JPH0132658B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0132658B2 JPH0132658B2 JP58028617A JP2861783A JPH0132658B2 JP H0132658 B2 JPH0132658 B2 JP H0132658B2 JP 58028617 A JP58028617 A JP 58028617A JP 2861783 A JP2861783 A JP 2861783A JP H0132658 B2 JPH0132658 B2 JP H0132658B2
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- JP
- Japan
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- aluminum alloy
- brazing
- package
- manufacturing
- welding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K35/00—Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting
- B23K35/22—Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting characterised by the composition or nature of the material
- B23K35/24—Selection of soldering or welding materials proper
- B23K35/28—Selection of soldering or welding materials proper with the principal constituent melting at less than 950°C
- B23K35/286—Al as the principal constituent
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/20—Bonding
- B23K26/206—Laser sealing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
- B23K2103/08—Non-ferrous metals or alloys
- B23K2103/10—Aluminium or alloys thereof
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Casings For Electric Apparatus (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(1) 発明の技術分野
本発明はマイクロ波用増幅器のアルミニウム合
金パツケージの製造方法に関するものである。
金パツケージの製造方法に関するものである。
(2) 技術の背景
従来のマイクロ波用増幅器のパツケージは、周
知のように鉄系材料、主としてステンレス鋼が用
いられて製作されている。ところがステンレス鋼
は熱伝導性が悪いため高出力増幅器の発熱に原因
してパツケージ内の回路素子を損傷することが
屡々である。また重量も大である。
知のように鉄系材料、主としてステンレス鋼が用
いられて製作されている。ところがステンレス鋼
は熱伝導性が悪いため高出力増幅器の発熱に原因
してパツケージ内の回路素子を損傷することが
屡々である。また重量も大である。
このためステンレス鋼に代えて、軽量且つ熱伝
導性の良いアルミニウムを利用したパツケージが
注目されている。
導性の良いアルミニウムを利用したパツケージが
注目されている。
(3) 従来技術と問題点
従来のアルミニウム合金パツケージにおいて、
ケースにカバーを気密封止する場合、アルミニウ
ムが熱伝導性が良いため全体的に高温度にさらす
ろう付け法などの封止法を採用することができ
ず、結局パルスレーザによる溶接法に依存しなけ
ればならない。ところがアルミ合金パツケージの
レーザ溶接は、アルミニウム合金の熱伝導が良好
すぎて、急冷効果により溶接部にクラツクが生じ
るという欠点があつた。
ケースにカバーを気密封止する場合、アルミニウ
ムが熱伝導性が良いため全体的に高温度にさらす
ろう付け法などの封止法を採用することができ
ず、結局パルスレーザによる溶接法に依存しなけ
ればならない。ところがアルミ合金パツケージの
レーザ溶接は、アルミニウム合金の熱伝導が良好
すぎて、急冷効果により溶接部にクラツクが生じ
るという欠点があつた。
(4) 発明の目的
本発明は上記従来の欠点に鑑み、アルミ合金パ
ツケージの気密封止をレーザ溶接により安定して
行なうことができるアルミ合金パツケージの製造
方法を提供することを目的とするものである。
ツケージの気密封止をレーザ溶接により安定して
行なうことができるアルミ合金パツケージの製造
方法を提供することを目的とするものである。
(5) 発明の構成
そしてこの目的は本発明によれば、アルミ合金
パツケージのケースとカバーをレーザ溶接して気
密封止するアルミ合金パツケージの製造方法にお
いて、カバーにはSi4〜12.5％及び残部Alよりな
る、ろう材を積層してなるアルミ合金ブレージン
グシートを用い、そのろう側がケース側に接する
ように配置してレーザ溶接により気密封止するこ
とを特徴とするアルミ合金パツケージの製造方法
を提供することによつて達成される。
パツケージのケースとカバーをレーザ溶接して気
密封止するアルミ合金パツケージの製造方法にお
いて、カバーにはSi4〜12.5％及び残部Alよりな
る、ろう材を積層してなるアルミ合金ブレージン
グシートを用い、そのろう側がケース側に接する
ように配置してレーザ溶接により気密封止するこ
とを特徴とするアルミ合金パツケージの製造方法
を提供することによつて達成される。
(6) 発明の実施例
以下本発明実施例を図面によつて詳述する。
第１図は本発明によるアルミ合金パツケージの
製造方法を説明するための図であり、ａは溶接前
のケース及びカバーの斜視図、ｂはケースとカバ
ーのレーザ溶接中を示す。両図において、１はア
ルミ又はアルミ合金のケース、１ａはその入出力
端子孔、２はカバー、２ａはそのろう材部、３は
レーザ光源、４は集光レンズ、５はレーザ光をそ
れぞれ示している。
製造方法を説明するための図であり、ａは溶接前
のケース及びカバーの斜視図、ｂはケースとカバ
ーのレーザ溶接中を示す。両図において、１はア
ルミ又はアルミ合金のケース、１ａはその入出力
端子孔、２はカバー、２ａはそのろう材部、３は
レーザ光源、４は集光レンズ、５はレーザ光をそ
れぞれ示している。
本実施例は図に示す如くカバー２には、アルミ
合金ブレージングシートを用い、ケース１との対
向面にろう材側２ａがくるように配置し、ｂ図の
如くレーザ光５をろう材部２ａに照射して溶接す
るのである。
合金ブレージングシートを用い、ケース１との対
向面にろう材側２ａがくるように配置し、ｂ図の
如くレーザ光５をろう材部２ａに照射して溶接す
るのである。
第２図はブレージングシートのろう材部のSi量
を変化させたときの溶接割れの頻度を実験により
