JPH01321171A - 吸着ノズル部材 - Google Patents
吸着ノズル部材Info
- Publication number
- JPH01321171A JPH01321171A JP14975688A JP14975688A JPH01321171A JP H01321171 A JPH01321171 A JP H01321171A JP 14975688 A JP14975688 A JP 14975688A JP 14975688 A JP14975688 A JP 14975688A JP H01321171 A JPH01321171 A JP H01321171A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- nozzle member
- suction
- nozzle
- suction nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、微小な対象ワークを真空の吸引力によって吸
着して搬送する吸着ノズル部材に関する。
着して搬送する吸着ノズル部材に関する。
「従来の技術」
従来の吸着ノズル部材は、第４図に示されるように一個
の大きなノズル２を有するものであつた。
の大きなノズル２を有するものであつた。
［発明か解決しようとする課題」
しかしながらこのような従来の吸着ノズル部材ｌは、ワ
ークＷを内部に吸い込ませないためノズル２の＋＋Ｐｆ
：は当然ワークＷより小さいものであり、吸着ノズル部
材ｌのＦ端面３とワークＷの吸着面との間には、空気流
がこれら両面に沿って流れるギャップｇが生じる。この
ためワークＷを鉛直方向に吸着したとき、水平方向の位
置ずれをおこす°１ｔかしばしばあった。
ークＷを内部に吸い込ませないためノズル２の＋＋Ｐｆ
：は当然ワークＷより小さいものであり、吸着ノズル部
材ｌのＦ端面３とワークＷの吸着面との間には、空気流
がこれら両面に沿って流れるギャップｇが生じる。この
ためワークＷを鉛直方向に吸着したとき、水平方向の位
置ずれをおこす°１ｔかしばしばあった。
このような位置ずれは、第４図に示すように、吸着ノズ
ル部材ｌの端面３と、ワークＷの吸着面とがｆ行になく
、一方の隙間ｇが狭＜ （ｇｌ）他方か大きく （ｇ２
）なっていると、ワークＷの吸Ｒ面上を流れる気流の流
速はＶｌ＞Ｖ２となり。
ル部材ｌの端面３と、ワークＷの吸着面とがｆ行になく
、一方の隙間ｇが狭＜ （ｇｌ）他方か大きく （ｇ２
）なっていると、ワークＷの吸Ｒ面上を流れる気流の流
速はＶｌ＞Ｖ２となり。
反対に圧力分布のｆ均はＰＩ＜Ｐ２となる。したかって
、ワークＷは０点を中心に先ず隙間の狭い側か持ち上げ
られ１次いで隙間の大きいほうが吸１１′されるためと
考えられる。
、ワークＷは０点を中心に先ず隙間の狭い側か持ち上げ
られ１次いで隙間の大きいほうが吸１１′されるためと
考えられる。
ワークＷか吸着される時に、上記のような位置ずれをお
こしたのでは、吸着ノズル部材によってワークを他所に
移動させて定置する際の位置決めか不正確となり、精密
な位置決めを常に確保するためには高価な検出装置や、
ずれを修正するための専用装置を必要としていた。
こしたのでは、吸着ノズル部材によってワークを他所に
移動させて定置する際の位置決めか不正確となり、精密
な位置決めを常に確保するためには高価な検出装置や、
ずれを修正するための専用装置を必要としていた。
本発明は、このような従来の技術における問題点に着目
してなされたもので、鉛直方向の吸引に対して水平方向
の位置ずれをおこさないような吸着ノズル部材を提供す
ることを目的としている。
してなされたもので、鉛直方向の吸引に対して水平方向
の位置ずれをおこさないような吸着ノズル部材を提供す
ることを目的としている。
［課題を解決するための手段」
かかる目的を達成するための本発明の要旨とするところ
は、 微小な対象を吸引して搬送する吸着ノズル部材において
、 吸引源に接続する空気流路を有する基体の先に対象の吸
着面を有するノズル先端を設け、前記ノズル先端は、前
記空気流路の先で開口し、対象とするワークよりも広い
範囲に分布する多数の小径孔を穿設して成ることを特徴
とする吸着ノズル部材に存する。
は、 微小な対象を吸引して搬送する吸着ノズル部材において
、 吸引源に接続する空気流路を有する基体の先に対象の吸
着面を有するノズル先端を設け、前記ノズル先端は、前
記空気流路の先で開口し、対象とするワークよりも広い
