバ・ソテリー動作中
に用いるのに好適な磁気エンコーダに関し、ロータリタ
イプ、リニアタイプの何れの磁気エンコーダにも用いる
ことのできるものである。
ーダに関し、特に精度が良好で且つバ・ソテリー動作中
に用いるのに好適な磁気エンコーダに関し、ロータリタ
イプ、リニアタイプの何れの磁気エンコーダにも用いる
ことのできるものである。
[従来技術とその問題点]
各種自動機器において位置決めを行う際、モータ等の回
転角(推進角)9回転量(移動量)を計測し、これを電
気信号に変換する手段か必要とされる。この目的で、エ
ンコーダと呼ばれる装置が多用されている。
転角(推進角)9回転量(移動量)を計測し、これを電
気信号に変換する手段か必要とされる。この目的で、エ
ンコーダと呼ばれる装置が多用されている。
たとえば、ロータリ形のエンコーダについて説明すると
ロータリエンコーダは2回転にともなって発生するパル
ス数を計測するインクリメンタル形のものと、ロータに
記録したコードを読み取るアブソリュート形のものがあ
る。また、検出方式には、光学式のものと磁気式のもの
があるが、最近では、安価で信頼性に優れたインクリメ
ンタル形磁気式エンコーダが多用されるようになってき
た。
ロータリエンコーダは2回転にともなって発生するパル
ス数を計測するインクリメンタル形のものと、ロータに
記録したコードを読み取るアブソリュート形のものがあ
る。また、検出方式には、光学式のものと磁気式のもの
があるが、最近では、安価で信頼性に優れたインクリメ
ンタル形磁気式エンコーダが多用されるようになってき
た。
第7図は、従来の一般的なロータリ磁気式エンコーダ1
の説明図で、外周にN極2N、S極2Sの磁極を交互等
間隔に微細ピッチで多極着磁した磁気エンコーダ磁極2
を有するマグネットロータ3と径方向の空隙4を介して
対向する位置に磁気抵抗(効果)素子(MRセンサと言
われている)5を対向配設して形成している。なお、マ
グネットロータ3は、マグネットにて形成した一体型の
ものであっても良く、適宜なロータドラムの外周にマグ
ネット層を塗布して形成したちの何れのものであっても
良い。
の説明図で、外周にN極2N、S極2Sの磁極を交互等
間隔に微細ピッチで多極着磁した磁気エンコーダ磁極2
を有するマグネットロータ3と径方向の空隙4を介して
対向する位置に磁気抵抗(効果)素子(MRセンサと言
われている)5を対向配設して形成している。なお、マ
グネットロータ3は、マグネットにて形成した一体型の
ものであっても良く、適宜なロータドラムの外周にマグ
ネット層を塗布して形成したちの何れのものであっても
良い。
上記磁気エンコーダ磁極2のN極2N、S極2Sそれぞ
れの1磁極幅は、λ(電気角で2πで表される幅に等し
い)幅で着磁されている。
れの1磁極幅は、λ(電気角で2πで表される幅に等し
い)幅で着磁されている。
また磁気抵抗素子5は3例えば強磁性体磁気抵抗効果素
子を用いるとして、先ず磁気エンコーダ1の原理を説明
するために、磁気抵抗素子5を構成する強磁性体薄膜で
形成された磁気抵抗効果を有する導体(磁気抵抗体であ
る磁気抵抗エレメントのことをいう))6について第8
図を用いて説明する。
子を用いるとして、先ず磁気エンコーダ1の原理を説明
するために、磁気抵抗素子5を構成する強磁性体薄膜で
形成された磁気抵抗効果を有する導体(磁気抵抗体であ
る磁気抵抗エレメントのことをいう))6について第8
図を用いて説明する。
この導体6は1例えば数千へ単位程度の厚みでNi−C
o系の金属薄膜(強磁性金属薄膜)をガラス等の基板に
真空蒸着やエツチング等の手段で形成することで上記磁
気−抵抗素子5を形成できる。
o系の金属薄膜(強磁性金属薄膜)をガラス等の基板に
真空蒸着やエツチング等の手段で形成することで上記磁
気−抵抗素子5を形成できる。
導体6は、第9図に示すように、これに流れる電流Iと
磁束7どの方向が垂直となるように配設しておくと、磁
束7は、N極2NからS極2Sに向かう。
磁束7どの方向が垂直となるように配設しておくと、磁
束7は、N極2NからS極2Sに向かう。
この導体6は、第9図に示すように磁束7内において横
方向の磁束7Xによって、抵抗値の減少をきたす。尚、
7Yは、縦方向の磁束を示す。
方向の磁束7Xによって、抵抗値の減少をきたす。尚、
7Yは、縦方向の磁束を示す。
このときの導体6の抵抗の変化率は1数%で。
磁気エンコーダ磁極2の一磁極の幅をλとしたとき、λ
/4及び3λ/4の位置における時の導体6の抵抗値を
R9抵抗の変化値をΔrとすると。
/4及び3λ/4の位置における時の導体6の抵抗値を
R9抵抗の変化値をΔrとすると。
磁4i(2Nまたは2S)と導体6の位相θ(−磁極幅
2N、2Sをそれぞれ電気角で2πとしたときの位相θ
とする)における抵抗値R(θ)は。
2N、2Sをそれぞれ電気角で2πとしたときの位相θ
とする)における抵抗値R(θ)は。
R(θ)=R−Δr−cosθ (1)で表すことが
できる。
できる。
横方向の磁束7Xは3位相θ、導体6及び磁気エンコー
ダ磁極2の距離に関係し、導体6も、それに応じた抵抗
値Rをとる。
ダ磁極2の距離に関係し、導体6も、それに応じた抵抗
値Rをとる。
尚、磁気抵抗素子5の場合、ホール素子等の他の磁気セ
ンサと異なり、磁界中心(N極2N、S極2Sそれぞれ
の中間部のところの磁界状態)では、横方向の磁束が無
いため無磁界と同様に出力信号が変化しないという特徴
がある。
ンサと異なり、磁界中心(N極2N、S極2Sそれぞれ
の中間部のところの磁界状態)では、横方向の磁束が無
いため無磁界と同様に出力信号が変化しないという特徴
がある。
上記した1本の導体6を有する磁気抵抗素子5によって
は、A相及びB相の磁気エコーダ信号を得ることができ
ないので1例えば第10図に示すように4本の導体6a
、6b、6a’ 、6b’をそれぞれ順次にλ/4だけ
ずらして形成し、A相及びB相の磁気エンコーダ信号を
得るようにしている。
は、A相及びB相の磁気エコーダ信号を得ることができ
ないので1例えば第10図に示すように4本の導体6a
、6b、6a’ 、6b’をそれぞれ順次にλ/4だけ
ずらして形成し、A相及びB相の磁気エンコーダ信号を
得るようにしている。
この磁気抵抗素子5は、A相の磁気エンコーダ信号を得
るために2つの導体6a、6a’ と、B相の磁気エン
コーダ信号を得るために導体6b。
るために2つの導体6a、6a’ と、B相の磁気エン
コーダ信号を得るために導体6b。
6b’を形成したものとなっている。
導体6aと6a’は、互いに逆位相となるように、磁気
エンコーダ磁極2の一磁極(N極2NまたはS極28)
の幅を^く電気角で2π)とするとき、λ/2幅ずらせ
て形成している。
エンコーダ磁極2の一磁極(N極2NまたはS極28)
の幅を^く電気角で2π)とするとき、λ/2幅ずらせ
て形成している。
同様に導体6bと6b’とは、互いに逆位相となるよう
に、λ/2幅ずらせて形成している。
に、λ/2幅ずらせて形成している。
また導体6aと6b、及び6a’と6b’ とは、互い
にλ/4幅ずらして形成されている。
にλ/4幅ずらして形成されている。
従って、磁気抵抗素子5は、λ/4ピッチずれて順次、
導体6a、6b、6a’ 、6b’を形成している。
導体6a、6b、6a’ 、6b’を形成している。
このように形成された磁気抵抗素子5からの磁気エンコ
ーダ信号を処理する回路としては、従来においては1例
えば第11図の方法がある。
ーダ信号を処理する回路としては、従来においては1例
えば第11図の方法がある。
この第11図に示す磁気抵抗素子5の磁気エンコーダ信
号処理回路8は、抵抗器9− 1、・・・、9−4により、ブリッジを構成して抵抗変
化を電圧変化に変換し、コンパレータ10−1.10−
2により、第12図(a)。
