JPH01321164A - 研削加工装置 - Google Patents
研削加工装置Info
- Publication number
- JPH01321164A JPH01321164A JP63155240A JP15524088A JPH01321164A JP H01321164 A JPH01321164 A JP H01321164A JP 63155240 A JP63155240 A JP 63155240A JP 15524088 A JP15524088 A JP 15524088A JP H01321164 A JPH01321164 A JP H01321164A
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- JP
- Japan
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- grindstone
- nozzle
- grinding
- cantilever
- signal
- Prior art date
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- Pending
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、フェライトやセラミック等の硬脆性材料を平
面研削加工するための研削加工装置に関するものである
。
面研削加工するための研削加工装置に関するものである
。
従来の技術
近年、研削加工装置は、生産工程の２４時間運転に伴い
、高い信頼性が要求されている。
、高い信頼性が要求されている。
以下図面を参照しながら、上述した従来の研削加工装置
の一例について説明する。第４図は、従来の研削加工装
置の主要構成図を示すものである。
の一例について説明する。第４図は、従来の研削加工装
置の主要構成図を示すものである。
第４図において、１は研削加工用砥石、２は砥石を回転
駆動するツールスピンドル、２ｏは被加工物すなわちワ
ーク、２１はワークを保持するワーク貼付は治具、２２
はワーク貼付は治具を保持し回転駆動するワークスピン
ドル、２３はワークスピンドルを載置し、矢印Ｘ方向に
摺動可能なテーブル、２４はテーブルを直線駆動するボ
ールネジ、２６はボールネジを回転駆動するモーター、
２６は研削液供給ノズルである。
駆動するツールスピンドル、２ｏは被加工物すなわちワ
ーク、２１はワークを保持するワーク貼付は治具、２２
はワーク貼付は治具を保持し回転駆動するワークスピン
ドル、２３はワークスピンドルを載置し、矢印Ｘ方向に
摺動可能なテーブル、２４はテーブルを直線駆動するボ
ールネジ、２６はボールネジを回転駆動するモーター、
２６は研削液供給ノズルである。
以上のように構成された研削加工装置について、以下そ
の動作について説明する。まず、加工の前段階として、
ツールスピンドル２を回転し砥石１を回転させる。同時
にワークスピンドル２２を回転しワーク貼付治具２１及
びワーク２ｏを回転させ研削液供給ノズル２６よシ研削
液を噴射する。
の動作について説明する。まず、加工の前段階として、
ツールスピンドル２を回転し砥石１を回転させる。同時
にワークスピンドル２２を回転しワーク貼付治具２１及
びワーク２ｏを回転させ研削液供給ノズル２６よシ研削
液を噴射する。
次にモーター２６を回転し、ボールネジ２４を駆動しテ
ーブル２３を矢印Ｘ子方向へ移動させるとやがて、砥石
とワークが接触し研削加工工程となる。そしてあらかじ
め決めた設定値までテーブルを移動させ終ると加工工程
終了となりテーブルを元の位置に戻し加工終了となる。
ーブル２３を矢印Ｘ子方向へ移動させるとやがて、砥石
とワークが接触し研削加工工程となる。そしてあらかじ
め決めた設定値までテーブルを移動させ終ると加工工程
終了となりテーブルを元の位置に戻し加工終了となる。
発明が解決しようとする課題
しかしながら上記のような構成では、加工工程に入る直
前に砥石の破損を検査する機能が無いので、破損した砥
石のまま、研削加工工程に入りワークを不良品としてし
まうという問題点を有していた。
前に砥石の破損を検査する機能が無いので、破損した砥
石のまま、研削加工工程に入りワークを不良品としてし
まうという問題点を有していた。
本発明は、上記問題点に鑑み、機械運転中に発生し得る
、砥石の破損を自動的に検出し次の加工を停止させ、不
良品の生産を防止する機能を有した研削加工装置を提供
するものである。
、砥石の破損を自動的に検出し次の加工を停止させ、不
良品の生産を防止する機能を有した研削加工装置を提供
するものである。
課題を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明の研削加工装置は、
研削近傍から研削水等の液体を噴出させ吹き付けるノズ
ルを備え、この部分で発生した反力によって保持してい
