JPH01320728A - スピンコーテイング装置 - Google Patents
スピンコーテイング装置Info
- Publication number
- JPH01320728A JPH01320728A JP15228288A JP15228288A JPH01320728A JP H01320728 A JPH01320728 A JP H01320728A JP 15228288 A JP15228288 A JP 15228288A JP 15228288 A JP15228288 A JP 15228288A JP H01320728 A JPH01320728 A JP H01320728A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coated
- air curtain
- ray tube
- cathode ray
- coating liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はブラウン管のパネル表面にコーティング液をス
ピンコーティングして反射防止膜、透明導電膜等の薄膜
を形成するスピンコーティング装置に関する。
ピンコーティングして反射防止膜、透明導電膜等の薄膜
を形成するスピンコーティング装置に関する。
ブラウン管のパネル表面の画像表面は、一般ｌこ光沢状
態となっているので、外来光を強烈ｔこ反射し、パネル
面ζこ表示される画像が読み取り難くなるという問題が
あった。特に最近ではテレビジョン受像機の外に情報機
器の端末として各種陰極線からなるデイスプレィ装置が
広く使用されており、この外来光反射の問題はビジュア
ルデイスプレィターミナルの分野で広く採り上げられる
ようＯこなってきた。このような理由から、反射防止の
要求が強くなってきた。
態となっているので、外来光を強烈ｔこ反射し、パネル
面ζこ表示される画像が読み取り難くなるという問題が
あった。特に最近ではテレビジョン受像機の外に情報機
器の端末として各種陰極線からなるデイスプレィ装置が
広く使用されており、この外来光反射の問題はビジュア
ルデイスプレィターミナルの分野で広く採り上げられる
ようＯこなってきた。このような理由から、反射防止の
要求が強くなってきた。
更に、テレビジョン受像機あるいはデイスプレィ装置の
ブラウン管は、電源スィッチの点滅の時の静電誘導によ
ってパネル底面が帯電し、この高電圧の静電気をこ接触
した場合（こ大きなショックを受ける。また、静電気（
こよって大気中の塵やほこりを吸着し、これが堆積して
パネル面が汚れ、画像を見難くするという欠点があった
。このような理由から、帯電防止の要求が非常に強くな
ってきている。
ブラウン管は、電源スィッチの点滅の時の静電誘導によ
ってパネル底面が帯電し、この高電圧の静電気をこ接触
した場合（こ大きなショックを受ける。また、静電気（
こよって大気中の塵やほこりを吸着し、これが堆積して
パネル面が汚れ、画像を見難くするという欠点があった
。このような理由から、帯電防止の要求が非常に強くな
ってきている。
そこで、ブラウン管のパネル表面に反射防止機能及び帯
電防止機能を持たせるために、パネル表面をこ反射防止
膜や帯電防止膜（透明導電膜）等の薄膜を形成する方法
として、従来力１ら蒸着法、スパッタリング法、ＣＶＤ
法、スプレー法、ディッピング法、スピンコーディング
法等で行なわれている。
電防止機能を持たせるために、パネル表面をこ反射防止
膜や帯電防止膜（透明導電膜）等の薄膜を形成する方法
として、従来力１ら蒸着法、スパッタリング法、ＣＶＤ
法、スプレー法、ディッピング法、スピンコーディング
法等で行なわれている。
これらの薄膜形成方法の中で、金属アルコキシドのアル
コール溶液等をスピンコーティングする方法は、装置、
手法とも簡便で、コストの面からも非常奢こ有効な方法
である。本発明はこのスピンコーティング方法を行う装
置を対象とする。
コール溶液等をスピンコーティングする方法は、装置、
手法とも簡便で、コストの面からも非常奢こ有効な方法
である。本発明はこのスピンコーティング方法を行う装
置を対象とする。
スピンコーティング方法は、前記したように非常着こ有
効な方法であるが、空気中等から降ってくる塵やほこり
等のごみや異物が画像表示面である被コーティング面ｔ
こ付着する。また、被コーティング面から飛ばされたコ
ーティング液が装置の側面ｔこ付着し、これが乾燥して
固形物となり、この固形物が被コーティング面にまき上
げられ、ごみや異物となって付着する。このようにごみ
や異物が被コーティング面曇こ付着し欠点となるという
問題点があった。
効な方法であるが、空気中等から降ってくる塵やほこり
等のごみや異物が画像表示面である被コーティング面ｔ
こ付着する。また、被コーティング面から飛ばされたコ
ーティング液が装置の側面ｔこ付着し、これが乾燥して
固形物となり、この固形物が被コーティング面にまき上
げられ、ごみや異物となって付着する。このようにごみ
や異物が被コーティング面曇こ付着し欠点となるという
問題点があった。
本発明の目的は、被コーティング面へのごみや異物の付
着を極力防止することができるスピンコーティング装置
を提供することにある。
着を極力防止することができるスピンコーティング装置
を提供することにある。
上記目的は、被コーティング面の上方をこエアーカーテ
ン層を形成させる工、アーカーテン手段と、装置側面壷
こ水を流す流水手段とを設けるこ、２＋こより達成され
る。
ン層を形成させる工、アーカーテン手段と、装置側面壷
こ水を流す流水手段とを設けるこ、２＋こより達成され
る。
フレッシュエア−のフローによるエアーカーテン層をこ
よって、被コーティング面の上方から降ってくる空気中
の塵やほこり等のごみや異物の付着は防止される。また
、装置側面奢こ常に流れている流水によって、コーティ
ング液が飛散して装置側面（こ付着するのが防止される
ので、被コーティング面へのごみや異物のまさ上げがな
