JPH0448855Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本考案は、チヤンバー内にて、略水平に保持回
転させた基板に処理液を供給して回転処理をす
る、いわゆるスピンナー等の回転処理装置を複数
台並列状に設けた並設回転処理装置に関し、それ
らの回転処理装置のうち、いずれか一部を休止さ
せる等のために、該当する装置のチヤンバーに対
する排気量を制御しても、その残りの装置のチヤ
ンバーの空気の流れを変動させることなく安定し
た処理ができるものを提供する。

＜従来の技術＞ 本考案の対象となる並設回転処理装置の基本構
造は、実開昭61−96537号公報に示される如く、
基板を支持して回転する回転体をチヤンバー内に
設け、チヤンバーの内部に排気しつつ、ノズルに
よつて基板の上面に処理液を供給して回転処理す
る回転処理装置を複数台並設したものである。こ
の公報に記載の装置は、複数の回転処理装置の各
チヤンバーにそれぞれ少なくとも１個以上設けた
排気管を、おのおののチヤンバーごとに対応して
設けた排気室に接続し、各排気室の排気出口を共
通排気室に付設した複数の排気連通口に連通して
いる。そして、共通排気室の排気出口を強制排気
手段に連結するとともに、共通排気室の各排気連
通口にそれぞれ排気ダンパーを設けている。

上記公報に記載の装置の作動原理は第６図に示
すものであり、複数の排気室８を共通排気室１８
を介して一つの強制排気手段２５に連通して、各
チヤンバー内の空気を排気するとともに、各排気
連通口１９に設けた各排気ダンパー２０を押し引
き駆動源２１により個別に開閉制御して、各チヤ
ンバーごとの排気量を調節制御している。

＜考案が解決しようとする問題点＞ 上記従来技術では、複数台の回転処理装置を稼
働させる場合において、各排気ダンパー２０を全
開させた状態を処理の基準として、いずれかのチ
ヤンバー２内の排気量を前記基準と別な状態に変
更設定するために、そのダンパー２０だけを選択
的に封鎖すると、各排気室８は共通排気室に連通
している為に、強制排気手段の吸引力が開状態の
装置に集中するようになり、全ダンパーを開状態
にした場合に比べて各処理装置の排気バランスが
崩れてしまう。

この結果、稼働中のチヤンバー２内の排気量が
変動して空気雰囲気が乱れ、例えば、基板表面に
フオトレジスト液を塗布する場合には膜厚にムラ
が生じたり、現像処理に際しては現像ムラが発生
したりする。

本考案は、複数の回転処理装置の一部の排気量
を制御させても、その他のチヤンバー内の空気雰
囲気を良好に維持して、安定した処理ができるこ
とを技術的課題とする。

＜問題点を解決するための手段＞ 上記課題を達成するための手段を、実施例に対
応する第１図乃至第５図を用いて以下に説明す
る。

即ち、本考案は、チヤンバー内にて、略水平に
支持した基板に処理液を供給して回転処理をする
回転処理装置を複数台並設し、各回転処理装置の
各チヤンバーを共通排気室に連通し、共通排気室
を強制排気手段に連結するとともに、各チヤンバ
ーから共通排気室へ排気を導入する各排気連通口
毎に、排気連通口を閉止可能な各排気ダンパーを
設け、各排気ダンパーを駆動源で駆動することに
より、各チヤンバー内を排気する空気の流れを制
御するように構成した並設回転処理装置におい
て、 上記共通排気室に、上記各排気連通口と同数の
外気連通口を開口形成し、各外気連通口毎に外気
連通口を閉止可能な外気ダンパーを設けるととも
に、上記各排気ダンパー毎に一つの外気ダンパー
を、排気ダンパーが閉止位置では外気ダンパーが
開放位置となり、排気ダンパーが開放位置では外
気ダンパーが閉止位置となる位置関係にて同一の
駆動源に連結したことを特徴とするものである。

＜作用＞ 外気ダンパー３０を排気ダンパー２０の各々に
連動させ、その連動関係を、排気連通口１９が開
くようにすれば外気連通口３２が閉じるように動
作し、排気連通口１９が閉じるようにすれば外気
連通口３２が開くように構成するので、処理装置
の全稼働状態を基準として、各チヤンバー２内の
排気量を一旦設定すれば、複数の処理装置の一部
を休止させる等のために、いくつかの排気連通口
を閉じるようにしても、共通排気室１８の排気量
を一定に保つて、排気連通口が全開状態にある装
置のチヤンバー２内を基準状態に維持できる。

例えば、第５図に示すように、排気ダンパー２
０で排気連通口１９の１つ又は２つを封鎖して対
応する排気室８を共通排気室１８から遮断する
と、外気ダンパー３０により外気連通口３２の１
つ又は２つが開放されて共通排気室１８が外気に
連通される。