範囲に分布する多数の小径孔を穿設して成ることを特徴
とする吸着ノズル部材に存する。
「作用」
吸引源を吸７１′ノズル部材の空気流路の後端部に連結
する。
する。
ノズル先端は多数の小径孔の集合となっていて、ワーク
の吸着面１−にはノズル先端の前記小径孔が広く分布し
て開１１シており、ワークの吸着面の方向に圧力勾配が
生じないから、吸着の際ワークか横方向にずれることが
ない、すなわち、ワークの吸着表面に生ずる圧力勾配は
、ワーク表面と吸着ノズル部材の先端との間に生ずる面
方向の気流に起因するのであるが、本吸着ノズル部材で
は、このような気流が生じない。
の吸着面１−にはノズル先端の前記小径孔が広く分布し
て開１１シており、ワークの吸着面の方向に圧力勾配が
生じないから、吸着の際ワークか横方向にずれることが
ない、すなわち、ワークの吸着表面に生ずる圧力勾配は
、ワーク表面と吸着ノズル部材の先端との間に生ずる面
方向の気流に起因するのであるが、本吸着ノズル部材で
は、このような気流が生じない。
「実施例」
以下、図面に基づき本発明の一実施例を説明する。
第１図〜第３図は本発明の一実施例を示している。
吸着ノズル部材１０は、第１図に示すように、円筒形に
成された）、（体１１と、その後端部に設けられた吸引
源である真空ポンプ側に開口する真空後・」１開口１４
と、先端部に設けられ、多数の小径孔１７からなるノズ
ル先端１６と、前記真空吸引開口１４と前記ノズル先端
１６とを連通ずる基体１１の中心部に穿設された空気流
路１３とから成っている。
成された）、（体１１と、その後端部に設けられた吸引
源である真空ポンプ側に開口する真空後・」１開口１４
と、先端部に設けられ、多数の小径孔１７からなるノズ
ル先端１６と、前記真空吸引開口１４と前記ノズル先端
１６とを連通ずる基体１１の中心部に穿設された空気流
路１３とから成っている。
ノズル先端１６の小径孔１７はモ坦に仕上げられた吸着
面１２に開口して、第２図に見るように、該吸着面１２
−杯に分４ｔ Ｌ／て配列されており、しかも隣接する
各小径孔１７は互いに近接して設けられている。なお第
２図に破線にて示される円形は空気流路１３のノズル背
面１８における内径である。また鎖線にて示されるのは
、ワークＷの一例である。
面１２に開口して、第２図に見るように、該吸着面１２
−杯に分４ｔ Ｌ／て配列されており、しかも隣接する
各小径孔１７は互いに近接して設けられている。なお第
２図に破線にて示される円形は空気流路１３のノズル背
面１８における内径である。また鎖線にて示されるのは
、ワークＷの一例である。
ス（体１１の先端近傍は、この吸着ノズル部材ＩＯをピ
ックアップアームなどの先端に嵌着するとき精確な当り
になるよう、先端テーバ部１５に形成されている。
ックアップアームなどの先端に嵌着するとき精確な当り
になるよう、先端テーバ部１５に形成されている。
一方真空吸引開口１４の開く後端部外周には真空ホース
Ｈに挿嵌されて係止するよう段付継手１９に形成されて
いる。
Ｈに挿嵌されて係止するよう段付継手１９に形成されて
いる。
吸ノーノズル部材１０は、例えば第３図に示すような搬
送装置２０に使用される。
送装置２０に使用される。
すなわち、ピックアンドプレース２１に、旋回および伸
縮して適宜な位置に停止可能なピックアップアーム２２
が支持され、このピックアップアーム２２の先端に吸着
ノズル部材１０を装置する一方１台座２３にも吸着ノズ
ル部材１０を対向して装着する。
縮して適宜な位置に停止可能なピックアップアーム２２
が支持され、このピックアップアーム２２の先端に吸着
ノズル部材１０を装置する一方１台座２３にも吸着ノズ
ル部材１０を対向して装着する。
」−下の吸着ノズル部材１０．１０には切替バルブ２４
を介して吸引源である真空ポンプ２５が接続している。
を介して吸引源である真空ポンプ２５が接続している。
対象ワークＷは例えば、０．３ｍｓ口て板厚０．２Ｈの
ウェハチップである。
ウェハチップである。
次に作用を説明する。
真空ポンプ２５が台座２３の吸着ノズル部材ｌＯを吸引
するよう切持バルブ２４を切り替えておき、吸７１′ノ
ズル部材１０の吸着面１２に対象ワークＷを吸引させて
おく。
するよう切持バルブ２４を切り替えておき、吸７１′ノ
ズル部材１０の吸着面１２に対象ワークＷを吸引させて
おく。
次に、木モな姿勢のワークＷの上方からピックアップア
ーム２２側の吸着ノズル部材１０のノズル先端１６を近
付けていく。このノズル先端１６の吸着面１２が対象ワ
