JPH0136150B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0136150B2 JPH0136150B2 JP58211555A JP21155583A JPH0136150B2 JP H0136150 B2 JPH0136150 B2 JP H0136150B2 JP 58211555 A JP58211555 A JP 58211555A JP 21155583 A JP21155583 A JP 21155583A JP H0136150 B2 JPH0136150 B2 JP H0136150B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- edge
- inspected
- cursor
- line
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/10—Segmentation; Edge detection
- G06T7/12—Edge-based segmentation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Processing Or Creating Images (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は画像処理装置、詳しくは被検査物を載
承せるテーブルの駆動によつて被検査物を移動さ
せながら該被検査物の表面をTVカメラによつて
ブラウン管に映じ、その表面画像を追跡する画像
処理装置、における被検査物のエツジ位置決定方
法に関し、其の目的とする処は被検査物を移動さ
せるテーブルの駆動を高速化可能にして画像処理
装置の作業性を向上させるとともにエツジ位置の
測定精度を高めることにある。
承せるテーブルの駆動によつて被検査物を移動さ
せながら該被検査物の表面をTVカメラによつて
ブラウン管に映じ、その表面画像を追跡する画像
処理装置、における被検査物のエツジ位置決定方
法に関し、其の目的とする処は被検査物を移動さ
せるテーブルの駆動を高速化可能にして画像処理
装置の作業性を向上させるとともにエツジ位置の
測定精度を高めることにある。
斯る本発明は、ブラウン管に十字状のカーソル
線及び該線を囲繞する口形のカーソル枠を表示
し、カーソル枠が被検査物のエツジを検出したと
きに前記テーブルの駆動を減速させる減速指令信
号を出力し、カーソル線が前記エツジを検出した
ときに該エツジの座標位置を測定させる測定指令
信号を出力することを特徴とし、前記測定指令信
号の出力によつてテーブルの駆動が停止し、その
位置におけるテーブルのＸ―Ｙ座標を検出してエ
ツジの座標位置とされる。
線及び該線を囲繞する口形のカーソル枠を表示
し、カーソル枠が被検査物のエツジを検出したと
きに前記テーブルの駆動を減速させる減速指令信
号を出力し、カーソル線が前記エツジを検出した
ときに該エツジの座標位置を測定させる測定指令
信号を出力することを特徴とし、前記測定指令信
号の出力によつてテーブルの駆動が停止し、その
位置におけるテーブルのＸ―Ｙ座標を検出してエ
ツジの座標位置とされる。
上記被検査物はテーブルが予め設定された方向
へ移動することによつて複数個所のエツジの座標
位置が測定され、それらの測定データに基いて被
検査物の寸法、形状、面積、中心点など算出され
る。
へ移動することによつて複数個所のエツジの座標
位置が測定され、それらの測定データに基いて被
検査物の寸法、形状、面積、中心点など算出され
る。
上記被検査物のエツジはブラウン管の画像によ
れば必ずしも直線状とはならず凹凸状に映るが、
カーソル枠によるエツジ検出はカーソル枠が最初
にエツジの何れかの凹凸に接したときであり、カ
ーソル線によるエツジ検出は、カーソル線が最初
にエツジの何れかの凹凸に接したとき、又は十字
状カーソル線の交点がエツジに接したとき、又は
カーソル線の全長が被検査物に接合したときであ
る。
れば必ずしも直線状とはならず凹凸状に映るが、
カーソル枠によるエツジ検出はカーソル枠が最初
にエツジの何れかの凹凸に接したときであり、カ
ーソル線によるエツジ検出は、カーソル線が最初
にエツジの何れかの凹凸に接したとき、又は十字
状カーソル線の交点がエツジに接したとき、又は
カーソル線の全長が被検査物に接合したときであ
る。
本発明の実施例を図面により説明すれば、第１
図は自動寸法測定装置を示し、１は機台、２は検
査テーブル、３は顕微鏡、４はTVカメラ、５は
画像処理装置、１０は被検査物である。
