JPH0132285Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0132285Y2 JPH0132285Y2 JP1980058690U JP5869080U JPH0132285Y2 JP H0132285 Y2 JPH0132285 Y2 JP H0132285Y2 JP 1980058690 U JP1980058690 U JP 1980058690U JP 5869080 U JP5869080 U JP 5869080U JP H0132285 Y2 JPH0132285 Y2 JP H0132285Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rod
- fitted
- annular
- tip
- adjustment screw
- Prior art date
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- Expired
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は、六硼化ランタン等のエミツタチツ
プを発熱性部材間に挾持させた熱陰極において、
該エミツタチツプを安定に挾持し且つその挾持力
又はチツプ中心位置の微調整が容易に行なえる熱
陰極装置に関する。
プを発熱性部材間に挾持させた熱陰極において、
該エミツタチツプを安定に挾持し且つその挾持力
又はチツプ中心位置の微調整が容易に行なえる熱
陰極装置に関する。
(従来技術)
六硼化ランタン等のチツプを、一対の熱分解グ
ラフアイト又は高異方性炭素材料の発熱性保持体
を介して導電性支持体間に挟んで構成される熱陰
極は公知である。(特公昭47−25911) 而してチツプの挾持力を一対の導電性支持体の
それ自体の弾性に依つて得るもの又は、ボルト、
ナツト等の締着手段及びこれらとバネ材を用いて
外部からの押圧力によつて得るものなどが提案さ
れている。(実公昭54−41656、特開昭55−24371) 前者の挾持力は弱すぎて実用的でなく、後者は
1700℃以上の高温加熱の反覆等によつてチツプの
中心位置がずれたり或は発熱性保持体との接触面
がずれたりする欠点がある。
ラフアイト又は高異方性炭素材料の発熱性保持体
を介して導電性支持体間に挟んで構成される熱陰
極は公知である。(特公昭47−25911) 而してチツプの挾持力を一対の導電性支持体の
それ自体の弾性に依つて得るもの又は、ボルト、
ナツト等の締着手段及びこれらとバネ材を用いて
外部からの押圧力によつて得るものなどが提案さ
れている。(実公昭54−41656、特開昭55−24371) 前者の挾持力は弱すぎて実用的でなく、後者は
1700℃以上の高温加熱の反覆等によつてチツプの
中心位置がずれたり或は発熱性保持体との接触面
がずれたりする欠点がある。
従来の支持構造はバネ圧力を微調整する機能を
備えていないため挾持力の調整又は、ビームスポ
ツトの位置ズレを直す作業が困難であつた。
備えていないため挾持力の調整又は、ビームスポ
ツトの位置ズレを直す作業が困難であつた。
(目的)
本案は陰極チツプ、及び発熱性保持体を導電性
支持体間にしつかりと挾持させると共にチツプの
挾持力又はチツプの位置ずれを微調整することが
でき、更に陰極装置全体を小型化することを目的
とするものである。
支持体間にしつかりと挾持させると共にチツプの
挾持力又はチツプの位置ずれを微調整することが
でき、更に陰極装置全体を小型化することを目的
とするものである。
(構成)
本案熱陰極装置は、陰極チツプが一対の発熱性
保持体を介して一対の導電性支持体間に挾持され
てなる熱陰極において、前記各導電性支持体の略
中間部に鍔付絶縁管が嵌合されると共に該絶縁管
に一本の棒状部材が貫入挿通され更に該棒状部材
の外側突出部には、一対のコイルバネが嵌挿配設
されると共に前記棒状部材に嵌合された環状止め
部材によつて挾圧され、前記環状部材の少なくと
も一方は先端に円錐部を有し半径方向に進退する
調節ネジを備え、該調節ネジ先端が前記棒状部材
の外周面に形成した環状V溝内に嵌入当接されて
なるものである。
保持体を介して一対の導電性支持体間に挾持され
てなる熱陰極において、前記各導電性支持体の略
中間部に鍔付絶縁管が嵌合されると共に該絶縁管
に一本の棒状部材が貫入挿通され更に該棒状部材
の外側突出部には、一対のコイルバネが嵌挿配設
されると共に前記棒状部材に嵌合された環状止め
部材によつて挾圧され、前記環状部材の少なくと
も一方は先端に円錐部を有し半径方向に進退する
調節ネジを備え、該調節ネジ先端が前記棒状部材
の外周面に形成した環状V溝内に嵌入当接されて
なるものである。
以下に、本案陰極装置の構成を図の実施例につ
いて説明する。
いて説明する。
1は六硼化ランタンの陰極チツプ、2は熱分解
黒鉛又は熱硬化性樹脂をホツトプレスして得た高
異方性炭素或はガラス状炭素等の発熱性保持体、
3はこれらを両側から押圧挾持する耐熱金属の導
電性支持体であつてその基部は絶縁碍子12上に
固定され、更に固定バンド4を介して端子棒5に
接続している。
黒鉛又は熱硬化性樹脂をホツトプレスして得た高
異方性炭素或はガラス状炭素等の発熱性保持体、
3はこれらを両側から押圧挾持する耐熱金属の導
電性支持体であつてその基部は絶縁碍子12上に
固定され、更に固定バンド4を介して端子棒5に
接続している。
6は前記支持体3の略中間位置に設けた貫通孔
9に嵌合させた鍔付のセラミツク絶縁管である。
この絶縁管には、棒状部材10が嵌入挿通され両
絶縁管より外側の突出部11には耐熱性コイルバ
ネ7が配装されている。
9に嵌合させた鍔付のセラミツク絶縁管である。
この絶縁管には、棒状部材10が嵌入挿通され両
絶縁管より外側の突出部11には耐熱性コイルバ
ネ7が配装されている。
棒状部材10の両端外周11′には夫々環状の
V溝13が設けられている。8は、棒状部材に嵌
合する環状止めの部材であつて半径方向に1個乃
至3個のネジ穴15が穿孔されている。
V溝13が設けられている。8は、棒状部材に嵌
合する環状止めの部材であつて半径方向に1個乃
至3個のネジ穴15が穿孔されている。
14は環状止め部材の位置調節ネジであつて先
