JPH0514002Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0514002Y2 JPH0514002Y2 JP1984009819U JP981984U JPH0514002Y2 JP H0514002 Y2 JPH0514002 Y2 JP H0514002Y2 JP 1984009819 U JP1984009819 U JP 1984009819U JP 981984 U JP981984 U JP 981984U JP H0514002 Y2 JPH0514002 Y2 JP H0514002Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- cylinder
- piston rod
- cover member
- auxiliary member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
- F15B15/08—Characterised by the construction of the motor unit
- F15B15/14—Characterised by the construction of the motor unit of the straight-cylinder type
- F15B15/149—Fluid interconnections, e.g. fluid connectors, passages
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/002—Sealings comprising at least two sealings in succession
- F16J15/004—Sealings comprising at least two sealings in succession forming of recuperation chamber for the leaking fluid
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Actuator (AREA)
- Sealing Devices (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この考案は流体漏洩防止機構付シリンダに関
し、一層詳細にはシリンダ内でピストンを往復動
作させる流体がシリンダに嵌合するカバー部材か
ら漏洩することのないように構成した流体漏洩防
止機構付シリンダに関する。
し、一層詳細にはシリンダ内でピストンを往復動
作させる流体がシリンダに嵌合するカバー部材か
ら漏洩することのないように構成した流体漏洩防
止機構付シリンダに関する。
［従来の技術］
シリンダ内に配設されているピストンを往復動
作させるために従来よりオイル、空気等の流体が
用いられている。この場合、所定圧力下でシリン
ダに導入・導出される流体の効率的活用と外部機
器への影響を阻止するために流体漏洩防止機構が
前記シリンダに付設されているのが一般的であ
る。
作させるために従来よりオイル、空気等の流体が
用いられている。この場合、所定圧力下でシリン
ダに導入・導出される流体の効率的活用と外部機
器への影響を阻止するために流体漏洩防止機構が
前記シリンダに付設されているのが一般的であ
る。
このような従来技術に係るシリンダを第１図に
示す。
示す。
すなわち、シリンダ２を構成するチユーブ４に
はカバー部材６が螺入し、前記カバー部材６の中
央部分にはピストンロツド８を挿通する孔１０が
形成されている。従つて、この孔１０からの圧力
流体の漏洩を阻止するためにカバー部材６にはシ
ール用のＯリング１２が装着されるのが通常であ
る。なお、図中、参照符号１４は、前記ピストン
ロツド８を支承するためのブツシユである。
はカバー部材６が螺入し、前記カバー部材６の中
央部分にはピストンロツド８を挿通する孔１０が
形成されている。従つて、この孔１０からの圧力
流体の漏洩を阻止するためにカバー部材６にはシ
ール用のＯリング１２が装着されるのが通常であ
る。なお、図中、参照符号１４は、前記ピストン
ロツド８を支承するためのブツシユである。
［考案が解決しようとする課題］
然しながら、このようにシールが一個所しか施
されていない場合には必ずしもシール効果が完全
であるとはいえない。しかも単にピストンロツド
８が往復動作するときＯリング１２と前記ピスト
ンロツド８との間に間〓を生じたり、あるいはこ
の往復動作を繰り返し行いＯリング１２が磨耗し
ていたりするとそこから圧力流体が外部に漏洩す
る不都合がある。しかも、他の機器との関係で圧
力流体の漏洩を嫌う場所（例えば、クリーンルー
ム）ではシリンダの流体に対するシールを完全に
達成することが急務となつていた。
されていない場合には必ずしもシール効果が完全
であるとはいえない。しかも単にピストンロツド
８が往復動作するときＯリング１２と前記ピスト
ンロツド８との間に間〓を生じたり、あるいはこ
の往復動作を繰り返し行いＯリング１２が磨耗し