るカンチレバ一部にひずみが発生する。この現象をひず
みゲージ等の検出器でとらえこの信号がある限度を越え
た場合には、制御装置に停止信号を出力するという構成
を備えたものである。
研削近傍から研削水等の液体を噴出させ吹き付けるノズ
ルを備え、この部分で発生した反力によって保持してい
るカンチレバ一部にひずみが発生する。この現象をひず
みゲージ等の検出器でとらえこの信号がある限度を越え
た場合には、制御装置に停止信号を出力するという構成
を備えたものである。
作 用
本発明は、上記した構成によって、砥石に破損があった
場合には、砥石軸を回転させると同一の角度ごとに信号
が検出できるので、この原理に従い自動認識が可能とな
る。
場合には、砥石軸を回転させると同一の角度ごとに信号
が検出できるので、この原理に従い自動認識が可能とな
る。
実施例
以下本発明の一実施例の研削加工装置について図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
第１図は、本発明の一実施例における研削加工装置の砥
石軸部分を示すものである。第１図において、１は研削
加工用砥石、２は砥石を回転駆動させるツールスピンド
ル、３は砥石に液体を吹き付けるノズルである。４はノ
ズルに液体を供給する供給管、５はノズルを保持しかつ
、ノズルで発生する反力によってひずみを生じるカンチ
レバー、６はカンチレバーで発生したひずみを電気信号
に変換するひずみゲージ等のセンサーである。７はカン
チレバーを保持しかつ回転可能なベースブラケット、８
はベースブラケットを回転駆動するモーター等のアクチ
ュエータである。第２図において、９はセンサーの出力
信号を増幅するアンプ、１０はリミット検出装置、１１
は制御装置である。
石軸部分を示すものである。第１図において、１は研削
加工用砥石、２は砥石を回転駆動させるツールスピンド
ル、３は砥石に液体を吹き付けるノズルである。４はノ
ズルに液体を供給する供給管、５はノズルを保持しかつ
、ノズルで発生する反力によってひずみを生じるカンチ
レバー、６はカンチレバーで発生したひずみを電気信号
に変換するひずみゲージ等のセンサーである。７はカン
チレバーを保持しかつ回転可能なベースブラケット、８
はベースブラケットを回転駆動するモーター等のアクチ
ュエータである。第２図において、９はセンサーの出力
信号を増幅するアンプ、１０はリミット検出装置、１１
は制御装置である。
以上のように構成された研削加工装置について、以下第
１図及び第２図を用いてその動作を説明する。まず第１
図は、研削加工装置の砥石軸部分を示すものであって、
加工工程に入る前に、砥石１をツールスピンドル２によ
って低速回転させる。
１図及び第２図を用いてその動作を説明する。まず第１
図は、研削加工装置の砥石軸部分を示すものであって、
加工工程に入る前に、砥石１をツールスピンドル２によ
って低速回転させる。
そして、アクチュエータ８を駆動しベースブラケット７
を回転させ、カンチレバー６によって取付は保持されて
いるノズル３を砥石前面に移動させ、供給管４より液体
を供給し、ノズルより噴出させる。ノズルと砥石の間隙
は、ごくわずかに設定しているため、ノズルと砥石の間
に−様な流体膜を形成する。従って、ノズルは、砥石表
面の凹凸に習うように運動するので、それに応じたひず
みが、カンチレバーに発生する。そのひずみをセンサー
６で、電気信号に変換する。第２図において、アンプ９
は、カンチレバーに取付けたセンサーから出力された電
気信号を増幅し、リミット検出装置１０に伝達する。こ
こで、砥石の良否を判定し不良があれば、制御装置１１
に停止信号を出力し、以後の加工を停止し作業者に砥石
の交換を促す。
を回転させ、カンチレバー６によって取付は保持されて
いるノズル３を砥石前面に移動させ、供給管４より液体
を供給し、ノズルより噴出させる。ノズルと砥石の間隙
は、ごくわずかに設定しているため、ノズルと砥石の間
に−様な流体膜を形成する。従って、ノズルは、砥石表
面の凹凸に習うように運動するので、それに応じたひず
みが、カンチレバーに発生する。そのひずみをセンサー
６で、電気信号に変換する。第２図において、アンプ９
は、カンチレバーに取付けたセンサーから出力された電
気信号を増幅し、リミット検出装置１０に伝達する。こ
こで、砥石の良否を判定し不良があれば、制御装置１１
に停止信号を出力し、以後の加工を停止し作業者に砥石
の交換を促す。
以上のように本実施例によれば、砥石近傍に、ノズルを
設け、ノズルよシ液体を噴出させ、砥石表面と一定の間
隙を保ちながら砥石を回転させる。
設け、ノズルよシ液体を噴出させ、砥石表面と一定の間
隙を保ちながら砥石を回転させる。
このノズルの変位を検出するためのカンチレバーとセン
サーを設けることによシ、砥石が破損した場合、センサ
ーの信号をアンプで増幅した信号の波形は、第３図（ａ
