JPH0333059Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0333059Y2 JPH0333059Y2 JP1985057516U JP5751685U JPH0333059Y2 JP H0333059 Y2 JPH0333059 Y2 JP H0333059Y2 JP 1985057516 U JP1985057516 U JP 1985057516U JP 5751685 U JP5751685 U JP 5751685U JP H0333059 Y2 JPH0333059 Y2 JP H0333059Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support
- crucible
- thermocouple
- heater
- molecular beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の利用分野〕
本考案は分子線源に関するものである。
例えば分子線エピタキシーに用いられる分子線
源については、高橋清編著、「分子線エピタキシ
ー技術」、(株)工業調査会、昭和59年１月20日発行、
68頁に記載されているが、しかし、ルツボの温度
を検出する熱電対の支持の仕方に関する記載は見
当らない。
源については、高橋清編著、「分子線エピタキシ
ー技術」、(株)工業調査会、昭和59年１月20日発行、
68頁に記載されているが、しかし、ルツボの温度
を検出する熱電対の支持の仕方に関する記載は見
当らない。
本考案の目的はルツボの温度を熱電対により安
定に検出するができる分子線源を提供することに
ある。
定に検出するができる分子線源を提供することに
ある。
本考案は、ルツボ、ヒータ、絶縁体、熱シール
ドのこれらを支持する第１の支持台と、ルツボの
底部の温度を検出する熱電対とからなる分子線源
において、第１の支持台から支持された第２の支
持台と、第１および第２の支持台を貫通し熱電対
を内部に通して支持する碍管と、第１および第２
の支持台の間に設けらられるとともに、第１の支
持台の方向に押圧するバネを介して第２の支持台
に取り付けられ碍管の長手方向位置を調整支持可
能なクリツプとを具備したことを特徴とするもの
で、ルツボの底部に安定して、かつ、再現性良く
熱電対の検出端を押付け保持することで、ルツボ
の温度を熱電対により安定に検出できるようにし
たものである。
ドのこれらを支持する第１の支持台と、ルツボの
底部の温度を検出する熱電対とからなる分子線源
において、第１の支持台から支持された第２の支
持台と、第１および第２の支持台を貫通し熱電対
を内部に通して支持する碍管と、第１および第２
の支持台の間に設けらられるとともに、第１の支
持台の方向に押圧するバネを介して第２の支持台
に取り付けられ碍管の長手方向位置を調整支持可
能なクリツプとを具備したことを特徴とするもの
で、ルツボの底部に安定して、かつ、再現性良く
熱電対の検出端を押付け保持することで、ルツボ
の温度を熱電対により安定に検出できるようにし
たものである。
以下、本考案の一実施例を第１図、第２図によ
り説明する。
り説明する。
第１図に示す如く、支持台６と支持台２とを支
柱９で連接し、支持台２にヒータサポート４を組
合わせ、さらにヒータサポート４にヒータ３を配
設し、中心に熱シールド板１０を挿入したのち、
ルツボ５をヒータ３の内部に組込んで、蒸発源を
構成する、支持台６，２並びに熱シールド板１０
の中心部に、碍管１に組込まれた熱電対１１を通
す穴を設けてあり、熱電対１１を支持台６側より
熱電対１１の検出端がルツボ５の底部に接触する
ように挿入するが、この時、第２図に示す如く碍
管１にクリツプ８を組合わせてネジ１２とナツト
１３により任意の位置に固着できるようにした。
さらに、碍管１が貫通できる穴を両端に設けたＵ
字形の板バネ７を支持台６とクリツプ８との間に
組込んで、クリツプ８を介して熱電対１１の検出
端をルツボ５の底部に押し付けるようにした。こ
こで、クリツプ８の位置を変えることによつて、
熱電対１１の検出端をルツボ５の底部へ押しつけ
る力を変えることができる。
柱９で連接し、支持台２にヒータサポート４を組
合わせ、さらにヒータサポート４にヒータ３を配
設し、中心に熱シールド板１０を挿入したのち、
ルツボ５をヒータ３の内部に組込んで、蒸発源を
構成する、支持台６，２並びに熱シールド板１０
の中心部に、碍管１に組込まれた熱電対１１を通
す穴を設けてあり、熱電対１１を支持台６側より
熱電対１１の検出端がルツボ５の底部に接触する
ように挿入するが、この時、第２図に示す如く碍
管１にクリツプ８を組合わせてネジ１２とナツト
１３により任意の位置に固着できるようにした。
さらに、碍管１が貫通できる穴を両端に設けたＵ
字形の板バネ７を支持台６とクリツプ８との間に
組込んで、クリツプ８を介して熱電対１１の検出
端をルツボ５の底部に押し付けるようにした。こ
こで、クリツプ８の位置を変えることによつて、
熱電対１１の検出端をルツボ５の底部へ押しつけ
る力を変えることができる。
板バネは接触面、すなわち支持面が広いので碍
管１の姿勢を安定に支持できるので、熱電対１１
の検出端が安定し、温度検出の安定化に有効であ
る。このように、ルツボ５の温度を安定して検出
できるため、分子線の蒸発源の温度抑制が安定
し、分子線源の性能が向上する。
管１の姿勢を安定に支持できるので、熱電対１１
の検出端が安定し、温度検出の安定化に有効であ
