JPH01320255A - セラミックス−bn系複合材料の製造方法 - Google Patents
セラミックス−bn系複合材料の製造方法Info
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- JPH01320255A JPH01320255A JP63154064A JP15406488A JPH01320255A JP H01320255 A JPH01320255 A JP H01320255A JP 63154064 A JP63154064 A JP 63154064A JP 15406488 A JP15406488 A JP 15406488A JP H01320255 A JPH01320255 A JP H01320255A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、摺動特性、耐摩耗性、加工性に浸れたセラミ
ックス−IlN系複合材料の製造方法に関する。
ックス−IlN系複合材料の製造方法に関する。
[従来の技術及び解決すべき課題]
セラミックスは優れた耐熱性、耐食性を持ち、高硬度、
高強度であるため、スラリー輸送パイプ内張り、メカニ
カルシール等、耐蝕耐IT耗+4料として広く利用され
ている。しかしながら、軸受けのボール、リテーナ−1
磁気ヘツド基材、スライダー等の精密摺動材料あるいは
エンジン部材として利用する場合、その摩擦係数が大き
い、加工面精度が低い等で、広く実用化には至っていな
い。
高強度であるため、スラリー輸送パイプ内張り、メカニ
カルシール等、耐蝕耐IT耗+4料として広く利用され
ている。しかしながら、軸受けのボール、リテーナ−1
磁気ヘツド基材、スライダー等の精密摺動材料あるいは
エンジン部材として利用する場合、その摩擦係数が大き
い、加工面精度が低い等で、広く実用化には至っていな
い。
これを解決する手段として、特開昭61−281086
号公報に「セラミックス多孔体にフッ素オイルを含浸す
る方法」、特開昭61−251586号公報に「セラミ
ックス多孔体に樹脂を含浸する方法」が開示されている
が、いずれらセラミックス−a機動複合系で、セラミッ
クスの優れた耐熱性を発現できない。また、セラミック
ス多孔体に何機物を含浸しただけなので、強度、硬度、
加工表面精度が不十分である。
号公報に「セラミックス多孔体にフッ素オイルを含浸す
る方法」、特開昭61−251586号公報に「セラミ
ックス多孔体に樹脂を含浸する方法」が開示されている
が、いずれらセラミックス−a機動複合系で、セラミッ
クスの優れた耐熱性を発現できない。また、セラミック
ス多孔体に何機物を含浸しただけなので、強度、硬度、
加工表面精度が不十分である。
更に、特開昭61−51614号公報にrZrO3とカ
ーボンとの混合物を焼結する方法」が開示されているが
、複合成分が炭素であるため、耐熱性が不十分である。
ーボンとの混合物を焼結する方法」が開示されているが
、複合成分が炭素であるため、耐熱性が不十分である。
また、特開昭62−56376号および同62−563
77号公報に「複合焼結体の製造方法」が開示されてい
るが、窒化アルミニウム粉末とBN粉末の混合物を成形
、焼成するもので、結晶化したBN粉末を使用するため
、セラミックス種が限定され、かつ、分散度が悪く、焼
成体の加工面精度は低い。
77号公報に「複合焼結体の製造方法」が開示されてい
るが、窒化アルミニウム粉末とBN粉末の混合物を成形
、焼成するもので、結晶化したBN粉末を使用するため
、セラミックス種が限定され、かつ、分散度が悪く、焼
成体の加工面精度は低い。
一方、現在、表面に磁性層を塗布したり、薄膜形成した
磁性層を有するフレキシブルデスクやハードデスクまた
は磁気テープを用いて記録再生を行なうため、種々の磁
気媒体装置が市販され、さらに高密度化に向けて開発が
進められている。これらの記録再生装置は、磁気媒体と
常時または一時的に相対して摺接する部品が数多く使用
されている。これらの部品は耐久性に優れ、かつ相対的
に摺接する記録媒体を損傷させないことか必要である。
磁性層を有するフレキシブルデスクやハードデスクまた
は磁気テープを用いて記録再生を行なうため、種々の磁
気媒体装置が市販され、さらに高密度化に向けて開発が
進められている。これらの記録再生装置は、磁気媒体と
常時または一時的に相対して摺接する部品が数多く使用
されている。これらの部品は耐久性に優れ、かつ相対的
に摺接する記録媒体を損傷させないことか必要である。
特に高速、高密度化の傾向が高く、媒体との摺接部品に
はより厳しい制約が課せられ従来のセラミックスに変わ