図は自動寸法測定装置を示し、１は機台、２は検
査テーブル、３は顕微鏡、４はTVカメラ、５は
画像処理装置、１０は被検査物である。
検査テーブル２はＹ軸方向へ移動するＹテーブ
ル２ａとＸ軸方向へ移動するＸテーブル２ｂとの
組合せにより構成し、各テーブル２ａ，２ｂに
夫々パルスモータ又はサーボモータなどの駆動用
モータ１１，１１′を連結して駆動するようにす
るとともにリニアスケール１２，１２′を設けて
移動量を検出するようにする。
ル２ａとＸ軸方向へ移動するＸテーブル２ｂとの
組合せにより構成し、各テーブル２ａ，２ｂに
夫々パルスモータ又はサーボモータなどの駆動用
モータ１１，１１′を連結して駆動するようにす
るとともにリニアスケール１２，１２′を設けて
移動量を検出するようにする。
上記Ｘテーブル２ｂ上に被検査物１０を載せて
寸法測定をする。
寸法測定をする。
又、機台１には支柱１′を起設し、該支柱１′の
先端に上下方向（Ｚ軸方向）へ移動するＺテーブ
ル２ｃを取付け、このＺ軸テーブル２ｃに顕微鏡
３を前記検査テーブル２上方に位置するように設
置する。
先端に上下方向（Ｚ軸方向）へ移動するＺテーブ
ル２ｃを取付け、このＺ軸テーブル２ｃに顕微鏡
３を前記検査テーブル２上方に位置するように設
置する。
上記Ｚテーブル２ｃにはサーボモータなどの駆
動用モータ１３を連結するとともにリニアスケー
ル１４を設ける。
動用モータ１３を連結するとともにリニアスケー
ル１４を設ける。
顕微鏡３は反射用光源１５を有し、該光源１５
から出る光を対物レンズ１６を介して被検査物１
０の表面に投光し、この顕微鏡３により被検査物
１０表面を拡大してTVカメラ４により撮像させ
る。
から出る光を対物レンズ１６を介して被検査物１
０の表面に投光し、この顕微鏡３により被検査物
１０表面を拡大してTVカメラ４により撮像させ
る。
上記顕微鏡３はモータ１３を駆動させＺテーブ
ル２ｃを上下動させることにより被検査物１０に
対する焦点合せをする。
ル２ｃを上下動させることにより被検査物１０に
対する焦点合せをする。
TVカメラ４は前記顕微鏡３上に連結して設置
するとともにコード１７を介して画像処理装置５
に接続し、顕微鏡３により拡大された被検査物１
０の表面を撮像して画像処理装置５へ送信する。
するとともにコード１７を介して画像処理装置５
に接続し、顕微鏡３により拡大された被検査物１
０の表面を撮像して画像処理装置５へ送信する。
画像処理装置５はその表面図を第２図に示す如
く、表パネル上に表示用のブラウン管２０を有
し、該管２０にTVカメラ４より送信された被検
査物１０の画像を映ずるようにする。
く、表パネル上に表示用のブラウン管２０を有
し、該管２０にTVカメラ４より送信された被検
査物１０の画像を映ずるようにする。
又、ブラウン管２０には上限線６ａ、下限線６
a′、左限線６ｂ及び右限線６b′で形成される口形
状のカーソル枠６を表示するとともに該枠内に縦
カーソル線７ａ及び横カーソル線７ｂを十字状に
表示しておき、該カーソル枠６及びカーソル線７
ａ，７ｂにより移動する被検査物１０の画像を追
跡するようにする。
a′、左限線６ｂ及び右限線６b′で形成される口形
状のカーソル枠６を表示するとともに該枠内に縦
カーソル線７ａ及び横カーソル線７ｂを十字状に
表示しておき、該カーソル枠６及びカーソル線７
ａ，７ｂにより移動する被検査物１０の画像を追
跡するようにする。
上記カーソル枠６は入力装置（図示せず）のキ
ー操作等によつて、上限線６ａ及び下限線６a′を
上下方向へ、左限線６ｂ及び右限線６b′を左右方
向へ夫々移動させてカーソル枠６を縮小又は拡張
自在とする。
ー操作等によつて、上限線６ａ及び下限線６a′を
上下方向へ、左限線６ｂ及び右限線６b′を左右方
向へ夫々移動させてカーソル枠６を縮小又は拡張
自在とする。
又、カーソル線７ａ，７ｂも入力装置によつて
縦カーソル線７ａを左右方向へ、横カーソル線７
ｂを上下方向へ可動状とする。
縦カーソル線７ａを左右方向へ、横カーソル線７
ｂを上下方向へ可動状とする。
画像処理装置５は内蔵せる中央処理装置
（cpu）にNCコントローラ９及びモータドライバ
９′を介して前記テーブル２ａ，２ｂ，２ｃの各
モータ１１，１１′，１３に接続し、中央処理装
置（cpu）に予め記憶させてあるシーケンスに従
つて検査テーブル２をＸ軸方向又はＹ軸方向へ駆
動させて被検査物１０を顕微鏡３下で移動させな
がら、その表面画像をTVカメラ４によりブラウ
ン管２０に映ずる。
（cpu）にNCコントローラ９及びモータドライバ
９′を介して前記テーブル２ａ，２ｂ，２ｃの各