端円錐部14aを有する。
端円錐部14aを有する。
調節ネジ先端は棒状部材の環状V溝13内に嵌
入当接している。(第2図) 環状止め部材8は、バネ7によつて常時外向き
の弾圧力が付勢されているため各位置調節ネジ1
4を回動して先端を進退させることによつて先端
はV溝13の外側斜面13aに沿つて摺動するの
で環状止め部材8は全体的に軸方向に移動する。
入当接している。(第2図) 環状止め部材8は、バネ7によつて常時外向き
の弾圧力が付勢されているため各位置調節ネジ1
4を回動して先端を進退させることによつて先端
はV溝13の外側斜面13aに沿つて摺動するの
で環状止め部材8は全体的に軸方向に移動する。
これによつて左右のバネ圧力の調節は勿論のこ
と、チツプ先端位置の微調整が可能になるのであ
る。
と、チツプ先端位置の微調整が可能になるのであ
る。
更に一対のバネ部材7,7は挾持力の発生付与
の他、支持体3の熱変形を吸収しチツプの位置ず
れを補償する作用もある。なお環状止め部材8
は、その一方が棒状部材10に固定されていても
よい。
の他、支持体3の熱変形を吸収しチツプの位置ず
れを補償する作用もある。なお環状止め部材8
は、その一方が棒状部材10に固定されていても
よい。
上記装置は、陰極温度を1700℃に加熱して作動
させ、更に室温に冷却することを繰り返したが
500回の繰り返しでも陰極チツプの位置ずれ及び
発熱体との接触状態の変化はみられなかつた。
させ、更に室温に冷却することを繰り返したが
500回の繰り返しでも陰極チツプの位置ずれ及び
発熱体との接触状態の変化はみられなかつた。
(効果)
本案装置は、チツプの挾持力をコイルバネによ
る外部弾圧力に依つて得ているが、弾圧力の調節
に当つてバネ圧力の作用線上で直接行なわず環状
止め部材の半径方向に螺合させた調節ネジ先端円
錐部14aを棒状部材に設けたV溝の外側斜面1
3aに沿つて摺動させることによつて間接的に調
節しているから調整時にチツプに過大な外力を与
えずに極めて微小なバネ圧調節が可能になる。
る外部弾圧力に依つて得ているが、弾圧力の調節
に当つてバネ圧力の作用線上で直接行なわず環状
止め部材の半径方向に螺合させた調節ネジ先端円
錐部14aを棒状部材に設けたV溝の外側斜面1
3aに沿つて摺動させることによつて間接的に調
節しているから調整時にチツプに過大な外力を与
えずに極めて微小なバネ圧調節が可能になる。
また、各調節ネジ先端と外側斜面は実質的に点
接触であるから高温加熱に対しても安定である等
の利点がある。
接触であるから高温加熱に対しても安定である等
の利点がある。
更に棒状部材の端部にネジ部を必要としないか
ら加工が容易であり、このため棒状部材の材質及
び形状等を広く選択でき、装置を小型化でき加熱
電力を小さくすることができるのである。
ら加工が容易であり、このため棒状部材の材質及
び形状等を広く選択でき、装置を小型化でき加熱
電力を小さくすることができるのである。
第1図は本案陰極装置全体の一部側面図、第2
図は環状止め部材の一部拡大断面図である。 11は棒状部材、8は環状止め部材、13は環
状V溝、14は調節ネジ。
図は環状止め部材の一部拡大断面図である。 11は棒状部材、8は環状止め部材、13は環
状V溝、14は調節ネジ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 陰極チツプが一対の発熱性保持体を介して一
対の導電性支持体間に挾持されてなる熱陰極に
おいて、前記各電導性支持体の略中間部に鍔付
絶縁管が嵌合されると共に該絶縁管に一本の棒
状部材が貫入挿通され更に該棒状部材の外側突
出部には、一対のコイルバネが嵌挿配設される
と共に前記棒状部材に嵌合された環状止め部材
によつて挾圧され、前記環状部材の少なくとも
一方は先端に円錐部を有し半径方向に進退する
調節ネジを備え、該調節ネジ先端が前記棒状部
材の外周面に形成した環状V溝内に嵌入当接さ
れてなる熱陰極装置。 2 棒状部材の両端外周面に夫々環状V溝が形成
されると共に調節ネジを備えた環状止め部材が
前記棒状部材の両側に配設されてなる第1項の
熱陰極装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1980058690U JPH0132285Y2 (ja) | 1980-04-28 | 1980-04-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1980058690U JPH0132285Y2 (ja) | 1980-04-28 | 1980-04-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56174446U JPS56174446U (ja) | 1981-12-23 |
| JPH0132285Y2 true JPH0132285Y2 (ja) | 1989-10-03 |
Family
ID=29434911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1980058690U Expired JPH0132285Y2 (ja) | 1980-04-28 | 1980-04-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0132285Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5730580Y2 (ja) * | 1977-08-29 | 1982-07-05 | ||
| JPS5524371A (en) * | 1978-08-10 | 1980-02-21 | Denki Kagaku Kogyo Kk | Thermionic cathode |
-
1980
- 1980-04-28 JP JP1980058690U patent/JPH0132285Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56174446U (ja) | 1981-12-23 |
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