号処理回路8は、抵抗器9− 1、・・・、9−4により、ブリッジを構成して抵抗変
化を電圧変化に変換し、コンパレータ10−1.10−
2により、第12図(a)。
(b)に示すような90”位相が異なる2つの矩形波の
磁気エンコーダ信号11−1.11−2を得ることがで
きるようにしている。
磁気エンコーダ信号11−1.11−2を得ることがで
きるようにしている。
この矩形波の磁気エンコーダ信号11−1゜11−2を
カウンタによちて計数すれば、磁気エンコーダの回転角
を計測できる。
カウンタによちて計数すれば、磁気エンコーダの回転角
を計測できる。
上記第11図に示した磁気抵抗素子5の磁気エンコーダ
信号処理回路8は、磁気抵抗素子5の導体6aと6a’
、6bと6b’の接続点の中点電位の出力電圧を磁気
エンコーダ信号出力として利用したものである。
信号処理回路8は、磁気抵抗素子5の導体6aと6a’
、6bと6b’の接続点の中点電位の出力電圧を磁気
エンコーダ信号出力として利用したものである。
このように形成された磁気抵抗素子5は、いまA相分の
導体6a、6a’のみを取り出して描くと、第13図に
示すようなA相分の導体を有する磁気抵抗素子5゛とじ
ても描くことができる。
導体6a、6a’のみを取り出して描くと、第13図に
示すようなA相分の導体を有する磁気抵抗素子5゛とじ
ても描くことができる。
この磁気抵抗素子5′における導体6a。
6a’の形成すべき条件は、上記磁気抵抗素子5で説明
したと全く同じで、櫛歯状の導体6aと6a’は、互い
にλ磁極幅位相が離れた位置に互いに逆位相となるよう
に形成されている。導体6aの他端と導体6a゛の一端
が共通接続され。
したと全く同じで、櫛歯状の導体6aと6a’は、互い
にλ磁極幅位相が離れた位置に互いに逆位相となるよう
に形成されている。導体6aの他端と導体6a゛の一端
が共通接続され。
その中間を中点出力端子用導電体12に接続している。
導体6aの一端は、端子用導電体13を介して電源電池
14の正側に接続し、導体6a゛の他端は、端子用導電
体15″を介して電源電池16の負側に接続している。
14の正側に接続し、導体6a゛の他端は、端子用導電
体15″を介して電源電池16の負側に接続している。
電源電池14の負側と電源電池16の正側との接続点1
7と出力端子用導電体12とから、出力端子18−1.
18−2を取り出している。
7と出力端子用導電体12とから、出力端子18−1.
18−2を取り出している。
かかる磁気抵抗素子5゛によると、これらの導体6a、
6a’がマグネットロータ3の磁気エンコーダ磁極2面
に平行な磁界に感応して抵抗を減する。
6a’がマグネットロータ3の磁気エンコーダ磁極2面
に平行な磁界に感応して抵抗を減する。
この磁界成分は、マグネットロータ3の磁気エンコーダ
磁極2の磁極境界部で大きく、磁極中心部ではOである
ので、λ磁極幅異なる位置に設けられた導体6a、6a
’は、マグネットロータ3の回転に伴って極性が変化す
る為に、中点の電位がOを横切る回数を出力端子18−
1.18−2から取り出してカウントすることにより、
ロータの回転数を計測できる。
磁極2の磁極境界部で大きく、磁極中心部ではOである
ので、λ磁極幅異なる位置に設けられた導体6a、6a
’は、マグネットロータ3の回転に伴って極性が変化す
る為に、中点の電位がOを横切る回数を出力端子18−
1.18−2から取り出してカウントすることにより、
ロータの回転数を計測できる。
ところで、上記構成の磁気抵抗素子5′ くもちろん、
上記磁気抵抗素子5も同じである)の導体6a、6a’
によると、マグネットロータ3の回転に伴う中点電位の
変化は、第14図に示すような幅の狭い出力信号波形2
2.22’ となる場合が多い、これは、磁極ピッチに
比べてマグネットロータ3と磁気抵抗素子5′の間隔が
短い場合に特に顕著に現れる。
上記磁気抵抗素子5も同じである)の導体6a、6a’
によると、マグネットロータ3の回転に伴う中点電位の
変化は、第14図に示すような幅の狭い出力信号波形2
2.22’ となる場合が多い、これは、磁極ピッチに
比べてマグネットロータ3と磁気抵抗素子5′の間隔が
短い場合に特に顕著に現れる。
このように電位がゼロに近い部分の多い短い幅の波形が
ゼロを横切る点の計測は、基準電圧の変動によって、特
にデジタル信号になおす場合には、誤差を含み易く、ま
たノイズによる誤動作を招きやすいという問題点があっ
た。
ゼロを横切る点の計測は、基準電圧の変動によって、特
にデジタル信号になおす場合には、誤差を含み易く、ま
たノイズによる誤動作を招きやすいという問題点があっ
た。
尚、インクリメンタル形の磁気エンコーダの場合、アブ
ソリュート形のように磁気エンコーダのように絶対位置
が判明しないが2アブソリユート形に比較して小型であ
りながら比較的多くのパルス数が取れる利点がある。
ソリュート形のように磁気エンコーダのように絶対位置
が判明しないが2アブソリユート形に比較して小型であ
りながら比較的多くのパルス数が取れる利点がある。
このインクリメンタル形の磁気エンコーダでは、Z相(
原点)信号を得るために第15図のマグネットロータ3
′に示すように、従来の磁気エンコーダ磁極2の場合同
様にN極2’ N、S極2°Sの多極着磁体2′以外に
、1パルス分の原点信号(Z相信号)用着磁部27を形
成した原点信号用磁気トラック28を設けると共に、上
記磁気抵抗素子5′と同様に第16図に示すように多極
着磁体2゛と対向するA相用及びB用層の磁気エンコー
ダ信号を得るための磁気抵抗素子エレメント29A、2
9Bを設けると共に、原点信号(Z相信号)用着磁部2
7と対向する位置にZ相の磁気エンコーダ信号を得るた
めの原点検出用磁気抵抗素子エレメント30を設けた磁
気抵抗素子31をマグネットロータ3゛に対向配設する
必要がある。
原点)信号を得るために第15図のマグネットロータ3
′に示すように、従来の磁気エンコーダ磁極2の場合同
様にN極2’ N、S極2°Sの多極着磁体2′以外に
、1パルス分の原点信号(Z相信号)用着磁部27を形
成した原点信号用磁気トラック28を設けると共に、上
記磁気抵抗素子5′と同様に第16図に示すように多極
着磁体2゛と対向するA相用及びB用層の磁気エンコー
ダ信号を得るための磁気抵抗素子エレメント29A、2
9Bを設けると共に、原点信号(Z相信号)用着磁部2
7と対向する位置にZ相の磁気エンコーダ信号を得るた
めの原点検出用磁気抵抗素子エレメント30を設けた磁
気抵抗素子31をマグネットロータ3゛に対向配設する
必要がある。
このような構造の磁気抵抗素子31は、A相用及びB用
層の磁気エンコーダ信号を得るためにA相用磁気抵抗素
子エレメント29AとB相用磁気抵抗素子エレメント2
9Bとを(mλ十λ/4)磁極幅(mは1以上の整数で
、λは多極着磁体2゛の1磁極幅の間隔)位相をずらし
て配設する必要がある。
層の磁気エンコーダ信号を得るためにA相用磁気抵抗素
子エレメント29AとB相用磁気抵抗素子エレメント2
9Bとを(mλ十λ/4)磁極幅(mは1以上の整数で
、λは多極着磁体2゛の1磁極幅の間隔)位相をずらし
て配設する必要がある。
ここにA相用磁気抵抗素子エレメント29AとB相用磁
気抵抗素子エレメント29Bとを(mλ+λ/4)磁極
幅位相をずらせて絶縁基板32面に配設形成しなければ
ならないために。
気抵抗素子エレメント29Bとを(mλ+λ/4)磁極
幅位相をずらせて絶縁基板32面に配設形成しなければ
ならないために。
(mλ+λ/4)磁極幅の空間だけ磁気抵抗素子31に
無駄な空間ができる。
無駄な空間ができる。
また磁気抵抗素子31は、絶縁基板32の上記A相用及
びB相用磁気抵抗素子エレメント29A、29Bの上部
であり且つ原点検出用着磁部27を検出することができ