ークＷに柔らかく接触したら切替バルブ２４を切り替え
、台座２３側の吸着ノズル部材ｌＯの接続は断ち、ピッ
クアップアーム２２側の吸着ノズル部材ＩＯに真空ポン
プ２５を接続させる。
ーム２２側の吸着ノズル部材１０のノズル先端１６を近
付けていく。このノズル先端１６の吸着面１２が対象ワ
ークＷに柔らかく接触したら切替バルブ２４を切り替え
、台座２３側の吸着ノズル部材ｌＯの接続は断ち、ピッ
クアップアーム２２側の吸着ノズル部材ＩＯに真空ポン
プ２５を接続させる。
真空ポンプ２５か接続した吸着ノズル部材ｌＯのノズル
先端１６は第２図に示すように、非常に微細な小径孔１
７を多数に、しかも対象とするワークＷよりも広い範囲
に配設したものてあり、かつ各小径孔１７は互いに近接
して穿設されているから、小さなワークＷが空気流路１
３に吸い込まれることはない。
先端１６は第２図に示すように、非常に微細な小径孔１
７を多数に、しかも対象とするワークＷよりも広い範囲
に配設したものてあり、かつ各小径孔１７は互いに近接
して穿設されているから、小さなワークＷが空気流路１
３に吸い込まれることはない。
そして、ワークＷの上面と吸着ノズル部材１０の吸着面
１２のうちの、小径孔１７の設けられていない平面とか
広く重なることは無いから、ワークＷ表面に分布圧力の
傾斜が生じることがなく、したがって吸引の際にワーク
Ｗか位置ずれを起すことかない。
１２のうちの、小径孔１７の設けられていない平面とか
広く重なることは無いから、ワークＷ表面に分布圧力の
傾斜が生じることがなく、したがって吸引の際にワーク
Ｗか位置ずれを起すことかない。
上の吸着ノズル部材ｌＯに吸着された対象ワークＷはピ
ックアップアーム２２が上昇旋回して搬送する。
ックアップアーム２２が上昇旋回して搬送する。
なお、実験的にピラフアップアーム２２の先端の吸１１
ノズル部材１０を再度台座２３側の吸着ノズル部材ｌＯ
のにに対向位置させ、切替バルブ２４を＋ｉｉｊ記とは
逆に切り（）えて台座２３側の吸着ノズル部材１０の吸
着面１２の小径孔１７゜１７・・・に対象ワークＷを吸
着させ、３０倍のスコープて観察したところ、対象ワー
クＷの位ｌずれはなく、高精度のハンドリングに対し好
結果を有することか認められた。
ノズル部材１０を再度台座２３側の吸着ノズル部材ｌＯ
のにに対向位置させ、切替バルブ２４を＋ｉｉｊ記とは
逆に切り（）えて台座２３側の吸着ノズル部材１０の吸
着面１２の小径孔１７゜１７・・・に対象ワークＷを吸
着させ、３０倍のスコープて観察したところ、対象ワー
クＷの位ｌずれはなく、高精度のハンドリングに対し好
結果を有することか認められた。
なお、実験は、−２５０■■Ｈｇ、小径孔直径０．０６
ｍｍ、 ワーク屯：Ｊ０．０９１ｍｇ”’Ｃ行ナイ。
ｍｍ、 ワーク屯：Ｊ０．０９１ｍｇ”’Ｃ行ナイ。
１．１算１−小径孔１個当りの吸着力は約９１ｇであっ
た。
た。
なお、前記実施例では、吸着ノズル部材を対向して配置
した搬送装置を例示したか、一方の吸着ノズル部材をや
め、他の１段で位置決めして保持するものであってもよ
いことは言うまてもない。
した搬送装置を例示したか、一方の吸着ノズル部材をや
め、他の１段で位置決めして保持するものであってもよ
いことは言うまてもない。
「発明の効果」
本発明に係る吸着ノズル部材によれば、ノズル先端を多
数の小径孔の集合に構成し、しかも対象とするワークよ
りも広い範囲に分布するようにしたから、ワーク上面に
平行な気流が生じることがなく、ワークを吸引するとき
に位置ずれを生じることがない、したかってワークを吸
引して他に移送して定置したときにも精確に位置決めて
きて、高価な位置検出装置や、生じたずれを修正するた
めの専用装置を必要としない。
数の小径孔の集合に構成し、しかも対象とするワークよ
りも広い範囲に分布するようにしたから、ワーク上面に
平行な気流が生じることがなく、ワークを吸引するとき
に位置ずれを生じることがない、したかってワークを吸
引して他に移送して定置したときにも精確に位置決めて
きて、高価な位置検出装置や、生じたずれを修正するた
めの専用装置を必要としない。
第１図および第２図は本発明の一実施例を示しており、
第１図は吸着ノズル部材の縦断面図、第２図はノズル先
端の正面［Ａ、第３図は搬送装置の概念図、第４図は従
来の吸着ノズル部材の作用説明図である。 １０・・・吸着ノズル部材 １１・・・基体１２−・
・吸着モ坦面 １３−・・空気流路１４・・・真
空吸引開口 １５・・・先端テーバ部１６−・・ノ
ズル先端 １７−・・小径孔１８・・・ノズル背