モータ１１，１１′，１３に接続し、中央処理装
置（cpu）に予め記憶させてあるシーケンスに従
つて検査テーブル２をＸ軸方向又はＹ軸方向へ駆
動させて被検査物１０を顕微鏡３下で移動させな
がら、その表面画像をTVカメラ４によりブラウ
ン管２０に映ずる。
従つてブラウン管２０には被検査物１０の画像
が順次移動して該被検査物のエツジａとカーソル
枠６、カーソル線７ａ，７ｂとが接合するエツジ
検出がなされる。
が順次移動して該被検査物のエツジａとカーソル
枠６、カーソル線７ａ，７ｂとが接合するエツジ
検出がなされる。
而して中央処理装置（cpu）の制御によつて、
カーソル枠６が被検査物１０のエツジａを検出す
るまではモータ１１又は１１′を高速に駆動させ
てＹテーブル２ａ又はＸテーブル２ｂを早送りさ
せる。
カーソル枠６が被検査物１０のエツジａを検出す
るまではモータ１１又は１１′を高速に駆動させ
てＹテーブル２ａ又はＸテーブル２ｂを早送りさ
せる。
そして、カーソル枠６の下限線６a′がエツジａ
の先入端a′に接合してエツジを検出したとき（第
３図）、画像処理装置５は中央処理装置へ減速指
令信号Ｐを出力し、中央処理装置（cpu）により
前記モータ１１又は１１′を減速させてＹテーブ
ル２ａ又はＸテーブル２ｂをそれまでと同方向へ
低速で移動させる。
の先入端a′に接合してエツジを検出したとき（第
３図）、画像処理装置５は中央処理装置へ減速指
令信号Ｐを出力し、中央処理装置（cpu）により
前記モータ１１又は１１′を減速させてＹテーブ
ル２ａ又はＸテーブル２ｂをそれまでと同方向へ
低速で移動させる。
さらにＹテーブル２ａ又はＸテーブル２ｂが移
動し、カーソル線７ａ，７ｂがエツジａの先入端
a′に接合してエツジを検出したときに（第４図）、
画像処理装置５は中央処理装置（cpu）へ測定指
定信号Ｑを出力する。
動し、カーソル線７ａ，７ｂがエツジａの先入端
a′に接合してエツジを検出したときに（第４図）、
画像処理装置５は中央処理装置（cpu）へ測定指
定信号Ｑを出力する。
この測定指令信号Ｑの受信により中央処理装置
（cpu）は前記モータ１１又は１１′を停止させて
テーブル２ａ又は２ｂの移動を止め、次いでリニ
アスケール１２，１２′〜によりＹテーブル２ａ、
Ｘテーブル２ｂの位置測定を行なわせ、これによ
つてエツジａの座標位置を測定し、その測定デー
タを中央処理装置（cpu）に記憶させる。
（cpu）は前記モータ１１又は１１′を停止させて
テーブル２ａ又は２ｂの移動を止め、次いでリニ
アスケール１２，１２′〜によりＹテーブル２ａ、
Ｘテーブル２ｂの位置測定を行なわせ、これによ
つてエツジａの座標位置を測定し、その測定デー
タを中央処理装置（cpu）に記憶させる。
尚、第３図及び第４図はＸテーブル２ｂを駆動
させて被検査物１０の先入端側のエツジa′を検出
する場合を示すが、さらにＸテーブル２ｂを移動
させて被検査物１０の後尾側エツジをカーソル枠
６、カーソル線７ａ，７ｂによつて検出する場合
も同様であり、さらにはＹテーブル２ａを移動さ
せた時にはカーソル枠６の左限線６ｂ又は右限線
６b′により側縁エツジを検出するものである。
させて被検査物１０の先入端側のエツジa′を検出
する場合を示すが、さらにＸテーブル２ｂを移動
させて被検査物１０の後尾側エツジをカーソル枠
６、カーソル線７ａ，７ｂによつて検出する場合
も同様であり、さらにはＹテーブル２ａを移動さ
せた時にはカーソル枠６の左限線６ｂ又は右限線
６b′により側縁エツジを検出するものである。
又、第４図においてカーソル線によるエツジ検
出は横カーソル線７ｂがエツジａの先入端a′に接
合する位置を検出する場合を示したが、第５図の
如く、カーソル線７ａ，７ｂの交点がエツジａに
接合する位置を検出し、又は第６図の如く、横カ
ーソル線７ｂ全長が被検査物１０に接合する位置
を検出するようにすることもよい。
出は横カーソル線７ｂがエツジａの先入端a′に接
合する位置を検出する場合を示したが、第５図の
如く、カーソル線７ａ，７ｂの交点がエツジａに
接合する位置を検出し、又は第６図の如く、横カ
ーソル線７ｂ全長が被検査物１０に接合する位置
を検出するようにすることもよい。
又、第１図は落射光を用いた実施例であるが、
被検査物１０の端縁に第７図の如きチツピング１
０ａがある場合には、第８図の如き状態でエツジ
を決定する。
被検査物１０の端縁に第７図の如きチツピング１
０ａがある場合には、第８図の如き状態でエツジ
を決定する。
すなわち、第８図において、被検査物１０が矢
印A1方向に移動する場合、エツジ画像の最初を
横カーソル線７ｂが感知した部分をエツジとして