ていたりするとそこから圧力流体が外部に漏洩す
る不都合がある。しかも、他の機器との関係で圧
力流体の漏洩を嫌う場所（例えば、クリーンルー
ム）ではシリンダの流体に対するシールを完全に
達成することが急務となつていた。
上記のような問題を解決するために、例えば、
実開昭51−10490号公報、実開昭48−65984号公
報、特開昭53−44773号公報等に見られるように、
流体回収部を設けたものが提案されている。
実開昭51−10490号公報、実開昭48−65984号公
報、特開昭53−44773号公報等に見られるように、
流体回収部を設けたものが提案されている。
そこで、本考案者は、鋭意工夫並びに試作を重
ねた結果、シリンダを構成するカバー部材に近接
してさらに別異の部材を装着するとともにこの部
材に室を画成し、漏洩した流体を前記室から吸引
排出するように構成すれば、外部に圧力流体が漏
洩することのないシリンダが得られ前記の不都合
が一掃されることが判つた。
ねた結果、シリンダを構成するカバー部材に近接
してさらに別異の部材を装着するとともにこの部
材に室を画成し、漏洩した流体を前記室から吸引
排出するように構成すれば、外部に圧力流体が漏
洩することのないシリンダが得られ前記の不都合
が一掃されることが判つた。
従つて、本考案の目的は、圧力流体の外部への
漏洩を効果的に阻止できる流体漏洩防止機構付シ
リンダを提供するにある。
漏洩を効果的に阻止できる流体漏洩防止機構付シ
リンダを提供するにある。
［課題を解決するための手段］
前記の目的を達成するために、本考案は、チユ
ーブ部材２２とこのチユーブ部材２２の両端部を
閉塞するカバー部材２４と前記チユーブ部材２２
の内部を往復動作するピストン３６とピストンロ
ツド３８とからなるシリンダ２０において、 該シリンダ２０は、 前記カバー部材２４の外側に着脱自在に設けら
れる補助部材６２を有し、前記補助部材６２の内
部には、前記ピストンロツド３８を囲繞する流体
回収溝４４が画成されるとともに、この流体回収
溝４４は前記補助部材６２に画成され且つ真空吸
引装置３３に接続される吸引孔５２と連通し、 前記真空吸引装置３３の駆動作用下に前記ピス
トンロツド３８の周壁面に付着した流体を前記流
体回収溝４４と吸引孔５２を介して前記チユーブ
部材外で回収することを特徴とする。
ーブ部材２２とこのチユーブ部材２２の両端部を
閉塞するカバー部材２４と前記チユーブ部材２２
の内部を往復動作するピストン３６とピストンロ
ツド３８とからなるシリンダ２０において、 該シリンダ２０は、 前記カバー部材２４の外側に着脱自在に設けら
れる補助部材６２を有し、前記補助部材６２の内
部には、前記ピストンロツド３８を囲繞する流体
回収溝４４が画成されるとともに、この流体回収
溝４４は前記補助部材６２に画成され且つ真空吸
引装置３３に接続される吸引孔５２と連通し、 前記真空吸引装置３３の駆動作用下に前記ピス
トンロツド３８の周壁面に付着した流体を前記流
体回収溝４４と吸引孔５２を介して前記チユーブ
部材外で回収することを特徴とする。
［実施例］
次に、本考案について好適な実施例を挙げ添付
の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
第２図において参照符号２０はシリンダを示
し、前記シリンダ２０はチユーブ部材２２とカバ
ー部材２４とを含む。前記カバー部材２４の先端
部には外螺子２６を刻設し、この外螺子２６にカ
バー部材２４を螺入する。すなわち、カバー部材
２４はその軸方向に比較的厚みをもつて形成し、
一方の先端部に内螺子２８を刻設してこれを前記
外螺子２６に螺合することによりチユーブ部材２
２とカバー部材２４とを一体化する。前記カバー
部材２４の周壁部からその内部に形成された凹部
３０に螺孔が形成されこの螺孔が図示しない圧力
流体、例えば、オイルの導出入用ポート３２とな
る。カバー部材２４の軸方向中央部には孔３１が
穿設され、この孔３１にピストン３６と連結する
ピストンロツド３８が挿通される。
し、前記シリンダ２０はチユーブ部材２２とカバ
ー部材２４とを含む。前記カバー部材２４の先端
部には外螺子２６を刻設し、この外螺子２６にカ
バー部材２４を螺入する。すなわち、カバー部材
２４はその軸方向に比較的厚みをもつて形成し、
一方の先端部に内螺子２８を刻設してこれを前記
外螺子２６に螺合することによりチユーブ部材２
２とカバー部材２４とを一体化する。前記カバー
部材２４の周壁部からその内部に形成された凹部
３０に螺孔が形成されこの螺孔が図示しない圧力
流体、例えば、オイルの導出入用ポート３２とな
る。カバー部材２４の軸方向中央部には孔３１が
穿設され、この孔３１にピストン３６と連結する
ピストンロツド３８が挿通される。
次に、前記ピストンロツド３８の円周方向にお
いて前記カバー部材２４に孔３１と連通する第１
の環状溝４０、第２の環状溝４２を形成する。こ
の場合、前記第１環状溝４０には前記ピストンロ
ツド３８を保持しその往復動作を確実に達成させ
るためにブツシユ４６が嵌合され、また、第２環
状溝４２には室３０側からオイルの漏洩を防止す
る第１のＯリング４８を嵌合する。
