JPH0136899B2 - - Google Patents
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- JPH0136899B2 JPH0136899B2 JP16452782A JP16452782A JPH0136899B2 JP H0136899 B2 JPH0136899 B2 JP H0136899B2 JP 16452782 A JP16452782 A JP 16452782A JP 16452782 A JP16452782 A JP 16452782A JP H0136899 B2 JPH0136899 B2 JP H0136899B2
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- 238000005162 X-ray Laue diffraction Methods 0.000 claims description 13
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、ラウエカメラ法とゴニオメータ法を
両用できるＸ線結晶方位測定装置に関する。
両用できるＸ線結晶方位測定装置に関する。
（従来技術）
結晶方位の割出しには、アルミニウム等の軽元
素をターゲツトに用いたＸ線発生装置からの連続
Ｘ線と、タングステン等の重元素をターゲツトに
用いたＸ線発生装置からの特性Ｘ線を試料結晶に
照射して、前者によりラウエカメラ法による粗い
方位の測定を、また後者によりゴニオメータ法に
よる精密な測定とを併用することが行なわれる。
素をターゲツトに用いたＸ線発生装置からの連続
Ｘ線と、タングステン等の重元素をターゲツトに
用いたＸ線発生装置からの特性Ｘ線を試料結晶に
照射して、前者によりラウエカメラ法による粗い
方位の測定を、また後者によりゴニオメータ法に
よる精密な測定とを併用することが行なわれる。
このため、連続Ｘ線発生装置を備えたラウエ法
カメラ装置と、特性Ｘ線発生装置を備えたゴニオ
メータ装置を必要とする。
カメラ装置と、特性Ｘ線発生装置を備えたゴニオ
メータ装置を必要とする。
（発明が解決しようとする課題）
従つて、連続Ｘ線照射用の線源装置と特性Ｘ線
照射用の線源装置の２つの装置を必要として、装
置がコスト高となるばかりでなく、粗い測定から
精密な測定への切換の際に試料結晶を別々の試料
台を移し変えねばならないという問題があつた。
照射用の線源装置の２つの装置を必要として、装
置がコスト高となるばかりでなく、粗い測定から
精密な測定への切換の際に試料結晶を別々の試料
台を移し変えねばならないという問題があつた。
（課題を解決するための手段）
このような問題を解決するために本発明装置
は、試料結晶の回折特性をゴニオメータ法で測定
するに充分な強度の特性Ｘ線とラウエカメラ法で
測定するに充分な強度の連続Ｘ線を発生する共通
のターゲツトを有するＸ線発生装置と、該Ｘ線発
生装置の照射側に配設されたコリメータと、コリ
メータ軸上にフイルムカセツテの中心が位置する
カセツテ保持手段と、試料結晶をコリメータ軸上
に保持して前記コリメータ軸に対して非平行な少
なくとも１つの軸の回りを回動する試料保持手段
と、試料結晶によつて回折されたＸ線を捕捉する
ように試料軸に対して回動するＸ線検出手段とを
備えている。
は、試料結晶の回折特性をゴニオメータ法で測定
するに充分な強度の特性Ｘ線とラウエカメラ法で
測定するに充分な強度の連続Ｘ線を発生する共通
のターゲツトを有するＸ線発生装置と、該Ｘ線発
生装置の照射側に配設されたコリメータと、コリ
メータ軸上にフイルムカセツテの中心が位置する
カセツテ保持手段と、試料結晶をコリメータ軸上
に保持して前記コリメータ軸に対して非平行な少
なくとも１つの軸の回りを回動する試料保持手段
と、試料結晶によつて回折されたＸ線を捕捉する
ように試料軸に対して回動するＸ線検出手段とを
備えている。
（作用）
同一試料台に固定された試料結晶に対して、同
一のＸ線発生装置から発生するＸ線の内、連続Ｘ
線を照射してウエラカメラ法を、また特性Ｘ線を
照射してゴニオメータ法を適用する。
一のＸ線発生装置から発生するＸ線の内、連続Ｘ
線を照射してウエラカメラ法を、また特性Ｘ線を
照射してゴニオメータ法を適用する。
（実施例）
そこで、以下に本発明の詳細を図示した実施例
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
第１図は、本発明の一実施例を示したものであ
つて、図中符号１は、モリブデンや銅をターゲツ
ト材に使用したＸ線発生装置で、第２図に示した
ように試料結晶Ｓからの回折Ｘ線を測定するに充
分な強度の特性Ｘ線と、ラウエ斑点を撮影する
のに充分な強度の連続Ｘ線を同一のターゲツト