る位置に原点検出用磁気抵抗素子エレメント30を形成
し、その導電端子35をA相用及びB相用磁気抵抗素子
エレメント29A、29Bの導電端子33.34と反対
側の基板32の上部に導いて導電端子35を形成してい
るため、その導電端子35並びに当該導電端子35まで
の間のリード用導電体の長さだけ。
びB相用磁気抵抗素子エレメント29A、29Bの上部
であり且つ原点検出用着磁部27を検出することができ
る位置に原点検出用磁気抵抗素子エレメント30を形成
し、その導電端子35をA相用及びB相用磁気抵抗素子
エレメント29A、29Bの導電端子33.34と反対
側の基板32の上部に導いて導電端子35を形成してい
るため、その導電端子35並びに当該導電端子35まで
の間のリード用導電体の長さだけ。
当該磁気抵抗素子31の軸方向の長さが長くなり、磁気
抵抗素子31及び磁気エンコーダが高価且つ大型になる
欠点がある。また従来の磁気抵抗素子や第16図に示す
磁気抵抗素子31の場合。
抵抗素子31及び磁気エンコーダが高価且つ大型になる
欠点がある。また従来の磁気抵抗素子や第16図に示す
磁気抵抗素子31の場合。
Z相を有する磁気抵抗素子エレメントは、1本または2
本の磁気抵抗効果を有する導体によって構成されている
ため、上記磁気抵抗素子5’、31のA相用及びB用層
の磁気抵抗素子エレメント6a、6a’、29A、
29B同様に幅の狭い出力信号波形しか得られず、精度
の良い原点信号を有するインクリメンタル形磁気エンコ
ーダを得ることができない欠点があった。
本の磁気抵抗効果を有する導体によって構成されている
ため、上記磁気抵抗素子5’、31のA相用及びB用層
の磁気抵抗素子エレメント6a、6a’、29A、
29B同様に幅の狭い出力信号波形しか得られず、精度
の良い原点信号を有するインクリメンタル形磁気エンコ
ーダを得ることができない欠点があった。
[問題点を解決する手段]
上記の問題点を解決する方法について3本願発明者は種
々の検討を行ったが、略々均一な幅でN極、S極の磁極
が多数個設けられた多極磁極トラックと原点検出用着磁
部を有する原点検出用着磁トラックとを有する着磁体に
磁気抵抗素子を対向配置させた磁気エンコーダであって
、磁気抵抗素子が上記多極磁極トラックに対向して、略
(2n+1)λ(但し、nは0以上の整数、λは上記多
極着磁体の1磁極の幅)磁極幅に渡って順次連続して櫛
歯状等に形成されたA相用磁気エンコーダ出力信号を得
るための磁気抵抗効果を有する導体群によって構成され
たA相用磁気抵抗素子エレメントを設け、該A相用磁気
抵抗素子エレメントの磁気抵抗効果を有する導体群の中
点にA相用磁気エンコーダ出力を得る出力端子を設け、
上記A相用磁気抵抗素子エレメントと同様に形成される
と共にA相用磁気抵抗素子エレメントから(mλ+λ/
4)磁極幅(mは1以上の整数で、上記nとは独立して
与えられる整数)位相をずらせてB相用磁気エンコーダ
出力信号を得るための磁気抵抗効果を有する導体群によ
って構成されたB相用磁気抵抗素子エレメントを設け、
該B相用磁気抵抗素子エレメントの磁気抵抗効果を有す
る導体群の中点にB相用磁気エンコーダ出力を得る為の
出力端子を設け、上記A相用磁気抵抗素子エレメントと
B相用磁気抵抗素子エレメントの(mλ+λ/4)磁極
幅の空いた部分に原点検出用磁気抵抗素子エレメントの
導電端子を形成することで本発明の課題を達成できる。
々の検討を行ったが、略々均一な幅でN極、S極の磁極
が多数個設けられた多極磁極トラックと原点検出用着磁
部を有する原点検出用着磁トラックとを有する着磁体に
磁気抵抗素子を対向配置させた磁気エンコーダであって
、磁気抵抗素子が上記多極磁極トラックに対向して、略
(2n+1)λ(但し、nは0以上の整数、λは上記多
極着磁体の1磁極の幅)磁極幅に渡って順次連続して櫛
歯状等に形成されたA相用磁気エンコーダ出力信号を得
るための磁気抵抗効果を有する導体群によって構成され
たA相用磁気抵抗素子エレメントを設け、該A相用磁気
抵抗素子エレメントの磁気抵抗効果を有する導体群の中
点にA相用磁気エンコーダ出力を得る出力端子を設け、
上記A相用磁気抵抗素子エレメントと同様に形成される
と共にA相用磁気抵抗素子エレメントから(mλ+λ/
4)磁極幅(mは1以上の整数で、上記nとは独立して
与えられる整数)位相をずらせてB相用磁気エンコーダ
出力信号を得るための磁気抵抗効果を有する導体群によ
って構成されたB相用磁気抵抗素子エレメントを設け、
該B相用磁気抵抗素子エレメントの磁気抵抗効果を有す
る導体群の中点にB相用磁気エンコーダ出力を得る為の
出力端子を設け、上記A相用磁気抵抗素子エレメントと
B相用磁気抵抗素子エレメントの(mλ+λ/4)磁極
幅の空いた部分に原点検出用磁気抵抗素子エレメントの
導電端子を形成することで本発明の課題を達成できる。
即ち、磁気抵抗素子は、それぞれのA相用及びB用層の
磁気抵抗素子エレメントが上記多極磁気トラックの多極
磁極体の略(2n+1)λ(但し、nは0以上の整数、
λは磁気エンコーダの1磁極の幅)磁極幅に渡って順次
連続して櫛歯状等に形成された磁気抵抗効果を有する導
体群によって構成され、該磁気抵抗効果を有する導体群
の中点に出力端子を設け、該出力端子から磁気エンコー
ダ出力を得ることにより、矩形波(成は台形波)に近い
良好な信号が出力されることを見い出し1本発明に至っ
た。
磁気抵抗素子エレメントが上記多極磁気トラックの多極
磁極体の略(2n+1)λ(但し、nは0以上の整数、
λは磁気エンコーダの1磁極の幅)磁極幅に渡って順次
連続して櫛歯状等に形成された磁気抵抗効果を有する導
体群によって構成され、該磁気抵抗効果を有する導体群
の中点に出力端子を設け、該出力端子から磁気エンコー
ダ出力を得ることにより、矩形波(成は台形波)に近い
良好な信号が出力されることを見い出し1本発明に至っ
た。
磁気抵抗素子として、(2n+1)λ磁極幅に渡る磁気
抵抗効果を有する導体群を一様に隣接配置して設けたA
相用磁気抵抗素子エレメントとB相用磁気抵抗素子エレ
メントとの間の従来において無駄になっていた部分、即
ち上記A相用磁気抵抗素子エレメントとB相用磁気抵抗
素子エレメント間の(mλ+λ/4)磁極幅の空いた部
分に原点検出用磁気抵抗素子エレメントの導電端子を形
成しているため、原点検出用(Z用層)磁気抵抗素子エ
レメントを形成したとしても、従来のように、磁気抵抗
素子が大きくならず磁気エンコーダも小型且つ安価に形
成することができる。
抵抗効果を有する導体群を一様に隣接配置して設けたA
相用磁気抵抗素子エレメントとB相用磁気抵抗素子エレ
メントとの間の従来において無駄になっていた部分、即
ち上記A相用磁気抵抗素子エレメントとB相用磁気抵抗
素子エレメント間の(mλ+λ/4)磁極幅の空いた部
分に原点検出用磁気抵抗素子エレメントの導電端子を形
成しているため、原点検出用(Z用層)磁気抵抗素子エ
レメントを形成したとしても、従来のように、磁気抵抗
素子が大きくならず磁気エンコーダも小型且つ安価に形
成することができる。
[作用]
本発明の磁気エンコーダによる磁気抵抗素子は、そのA
相用磁気抵抗素子エレメント及びB相用磁気抵抗素子エ
レメントが従来の磁気抵抗素子5°、31の磁気抵抗効
果を有する導体を(2n+1)λ磁極幅に渡って多数個
を可動子の移動方向に沿って少しずつずらしながら厚み
方向に重ね合わせて形成したものと考えることができる
。
相用磁気抵抗素子エレメント及びB相用磁気抵抗素子エ
レメントが従来の磁気抵抗素子5°、31の磁気抵抗効
果を有する導体を(2n+1)λ磁極幅に渡って多数個
を可動子の移動方向に沿って少しずつずらしながら厚み
方向に重ね合わせて形成したものと考えることができる
。
このような重ね合わせを行うと、第5図及び第6図に示