この結果、それまで排気連通口を介して強制排
気手段に排気されていた量に（即ち、開放状態に
あつた排気連通口１９から排気されていた量に）
相当する外気が、上記外気連通口３２を介して共
通排気室１８から強制排気手段により吸引される
ので、排気ダンパーが全開状態にある処理装置
の、排気連通口１９を通過する排気量を変動させ
ることなく一定に維持でき、当該装置のチヤンバ
ー２内の空気雰囲気を基準状態と同様に保つこと
ができる。

逆に、排気ダンパー２０で封鎖されていた排気
連通口１９を開放して、その排気室８を共通排気
室１８に連通すると、外気ダンパー３０が外気連
通口３２を封鎖するので、それまで外気連通口３
２から吸引されていた空気量と同じ量の排気をそ
れまで排気連通口が封鎖していた排気室８から吸
引することになり、当該排気室８に連通したチヤ
ンバー２内への排気量を変動させることなく空気
雰囲気を以前と同じく一定に保持できる。

＜実施例＞ 以下、本考案の実施例を図面に基いて説明す
る。

第１図乃至第４図は並設処理装置を示し、第１
図は共通排気室周辺の縦断正面図、第２図は一部
破断平面図、第３図は同じく正面図、第４図は第
２図の−線断面図である。

上図において、符号１は基枠、２はチヤンバ
ー、３はチヤンバー内に装備され載置された基板
４を吸着保持して回転する回転体、５は回転体３
を回転駆動するモータ等の駆動手段、６，６はチ
ヤンバーに付設された排気管、７は排液管、第４
図に二点鎖線で示す５０は処理液供給用のノズル
である。

各チヤンバー２の下方にそれぞれ個別の排気室
８、及び処理液回収室９が配置され、各チヤンバ
ー２に付設された２本の排気管６，６は排気室８
に接続され、各チヤンバー２に付設された１本の
排液管７は処理液回収室９内に設置された回収容
器１０に導入されている。

回転体３は第４図に示すように回転軸１１に着
脱可能に装着されていて、この回転体３を上方に
引き上げて取外すことによつて、チヤンバー２を
基枠１の上面から取り外すことができるように構
成されている。

また、第３図ないし第４図に示すように、前記
排気管６，６及び排液管７は、基枠１の上面に形
成された各段落状の開口１２，１２，１３に一端
を着座嵌入され、これら排気管６，６及び排液管
７も、チヤンバー２を基枠１から取り外した後上
方に引き抜いて取り出すことができメンテナンス
作業を容易にするように構成されている。

各チヤンバー２に対応してその下面に配置され
た前記各排気室８内には、排気管６の下端部を覆
うように邪魔板１４が設けられており、邪魔板１
４の上辺１４ａを排気管６の下端面６ａより高く
位置させ、排気中に含まれているミストを分離し
やすくする構造になつている。

各排気室８，８，８の排気出口１５，１５，１
５は共通排気室１８に並設された各排気連通口１
９，１９，１９にダクト１６，１６，１６を介し
て連結される。

共通排気室１８には、第１図に示すように、
左・右両壁に三段に亘つて排気連通口１９と外気
連通口３２とが対向状に空けられ、この外気連通
口３２は共通排気室１８の左隣りに形成した外気
取入室３３に連通される。

外気取入室３３の室外に押し引き駆動源２１、
具体的にはソレノイドが付設され、駆動源２１か
ら延びた押し引き軸３４は両連通口１９，３２の
中心を結ぶ方向に位置付けられ、当該押し引き軸
３４の先端に排気ダンパー２０が、また、その中
途部に外気ダンパー３０が各々共通に固定され
る。

上記両ダンパー２０，３０は、所定距離を隔て
て支持されており、排気ダンパー２０が排気連通
口１９に、外気ダンパー３０が外気連通口３２に
当接封鎖可能に臨み、図示外の手動或いは自動制
御装置によりコントロールされた駆動源２１で駆
動軸３４を押し引きすれば、当該両ダンパー２
０，３０の一方が上記二つの連通口１９，３２の
うちの一方を閉じると同時に、ダンパーの他方が
連通口の他方を開くように設定される。

即ち、排気ダンパー２０が排気連通口１９に当
接してこれを封鎖すれば、外気ダンパー３０が外
気連通口３２から離れてこれを開放し、逆にダン
パー２０がダンパー１９から離れてこれを開放す
れば、外気ダンパー３０が外気連通口３２に当接
してこれを封鎖するように構成される。

共通排気室１８の後方に穿設した排気出口２２
に、共通排気ダンパー２３を介して強制排気ダク
ト２５が接続され、強制排気ダクト２５の遊端側
に連結された図示外の強制排気手段により共通排
気室１８が強制排気可能に構成される。

なお、押し引き軸３４を作動させる駆動源２１
として、ソレノイドに代えて、複動型油圧シリン
ダを用いても差し支えない。

また、符号３５は空気取入室３３の前面に複数
個穿設した外気取入孔であり、共通排気室１８は
外気連通口３２及び外気取入孔３５を介して外気
を取入れ可能に構成される。