いて前記カバー部材２４に孔３１と連通する第１
の環状溝４０、第２の環状溝４２を形成する。こ
の場合、前記第１環状溝４０には前記ピストンロ
ツド３８を保持しその往復動作を確実に達成させ
るためにブツシユ４６が嵌合され、また、第２環
状溝４２には室３０側からオイルの漏洩を防止す
る第１のＯリング４８を嵌合する。
さらに、前記カバー部材２４に外螺子５８を刻
設し、この外螺子５８に螺合する内螺子６０を刻
設した補助部材６２を設ける。この補助部材６２
にはピストンロツド３８の挿通される孔３４と第
３環状溝４４を設けるとともに、周壁部には通路
５０を介して前記第３環状溝４４に連通する吸引
孔５２を設けておく。吸引孔５２は管路５３を介
して真空吸引装置３３に接続する。
設し、この外螺子５８に螺合する内螺子６０を刻
設した補助部材６２を設ける。この補助部材６２
にはピストンロツド３８の挿通される孔３４と第
３環状溝４４を設けるとともに、周壁部には通路
５０を介して前記第３環状溝４４に連通する吸引
孔５２を設けておく。吸引孔５２は管路５３を介
して真空吸引装置３３に接続する。
本考案に係る流体漏洩防止機構付シリンダは、
基本的には以上のように構成されるものであり、
次にその作用並びに効果について説明する。
基本的には以上のように構成されるものであり、
次にその作用並びに効果について説明する。
ポート３２を介してチユーブ部材２２に圧油の
導出入が行われるとピストン３６が往復動作を行
いピストンロツド３８がこれに伴つて変位する。
その際、チユーブ部材２２内の圧油または塵埃は
その一部が前記ピストンロツド３８の周壁部に付
着し、ブツシユ４６からＯリング４８に至る。こ
のＯリング４８で前記漏洩するオイルの一部また
は塵埃は外部への導出を阻止されるが、シールさ
れないオイルは環状溝４４に漏出する。環状溝４
４内に漏出したオイルは真空吸引装置３３（例え
ば、小型の真空ポンプ等）により、吸引孔５２に
配管接続された管路５３を介して容易に回収する
ことができる。また、このシリンダ２０をクリー
ンルーム内に配置した場合には吸引孔５２に接続
された配管の先端部を前記クリーンルームの外部
に臨ませるだけでオイル等の排出が可能となる。
導出入が行われるとピストン３６が往復動作を行
いピストンロツド３８がこれに伴つて変位する。
その際、チユーブ部材２２内の圧油または塵埃は
その一部が前記ピストンロツド３８の周壁部に付
着し、ブツシユ４６からＯリング４８に至る。こ
のＯリング４８で前記漏洩するオイルの一部また
は塵埃は外部への導出を阻止されるが、シールさ
れないオイルは環状溝４４に漏出する。環状溝４
４内に漏出したオイルは真空吸引装置３３（例え
ば、小型の真空ポンプ等）により、吸引孔５２に
配管接続された管路５３を介して容易に回収する
ことができる。また、このシリンダ２０をクリー
ンルーム内に配置した場合には吸引孔５２に接続
された配管の先端部を前記クリーンルームの外部
に臨ませるだけでオイル等の排出が可能となる。
第３図に、本考案の別の実施例を示す。この実
施例において前記実施例と同一の参照符号は同一
の構成要素を示し、以下の他の実施例においても
同様とする。
施例において前記実施例と同一の参照符号は同一
の構成要素を示し、以下の他の実施例においても
同様とする。
この実施例では、補助部材６２に刻設した第３
環状溝４４に隣接して補助部材２４にさらに第４
の環状溝５４を形成し、この環状溝５４に第２の
Ｏリング５６を嵌合している。
環状溝４４に隣接して補助部材２４にさらに第４
の環状溝５４を形成し、この環状溝５４に第２の
Ｏリング５６を嵌合している。
従つて、環状溝４４で吸引排出されることなく
ピストンロツド３８に付着したオイル、塵埃等も
このＯリング５６により外部への導出を完全に阻
止できる。
ピストンロツド３８に付着したオイル、塵埃等も
このＯリング５６により外部への導出を完全に阻
止できる。
上記二つの実施例では特に螺子５８，６０によ
りカバー部材２４と補助部材６２との一体化を図
つているが単にカバー部材２４に補助部材６２が
密嵌するようであれば如何なる構成も選択できる
ことは勿論である。すなわち、この実施例を活用
すれば既存のシリンダもシール効果を一層向上さ
せてオイル等の漏洩を防止できる。
りカバー部材２４と補助部材６２との一体化を図
つているが単にカバー部材２４に補助部材６２が
密嵌するようであれば如何なる構成も選択できる
ことは勿論である。すなわち、この実施例を活用
すれば既存のシリンダもシール効果を一層向上さ
せてオイル等の漏洩を防止できる。
［考案の効果］
本考案によれば、以上のようにシリンダから漏
洩する流体あるいは、流体に混在する塵埃等を真
空ポンプにより吸引して外部に排出回収すること
ができ、補助部材とピストンロツドの間から流体
等が漏洩することがない。従つて、特に清浄性を
必要とされる半導体製造のためのクリーンルーム
内等で好適に使用できる。しかも、補助部材を設
けることによりカバー部材に流体回収溝を設ける
ことがなく、従来のものに流体回収溝と吸引孔を
設けた補助部材を取り付けた構造としている。従
つて、補助部材を用いることにより、必要に応じ