る材料が要望されている。
はより厳しい制約が課せられ従来のセラミックスに変わ
る材料が要望されている。
[課題解決のための手段]
本発明者らは、前述の課題を解決するため鋭意研究を重
ねた結果、摺動特性、加工性に優れ、しから材料が本来
的に持っている強度、硬度を十分引出し得るセラミック
ス−BN系複合材料の製造方法を完成するに至った。
ねた結果、摺動特性、加工性に優れ、しから材料が本来
的に持っている強度、硬度を十分引出し得るセラミック
ス−BN系複合材料の製造方法を完成するに至った。
即ち、本発明は、セラミックス−BN系複合材料の製法
において、BN源として特定のBN前駆体を用いること
を特徴とするものである。ここで用いられるBN前駆体
はX線回折によるB N(002)面間隔が2.15〜
2.40人かつ結晶子の大きさが50〜2000人のら
のであり、本発明ではこれを焼成前のセラミックス配合
物中5〜50wt%含むセラミックス−BN前駆体組成
物を予備成型した後、10〜120MPa、好、ましく
は20〜100MPaの圧力下で焼成することを特徴と
するセラミックス−BN系複合材料の製造方法に関する
ものである。本発明にいう(OO2)面間隔及び結晶子
の大きさとは、X線回折によるCuKα回折ピークの半
価幅中点法により求めた2θ値と半価幅とから、それぞ
れブラッグの式及びシェラ−の式から計算したものであ
る。
において、BN源として特定のBN前駆体を用いること
を特徴とするものである。ここで用いられるBN前駆体
はX線回折によるB N(002)面間隔が2.15〜
2.40人かつ結晶子の大きさが50〜2000人のら
のであり、本発明ではこれを焼成前のセラミックス配合
物中5〜50wt%含むセラミックス−BN前駆体組成
物を予備成型した後、10〜120MPa、好、ましく
は20〜100MPaの圧力下で焼成することを特徴と
するセラミックス−BN系複合材料の製造方法に関する
ものである。本発明にいう(OO2)面間隔及び結晶子
の大きさとは、X線回折によるCuKα回折ピークの半
価幅中点法により求めた2θ値と半価幅とから、それぞ
れブラッグの式及びシェラ−の式から計算したものであ
る。
本発明に用いられるセラミックス粒子として好ましくは
、A(ho3、ZrCL、’ri(L、MgO。
、A(ho3、ZrCL、’ri(L、MgO。
SrO,、NiONlol等の酸化物; 5iC1Ti
C。
C。
W C1B 4 Cs Z r C等の炭化物; 5i
aN*、A12N。
aN*、A12N。
’riN、ZrN等の窒化物;ZrBt、CrB、Ti
B2等のホウ化物から選ばれる1種あるいは2種以上の
らのが挙げられる。また、これらの化合物の固溶体を使
用してもよい。これら粉末の純度はセラミックス成分が
90wt%以上、粒径は0.05〜5.00μmのもの
が好ましい。純度90wt%未満では、セラミックスの
耐熱性、高硬度という特性が発現しない。粒径が上記範
囲以下では、粉末が凝集体を形成して均一な複合組織と
ならず、上記範囲以上では、焼結性か悪くなり、強度が
低く、高密度とならない。セラミックス粒子の使用量は
、50〜95wt%か望ましい。50%以下では、セラ
ミックスのもつ耐熱性、高強度、高硬度特性を発現させ
るのが困難で、96wt%以上ではBN複合による複合
効果が十分でない。
B2等のホウ化物から選ばれる1種あるいは2種以上の
らのが挙げられる。また、これらの化合物の固溶体を使
用してもよい。これら粉末の純度はセラミックス成分が
90wt%以上、粒径は0.05〜5.00μmのもの
が好ましい。純度90wt%未満では、セラミックスの
耐熱性、高硬度という特性が発現しない。粒径が上記範
囲以下では、粉末が凝集体を形成して均一な複合組織と
ならず、上記範囲以上では、焼結性か悪くなり、強度が
低く、高密度とならない。セラミックス粒子の使用量は
、50〜95wt%か望ましい。50%以下では、セラ
ミックスのもつ耐熱性、高強度、高硬度特性を発現させ
るのが困難で、96wt%以上ではBN複合による複合
効果が十分でない。
本発明で使用するBN前駆体は、X線回折にょ7>l3
N(7)(002)面間隔が、2.15〜2.40人の
範囲のらので、結晶子の大きさが50〜2000人であ
ることが必要である。望ましくはBN前駆体は不純物と
して含まれるB、0.の含有率が5wL%以下のもので
ある。B N 面駆体のX線回折による(002)面間
隔が2.40人を越えた場合または結晶子の大きさか5
0人に足りない場合は、焼成による結晶化か難しくなり
、複合による特性向」二、例えば摺動性、加工性向上が
発現できない。