る。このように、ルツボ５の温度を安定して検出
できるため、分子線の蒸発源の温度抑制が安定
し、分子線源の性能が向上する。
本考案は、以上説明したように熱電対の姿勢が
安定し、検出端を定位置に押付け保持できるの
で、ルツボの温度を熱電対により安定に検出でき
るという効果がある。
安定し、検出端を定位置に押付け保持できるの
で、ルツボの温度を熱電対により安定に検出でき
るという効果がある。
第１図は本考案による分子線源の一実施例を示
す要部縦断面図、第２図は第１図の熱電対とバネ
の関係の詳細を示す斜視図である。 １……碍管、２，６……支持台、３……ヒー
タ、５……ルツボ、７……板バネ、８……クリツ
プ、９……支柱、１０……熱シールド板、１１…
…熱電対、１２……ネジ、１３……ナツト。
す要部縦断面図、第２図は第１図の熱電対とバネ
の関係の詳細を示す斜視図である。 １……碍管、２，６……支持台、３……ヒー
タ、５……ルツボ、７……板バネ、８……クリツ
プ、９……支柱、１０……熱シールド板、１１…
…熱電対、１２……ネジ、１３……ナツト。
Claims (1)
- 分子線の原料を装填するルツボと、該ルツボの
外側に設けられ前記原料を加熱するヒータと、該
ヒータを支持する絶縁体と、前記ヒータによる加
熱の熱が外部に逃げるのを防止する熱シールド
と、これらを支持する第１の支持台と、該第１の
支持台を貫通し前記ルツボの底部の温度を検出す
る熱電対とからなる分子線源において、前記第１
の支持台から支持された第２の支持台と、前記第
１および第２の支持台を貫通し前記熱電対を内部
に通して支持する碍管と、前記第１および第２の
支持台の間に設けられるとともに、前記第１の支
持台の方向に押圧するバネを介して前記第２の支
持台に取り付けられ前記碍管の長手方向位置を調
整支持可能なクリツプとを具備したことを特徴と
する分子線源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985057516U JPH0333059Y2 (ja) | 1985-04-19 | 1985-04-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985057516U JPH0333059Y2 (ja) | 1985-04-19 | 1985-04-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61174740U JPS61174740U (ja) | 1986-10-30 |
| JPH0333059Y2 true JPH0333059Y2 (ja) | 1991-07-12 |
Family
ID=30582120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985057516U Expired JPH0333059Y2 (ja) | 1985-04-19 | 1985-04-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0333059Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5725733U (ja) * | 1980-07-18 | 1982-02-10 | ||
| JPS5842224A (ja) * | 1981-09-07 | 1983-03-11 | Mitsubishi Electric Corp | 真空蒸着用セル |
-
1985
- 1985-04-19 JP JP1985057516U patent/JPH0333059Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61174740U (ja) | 1986-10-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS61174740U (ja) | ||
| JPH069507Y2 (ja) | ヒ−タブロツク固定装置 | |
| JPH0718150Y2 (ja) | 抵抗加熱用電極 | |
| JPH0377466U (ja) | ||
| JPS604427Y2 (ja) | 筆記板の保持装置 | |
| JPS581730Y2 (ja) | 太陽熱集熱板取付装置 | |
| JPS6275064U (ja) | ||
| JPS6018117A (ja) | 炊飯器 | |
| JPS6410676U (ja) | ||
| JPS634389Y2 (ja) | ||
| JPS6219609U (ja) | ||
| JPS63163432U (ja) | ||
| JPS6118355U (ja) | 炎の検出装置 | |
| JPS5821511Y2 (ja) | 感温体を有する接続端子装置 | |
| JPH0132285Y2 (ja) | ||
| JPS6356636U (ja) | ||
| JPH0265223U (ja) | ||
| JPH0310493U (ja) | ||
| JPH0179295U (ja) | ||
| JPH01157155U (ja) | ||
| JPS61125767U (ja) | ||
| JPH02110853U (ja) | ||
| JPS63149130U (ja) | ||
| KR940018946A (ko) | 프로세싱 챔버내의 반도체 웨이퍼 고정용 서스셉터 장치 | |
| JPS648120U (ja) |