すように出力波形は、矩形波(あるいは台形波)に近づ
く、このような波形であれば、ゼロに近い期間が少ない
ため、基準電圧の変動によるゼロクロス点の変化も少な
く、かかる波形をデジタル化した磁気エンコーダ信号に
直すのに都合良く、またノイズによる影響も少なく、精
度良好で信頼性の高い磁気エンコーダを得ることができ
る。
すように出力波形は、矩形波(あるいは台形波)に近づ
く、このような波形であれば、ゼロに近い期間が少ない
ため、基準電圧の変動によるゼロクロス点の変化も少な
く、かかる波形をデジタル化した磁気エンコーダ信号に
直すのに都合良く、またノイズによる影響も少なく、精
度良好で信頼性の高い磁気エンコーダを得ることができ
る。
また原点検出用磁気抵抗素子エレメントもA相用及びB
相用磁気抵抗素子エレメント同様に、従来の磁気抵抗素
子5’、31の原点検出用磁気抵抗素子エレメントの磁
気抵抗効果を有する導体を(mλ+λ/4)磁極幅に渡
って多数個を可動子の移動方向に沿って少しずつずらし
ながら厚み方向に重ね合わせて形成したように構成する
ことで、基準電圧の変動によるゼロクロス点の変化の少
ない矩形波の原点信号用出力波形を得ることができるの
で、精度良好な信頼性の高い原点信号を有するインクリ
メンタル形磁気エンコーダを構成することができる。
相用磁気抵抗素子エレメント同様に、従来の磁気抵抗素
子5’、31の原点検出用磁気抵抗素子エレメントの磁
気抵抗効果を有する導体を(mλ+λ/4)磁極幅に渡
って多数個を可動子の移動方向に沿って少しずつずらし
ながら厚み方向に重ね合わせて形成したように構成する
ことで、基準電圧の変動によるゼロクロス点の変化の少
ない矩形波の原点信号用出力波形を得ることができるの
で、精度良好な信頼性の高い原点信号を有するインクリ
メンタル形磁気エンコーダを構成することができる。
そして、このように形成された磁気抵抗素子では、更に
従来において無駄になっていた部分、即ち上記A相用磁
気抵抗素子エレメントとB相用磁気抵抗素子エレメント
の(mλ+λ/4)磁極幅の空いた部分に原点検出用磁
気抵抗素子エレメントの導電端子を形成しているため、
原点検出用(2相用)磁気抵抗素子エレメントを形成し
たとしても、従来のように、磁気抵抗素子が大きくなら
ず磁気エンコーダも小型且つ安価に形成することができ
る。
従来において無駄になっていた部分、即ち上記A相用磁
気抵抗素子エレメントとB相用磁気抵抗素子エレメント
の(mλ+λ/4)磁極幅の空いた部分に原点検出用磁
気抵抗素子エレメントの導電端子を形成しているため、
原点検出用(2相用)磁気抵抗素子エレメントを形成し
たとしても、従来のように、磁気抵抗素子が大きくなら
ず磁気エンコーダも小型且つ安価に形成することができ
る。
[実施例コ
第1図は本発明のインクリメンタル形磁気エンコーダ3
6に用いる磁気抵抗素子19の説明図で、第2図は同磁
気抵抗素子19の分解斜視図。
6に用いる磁気抵抗素子19の説明図で、第2図は同磁
気抵抗素子19の分解斜視図。
第3図は同磁気抵抗素子を用いたインクリメンタル形磁
気エンコーダ36の概略斜視図で、上記磁気抵抗素子1
9では、A相分の磁気抵抗素子エレメント19AとB相
分の磁気抵抗素子エレメント19Bとで、A相及びB相
の磁気エンコーダ信号が得られるように構成すると共に
、原点(Z相)信号が得られるようにするための原点信
号用磁気抵抗素子エレメント19Zとを構成したものを
描いている。
気エンコーダ36の概略斜視図で、上記磁気抵抗素子1
9では、A相分の磁気抵抗素子エレメント19AとB相
分の磁気抵抗素子エレメント19Bとで、A相及びB相
の磁気エンコーダ信号が得られるように構成すると共に
、原点(Z相)信号が得られるようにするための原点信
号用磁気抵抗素子エレメント19Zとを構成したものを
描いている。
磁気抵抗素子19は、A相の磁気エンコーダ信号から(
mλ+λ/4)磁極幅(mは1以上の整数で、後記する
整数nとは独立して与えられる整数、λは多極着磁体2
′の1磁極幅を示す)位相がずれて2例えば、この実施
例では9m21を選択しているので、λ+λ/4磁極幅
位相がずれてB相の磁気エンコーダ信号を得ることが出
来るようにするために、まず複数の順次隣接して形成さ
れた櫛歯状の磁気抵抗効果を有する直線状の導体20群
からなるA相の磁気抵抗素子エレメント19Aを形成し
、該磁気抵抗素子エレメント19Aから、同じく複数の
順次隣接して形成された櫛歯状の磁気抵抗効果を有する
直線状の導体20群からなるB相の磁気抵抗素子エレメ
ント19Bを磁気抵抗素子エレメント19Aがらλ+λ
/4磁極幅位相がずれて、それぞれ幅が磁気抵抗素子エ
レメント19A、19Bよりも大きく形成したガラス基
板等の絶縁基板26の上面に上記したような適宜な手段
によって形成し、その上面に後記する端子露出用切欠部
25aを有する薄膜絶縁体25を形成している。
mλ+λ/4)磁極幅(mは1以上の整数で、後記する
整数nとは独立して与えられる整数、λは多極着磁体2
′の1磁極幅を示す)位相がずれて2例えば、この実施
例では9m21を選択しているので、λ+λ/4磁極幅
位相がずれてB相の磁気エンコーダ信号を得ることが出
来るようにするために、まず複数の順次隣接して形成さ
れた櫛歯状の磁気抵抗効果を有する直線状の導体20群
からなるA相の磁気抵抗素子エレメント19Aを形成し
、該磁気抵抗素子エレメント19Aから、同じく複数の
順次隣接して形成された櫛歯状の磁気抵抗効果を有する
直線状の導体20群からなるB相の磁気抵抗素子エレメ
ント19Bを磁気抵抗素子エレメント19Aがらλ+λ
/4磁極幅位相がずれて、それぞれ幅が磁気抵抗素子エ
レメント19A、19Bよりも大きく形成したガラス基
板等の絶縁基板26の上面に上記したような適宜な手段
によって形成し、その上面に後記する端子露出用切欠部
25aを有する薄膜絶縁体25を形成している。
尚、上記薄膜絶縁体25は、後記する出力端子用導電体
12A、12B、13A、13B、15A、15B、4
1,42.43を露出しなければならないために、上記
薄膜絶縁体25に端子露出用切欠部25aを形成してい
る。この切欠部25aは、上記端子12A、12B、1
3A。
12A、12B、13A、13B、15A、15B、4
1,42.43を露出しなければならないために、上記
薄膜絶縁体25に端子露出用切欠部25aを形成してい
る。この切欠部25aは、上記端子12A、12B、1
3A。
13B、15A、15B、41,42.43が他の端子
と重ならない位置に適宜な幅に形成する必要がある。
と重ならない位置に適宜な幅に形成する必要がある。
磁気抵抗素子19を構成するA相用磁気抵抗素子エレメ
ント19Aは、第1図及び第2図に示すように多極着磁
体2′ (第3図参照)の(2n+1)λ(nは0以上
の整数、λは多極着磁体2゜の1磁極の幅)磁極幅9例
えば、この実施例のようにn=oの場合を例にすると、
多極着磁体2′の1磁極幅λに渡って順次隣接して磁気
抵抗効果を有する櫛歯状に形成された複数の導体20群
で形成され、λ磁極幅の範囲に渡って形成した導体20
群を2分する多極着磁体2″の回転方向がら見た中心に
設けられた位置の導体部20’位置がら、中点出力端子
用導電体12Aを取り出すようにしている。該出力端子
用導体導電体12Aにより2分された図面に於いて左半
分即ち、λ/2幅の範囲に渡って形成された導体20群
を磁気抵抗エレメント21Aとし、右半分即ち、λ/2
幅の範囲に渡って形成された導体20群を磁気抵抗エレ
メント21A゛と表すこととする。
ント19Aは、第1図及び第2図に示すように多極着磁
体2′ (第3図参照)の(2n+1)λ(nは0以上
の整数、λは多極着磁体2゜の1磁極の幅)磁極幅9例
えば、この実施例のようにn=oの場合を例にすると、