N(7)(002)面間隔が、2.15〜2.40人の
範囲のらので、結晶子の大きさが50〜2000人であ
ることが必要である。望ましくはBN前駆体は不純物と
して含まれるB、0.の含有率が5wL%以下のもので
ある。B N 面駆体のX線回折による(002)面間
隔が2.40人を越えた場合または結晶子の大きさか5
0人に足りない場合は、焼成による結晶化か難しくなり
、複合による特性向」二、例えば摺動性、加工性向上が
発現できない。
(OO2)面間隔が2.15人未満の場合または結晶子
の大きさが2000人を越えるときは、BN粒子とセラ
ミックス粒子との均一混合が困難となり、複合するセラ
ミックス種が限定される」二、焼成体の強度、加工面精
度が劣るものとなる。BN前駆体中のB、03成分が5
wt%以上の場合、焼成体中にB、03成分が残留し、
強度、加工性、摺動特性4こ劣る場合がある。
の大きさが2000人を越えるときは、BN粒子とセラ
ミックス粒子との均一混合が困難となり、複合するセラ
ミックス種が限定される」二、焼成体の強度、加工面精
度が劣るものとなる。BN前駆体中のB、03成分が5
wt%以上の場合、焼成体中にB、03成分が残留し、
強度、加工性、摺動特性4こ劣る場合がある。
本発明に係わるBN而面体は、BN結晶の発達が不十分
で結晶子の小さいものであるが、このため活性に優れ、
−船釣にセラミックスとの馴染みや分散性がよく、用い
るセラミックスの焼成温度で容易にBNに結晶化する。
で結晶子の小さいものであるが、このため活性に優れ、
−船釣にセラミックスとの馴染みや分散性がよく、用い
るセラミックスの焼成温度で容易にBNに結晶化する。
このような13N前駆体の合成法は、具体的には従来か
ら知られている合成方法、例えば、ホウ酸、酸化ホウ素
、ホウ酸アンモニウム等をホウ酸源とし、尿素、メラミ
ン、ノンアンジアミド等の窒素を含む有機物を用いて窒
化還元する方法、ジボランを分解する方法、CVD法等
によって得られるが、工業的には還元窒化法が好ましい
。これらの方法において、上述の[3N 面駆体条件を
満たすためには特定の条件を選ぶことが必要である。
ら知られている合成方法、例えば、ホウ酸、酸化ホウ素
、ホウ酸アンモニウム等をホウ酸源とし、尿素、メラミ
ン、ノンアンジアミド等の窒素を含む有機物を用いて窒
化還元する方法、ジボランを分解する方法、CVD法等
によって得られるが、工業的には還元窒化法が好ましい
。これらの方法において、上述の[3N 面駆体条件を
満たすためには特定の条件を選ぶことが必要である。
本発明で使用するBN前駆体の量は5〜50vt%が望
ましい。5wt%以下では前述と同様にBN複合による
複合効果が不十分となることがあり、50w(5以上で
はセラミックス本来の高強度、高硬度特性が発現しない
ためである。
ましい。5wt%以下では前述と同様にBN複合による
複合効果が不十分となることがあり、50w(5以上で
はセラミックス本来の高強度、高硬度特性が発現しない
ためである。
本発明のセラミックス−BN系複合材料の製造方法は、
前述の限定したセラミックス粒子とBN萌駆体を混合し
た後、金型プレス、鋳込み成型、射出成型等で予備成型
する。必要に応じて、脱脂した後、熱間ダイス、ガラス
カプセル、金属カプセル等中に前記予備成形体を挿入し
、10〜120 M P a、好ましくは20〜loO
MPaの圧力で、該セラミックスの焼成温度のもとで、
非酸化性雰囲気中で焼成して得られる。
前述の限定したセラミックス粒子とBN萌駆体を混合し
た後、金型プレス、鋳込み成型、射出成型等で予備成型
する。必要に応じて、脱脂した後、熱間ダイス、ガラス
カプセル、金属カプセル等中に前記予備成形体を挿入し
、10〜120 M P a、好ましくは20〜loO
MPaの圧力で、該セラミックスの焼成温度のもとで、
非酸化性雰囲気中で焼成して得られる。
一般的には熱間ダイスの場合はポットプレス、カプセル
の場合はlI T P (熱間静水圧プレス)が用いら
れろ。雰囲気ガスは、セラミックス種により、Ar、
I−[c、 N2、Co等が1種または2種以上混合し
て用いられる。
の場合はlI T P (熱間静水圧プレス)が用いら
れろ。雰囲気ガスは、セラミックス種により、Ar、
I−[c、 N2、Co等が1種または2種以上混合し
て用いられる。
[実施例]
次に本発明によって得られたセラミックス−BN系複合
材料の特徴を実施例で詳述する。
材料の特徴を実施例で詳述する。
実施例1−10および比較例1〜6
実施例1〜10は、第1表に示すセラミックス粒子とB
N 1iii駆体をエタノール中で湿式混合、乾燥し
、全形プレスで予備成形した後、所定の雰囲気、温度て