求めた図である。溶接条件としてはパルス幅４〜
５ｍＳ、パルスレート15〜20pps、平均出力250
〜350W、溶接速度４〜６mm／secで行ない、レー
ザビームは集光レンズを用いて直径0.3mmに集光
し、溶接はArガス雰囲気中で行なつた。この結
果からSi量が４〜12.5％の間では溶接割れが発生
しないことがわかつた。さらに溶接部はAl−Si
の共晶合金となつており高い熱間強度を有してい
た。
を変化させたときの溶接割れの頻度を実験により
求めた図である。溶接条件としてはパルス幅４〜
５ｍＳ、パルスレート15〜20pps、平均出力250
〜350W、溶接速度４〜６mm／secで行ない、レー
ザビームは集光レンズを用いて直径0.3mmに集光
し、溶接はArガス雰囲気中で行なつた。この結
果からSi量が４〜12.5％の間では溶接割れが発生
しないことがわかつた。さらに溶接部はAl−Si
の共晶合金となつており高い熱間強度を有してい
た。
第３図はブレージングシートのろう材Si量を
7.5％に一定したときのろう材部の厚さと溶接割
れの関係を求めた図であり、溶接条件は第２図の
ときと同様とした。結果は図の如くろう材部の厚
さが400〜500μｍの時溶接割れは認められず、そ
れより薄い場合には溶接割れが発生している。ま
た500μｍ以上になるとレーザのビーム径が0.3mm
であるためろう材のみが溶ける状態となり母材が
溶接に関与せず気密性が保たれなくなる。
7.5％に一定したときのろう材部の厚さと溶接割
れの関係を求めた図であり、溶接条件は第２図の
ときと同様とした。結果は図の如くろう材部の厚
さが400〜500μｍの時溶接割れは認められず、そ
れより薄い場合には溶接割れが発生している。ま
た500μｍ以上になるとレーザのビーム径が0.3mm
であるためろう材のみが溶ける状態となり母材が
溶接に関与せず気密性が保たれなくなる。
以上の結果よりろう材のSi量４〜12.5％、厚さ
400〜500μｍでパツケージを作成したところ実用
上全く問題のない10-10atm・c.c.／ｓ以上の高い
気密性が得られた。また溶接割れも皆無であり高
い信頼性が得られた。
400〜500μｍでパツケージを作成したところ実用
上全く問題のない10-10atm・c.c.／ｓ以上の高い
気密性が得られた。また溶接割れも皆無であり高
い信頼性が得られた。
(7) 発明の効果
以上、詳細に説明したように本発明のアルミ合
金パツケージの製造方法は、そのカバーにブレー
ジングシートを使用することにより溶接割れがな
く、且つ高い気密性のパツケージが得られるとい
つた効果大なるものである。
金パツケージの製造方法は、そのカバーにブレー
ジングシートを使用することにより溶接割れがな
く、且つ高い気密性のパツケージが得られるとい
つた効果大なるものである。
第１図は本発明によるアルミ合金パツケージの
製造方法を説明するための図、第２図はろう材の
Si量と溶接割れ頻度との関係を示した図、第３図
はろう材部の厚さと溶接割れとの関係を示した図
である。 図面において、１はケース、２はカバー、２ａ
はろう材部、３はレーザ光源、４は集光レンズ、
５はレーザ光をそれぞれ示す。
製造方法を説明するための図、第２図はろう材の
Si量と溶接割れ頻度との関係を示した図、第３図
はろう材部の厚さと溶接割れとの関係を示した図
である。 図面において、１はケース、２はカバー、２ａ
はろう材部、３はレーザ光源、４は集光レンズ、
５はレーザ光をそれぞれ示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ アルミ合金パツケージのケースとカバーをレ
ーザ溶接して気密封止するアルミ合金パツケージ
の製造方法において、カバーにはアルミ合金板の
一方の面に、Si4〜12.5％及び残部Alよりなるろ
う材を積層してなるアルミ合金ブレージングシー
トを用い、そのろう側がケース側に接するように
配置してレーザ溶接により気密封止することを特
徴とするアルミ合金パツケージの製造方法。 ２ 前記ブレージングシートのろう材部の厚さが
400〜500μｍであることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載のアルミ合金パツケージの製造方
法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58028617A JPS59161052A (ja) | 1983-02-24 | 1983-02-24 | アルミ合金パツケ−ジの製造方法 |
| EP83307418A EP0117352A1 (en) | 1983-02-24 | 1983-12-06 | A process for welding aluminium-based elements and a welded assembly |
| US07/012,156 US4760240A (en) | 1983-02-24 | 1987-02-09 | Process for laser welding of aluminum based elements |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58028617A JPS59161052A (ja) | 1983-02-24 | 1983-02-24 | アルミ合金パツケ−ジの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59161052A JPS59161052A (ja) | 1984-09-11 |
| JPH0132658B2 true JPH0132658B2 (ja) | 1989-07-10 |
Family
ID=12253507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58028617A Granted JPS59161052A (ja) | 1983-02-24 | 1983-02-24 | アルミ合金パツケ−ジの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59161052A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6031247A (ja) * | 1983-08-01 | 1985-02-18 | Fujitsu Ltd | アルミニウム合金パッケ−ジの製法 |
| JPS63184356A (ja) * | 1987-01-26 | 1988-07-29 | Mitsubishi Metal Corp | 半導体パツケ−ジ用窓枠状ろう材付封着板 |
| US5519184A (en) * | 1994-05-20 | 1996-05-21 | Litton Systems, Inc. | Reusable laser welded hermetic enclosure and method |
-
1983
- 1983-02-24 JP JP58028617A patent/JPS59161052A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59161052A (ja) | 1984-09-11 |
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