そこで、上記並設回転処理装置の機能を以下に
述べる。

(1) 回転処理装置を全台数稼働する場合には、駆
動源２１で押し引き軸３４を引いて外気連通口
３２を外気ダンパー３０で全て封鎖し、排気連
通口１９を全て開放して、全ての排気室８を共
通排気室１８に連通し、排気出口２２からの強
制排気量を適切に設定することにより、チヤン
バー２内の空気の流れを適正に保ちながら基板
４の表面に洗浄、塗布、現像等の処理を施す。

(2) 並設された処理装置の一部を休止する場合に
は、休止すべき処理装置に対応する駆動源２１
で押し引き軸３４を押し、複数の排気連通口１
９の一部を排気ダンパー２０で封鎖する。

このとき、前記押し引き軸に設けられた排気ダ
ンパー３０は外気連通口３２から離れてこれを開
放するので、それまで開放されていた排気連通口
１９を通つた排気量に見合う外気が、当該外気連
通口３２から共通排気室１８内に吸引されるよう
になる。

この結果、現時点で稼働している処理装置の排
気連通口１９を通る排気量は、処理装置の全台数
が稼働状態にあつた上記(1)の場合と同様に維持さ
れるので、当該処理装置の外気連通口３２内の空
気の流れは変化せずに適正な状態に保ち、安定し
た処理を継続できる。

即ち、当該処理装置にあつては、装置の稼働台
数が変化して排気連通口の開放個数が減少して
も、それに見合つて外気連通口が開き（或いは、
逆に、排気連通口の開放個数が増加してもそれに
見合つて外気連通口が閉じ）、共通排気室１８の
排気量の内の処理装置からの分の増・減を外気の
吸引によつて適正に補填できるので、稼働中の排
気室８に吸引力が集中することはなく、稼働中の
処理装置のチヤンバー２内の排気バランスを常に
適正に保つことができる。

なお、上記実施例においては、各排気室と共通
排気室をそれぞれ区画して一体に形成した箱体２
４を矢印Ａ方向へ引出し可能に構成したものであ
り、前記排気管６、及び排液管７を上方に取り出
した後その箱体２４を引き出し、使用済みの処理
液を廃棄したり、日常のメンテナンスを容易に行
なうことができるように構成されている。

また、各排気室と共通排気室に加え、処理液回
収室までも一体に形成し、矢印方向に引出し可能
に構成することもできる。

以上、上記実施例について述べたが、本考案は
上記内容に限定されるものではなく、各種の変形
応用が可能である。

また、上記実施例では、排気ダンパー２０が排
気連通口１９に、外気ダンパーが外気連通口３２
に対し、各々進退する機構としたが各ダンパー
は、各連通口が形成された壁体面に沿つて、連通
口が形成された位置と形成されてない位置との間
を摺動するようにしても良い。

なお、このような機構にした場合には、各ダン
パーは開と閉の２者択一的動作だけでなく、開と
閉の中間の状態に動作させることができる。

従つて、例えば排気ダンパーを1/3開状態にし
たならば、外気ダンパーは全閉に対して1/3閉状
態となるように、排気ダンパーの動作に対して外
気ダンパーを逆動作可能に連動制御されることが
できる。

＜考案の効果＞ 複数の回転処理装置のうち、いくつかの装置の
排気連通口を閉じるようにしても、対応する外気
連通口がその他の処理装置の各チヤンバーの排気
量を一定に保持できるので、チヤンバー内の空気
雰囲気を良好に維持して安定した処理がスムーズ
にできる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第５図は本考案の実施例を示し、第
１図は共通排気室周辺の縦断正面図、第２図は並
設回転処理装置の一部破断平面図、第３図は同装
置の一部破断正面図、第４図は第２図の−線
断面図、第５図は同装置の作動原理図、第６図は
従来技術を示す第５図相当図である。 ２……チヤンバー、４……基板、１８……共通
排気室、１９……排気連通口、２０……排気ダン
パー、２１……駆動源、３０……外気ダンパー、
３２……外気連通口。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 チヤンバー２内にて、略水平に支持した基板４
   に処理液を供給して回転処理をする回転処理装置
   を複数台並設し、各回転処理装置の各チヤンバー
   ２を共通排気室１８に連通し、共通排気室１８を
   強制排気手段に連結するとともに、各チヤンバー
   ２から共通排気室１８へ排気を導入する各排気連
   通口１９毎に、排気連通口１９を閉止可能な排気
   ダンパー２０を設け、各排気ダンパー２０を駆動
   源２１で駆動することにより、各チヤンバー２内
   を排気する空気の流れを制御するように構成した
   並設回転処理装置において、 上記共通排気室１８に、上記各排気連通口１９
   と同数の外気連通口３２を開口形成し、各外気連
   通口３２毎に外気連通口３２を閉止可能な外気ダ
   ンパー３０を設けるとともに、上記各排気ダンパ
   ー２０毎に一つの外気ダンパー３０を、排気ダン
   パー２０が閉止位置では外気ダンパー３０が開放
   位置となり、排気ダンパー２０が開放位置では外
   気ダンパー３０が閉止位置となる位置関係にて同
   一の駆動源２１に連結したことを特徴とする並設
   回転処理装置。