くなり、被コーティング面への付着が防止される。これ
（こより、正常な薄膜が形成される。
よって、被コーティング面の上方から降ってくる空気中
の塵やほこり等のごみや異物の付着は防止される。また
、装置側面奢こ常に流れている流水によって、コーティ
ング液が飛散して装置側面（こ付着するのが防止される
ので、被コーティング面へのごみや異物のまさ上げがな
くなり、被コーティング面への付着が防止される。これ
（こより、正常な薄膜が形成される。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。ブラ
ウン管１の被コーティング面２に反射防止膜や帯電防止
膜等の薄膜を形成するスピンコーティング装置は、周知
の如く、ブラウン管１を保持して回転させる図示しない
回転駆動手段と、装置側面３の内側上方に配設されたコ
ーティング液滴下用のノズル４とを備えている。
ウン管１の被コーティング面２に反射防止膜や帯電防止
膜等の薄膜を形成するスピンコーティング装置は、周知
の如く、ブラウン管１を保持して回転させる図示しない
回転駆動手段と、装置側面３の内側上方に配設されたコ
ーティング液滴下用のノズル４とを備えている。
本発明は、被コーティング面２の上方にエアーカーテン
層５を形成させるエアーカーテン用バイブロと、装置側
面３に流水７を流す流水用パイプ８とを装置側面３ｆ仁
配設してなる。
層５を形成させるエアーカーテン用バイブロと、装置側
面３に流水７を流す流水用パイプ８とを装置側面３ｆ仁
配設してなる。
次ｌこ作用−こついて説明する。エアーカーテン用バイ
ブロよりフＶツシュエアーを被コーティング面２上（こ
フローさせてエアーカーテン層５を形成させる。また流
水用パイプ８より装置側面３に流水７を流す。この状態
でノズル４より金属アルコキシドのアルコール溶液等の
コーティング液を被コーティング面２上に滴下した後、
ブラウン管１を回転させる一足の回転速度と時間でスピ
ンコーティングする。この時、被コーティング面２より
飛散して装置側面３＃こ付着する余分なコーチインダ液
は、装置側面３を流れる流水７中に溶けて装置外沓こ排
出される。
ブロよりフＶツシュエアーを被コーティング面２上（こ
フローさせてエアーカーテン層５を形成させる。また流
水用パイプ８より装置側面３に流水７を流す。この状態
でノズル４より金属アルコキシドのアルコール溶液等の
コーティング液を被コーティング面２上に滴下した後、
ブラウン管１を回転させる一足の回転速度と時間でスピ
ンコーティングする。この時、被コーティング面２より
飛散して装置側面３＃こ付着する余分なコーチインダ液
は、装置側面３を流れる流水７中に溶けて装置外沓こ排
出される。
本発明によれば、エアーカーテン手段（こよって被コー
ティング面上方のごみや異物は除去され、また流水手段
によって装置側面へのコーティング液の付着は防止され
るので、ブラウン管のパネル表面壷こごみや異物のない
正常な反射防止膜や帯電防止膜等の薄膜を安価０こ形成
できる。
ティング面上方のごみや異物は除去され、また流水手段
によって装置側面へのコーティング液の付着は防止され
るので、ブラウン管のパネル表面壷こごみや異物のない
正常な反射防止膜や帯電防止膜等の薄膜を安価０こ形成
できる。
第１図は本発明の一実施例を示す要部説明図である。
１・・・ブラウン管、 ２・・・被コーティング面
、３・・・装置側面、 ４・・・ノズノペ 訃・
・エアーカーテン層、 ６・・・エアーカーテン用
パイプ、７・・・流水、 ８・・・流水用パイプ。 １ニブ°ラウン ２：７皮コーチ・ ３： 壽Ｑ ４ツ イｑ“１ ４：ノーく−ル ５：エフ−力− ６−１７−カー ７二流７１り ８：シハ運７１り 用 ノ インゲ面 面 一テン層 一テン用Ｊぐイフ０ １Ｘ０イプ
、３・・・装置側面、 ４・・・ノズノペ 訃・
・エアーカーテン層、 ６・・・エアーカーテン用
パイプ、７・・・流水、 ８・・・流水用パイプ。 １ニブ°ラウン ２：７皮コーチ・ ３： 壽Ｑ ４ツ イｑ“１ ４：ノーく−ル ５：エフ−力− ６−１７−カー ７二流７１り ８：シハ運７１り 用 ノ インゲ面 面 一テン層 一テン用Ｊぐイフ０ １Ｘ０イプ
Claims (1)
- １、ブラウン管のパネル表面にコーティング液をスピン
コーティングして薄膜を形成するスピンコーティング装
置において、被コーティング面の上方にエアーカーテン
層を形成させるエアーカーテン手段と、装置側面に水を
流す流水手段とを設けたことを特徴とするスピンコーテ
ィング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15228288A JPH01320728A (ja) | 1988-06-22 | 1988-06-22 | スピンコーテイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15228288A JPH01320728A (ja) | 1988-06-22 | 1988-06-22 | スピンコーテイング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01320728A true JPH01320728A (ja) | 1989-12-26 |
Family
ID=15537110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15228288A Pending JPH01320728A (ja) | 1988-06-22 | 1988-06-22 | スピンコーテイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01320728A (ja) |
-
1988
- 1988-06-22 JP JP15228288A patent/JPH01320728A/ja active Pending
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