JPH0132359Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この考案はスピンナー等の回転処理装置を複数
台並設して成る並設回転処理装置に関し、さらに
詳しくは、チヤンバー内に装備され基板を保持し
て回転処理するための回転体と、基板の表面に処
理液を供給するためのノズルとを具備する回転処
理装置を複数台並設し、各回転処理装置のチヤン
バー内の空気の流れを排気量調節手段で調節する
ように構成した並設回転処理装置に関する。

〈従来技術〉 近年、半導体ウエハ等の基板処理装置におい
て、生産性を向上するために、装置全体の集中化
及び自動化の要請とともに、生産管理費の低減を
図るためにクリーンルームの小形化、ひいてはク
リーンルーム内に設置する当該処理装置のコンパ
クト化及びメンテナンス管理の容易な装置が要請
されている。

上記基板等の処理装置は、例えば基板の処理工
程の順に基板供給部、回転処理部、加熱処理部、
基板収納部を有し、各処理部に基板を順次搬送し
て一連の処理を行なうように構成されるととも
に、前記生産性向上の要請から、これら一連の処
理工程を複数列並設して構成されている。

上記基板等の処理装置の一部を構成する回転洗
浄装置や回転塗布装置などは、基板を高速回転さ
せながら、基板表面に、洗浄液、フオトレジスト
液、現像液等を供給する回転処理装置として周知
である。

ところが、この基板表面に供給された処理液中
の溶剤が必要以上に早く揮発したり、この揮発に
伴なつてチヤンバー内の温度が所定温度以下に低
下することにより、基板表面に形成される処理液
の膜厚にムラが発生する等の不都合がある。かか
る不都合を解消するものとして、チヤンバー内の
空気の流れを適正に調節する手段を具備した回転
処理装置が、特開昭58−171819号公報あるいは特
開昭57−166033号公報に開示されている。

すなわち、前者はチヤンバーに付設した排液・
排気兼用ダクトを、処理液回収タンクに接続して
処理済みの処理液を回収するとともに、この処理
液回収タンクの排気口に、別の排気ダクトを介し
てダンパーを接続し、チヤンバー内の風速センサ
ーの検出信号に基づいてダンパーの開閉状態を自
動的にコントロールし、チヤンバー内の空気の流
れを調節するように構成したものである。

また、後者は、チヤンバーに付設した排液・排
気兼用の排気管を処理液回収室に連結し、この処
理液回収室の出口に強制排気ダクトを接続して強
制排気するように構成するとともに、前記排気管
内に排気量検出器と、この検出器の出力により開
閉される排気量調節弁を設け、チヤンバー内の空
気の流れを調節するように構成したものである。

〈考案が解決しようとする問題点〉 しかるに、上記のような排気量調節手段を適用
する場合には次のような難点があり、かつ回転処
理装置を複数台並設した並設回転処理装置に適用
する技術は開示されていなかつた。

イ 前記特開昭58−171819に開示された如き従来
技術にあつては、各ダンパーは各処理液回収タ
ンクの排気口に別の排気ダクトを介して個別に
配置されるから、当該ダンパーの点検・保全等
も個別に行うことを要し、装置のメンテナンス
にも不便である。

ロ また、前記特開昭57−166033号に開示された
如き従来技術にあつては、各ダンパーは各チヤ
ンバーに付設した排液・排気兼用の排気管内に
設けられているため、多数のダンパーを必要と
し、装置をコンパクト化する上で障害となるだ
けでなく、装置のメンテナンスにも不便であ
る。

ハ そして、前記両公報に開示された従来技術と
も、チヤンバーに付設した排液・排気兼用の排
気管を用いているので、排気中に多量のミスト
を含み、排気量調節弁にこれらのミストが付着
して故障の原因となり易い。

本考案はこのような事情に鑑みてなされたもの
で、その目的は、簡単な構造で、メンテナンスが
容易かつ、故障の生じにくい排気量調節手段を設
けた並設回転処理装置を提供することである。

〈問題点を解決するための手段〉 本考案は上記目的を達成するために、前記した
如き並設回転処理装置において、各チヤンバーに
排液管を付設し、各排液管を流下する処理液を処
理液回収室内に回収するように構成し、排気量調
節手段は、各チヤンバーに付設した少なくと１個
以上の排気管を各排気室に接続し、各排気室の排
気出口を共通排気室に並設された各連通口に連通
し、共通排気室の排気出口を排気ダクトを介して
強制排気手段に連結するとともに、当該共通排気
室の各連通口に各ダンパーを並設して各チヤンバ
ー内の空気流を調節するように構成したことを特
徴とするものである。

〈作用〉 各チヤンバーには、排液管と別に少なくとも１
個以上の排気管が付設されこの排気管よりチヤン
バー内の空気が排気されるため、排気中に含まれ
るミストは比較的少なくなる。とくに複数の排気
管を付設した場合には、チヤンバー内の空気の流
れは分流され、一方のみに集中することがないか
ら、スムースに流れることとなる。

排気管から出た排気は各排気室内で排気速度を
急激に低下させ、これに伴なつて排気中に含まれ
たミストを排気室内の側壁もしくは底面に付着さ
せることにより分離する。

各排気室の排気出口は共通排気室の各連通口に
並設された各ダンパーに接続され、この各ダンパ
ーを制御することによつて各チヤンバー内の空気
流を調節するが、このように構成された共通排気
室を設けることによつて、並設回転処理装置の排
気処理構造を簡単なものとし、メンテナンス等の
作業をし易くするものである。

〈実施例〉 以下本考案に係る実施例を図面に基づいて説明
する。

第１図ないし第３図は、本考案に係る並設回転
処理装置の要部を示し、それぞれ第１図は一部を
破断して示す平面図、第２図は同じく正面図、第
３図は第１図の−矢視断面図である。