面 １９・・・段付継手代理人ブｌ’ｆ’ｉｊ
Ｌ ’ｉｌｌ；月” ＜８双、”ｉ第１図 第２図 １６ノス７Ｌ先馬
第１図は吸着ノズル部材の縦断面図、第２図はノズル先
端の正面［Ａ、第３図は搬送装置の概念図、第４図は従
来の吸着ノズル部材の作用説明図である。 １０・・・吸着ノズル部材 １１・・・基体１２−・
・吸着モ坦面 １３−・・空気流路１４・・・真
空吸引開口 １５・・・先端テーバ部１６−・・ノ
ズル先端 １７−・・小径孔１８・・・ノズル背
面 １９・・・段付継手代理人ブｌ’ｆ’ｉｊ
Ｌ ’ｉｌｌ；月” ＜８双、”ｉ第１図 第２図 １６ノス７Ｌ先馬
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 微小な対象を吸引して搬送する吸着ノズル部材において
、 吸引源に接続する空気流路を有する基体の先に対象の吸
着面を有するノズル先端を設け、 前記ノズル先端は、前記空気流路の先で開口し、対象と
するワークよりも広い範囲に分布する多数の小径孔を穿
設して成ることを特徴とする吸着ノズル部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14975688A JPH01321171A (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 | 吸着ノズル部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14975688A JPH01321171A (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 | 吸着ノズル部材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01321171A true JPH01321171A (ja) | 1989-12-27 |
Family
ID=15482063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14975688A Pending JPH01321171A (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 | 吸着ノズル部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01321171A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5516125A (en) * | 1994-11-30 | 1996-05-14 | Texas Instruments Incorporated | Baffled collet for vacuum pick-up of a semiconductor die |
| JPH08150586A (ja) * | 1994-11-29 | 1996-06-11 | Japan Aviation Electron Ind Ltd | 汎用吸着式ロボットハンド |
| CN111107738A (zh) * | 2018-10-29 | 2020-05-05 | 株式会社富士 | 吸嘴及元件安装机 |
-
1988
- 1988-06-17 JP JP14975688A patent/JPH01321171A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08150586A (ja) * | 1994-11-29 | 1996-06-11 | Japan Aviation Electron Ind Ltd | 汎用吸着式ロボットハンド |
| US5516125A (en) * | 1994-11-30 | 1996-05-14 | Texas Instruments Incorporated | Baffled collet for vacuum pick-up of a semiconductor die |
| CN111107738A (zh) * | 2018-10-29 | 2020-05-05 | 株式会社富士 | 吸嘴及元件安装机 |
| CN111107738B (zh) * | 2018-10-29 | 2023-03-21 | 株式会社富士 | 吸嘴及元件安装机 |
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