多極着磁体2′の1磁極幅λに渡って順次隣接して磁気
抵抗効果を有する櫛歯状に形成された複数の導体20群
で形成され、λ磁極幅の範囲に渡って形成した導体20
群を2分する多極着磁体2″の回転方向がら見た中心に
設けられた位置の導体部20’位置がら、中点出力端子
用導電体12Aを取り出すようにしている。該出力端子
用導体導電体12Aにより2分された図面に於いて左半
分即ち、λ/2幅の範囲に渡って形成された導体20群
を磁気抵抗エレメント21Aとし、右半分即ち、λ/2
幅の範囲に渡って形成された導体20群を磁気抵抗エレ
メント21A゛と表すこととする。
かかる磁気抵抗エレメント21A、21A’は、上記し
たように絶縁基板26上に適宜な手段によって形成する
ことで、A相用磁気エンコーダ出力信号を得るための磁
気抵抗素子エレメント19Aを形成している。
たように絶縁基板26上に適宜な手段によって形成する
ことで、A相用磁気エンコーダ出力信号を得るための磁
気抵抗素子エレメント19Aを形成している。
また、磁気抵抗素子19を構成する磁気抵抗素子エレメ
ント19Bは、多極着磁体2′ (第3図参照)の(2
n+1)λ(nは0以上の整数。λは磁気エンコーダ磁
極2の1磁極の幅)磁極幅。
ント19Bは、多極着磁体2′ (第3図参照)の(2
n+1)λ(nは0以上の整数。λは磁気エンコーダ磁
極2の1磁極の幅)磁極幅。
例えば、n=0の場合を例にすると、磁気エンコーダ磁
極2の1磁極幅λに渡って順次隣接して磁気抵抗効果を
有する櫛歯状に形成された複数の導体20群で形成され
、λ磁極幅の範囲に渡って形成した導体20群を2分す
る多極着磁体2′の回転方向から見た中心に設けられた
位置の導体部20゛位置から、中点出力端子用導電体1
2Bを取り出すようにしている。該出力端子用導体導電
体12Bにより2分された図面に於いて左半分即ち、λ
/2幅の範囲に渡って形成された導体20群を磁気抵抗
エレメント21Bとし、右半分即ち、λ/2幅の範囲に
渡って形成された導体20群を磁気抵抗エレメント21
B″と表すこととする。
極2の1磁極幅λに渡って順次隣接して磁気抵抗効果を
有する櫛歯状に形成された複数の導体20群で形成され
、λ磁極幅の範囲に渡って形成した導体20群を2分す
る多極着磁体2′の回転方向から見た中心に設けられた
位置の導体部20゛位置から、中点出力端子用導電体1
2Bを取り出すようにしている。該出力端子用導体導電
体12Bにより2分された図面に於いて左半分即ち、λ
/2幅の範囲に渡って形成された導体20群を磁気抵抗
エレメント21Bとし、右半分即ち、λ/2幅の範囲に
渡って形成された導体20群を磁気抵抗エレメント21
B″と表すこととする。
かかる磁気抵抗エレメント21B、218“は、上記し
たように絶縁基板26上に適宜な手段によって形成する
ことで、B相用磁気エンコーダ出力信号を得るための磁
気抵抗素子エレメント19Bを形成している。
たように絶縁基板26上に適宜な手段によって形成する
ことで、B相用磁気エンコーダ出力信号を得るための磁
気抵抗素子エレメント19Bを形成している。
この磁気抵抗素子エレメント19Bは、上記磁気抵抗素
子エレメント19Aがら2回転方向に対してλ/4幅(
但しlm=1の場合)だけ位相がずれたB相用磁気エン
コーダ信号が得られるように、同じく回転方向に対して
λ+λ/4幅(m=1の場合)だけ位相がずれて絶縁基
板26上に形成されている。
子エレメント19Aがら2回転方向に対してλ/4幅(
但しlm=1の場合)だけ位相がずれたB相用磁気エン
コーダ信号が得られるように、同じく回転方向に対して
λ+λ/4幅(m=1の場合)だけ位相がずれて絶縁基
板26上に形成されている。
このようにすることによって、磁気エンコーダ磁極2の
一磁極幅λに渡って、導体20群からなる互いにλ+λ
/4磁極幅だけ位相がずれて形成された。A相及びB相
の磁気抵抗エレメント21Aと21A°とからなる磁気
抵抗素子エレメント19Aと、磁気抵抗エレメント21
Bと21B′とからなる磁気抵抗素子エレメント19B
それぞれを形成している。
一磁極幅λに渡って、導体20群からなる互いにλ+λ
/4磁極幅だけ位相がずれて形成された。A相及びB相
の磁気抵抗エレメント21Aと21A°とからなる磁気
抵抗素子エレメント19Aと、磁気抵抗エレメント21
Bと21B′とからなる磁気抵抗素子エレメント19B
それぞれを形成している。
また、上記のように構成することによって磁気抵抗エレ
メント21Aと21A’、磁気抵抗エレメント21Bと
21B′とは、互いに逆位相に形成されたものと同じに
なる。
メント21Aと21A’、磁気抵抗エレメント21Bと
21B′とは、互いに逆位相に形成されたものと同じに
なる。
磁気抵抗素子エレメント19Aは、磁気抵抗エレメント
21Aの他端の導体20と磁気抵抗エレメント21A°
の一端の導体20とを共通接続し、その接続された中間
を引き出して中点出力端子用導電体12Aに接続してい
る。磁気抵抗エレメント2LAの一端の導体20は、端
子用導電体13Aを介して電源電池14Aの正側に接続
し。
21Aの他端の導体20と磁気抵抗エレメント21A°
の一端の導体20とを共通接続し、その接続された中間
を引き出して中点出力端子用導電体12Aに接続してい
る。磁気抵抗エレメント2LAの一端の導体20は、端
子用導電体13Aを介して電源電池14Aの正側に接続
し。
磁気抵抗エレメント21A゛の他端の導体20は、端子
用導電体15Aを介して電源電池16Aの負側に接続し
ている。電源電池14Aの負側と電源電池16Aの正側
との接続点17Aと中点出力端子用導電体12Aとから
、A相用磁気エンコーダ出力を取り出すための出力端子
18A−1,18A−2を取り出している。
用導電体15Aを介して電源電池16Aの負側に接続し
ている。電源電池14Aの負側と電源電池16Aの正側
との接続点17Aと中点出力端子用導電体12Aとから
、A相用磁気エンコーダ出力を取り出すための出力端子
18A−1,18A−2を取り出している。
また磁気抵抗素子エレメント19Bは、磁気抵抗エレメ
ント21Bの他端の導体20と磁気抵抗エレメント21
B′の一端の導体20とを共通接続し、その接続された
中間を引き出して中点出力端子用導電体12Bに接続し
ている。磁気抵抗エレメント21Bの一端の導体20は
、端子用導電体13Bを介して電源電池14Bの正側に
接続し、磁気抵抗エレメント218°の他端の導体20
は、端子用導電体15Bを介して電源電池16Bの負側
に接続している。電源電池14Bの負側と電源電池16
Bの正側との接続点17Bと中点出力端子用導電体12
Bとから、B相用磁気エンコーダ出力を取り出すための
出力端子18B−1,18B−2を取り出している。
ント21Bの他端の導体20と磁気抵抗エレメント21
B′の一端の導体20とを共通接続し、その接続された
中間を引き出して中点出力端子用導電体12Bに接続し
ている。磁気抵抗エレメント21Bの一端の導体20は
、端子用導電体13Bを介して電源電池14Bの正側に
接続し、磁気抵抗エレメント218°の他端の導体20
は、端子用導電体15Bを介して電源電池16Bの負側
に接続している。電源電池14Bの負側と電源電池16
Bの正側との接続点17Bと中点出力端子用導電体12
Bとから、B相用磁気エンコーダ出力を取り出すための
出力端子18B−1,18B−2を取り出している。
かかる磁気抵抗素子19によると、これらのA相用及び
B相用磁気抵抗素子エレメント19A。
B相用磁気抵抗素子エレメント19A。
19Bの磁気抵抗効果を有する導体20群は1例えば第
3図に示すマグネッートロータ3′の磁気多極着磁体2
′の平行な磁界に感応して抵抗を減する。
3図に示すマグネッートロータ3′の磁気多極着磁体2