）の様なものになり、第３図（１））で示す正常な砥石
の場合の波形と異なる。この変化をリミット検出装置で
検出し、異常状態となれば、機械の運転を停止すること
が可能となる。
サーを設けることによシ、砥石が破損した場合、センサ
ーの信号をアンプで増幅した信号の波形は、第３図（ａ
）の様なものになり、第３図（１））で示す正常な砥石
の場合の波形と異なる。この変化をリミット検出装置で
検出し、異常状態となれば、機械の運転を停止すること
が可能となる。
発明の効果
以上のように本発明は、砥石近傍にノズルを設け、この
ノズルよシ砥石に向かって液体を噴出させることを特徴
とした砥石破損検出装置を設けることにより、砥石が破
損した場合、加工を停止することか可能となる。
ノズルよシ砥石に向かって液体を噴出させることを特徴
とした砥石破損検出装置を設けることにより、砥石が破
損した場合、加工を停止することか可能となる。
第１図は本発明の一実施例における研削加工装置の要部
平面図、第２図は制御信号の系統図、第３図（、）、（
ｂ）は変位信号の波形図、第４図は従来の研削加工装置
の要部平面図である。 １・・・・・・砥石、２・・・・・・ツールスピンドル
、３・・・・・・ノズル、５・・・・・・カンチレバー
、６・・・・・・センサー、９・・・・・・アンプ、１
ｏ・・・・・・リミット検出装置、２゜・・・・・・ワ
ーク、２２・・・・・・ワークスピンドル。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名１−
七氏石 Ｇ＝−τシ丈−
平面図、第２図は制御信号の系統図、第３図（、）、（
ｂ）は変位信号の波形図、第４図は従来の研削加工装置
の要部平面図である。 １・・・・・・砥石、２・・・・・・ツールスピンドル
、３・・・・・・ノズル、５・・・・・・カンチレバー
、６・・・・・・センサー、９・・・・・・アンプ、１
ｏ・・・・・・リミット検出装置、２゜・・・・・・ワ
ーク、２２・・・・・・ワークスピンドル。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名１−
七氏石 Ｇ＝−τシ丈−
Claims (1)
- 液体を砥石近傍から噴出させ吹き付けるノズルと、ノズ
ルで発生した反力によってたわみを発生するカンチレバ
ーと、カンチレバーで発生したたわみを検出しその信号
を増幅するアンプと、アンプの出力信号に異常があれば
、それを認識し停止信号を出力するリミット検出装置と
、停止信号によって機械の運転を停止できる制御装置と
を備えたことを特徴とする研削加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63155240A JPH01321164A (ja) | 1988-06-23 | 1988-06-23 | 研削加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63155240A JPH01321164A (ja) | 1988-06-23 | 1988-06-23 | 研削加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01321164A true JPH01321164A (ja) | 1989-12-27 |
Family
ID=15601600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63155240A Pending JPH01321164A (ja) | 1988-06-23 | 1988-06-23 | 研削加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01321164A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0985620A (ja) * | 1995-09-28 | 1997-03-31 | Toshiba Mach Co Ltd | 研磨装置 |
| JP2007175834A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法 |
-
1988
- 1988-06-23 JP JP63155240A patent/JPH01321164A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0985620A (ja) * | 1995-09-28 | 1997-03-31 | Toshiba Mach Co Ltd | 研磨装置 |
| JP2007175834A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法 |
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