これらの図において、符号１は基枠、２はチヤ
ンバー、３はチヤンバー内に装備され載置された
基板４を吸着保持して回転する回転体、５は回転
体３を回転駆動するモータ等の駆動手段、６，６
はチヤンバーに付設された排気管、７は排液管、
第３図に二点鎖線で示す５０はノズルである。

各チヤンバー２の下方にそれぞれ排気室８、及
び処理液回収室９が配置され、各チヤンバー２に
付設された２本の排気管６，６は排気室８に接続
され、各チヤンバー２に付設された１本の排液管
７は処理液回収室９内に設置された回収容器１０
に導入されている。

回転体は第３図に示すように回転体１１に着脱
可能に装着されていて、この回転体３を上方に引
き上げて取外すことによつて、チヤンバー２を基
枠１上面から取り外すことができるよう構成され
ている。また、第２図ないし第３図に示すよう
に、前記排気管６，６及び排液管７は、基枠１の
上面に形成された各段落状の開口１２，１２，１
３に一端を着座嵌入され、これら排気管６，６及
び排液管７も、チヤンバー２を基枠１から取り外
した後上方に引き抜いて取り出すことができ後述
のようにメンテナンス作業を容易にするように構
成されている。

各チヤンバー２に対応してその下方に配置され
た前記各排気室８内には、排気管６の下端部を囲
うように邪魔板１４が設けられており、邪魔板１
４の上辺１４ａを排気管６の下端面６ａより高く
位置させ、排気中に含まれているミストを分離し
やすくする構造になつている。

各排気室８，８，８の排気出口１５，１５，１
５は共通排気室１８に並設された各連通口１９，
１９，１９に各ダクト１６，１６，１６を介して
連結され、共通排気室１８の各連通口９，１９，
１９には、各チヤンバー２内の排気流量を調節す
るダンパー２０，２０，２０がそれぞれ設けられ
ている。

また、共通排気室１８の排気出口２２には、共
通排気ダンパー２３を介して強制排気ダクト２５
が接続され、図示しない強制排気手段によつて強
制排気されるよう構成されている。

なお、上記各ダンパー２０，２０，２０及び共
通排気ダンパー２３は、公知の流量検知手段を有
する開閉弁機構２１を具備して成り、図示しない
手動制御装置又は自動制御装置によりコントロー
ルされ、各チヤンバー２内の排気流量をそれぞれ
調節するように構成されている。

第４図は、本考案に係る別の実施例を示す平面
図で、この図において、各排気室２８の出口２９
は、共通排気室３０に並設された各連通口３１に
直接連結されている。

なお、上記実施例においては、いずれも、各排
気室と共通排気室をそれぞれ区画して一体に形成
した箱体２４，２４ａを矢印Ａ方向へ引出し可能
に構成したものであり、前記排気管６、及び排液
管７を上方に取り出した後その箱体２４，２４ａ
を引き出し、使用済みの処理液を廃棄したり、日
常のメンテナンスを容易に行なうことができるよ
うに構成されている。

なお、各排気室と共通排気室に加え、処理液回
収室までも一体に形成し、矢印方向に引出し可能
に構成することもできる。

〈考案の効果〉 本考案によれば、前記のように構成され、作用
するので次のような効果を奏する。

イ 各チヤンバーに対応して設けられた各排気室
の排気出口は、共通排気室に並設され各連通口
に接続され、この各連通口にダンパーが並設さ
れた構造を有するから、全体として並設回転処
理装置の排気処理の構造を簡単なものとするこ
とができ、メンテナンス等の作業をし易くする
ことができる。

ロ 排液管と排気管を別々に構成したから、排気
中に含まれるミストは極めて少なく、排気量調
節弁等がミストの付着により故障する等の問題
が解消される。

ハ 特に各排気室及び共通排気室を一体に形成
し、機外へ取出し可能に構成した場合には、さ
らにメンテナンス作業を容易にすることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第４図は本考案に係る並設回転処
理装置に関し、第１図は一部を破断して示す平面
図、第２図は同じく正面図、第３図は第１図の
−矢視断面図、第４図は別の実施態様を示す平
面図である。 １……基枠、２……チヤンバー、３……回転
体、４……基板、６……排気管、７……排液管、
８，２８……排気室、…処理液回収室、１４……
邪魔板、１５……排気出口、１８，３０……共通
排気室、１９，２９……連通口、２２……共通排
気室の排気出口、２４，２４ａ……箱体、２５…
…強制排気ダクト。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ チヤンバー内に装備され、基板を保持して回
   転する回転体と基板の表面に処理液を供給する
   ノズルとを具備した回転処理装置を複数台並設
   し、各回転処理装置のチヤンバー内の空気の流
   れを排気量調節手段で調節するように構成した
   並設回転処理装置において、 各チヤンバーに排液管を付設し、各排液管を
   流下する処理液を処理液回収室内に回収するよ
   うに構成し、排気量調節手段は、各チヤンバー
   に付設した少なくとも１個以上の排気管を各排
   気室に接続し、各排気室の排気出口を共通排気
   室に並設された各連通口に連通し、共通排気室
   の排気出口を強制排気手段に連結するととも
   に、当該共通排気室の各連通口にそれぞれダン
   パーを並設して各チヤンバー内の空気の流れを
   調節するように構成したことを特徴とする並設
   回転処理装置。 ２ 各排気室と共通排気室とを一体に形成し、機
   外へ引出し可能に構成した実用新案登録請求の
   範囲第１項に記載した並設回転処理装置。 ３ 各回転処理装置が回転塗布装置である実用新
   案登録請求の範囲第１項又は第２項に記載した
   並設回転処理装置。