′の平行な磁界に感応して抵抗を減する。
この磁界成分は、マグネットロータ3′の多極着磁体2
°の磁極境界部で大きく、磁極中心部ではOであるので
、<2n+l)λの範囲に渡って形成された磁気抵抗素
子エレメント19Aと19Bは、マグネットロータ3゛
の回転に伴いて極性が変化する為に、中点の電位が0を
横切る回数を出力端子18A−1と18A−2,18B
−1と18B−2から磁気エンコーダ出力を取り出して
カウントすることによりロータの回転数を計測できる。
°の磁極境界部で大きく、磁極中心部ではOであるので
、<2n+l)λの範囲に渡って形成された磁気抵抗素
子エレメント19Aと19Bは、マグネットロータ3゛
の回転に伴いて極性が変化する為に、中点の電位が0を
横切る回数を出力端子18A−1と18A−2,18B
−1と18B−2から磁気エンコーダ出力を取り出して
カウントすることによりロータの回転数を計測できる。
ところで、上記構成の磁気抵抗素子19にょると、マグ
ネットロータ3′の回転に伴う中点電位の変化は、磁気
抵抗素子エレメント19Aの磁気抵抗エレメント21A
と21A’、磁気抵抗素子エレメント19Bの磁気抵抗
エレメント21Bと21B゛とがそれぞれλ/2磁極幅
に渡って複数の導体20群によって形成されているため
に、当該磁気抵抗エレメント21Aと21A″、21B
と21B″によって、第14図に示したと同じような波
形がそれぞれ第4図(a)、(b)に示すように波形2
2Aと22A’ 、波形22Bと22B′がλ/2磁極
幅の範囲に渡って少しづつずらせながら重ね合わせたよ
うにλ/4磁極幅位相がずれた幅の狭い信号群からなる
2つの出力信号波形22Aと22A’ 、22Bと22
B”が得られると考えることができる。
ネットロータ3′の回転に伴う中点電位の変化は、磁気
抵抗素子エレメント19Aの磁気抵抗エレメント21A
と21A’、磁気抵抗素子エレメント19Bの磁気抵抗
エレメント21Bと21B゛とがそれぞれλ/2磁極幅
に渡って複数の導体20群によって形成されているため
に、当該磁気抵抗エレメント21Aと21A″、21B
と21B″によって、第14図に示したと同じような波
形がそれぞれ第4図(a)、(b)に示すように波形2
2Aと22A’ 、波形22Bと22B′がλ/2磁極
幅の範囲に渡って少しづつずらせながら重ね合わせたよ
うにλ/4磁極幅位相がずれた幅の狭い信号群からなる
2つの出力信号波形22Aと22A’ 、22Bと22
B”が得られると考えることができる。
従って、これら波形22Aと22A’ 、22Bと22
B′は、実際には、積分された波形となるので、同図の
点線23Aと23A’ 、23Bと23B°で示すよう
に合成されたものとなり、結果的には、中点の電位が第
5図及び第6図に示すような台形波(若しくは矩形波)
の出力信号波形24Aと24A’ 、24Bと24B′
として出力端子18A−1と18A−2,18B−1と
18B−2から取り出すことができる。
B′は、実際には、積分された波形となるので、同図の
点線23Aと23A’ 、23Bと23B°で示すよう
に合成されたものとなり、結果的には、中点の電位が第
5図及び第6図に示すような台形波(若しくは矩形波)
の出力信号波形24Aと24A’ 、24Bと24B′
として出力端子18A−1と18A−2,18B−1と
18B−2から取り出すことができる。
かかる出力信号波形24Aと24A’ 。
24Bと24B°によれば、第14図に示した出力信号
波形22.22’ と異なり、ゼロに近い部分が少なく
なるので、ゼロ電位を横切る点が少なくなり、このゼロ
点の計測は、基準電圧の変動によって誤差を含むことが
なくなり、又ノイズも少なくなるため、ノイズ誤動作が
なくなる。
波形22.22’ と異なり、ゼロに近い部分が少なく
なるので、ゼロ電位を横切る点が少なくなり、このゼロ
点の計測は、基準電圧の変動によって誤差を含むことが
なくなり、又ノイズも少なくなるため、ノイズ誤動作が
なくなる。
第5図及び第6図に示す波形24Aと24A’ 、24
Bと24B′を得ることができるA相及びB相の磁気抵
抗素子19において、上記のように磁気抵抗素子エレメ
ント19Aと19Bをλ/4磁極幅位相をずらして形成
しておくことで、第11図に示す磁気エンコーダ信号処
理回路8を用いれば、第11図(a)、(b)に示すよ
うな90°位相が異なる2つの矩形波のエンコーダ信号
11−1.11−2を得ることができる。
Bと24B′を得ることができるA相及びB相の磁気抵
抗素子19において、上記のように磁気抵抗素子エレメ
ント19Aと19Bをλ/4磁極幅位相をずらして形成
しておくことで、第11図に示す磁気エンコーダ信号処
理回路8を用いれば、第11図(a)、(b)に示すよ
うな90°位相が異なる2つの矩形波のエンコーダ信号
11−1.11−2を得ることができる。
従って、これらの矩形波のエンコーダ信号11−1.1
1−2をカウンタによって計数すれば、磁気エンコーダ
の回転角等を計測できる。
1−2をカウンタによって計数すれば、磁気エンコーダ
の回転角等を計測できる。
上記のように構成された磁気抵抗素子19においては、
A相用とB相用磁気抵抗素子エレメント19Aと19B
間には1mλ+λ/4磁極幅2m=0とすると、λ/4
磁極幅の間隔だけ無駄な空間が形成される。
A相用とB相用磁気抵抗素子エレメント19Aと19B
間には1mλ+λ/4磁極幅2m=0とすると、λ/4
磁極幅の間隔だけ無駄な空間が形成される。
従って、磁気抵抗素子エレメント19A、19Bの上部
(第1図の図面において)の絶縁基板26上の原点信号
用磁気トラック28の原点信号用着磁部27と対向でき
る位置に原点信号用磁気抵抗素子エレメント19zを形
成し、この原点信号用磁気抵抗素子エレメント19Zの
端子用リード線38,39.40を上記空間37を通し
て絶縁基板26上に形成している。
(第1図の図面において)の絶縁基板26上の原点信号
用磁気トラック28の原点信号用着磁部27と対向でき
る位置に原点信号用磁気抵抗素子エレメント19zを形
成し、この原点信号用磁気抵抗素子エレメント19Zの
端子用リード線38,39.40を上記空間37を通し
て絶縁基板26上に形成している。
尚1本発明においては、原点信号用磁気抵抗素子エレメ
ント19zは、従来のように1本または2本の磁気抵抗
効果を有する導体20によって構成しても良い。
ント19zは、従来のように1本または2本の磁気抵抗
効果を有する導体20によって構成しても良い。
しかし、この実施例では、A相用及びB相用磁気抵抗素
子エレメント19A、−19B同様の目的で、原点出力
信号波形がゼロに近い部分を少なくし、基準電圧の変動
によっても誤差が少なく、またノイズ誤動作が無く、正
確な原点出力信号波形が得られるようにするため、(2
n+1)λ磁極幅1またはmλ+λ/4磁極幅に渡って
複数の磁気抵抗効果を有する導体20を隣接配置して形
成することが望ましい。
子エレメント19A、−19B同様の目的で、原点出力
信号波形がゼロに近い部分を少なくし、基準電圧の変動
によっても誤差が少なく、またノイズ誤動作が無く、正
確な原点出力信号波形が得られるようにするため、(2
n+1)λ磁極幅1またはmλ+λ/4磁極幅に渡って
複数の磁気抵抗効果を有する導体20を隣接配置して形
成することが望ましい。
従って、この実施例では、上記空間37と同相位置で上
記磁気抵抗素子エレメント19Aと19Bの中間部の上
部にmλ+λ/4磁極幅9m=0とすると、λ/4磁極
幅に渡って複数の磁気抵抗効果を有する導体20を隣接
配置するために櫛歯状に形成した原点信号用磁気抵抗素
子エレメント19Zを形成している。
記磁気抵抗素子エレメント19Aと19Bの中間部の上
部にmλ+λ/4磁極幅9m=0とすると、λ/4磁極