てシリンダに流体漏洩防止機構を取り付けること
ができ、且つ、構造も比較的簡単であるために廉
価に製造でき、あるいは、既存のシリンダにも用
いることが可能である等の実用的効果を奏する。
洩する流体あるいは、流体に混在する塵埃等を真
空ポンプにより吸引して外部に排出回収すること
ができ、補助部材とピストンロツドの間から流体
等が漏洩することがない。従つて、特に清浄性を
必要とされる半導体製造のためのクリーンルーム
内等で好適に使用できる。しかも、補助部材を設
けることによりカバー部材に流体回収溝を設ける
ことがなく、従来のものに流体回収溝と吸引孔を
設けた補助部材を取り付けた構造としている。従
つて、補助部材を用いることにより、必要に応じ
てシリンダに流体漏洩防止機構を取り付けること
ができ、且つ、構造も比較的簡単であるために廉
価に製造でき、あるいは、既存のシリンダにも用
いることが可能である等の実用的効果を奏する。
第１図は、従来技術に係るシリンダの一部省略
縦断面図、第２図並びに第３図は、本考案に係る
流体漏洩防止機構付シリンダのカバー部材に対し
て補助部材を着脱自在に設け、この補助部材に流
体回収溝を設けた実施例を示すシリンダの一部省
略縦断面図である。 ２０……シリンダ、２２……チユーブ部材、２
４……カバー部材、２６……外螺子、２８……内
螺子、３０……凹部、３２……ポート、３３……
真空吸引装置、３４……孔、３６……ピストン、
３８……ピストンロツド、４０，４２，４４……
環状溝、４６……ブツシユ、４８……Ｏリング、
５０……通路、５２……吸引孔、５４……環状
溝、５６……Ｏリング、５８……外螺子、６０…
…内螺子、６２……補助部材。
縦断面図、第２図並びに第３図は、本考案に係る
流体漏洩防止機構付シリンダのカバー部材に対し
て補助部材を着脱自在に設け、この補助部材に流
体回収溝を設けた実施例を示すシリンダの一部省
略縦断面図である。 ２０……シリンダ、２２……チユーブ部材、２
４……カバー部材、２６……外螺子、２８……内
螺子、３０……凹部、３２……ポート、３３……
真空吸引装置、３４……孔、３６……ピストン、
３８……ピストンロツド、４０，４２，４４……
環状溝、４６……ブツシユ、４８……Ｏリング、
５０……通路、５２……吸引孔、５４……環状
溝、５６……Ｏリング、５８……外螺子、６０…
…内螺子、６２……補助部材。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 チユーブ部材２２とこのチユーブ部材２２の両
端部を閉塞するカバー部材２４と前記チユーブ部
材２２の内部を往復動作するピストン３６とピス
トンロツド３８とからなるシリンダ２０におい
て、 該シリンダ２０は、 前記カバー部材２４の外側に着脱自在に設けら
れる補助部材６２を有し、前記補助部材６２の内
部には、前記ピストンロツド３８を囲繞する流体
回収溝４４が画成されるとともに、この流体回収
溝４４は前記補助部材６２に画成され且つ真空吸
引装置３３に接続される吸引孔５２と連通し、 前記真空吸引装置３３の駆動作用下に前記ピス
トンロツド３８の周壁面に付着した流体を前記流
体回収溝４４と吸引孔５２を介して前記チユーブ
部材外で回収することを特徴とする流体漏洩防止
機構付シリンダ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP981984U JPS60122005U (ja) | 1984-01-27 | 1984-01-27 | 流体漏洩防止機構付シリンダ |
| GB08501951A GB2153435A (en) | 1984-01-27 | 1985-01-25 | Cylinder with leakage prevention mechanism |
| DE19853502538 DE3502538C2 (de) | 1984-01-27 | 1985-01-25 | Zylinder mit Lecksicherungsanordnung |
| FR8501072A FR2558901B1 (fr) | 1984-01-27 | 1985-01-25 | Verin a mecanisme de prevention des fuites |
| AU38130/85A AU580750B2 (en) | 1984-01-27 | 1985-01-29 | Cylinder with leakage prevention mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP981984U JPS60122005U (ja) | 1984-01-27 | 1984-01-27 | 流体漏洩防止機構付シリンダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60122005U JPS60122005U (ja) | 1985-08-17 |
| JPH0514002Y2 true JPH0514002Y2 (ja) | 1993-04-14 |
Family
ID=11730753