10〜60MPaの圧力でホットプレスしたちのである
。
N 1iii駆体をエタノール中で湿式混合、乾燥し
、全形プレスで予備成形した後、所定の雰囲気、温度て
10〜60MPaの圧力でホットプレスしたちのである
。
比較例1は所定の温度で、無加圧真空焼成したちのであ
る。比較例2〜6は実施例と同様の条件で焼成したもの
である。
る。比較例2〜6は実施例と同様の条件で焼成したもの
である。
上記複合材料について強度等を測定して、第1表に示す
。曲げ強度は、J[5I604Rに基づき、硬度は、ビ
ッカース硬度計によりIOKgfの荷重で、摩擦係数、
摩耗量はピン−オンディスク法により、3に9fの荷重
で、相手材に該セラミックス単味焼結体を選び、300
rpmの回転数で測定した。加工面精度は、平面研削
盤でRmax= 120sまで研削した後、研磨盤で、
3μmのダイヤモンドペーストでラッピング、1μmの
ダイヤモンドペーストでポリッシングした後、レーダー
式非接触表面粗さ計で測定した。
。曲げ強度は、J[5I604Rに基づき、硬度は、ビ
ッカース硬度計によりIOKgfの荷重で、摩擦係数、
摩耗量はピン−オンディスク法により、3に9fの荷重
で、相手材に該セラミックス単味焼結体を選び、300
rpmの回転数で測定した。加工面精度は、平面研削
盤でRmax= 120sまで研削した後、研磨盤で、
3μmのダイヤモンドペーストでラッピング、1μmの
ダイヤモンドペーストでポリッシングした後、レーダー
式非接触表面粗さ計で測定した。
実施例1の複合材料をメカニカルシールに適用したとこ
ろ、従来材料に較べ、シール性も良好で長時間の耐久性
を示した。
ろ、従来材料に較べ、シール性も良好で長時間の耐久性
を示した。
実施例4の複合材料を転がり軸受リテーナ−に精密加工
し、使用したところ、無潤滑で長時間の耐久性を示した
。
し、使用したところ、無潤滑で長時間の耐久性を示した
。
実施例5の複合材料を撚糸リングとして使用したところ
、従来材料に較べ、低摩擦係数、高耐久性を示した。
、従来材料に較べ、低摩擦係数、高耐久性を示した。
実施例7の複合材料を磁気へラドスタビライダーとして
、使用したところ、無潤滑で長時間の耐久性を示した。
、使用したところ、無潤滑で長時間の耐久性を示した。
実施例IOの複合材料を鋼線の線びきダイスに適用した
ところ、鋼線の焼き付きも無く、長時間の耐久性を示し
た。
ところ、鋼線の焼き付きも無く、長時間の耐久性を示し
た。
さらに本発明を用いた部品を上述の磁気媒体と摺接する
各種接触部分に用いることにより、媒体との摺動特性を
向上させ、摩擦係数が少なく媒体を傷つけることなく、
長時間にわたり安定した記録再生特性をもたせることが
できた。
各種接触部分に用いることにより、媒体との摺動特性を
向上させ、摩擦係数が少なく媒体を傷つけることなく、
長時間にわたり安定した記録再生特性をもたせることが
できた。
[発明の効果]
以上述べたごとく、本発明により調製されたセラミック
ス−BN系複合材料は、セラミックスとBN前駆体の種
と複合割合、焼成条件を限定しであるため、セラミック
ス本来の強度、硬度を保ったまま、摺動特性、加工面精
度に優れる材料である。従って、転がり軸受、メカニカ
ルシール、磁気ヘッドスライダ−等の無潤滑摺動部材と
して、極めて好適な材料である。本発明の複合材料を用
いろと、装置の耐久性、信頼性が著しく向上し、産業上
有用である。
ス−BN系複合材料は、セラミックスとBN前駆体の種
と複合割合、焼成条件を限定しであるため、セラミック
ス本来の強度、硬度を保ったまま、摺動特性、加工面精
度に優れる材料である。従って、転がり軸受、メカニカ
ルシール、磁気ヘッドスライダ−等の無潤滑摺動部材と
して、極めて好適な材料である。本発明の複合材料を用
いろと、装置の耐久性、信頼性が著しく向上し、産業上
有用である。
Claims (5)
- 1.X線回折によるBN(002)面間隔が2.15〜
2.40Åかつ結晶子の大きさが50〜2000ÅのB
N前駆体5〜50wt%と、セラミックス粒子95〜5
0wt%とからなる混合物を予備成型した後、10〜1
20MPaの圧力下で焼成することを特徴とするセラミ
ックス−BN系複合材料の製造方法。 - 2.該セラミックス粒子が酸化物、炭化物、窒化物、ま
たはホウ化物の内の一種または二種以上の粒子からなり
、かつそれらの含有量が50〜95wt%であることを
特徴とする、請求項1記載のセラミックス−BN系複合
材料の製造方法。 - 3.機械要素がその可動する部分を有し、一時的または
常時接触し、かつ相対的に摺動する摺動部品に於て少な