幅に渡って複数の磁気抵抗効果を有する導体20を隣接
配置するために櫛歯状に形成した原点信号用磁気抵抗素
子エレメント19Zを形成している。
原点信号用磁気抵抗素子エレメント19Zの一端の導体
20は、端子用リード線38を介して絶縁基板26の下
端(第1図の紙面において)に形成された端子用導電体
41に接続されている。
20は、端子用リード線38を介して絶縁基板26の下
端(第1図の紙面において)に形成された端子用導電体
41に接続されている。
原点信号用磁気抵抗素子エレメント19Zの他端の導体
20は、端子用リード線40を介して絶縁基板26の下
端(第1図の紙面において)に形成された端子用導電体
43に接続されている。
20は、端子用リード線40を介して絶縁基板26の下
端(第1図の紙面において)に形成された端子用導電体
43に接続されている。
原点信号用磁気抵抗素子エレメント192の導体20の
中点からは、端子用リード線39を介して絶縁基板26
の下端(第1図の紙面において)に形成された中点出力
端子用導電体42に接続されている。
中点からは、端子用リード線39を介して絶縁基板26
の下端(第1図の紙面において)に形成された中点出力
端子用導電体42に接続されている。
導電体41は、電源電池44の正側に接続され、導電体
43は、電源電池45の負側に接続されている。導電体
42から取り出した出力端子46と、を源電池44と4
5との接続点から取り出した出力端子47から原点信号
用出力波形を得て原点用磁気エンコーダ出力を取り出し
ている。
43は、電源電池45の負側に接続されている。導電体
42から取り出した出力端子46と、を源電池44と4
5との接続点から取り出した出力端子47から原点信号
用出力波形を得て原点用磁気エンコーダ出力を取り出し
ている。
この原点信号用出力波形を基に、原点を参照してcw、
ccw方向のエンコーダパルスをカウントすることがで
きる。
ccw方向のエンコーダパルスをカウントすることがで
きる。
[発明の効果]
本発明の磁気エンコーダは、磁気抵抗素子から、A相用
、B用層及び原点用の磁気エンコーダ信号を矩形波ある
いは台形波の出力電位で取り出すことができるので、こ
の矩形波あるいは台形波の出力をデジタル化したときの
誤差が、非常に少なく、精度の良い磁気エンコーダを安
価且つ容易に構成できるため、簡単な構成で、しかも精
度良く2且つ安定して位置の計測が可能になる。
、B用層及び原点用の磁気エンコーダ信号を矩形波ある
いは台形波の出力電位で取り出すことができるので、こ
の矩形波あるいは台形波の出力をデジタル化したときの
誤差が、非常に少なく、精度の良い磁気エンコーダを安
価且つ容易に構成できるため、簡単な構成で、しかも精
度良く2且つ安定して位置の計測が可能になる。
更に1本発明による磁気抵抗素子は、導体の全長が長い
ため、電気抵抗の高い磁気抵抗素子が容易に得られ、消
費電力の少ない磁気エンコーダを構成できる。このこと
は、特にバッテリー動作中の磁気エンコーダとして最適
な磁気抵抗素子といえる。
ため、電気抵抗の高い磁気抵抗素子が容易に得られ、消
費電力の少ない磁気エンコーダを構成できる。このこと
は、特にバッテリー動作中の磁気エンコーダとして最適
な磁気抵抗素子といえる。
また本発明の最大の特徴からくる効果は、上記磁気エン
コーダに用いる為の磁気抵抗素子にあり、この磁気抵抗
素子はA相用とB用層の磁気抵抗素子エレメントとの間
の従来において無駄になっていた部分、即ち上記A相用
磁気抵抗素子エレメントとB相用磁気抵抗素子エレメン
ト間の(mλ+^/4)磁極幅の空いた部分に原点検出
用磁気抵抗素子エレメントの導電端子を形成しているた
め、原点検出用(Z用層)磁気抵抗素子エレメントを形
成したとしても、従来のように、磁気抵抗素子が大きく
ならず原点出力信号を得ることのできる磁気エンコーダ
も小型且つ安価に形成することができる。
コーダに用いる為の磁気抵抗素子にあり、この磁気抵抗
素子はA相用とB用層の磁気抵抗素子エレメントとの間
の従来において無駄になっていた部分、即ち上記A相用
磁気抵抗素子エレメントとB相用磁気抵抗素子エレメン
ト間の(mλ+^/4)磁極幅の空いた部分に原点検出
用磁気抵抗素子エレメントの導電端子を形成しているた
め、原点検出用(Z用層)磁気抵抗素子エレメントを形
成したとしても、従来のように、磁気抵抗素子が大きく
ならず原点出力信号を得ることのできる磁気エンコーダ
も小型且つ安価に形成することができる。
尚上記説明では、ロータリ磁気エンコーダについて説明
したが1本発明は、リニア磁気エンコーダについても当
然適用があることは言うまでもない。
したが1本発明は、リニア磁気エンコーダについても当
然適用があることは言うまでもない。
第1図は本発明の一実施例を示す原点信号得ることので
きるインクリメンタル形磁気エンコーダに用いた磁気抵
抗素子の説明図、第2図は第1図の磁気抵抗素子の分解
斜視図、第3図は同磁気エンコーダの概略斜視図、第4
図は第1図乃至第3図の磁気抵抗素子を用いた場合の本
発明の詳細な説明するため説明図、第5図は本発明に用
いな磁気抵抗素子のA相用の磁気エンコーダの出力信号
を示す波形図、第6図は本発明に用いた磁気抵抗素子の
A相用及びB用層の磁気エンコーダの出力信号を示す波
形図、第7図は従来公知のインクリメンタル形ロータリ
磁気エンコーダの概略説明図、第8図乃至第10図は磁
気エンコーダの磁気 ゛エンコーダ磁極と磁気抵抗素子
との関係の説明図、第11図は磁気抵抗素子の磁気エン
コーダ処理回路の説明図、第12図は同磁気エンコーダ
から得られるエンコーダ信号波形図、第13図は従来の
A相分の磁気抵抗素子の説明図、第14図は第13図の
磁気抵抗素子を用いた場合の磁気エンコーダの出力信号
を示す図、第15図は従来の原点信号を得ることのでき
る磁気エンコーダの概略斜視図、第16図は第15図の
磁気エンコーダに用いた磁気抵抗素子の斜視図である。 [符号の説明] 1・・・ロータリ磁気エンコーダ。 2・・・磁気エンコーダ磁極、2゛ ・・・多極着磁体
、2N、2N’ ・・・N極。 2S、2S’ ・・・S極、3.3’ ・・・マグ
ネットロータ、4・・・空隙、5.5’ ・・・磁気
抵抗素子。 6.6a、6a’ 、6b、6b’ −−−導体(磁
気抵抗エレメント)、7,7X、7Y・・・磁束、8・
・・磁気エンコーダ信号処理回路。 9−1.・・・、9−4・・・抵抗器。 10−1.10−2・・・コンパレータ。 11−1.11−2・・・磁気エンコーダ信号。 12.12A、12B・・・中点出力端子用導電体、1
3.13A、13B・・・端子用導電体。 14.14A、14B・・・電源電池。 15.15A、15B・・・端子用導電体。 16.16A、16B・・・電源電池。 17.17A、17B・・・接続点。 18−1.18−2.18A−1,18A−2゜18B
−1,18B−2・・・出力端子。 19・・・磁気抵抗素子。 19A・・・A相用の磁気抵抗素子エレメント。 19B・・・B用層の磁気抵抗素子エレメント。 19Z・・・原点信号用磁気抵抗素子エレメント、20
・・・導体、20′ ・・・導体部。 21A、21A’ ・・・A相用の磁気抵抗エレメン
ト、21B、21B’ ・・・B用層の磁気抵抗エレ
メント、22.22’ 、22A、22A’ 。 22B、22B’ ・・・出力信号波形。 23A、23A’ 、23B、23B’・・・点線、2
4A、24A’ 、24B、24B’ ・・・出力信号
波形、25・・・薄膜絶縁体。 25a・・・端子露出用切欠部226・・・絶縁基板、
27・・・原点信号用着磁部、28・・・原点信号用磁
気トラック、29A・・・A相用磁気抵抗素子エレメン
ト、29B・・・B相用磁気抵抗素子エレメント、30
・・・原点検出用磁気抵抗素子エレメント、31・・・