測定し、矢印A2方向に移動する場合、エツジ画
像が横カーソル線７ｂを全て越えた部分をエツジ
とする。
印A1方向に移動する場合、エツジ画像の最初を
横カーソル線７ｂが感知した部分をエツジとして
測定し、矢印A2方向に移動する場合、エツジ画
像が横カーソル線７ｂを全て越えた部分をエツジ
とする。
これによつて、チツピング１０ａが光の反射で
測定誤差になることなく測定精度を高める。
測定誤差になることなく測定精度を高める。
第９図は被検査物１０の下方より照光を投射す
る透過光を用いる場合のエツジ決定法を示す。
る透過光を用いる場合のエツジ決定法を示す。
すなわち、第８図の落射光の場合と反対にエツ
ジを検出するようにし、被検査物１０が矢印A1
の方向へ移動する場合、被検査物１０のエツジ画
像が横カーソル線７ｂを全て越えた部分をエツジ
とし、被検査物１０が逆に矢印A2方向に移動す
る場合にはエツジ画像の最初を横カーソル線７ｂ
が感知した部分をエツジとして測定する。
ジを検出するようにし、被検査物１０が矢印A1
の方向へ移動する場合、被検査物１０のエツジ画
像が横カーソル線７ｂを全て越えた部分をエツジ
とし、被検査物１０が逆に矢印A2方向に移動す
る場合にはエツジ画像の最初を横カーソル線７ｂ
が感知した部分をエツジとして測定する。
尚、Ｙテーブル２ａを移動させる場合、カーソ
ル線によるエツジ検出はカーソル線７ａ，７ｂの
交点又は縦カーソル線７ａにより検出する。
ル線によるエツジ検出はカーソル線７ａ，７ｂの
交点又は縦カーソル線７ａにより検出する。
本発明は叙上の如く、ブラウン管に十字状のカ
ーソル線及び該線を囲繞する口形のカーソル枠を
表示し、カーソル枠が被検査物のエツジを検出し
たときにテーブルの駆動を減速させるようにした
ので、テーブルを定寸送りさせる区間の駆動を高
速化して早送りすることができ、画像処理装置の
エツジ位置測定に要する所要時間を短縮し作業性
を高めることができる。
ーソル線及び該線を囲繞する口形のカーソル枠を
表示し、カーソル枠が被検査物のエツジを検出し
たときにテーブルの駆動を減速させるようにした
ので、テーブルを定寸送りさせる区間の駆動を高
速化して早送りすることができ、画像処理装置の
エツジ位置測定に要する所要時間を短縮し作業性
を高めることができる。
又、カーソル枠がエツジ検出をしてテーブルの
駆動を減速した後にカーソル線がエツジ検出をし
たとき、該エツジの座標位置を測定させるように
したので、低速駆動状態でカーソル線によるエツ
ジ検出が行なわれ、高い検出精度を維持できる。
駆動を減速した後にカーソル線がエツジ検出をし
たとき、該エツジの座標位置を測定させるように
したので、低速駆動状態でカーソル線によるエツ
ジ検出が行なわれ、高い検出精度を維持できる。
第１図は本発明を説明する自動寸法測定装置の
正面ブロツク図、第２図は画像処理装置の表面拡
大図、第３図はカーソル枠によるエツジ検出を示
す表面図、第４図はカーソル線によるエツジ検出
を示す表面図、第５図及び第６図はカーソル線に
よるエツジ検出の変形例を示す表面図、第７図
は被検査物の一例を示す平面図、はその断面
図、第８図は落射光を用いる場合のエツジ検出を
示す表面図、第９図は透過光を用いる場合のエツ
ジ検出を示す表面図である。 図中、２は検査テーブル、４はTVカメラ、５
は画像処理装置、６はカーソル枠、７ａ，７ｂは
カーソル線、１０は被検査物、ａはエツジ、２０
はブラウン管である。
正面ブロツク図、第２図は画像処理装置の表面拡
大図、第３図はカーソル枠によるエツジ検出を示
す表面図、第４図はカーソル線によるエツジ検出
を示す表面図、第５図及び第６図はカーソル線に
よるエツジ検出の変形例を示す表面図、第７図
は被検査物の一例を示す平面図、はその断面
図、第８図は落射光を用いる場合のエツジ検出を
示す表面図、第９図は透過光を用いる場合のエツ
ジ検出を示す表面図である。 図中、２は検査テーブル、４はTVカメラ、５
は画像処理装置、６はカーソル枠、７ａ，７ｂは
カーソル線、１０は被検査物、ａはエツジ、２０
はブラウン管である。
Claims (1)
- １ 被検査物を載承せるテーブルの駆動によつて
被検査物を移動させながら該被検査物の表面を
TVカメラによつてブラウン管に映じ、その表面
画像を追跡する画像処理装置において、前記ブラ
ウン管に十字状のカーソル線及び該線を囲繞する
口形のカーソル枠を表示し、カーソル枠が被検査
物のエツジを検出したときに前記テーブルの駆動
を減速させる減速指令信号を出力し、カーソル線
が前記エツジを検出したときに該エツジの座標位
置を測定させる測定指令信号を出力することを特
