JPH0133151Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔技術分野〕 本考案はガス精製装置に付設される停電バイパ
ス装置に関する。

〔従来技術〕

従来のこの種の停電バイパス装置を第１図によ
り説明する。図において１は窒素ガスを精製する
ガス精製装置本体で、このガス精製装置本体１に
は原料ガス供給用ライン２、精製ガス出力用ライ
ン３、再生用水素ガス供給用ライン４及びドレイ
ン用パイプ５が各々配管されている。

これらから成るガス精製装置は、通電時に原料
ガス供給用ライン２から供給される未精製の原料
ガスをガス精製装置本体１で精製し、その精製し
たガスを精製ガス出力用ライン３を通して図示し
ないガス使用装置に送るもので、停電になるとガ
ス精製装置本体１内に設けられている電磁弁が閉
じて、精製ガス出力用ライン３へのガスの送出を
止めるようになつている。

そのため、例えば水素ガスを使用する炉が多い
半導体工場では、停電時にガス精製装置からの精
製されたガスの供給が停止してしまうと、拡散チ
ユーブに空気が逆流して、水素ガスによる爆発や
拡散チユーブの汚染が起ることになる。

そこで、このような危険を回避するため、前記
原料ガス供給用ライン２と精製ガス出力用ライン
３とをバイパスライン６によりガス精製装置本体
１外で接続すると共に、このバイパスライン６に
通電時は閉で停電時に開となる電磁弁または電磁
弁からの信号を受けて動作する空気操作弁７を設
けて停電バイパス装置を構成し、停電になると電
磁弁または空気操作弁７が開いて未精製の原料ガ
スが原料ガス供給用ライン２からバイパスライン
６を通つて精製ガス出力用ライン３に送られるよ
うにしているが、このような従来の停電バイパス
装置では、電磁弁または空気操作弁７が誤動作し
たり、もしくは不良となつて通電時に未精製の原
料ガスがバイパスライン６から精製ガス出力用ラ
イン３にリークしても、これを検出することがで
きず、故障の早期発見が不可能であるという欠点
を有している。

〔考案の目的〕

本考案は上述した従来技術の欠点を解決するた
めになされたもので、故障の早期発見が可能でか
つ信頼性の高い停電バイパス装置を得ることを目
的とするものである。

〔考案の構成〕 上述した目的を達成するため、本考案は原料ガ
ス供給用ラインと精製ガス出力用ラインとを接続
するバイパスラインに、停電時に開となる電磁弁
または空気操作弁を少なくとも２個以上設け、こ
の電磁弁または空気操作弁間に圧力計と、この圧
力計部のガスを抜いて圧力をゼロにするためのベ
ロー弁またはニードル弁を設けた構成としたもの
である。

〔実施例〕

以下に本考案の一実施例を第２図により説明す
る。図において１はガス精製装置本体、２は原料
ガス供給用ライン、３は精製ガス出力用ライン、
４は再生用水素ガス供給ライン、５はドレイン用
パイプで、これらは第１図のものと同一であり、
ガス精製装置を構成している。

８〜１２は本考案による停電バイパス装置を構
成するもので、８は前記ガス精製装置本体１外に
おいて原料ガス供給用ライン２と精製ガス出力用
ライン３とを接続しているバイパスラインで、こ
のバイパスライン８に適当な間隔で２個の電磁弁
または電磁弁からの信号を受けて動作する空気操
作弁９，１０を取付け、更にこの電磁弁または空
気操作弁９，１０間には圧力計１１と、この圧力
計１１の部分の圧力を抜くためのベロー弁または
ニードル弁１２が設けてある。尚、このベロー弁
またはニードル弁１２は、圧力計１１の部分の圧
力を抜くとき以外は閉じておく。

このような構成による停電バイパス装置は、通
電時はバイパスライン８の電磁弁または空気操作
弁９，１０が閉じており、従つて原料ガス供給用
ライン２から供給される未精製の原料ガスはガス
精製装置本体１に入り、ここで精製されたガスは
精製ガス出力用ライン３を通してガス使用装置に
送られる。ここで圧力計１１は前記電磁弁または
空気操作弁９，１０が正常に働いているときはゼ
ロを示している。

一方、停電になるとガス精製装置本体１内の電
磁弁が閉じると同時に、バイパスライン８の電磁
弁または空気操作弁９，１０が開いて、原料ガス
供給用ライン２から未精製の原料ガスがバイパス
ライン８を通つて精製ガス出力用ライン３に送ら
れ、それによつて空気の逆流による危険が回避さ
れる。このとき、圧力計１１はバイパスライン８
を通る未精製の原料ガスの圧力を表示する。

そこで、前記通電時にバイパスライン８に設け
られた原料ガス供給用ライン２側の電磁弁または
空気操作弁９が誤動作するか、または不良になる
と、未精製の原料ガスが電磁弁９，１０間に入る
が、この原料ガスは電磁弁または空気操作弁１０
によつて精製ガス出力用ライン３にリークするこ
とを阻止され、同時に圧力計１１に原料ガスの圧
力が表示される。

また、精製ガス出力用ライン３側の電磁弁また
は空気操作弁１０が誤動作するかまたは不良にな
つた場合、同様にガス圧が圧力計１１に表示され
る。

尚、上述した実施例では、バイパスラインに電
磁弁または空気操作弁を２個設ける構造とした
が、２個以上設けるようにしてもよい。

〔考案の効果〕

以上説明したように本考案は、原料ガス供給用
ラインと精製ガス出力用ラインとを接続するバイ
パスラインに停電時に開く少なくとも２個の電磁
弁または空気操作弁を取付けると共に、この電磁
弁または空気操作弁間に圧力計を設けて構成して
いるため、通電時に１個の電磁弁または空気操作
弁が誤動作したり不良となつても未精製の原料ガ
スが精製ガス出力用ラインにリークすることがな
く、またそのとき圧力計が電磁弁または空気操作
弁間に入つた原料ガスの圧力を表示するため、故
障を早期に発見でき、しかも表示圧力値により原
料ガス供給用ライン側の電磁弁または空気操作弁
か、精製ガス出力用ライン側の電磁弁または空気
操作弁のどちらかが異常であるかを知ることがで
きる。

従つて、本考案ではバイパスラインに取付けら
れるすべての電磁弁または空気操作弁が同時に故
障しない限り、通電時に未精製の原料ガスが精製
ガス出力用ラインにリークしてガス使用装置での
製品トラブルに発展することがなく、それ以前に
バイパスラインの異常を検出できるため、品質の
よいガスを安定して供給できる信頼性の高い停電
バイパス装置を実現でき、ガスの品質に厳しい半
導体工場等のガス精製装置に有効なものとなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のガス精製装置の停電バイパス装
置を示す概略図、第２図は本考案によるガス精製
装置の停電バイパス装置の一実施例を示す概略図
である。 １……ガス精製装置本体、２……原料ガス供給
用ライン、３……精製ガス出力用ライン、４……
再生用水素ガス供給用ライン、５……ドレイン用
パイプ、８……バイパスライン、９，１０……電
磁弁または空気操作弁、１１……圧力計、１２…
…ベロー弁またはニードル弁。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ガス精製装置本体に配管された原料ガス供給ラ
   インと精製ガス出力用ラインとをバイパスライン
   で接続し、このバイパスラインに通電時は閉じ停
   電時に開く少なくとも２個の電磁弁または空気操
   作弁を取付けると共に、該２個の電磁弁または空
   気操作弁間に圧力計と、この圧力計部のガスを抜
   くためのベロー弁またはニードル弁を設けたこと
   を特徴とするガス精製装置の停電バイパス装置。