磁気抵抗素子。 32・・・絶縁基板、33,34.35・・・導電端子
、36・・・インクリメンタル形磁気エンコーダ、37
・・・空間1 38.39.40・・・端子用リード線。 41・・・導電端子、42・・・中点出力用導電体、4
3・・・導電端子。 44.45・・・電源電池、46.47・・・出力端子
。
きるインクリメンタル形磁気エンコーダに用いた磁気抵
抗素子の説明図、第2図は第1図の磁気抵抗素子の分解
斜視図、第3図は同磁気エンコーダの概略斜視図、第4
図は第1図乃至第3図の磁気抵抗素子を用いた場合の本
発明の詳細な説明するため説明図、第5図は本発明に用
いな磁気抵抗素子のA相用の磁気エンコーダの出力信号
を示す波形図、第6図は本発明に用いた磁気抵抗素子の
A相用及びB用層の磁気エンコーダの出力信号を示す波
形図、第7図は従来公知のインクリメンタル形ロータリ
磁気エンコーダの概略説明図、第8図乃至第10図は磁
気エンコーダの磁気 ゛エンコーダ磁極と磁気抵抗素子
との関係の説明図、第11図は磁気抵抗素子の磁気エン
コーダ処理回路の説明図、第12図は同磁気エンコーダ
から得られるエンコーダ信号波形図、第13図は従来の
A相分の磁気抵抗素子の説明図、第14図は第13図の
磁気抵抗素子を用いた場合の磁気エンコーダの出力信号
を示す図、第15図は従来の原点信号を得ることのでき
る磁気エンコーダの概略斜視図、第16図は第15図の
磁気エンコーダに用いた磁気抵抗素子の斜視図である。 [符号の説明] 1・・・ロータリ磁気エンコーダ。 2・・・磁気エンコーダ磁極、2゛ ・・・多極着磁体
、2N、2N’ ・・・N極。 2S、2S’ ・・・S極、3.3’ ・・・マグ
ネットロータ、4・・・空隙、5.5’ ・・・磁気
抵抗素子。 6.6a、6a’ 、6b、6b’ −−−導体(磁
気抵抗エレメント)、7,7X、7Y・・・磁束、8・
・・磁気エンコーダ信号処理回路。 9−1.・・・、9−4・・・抵抗器。 10−1.10−2・・・コンパレータ。 11−1.11−2・・・磁気エンコーダ信号。 12.12A、12B・・・中点出力端子用導電体、1
3.13A、13B・・・端子用導電体。 14.14A、14B・・・電源電池。 15.15A、15B・・・端子用導電体。 16.16A、16B・・・電源電池。 17.17A、17B・・・接続点。 18−1.18−2.18A−1,18A−2゜18B
−1,18B−2・・・出力端子。 19・・・磁気抵抗素子。 19A・・・A相用の磁気抵抗素子エレメント。 19B・・・B用層の磁気抵抗素子エレメント。 19Z・・・原点信号用磁気抵抗素子エレメント、20
・・・導体、20′ ・・・導体部。 21A、21A’ ・・・A相用の磁気抵抗エレメン
ト、21B、21B’ ・・・B用層の磁気抵抗エレ
メント、22.22’ 、22A、22A’ 。 22B、22B’ ・・・出力信号波形。 23A、23A’ 、23B、23B’・・・点線、2
4A、24A’ 、24B、24B’ ・・・出力信号
波形、25・・・薄膜絶縁体。 25a・・・端子露出用切欠部226・・・絶縁基板、
27・・・原点信号用着磁部、28・・・原点信号用磁
気トラック、29A・・・A相用磁気抵抗素子エレメン
ト、29B・・・B相用磁気抵抗素子エレメント、30
・・・原点検出用磁気抵抗素子エレメント、31・・・
磁気抵抗素子。 32・・・絶縁基板、33,34.35・・・導電端子
、36・・・インクリメンタル形磁気エンコーダ、37
・・・空間1 38.39.40・・・端子用リード線。 41・・・導電端子、42・・・中点出力用導電体、4
3・・・導電端子。 44.45・・・電源電池、46.47・・・出力端子
。
Claims (2)
- (1)略々均一な幅でN極、S極の磁極が多数個設けら
れた多極磁極トラックと原点検出用着磁部を有する原点
検出用着磁トラックとを有する着磁体に磁気抵抗素子を
対向配置させた磁気エンコーダであって、磁気抵抗素子
が上記多極磁極トラックに対向して、略(2n+1)λ
(但し、nは0以上の整数、λは上記多極着磁体の1磁
極の幅)磁極幅に渡って順次連続して櫛歯状等に形成さ
れたA相用磁気エンコーダ出力信号を得るための磁気抵
抗効果を有する導体群によって構成されたA相用磁気抵
抗素子エレメントを設け、該A相用磁気抵抗素子エレメ
ントの磁気抵抗効果を有する導体群の中点にA相用磁気
エンコーダ出力を得る出力端子を設け、上記A相用磁気
抵抗素子エレメントと同様に形成されると共にA相用磁
気抵抗素子エレメントから(mλ+λ/4)磁極幅(m
は1以上の整数で、上記nとは独立して与えられる整数
)位相をずらせてB相用磁気エンコーダ出力信号を得る
ための磁気抵抗効果を有する導体群によって構成された
B相用磁気抵抗素子エレメントを設け、該B相用磁気抵
抗素子エレメントの磁気抵抗効果を有する導体群の中点
にB相用磁気エンコーダ出力を得る為の出力端子を設け
、上記A相用磁気抵抗素子エレメントとB相用磁気抵抗
素子エレメントの(mλ+λ/4)磁極幅の空いた部分
に原点検出用磁気抵抗素子エレメントの導電端子を形成
してなる、磁気エンコーダ。 - (2)上記原点検出用磁気抵抗素子エレメントは、(m
λ+λ/4)磁極幅に渡って複数の磁気抵抗効果を有す
る導体群によって構成してなる、特許請求の範囲第(1
)項記載磁気エンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15036088A JPH01318916A (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | 磁気エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15036088A JPH01318916A (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | 磁気エンコーダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01318916A true JPH01318916A (ja) | 1989-12-25 |
Family
ID=15495289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15036088A Pending JPH01318916A (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | 磁気エンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01318916A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4208154A1 (de) * | 1991-03-14 | 1992-09-17 | Sony Magnescale Inc | Magnetischer sensor |
-
1988
- 1988-06-20 JP JP15036088A patent/JPH01318916A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4208154A1 (de) * | 1991-03-14 | 1992-09-17 | Sony Magnescale Inc | Magnetischer sensor |
| DE4208154C2 (de) * | 1991-03-14 | 1994-03-10 | Sony Magnescale Inc | Magnetischer Sensor |
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