徴とする被検査物のエツジ位置決定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58211555A JPS60103485A (ja) | 1983-11-09 | 1983-11-09 | 画像処理装置における被検査物のエツジ位置決定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58211555A JPS60103485A (ja) | 1983-11-09 | 1983-11-09 | 画像処理装置における被検査物のエツジ位置決定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60103485A JPS60103485A (ja) | 1985-06-07 |
| JPH0136150B2 true JPH0136150B2 (ja) | 1989-07-28 |
Family
ID=16607745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58211555A Granted JPS60103485A (ja) | 1983-11-09 | 1983-11-09 | 画像処理装置における被検査物のエツジ位置決定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60103485A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0631549Y2 (ja) * | 1986-11-04 | 1994-08-22 | 三菱電機株式会社 | 指紋照合装置 |
-
1983
- 1983-11-09 JP JP58211555A patent/JPS60103485A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60103485A (ja) | 1985-06-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3341933B2 (ja) | 加工物表面の走査方法および走査装置 | |
| JP4862765B2 (ja) | 表面検査装置及び表面検査方法 | |
| JP3402990B2 (ja) | 三次元測定機 | |
| CN109425320A (zh) | 表面纹理测量设备的控制方法 | |
| US6590670B1 (en) | Method and apparatus for measuring heights of test parts of object to be measured | |
| JP2005121370A (ja) | 表面形状測定装置および表面形状測定方法 | |
| US20060243035A1 (en) | Surface roughness/contour profile measuring instrument | |
| JP2569436B2 (ja) | 駆動装置の速度制御装置 | |
| CN110057755A (zh) | 一种复合光学检测仪 | |
| JPH02114113A (ja) | 平面度測定機能付き顕微鏡装置 | |
| CN110501468B (zh) | 一种拉线式扫查装置 | |
| JPS60103485A (ja) | 画像処理装置における被検査物のエツジ位置決定方法 | |
| JP2553352Y2 (ja) | 自動寸法測定装置 | |
| JP2549802Y2 (ja) | 自動寸法測定装置 | |
| JP3114474B2 (ja) | 物体位置認識装置 | |
| CN111319300A (zh) | 一种烟包纸压痕快速检测装置 | |
| JPH0360957A (ja) | 非接触式デジタイザ用トレーサヘツド | |
| JP3086016B2 (ja) | 段差計測装置及びその方法 | |
| JP3018887B2 (ja) | 三次元形状測定装置 | |
| JPH0783630A (ja) | タイヤトレッドの断面形状測定方法 | |
| JP2002148024A (ja) | 物体検出装置 | |
| JPH02124415A (ja) | 形状測定装置 | |
| JPH02124408A (ja) | 形状測定装置 | |
| JPH02129533A (ja) | クリーンルーム検査用ロボット | |
| JP2572660B2 (ja) | 自動駆動型比較計測機 |