くとも、その摺動面が請求項1記載の方法によって製造
されたセラミックス−BN系複合材料により構成されて
いることを特徴とする摺動部品。 - 4.請求項3記載の摺動部品を用いた精密機械。
- 5.記録媒体と一時的又は常時接触し、かつ相対的に摺
動する部品を具備する磁気媒体装置に於て、少なくとも
その摺動面が請求項1記載の方法によって製造されたセ
ラミックス−BN系複合材料により構成されていること
を特徴とする摺動部6.請求項5記載の摺動部品を用い
る磁気媒体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63154064A JP2641257B2 (ja) | 1988-06-22 | 1988-06-22 | セラミックス−bn系複合材料の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63154064A JP2641257B2 (ja) | 1988-06-22 | 1988-06-22 | セラミックス−bn系複合材料の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01320255A true JPH01320255A (ja) | 1989-12-26 |
| JP2641257B2 JP2641257B2 (ja) | 1997-08-13 |
Family
ID=15576109
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63154064A Expired - Fee Related JP2641257B2 (ja) | 1988-06-22 | 1988-06-22 | セラミックス−bn系複合材料の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2641257B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1993020023A1 (fr) * | 1992-03-31 | 1993-10-14 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Piece de frottement et procede de fabrication |
| JP2010254545A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-11-11 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 窒化ケイ素基複合セラミックス及びその製造方法 |
-
1988
- 1988-06-22 JP JP63154064A patent/JP2641257B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1993020023A1 (fr) * | 1992-03-31 | 1993-10-14 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Piece de frottement et procede de fabrication |
| US5543371A (en) * | 1992-03-31 | 1996-08-06 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Slide member and method of manufacturing the same |
| US5776600A (en) * | 1992-03-31 | 1998-07-07 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Slide member and method of manufacturing the same |
| JP2010254545A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-11-11 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 窒化ケイ素基複合セラミックス及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2641257B2 (ja) | 1997-08-13 |
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