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP981984U Granted JPS60122005U (ja) | 1984-01-27 | 1984-01-27 | 流体漏洩防止機構付シリンダ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60122005U (ja) |
| AU (1) | AU580750B2 (ja) |
| DE (1) | DE3502538C2 (ja) |
| FR (1) | FR2558901B1 (ja) |
| GB (1) | GB2153435A (ja) |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06105082B2 (ja) * | 1985-08-20 | 1994-12-21 | 株式会社東芝 | 発塵防止機構 |
| JPS63266193A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-11-02 | Jun Taga | ポンプ |
| DE3732772C2 (de) * | 1987-09-29 | 1998-04-30 | Festo Ag & Co | Kolben-Zylinder-Aggregat |
| CA1327741C (en) * | 1988-03-25 | 1994-03-15 | Philip L. Cowan | Anti-leak seal for pump motor |
| US4945724A (en) * | 1989-01-26 | 1990-08-07 | Cincinnati Milacron Inc. | Apparatus for collecting hydraulic leakage fluid |
| JPH0775659B2 (ja) * | 1989-06-13 | 1995-08-16 | 鈴鹿エンヂニヤリング株式会社 | 密閉加圧混練機 |
| US5623870A (en) * | 1993-08-17 | 1997-04-29 | The Minster Machine Company | Oil mist eliminator for a press oil control system |
| DE4420942C2 (de) * | 1993-08-17 | 1999-12-02 | Minster Machine Co | Ölkontrollsystem für eine mechanische Presse |
| GB2365073A (en) * | 2000-07-19 | 2002-02-13 | Sears Mfg Co | Rod seal leak recovery system |
| DE102006009491A1 (de) * | 2006-02-27 | 2007-09-06 | Busak + Shamban Deutschland Gmbh | Dichtungssystem mit Druckentlastungselementen und Verwendung eines Dichtungssystems zur Einstellung einer Zwischenraumdruckkaskade |
| CN101443182B (zh) | 2006-05-11 | 2012-03-28 | Ima基利安有限两合公司 | 带有清洗装置的旋转式压片机及用于该压片机的转子 |
| JP4976365B2 (ja) * | 2008-12-18 | 2012-07-18 | シーケーディ株式会社 | 空圧装置 |
| JP6151626B2 (ja) * | 2013-10-25 | 2017-06-21 | 株式会社荏原製作所 | 熱交換器用の流路の接続装置 |
| JP2015116906A (ja) * | 2013-12-18 | 2015-06-25 | カルソニックカンセイ株式会社 | 車両用冷媒加熱装置 |
| CN104074830B (zh) * | 2014-06-25 | 2016-05-11 | 庞先进 | 一种新型液压缸 |
| CN106194886A (zh) * | 2016-08-31 | 2016-12-07 | 浙江路得坦摩汽车部件股份有限公司 | 一种活塞杆密封结构 |
| CN110388351A (zh) * | 2019-07-28 | 2019-10-29 | 天津市双象工程液压件有限责任公司 | 一种具有密封性提示功能的液压缸 |
| DE202020104630U1 (de) | 2020-08-11 | 2021-11-12 | Woco Industrietechnik Gmbh | Tandemdichtungssystem und hydraulischer Stellantrieb |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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