から放出するように構成され、基台２の一端に設
けた支柱３に固定されている。４は、コリメータ
軸に沿つて前後に摺動可能に基台２上のレール５
に跨設されたカセツテホルダで、後端がＸ線発生
装置１の照射側に取付けられて試料結晶の中心部
に向いたコリメータ６の先端が貫通しており、こ
のホルダ４には試料結晶Ｓからの回折Ｘ線を受け
てラウエ斑点を撮影するようにフイルムカセツテ
７が取付可能に構成されている。８は、試料結晶
Ｓを垂直軸Ｙ及び水平軸Ｘ方向に回転することの
できる２軸回転試料台で、その基板９は、基台２
上にあつて垂直軸Ｙを中心に回転するθ軸回転テ
ーブル１０上に取付けられ、また基板９に立設し
た面内面回転ガイド１１には、この内周面を案内
として回転するリング１２が取付けられていて、
このリング１２には、コリメータ軸上に試料結晶
Ｓを保持する試料ホルダ１３が取付けられてい
る。１４は、試料結晶からの特性Ｘ線の回折線を
検出するゴニオメータで、基台２に設けられたθ
軸回転テーブル１０と、試料結晶ＳのＸ線照射点
を中心に回転するアーム１５に取付けられた計数
管１６とから構成されている。
つて、図中符号１は、モリブデンや銅をターゲツ
ト材に使用したＸ線発生装置で、第２図に示した
ように試料結晶Ｓからの回折Ｘ線を測定するに充
分な強度の特性Ｘ線と、ラウエ斑点を撮影する
のに充分な強度の連続Ｘ線を同一のターゲツト
から放出するように構成され、基台２の一端に設
けた支柱３に固定されている。４は、コリメータ
軸に沿つて前後に摺動可能に基台２上のレール５
に跨設されたカセツテホルダで、後端がＸ線発生
装置１の照射側に取付けられて試料結晶の中心部
に向いたコリメータ６の先端が貫通しており、こ
のホルダ４には試料結晶Ｓからの回折Ｘ線を受け
てラウエ斑点を撮影するようにフイルムカセツテ
７が取付可能に構成されている。８は、試料結晶
Ｓを垂直軸Ｙ及び水平軸Ｘ方向に回転することの
できる２軸回転試料台で、その基板９は、基台２
上にあつて垂直軸Ｙを中心に回転するθ軸回転テ
ーブル１０上に取付けられ、また基板９に立設し
た面内面回転ガイド１１には、この内周面を案内
として回転するリング１２が取付けられていて、
このリング１２には、コリメータ軸上に試料結晶
Ｓを保持する試料ホルダ１３が取付けられてい
る。１４は、試料結晶からの特性Ｘ線の回折線を
検出するゴニオメータで、基台２に設けられたθ
軸回転テーブル１０と、試料結晶ＳのＸ線照射点
を中心に回転するアーム１５に取付けられた計数
管１６とから構成されている。
上述の実施例において、試料結晶を試料台８に
固定し、Ｘ線フイルムカセツテ７をカセツテホル
ダ４に取付けた後、試料台８を操作して測定すべ
き試料結晶の面をカセツテ７に対向させ、またカ
セツテホルダ４を前後に摺動して両者間の距離を
調節する。このような準備を終えた段階でＸ線発
生装置１を作動させると、Ｘ線発生装置１からの
Ｘ線は、コリメータ６でポイントホーカスされて
細い平行なビームとなつて試料結晶Ｓを照射し、
試料結晶Ｓの結晶構造に基づく回折を受けてフイ
ルムカセツテ７を照射する。この回折を受けたＸ
線の内、連続Ｘ線は、フイルムカセツテ７上にラ
ウエ斑点を形成する。所定の露出時間経過後、Ｘ
線発生装置１の動作を停止させて、フイルムカセ
ツテ７をホルダ４から取外す。
固定し、Ｘ線フイルムカセツテ７をカセツテホル
ダ４に取付けた後、試料台８を操作して測定すべ
き試料結晶の面をカセツテ７に対向させ、またカ
セツテホルダ４を前後に摺動して両者間の距離を
調節する。このような準備を終えた段階でＸ線発
生装置１を作動させると、Ｘ線発生装置１からの
Ｘ線は、コリメータ６でポイントホーカスされて
細い平行なビームとなつて試料結晶Ｓを照射し、
試料結晶Ｓの結晶構造に基づく回折を受けてフイ
ルムカセツテ７を照射する。この回折を受けたＸ
線の内、連続Ｘ線は、フイルムカセツテ７上にラ
ウエ斑点を形成する。所定の露出時間経過後、Ｘ
線発生装置１の動作を停止させて、フイルムカセ
ツテ７をホルダ４から取外す。
このようにして撮影されてラウエ斑点から試料
結晶Ｓについての大まかな方位が把握できる。
結晶Ｓについての大まかな方位が把握できる。
次に、ラウエ斑点を検出したときの試料結晶Ｓ
と試料台８との相対位置関係を変えることなく、
試料台８を操作して結晶試料の試料面をコリメー
タ軸に対して適当な角度、つまり計数管１６によ
り特性Ｘ線の回折線が観測できる面となる角度に
設定し、さらに上述のラウエカメラ法で得た大ま
かな方位を参考にして、Ｘ線発生装置１からの特
性Ｘ線が回折するであろう位置に計数管１６をセ
ツトする。
と試料台８との相対位置関係を変えることなく、
試料台８を操作して結晶試料の試料面をコリメー
タ軸に対して適当な角度、つまり計数管１６によ
り特性Ｘ線の回折線が観測できる面となる角度に
設定し、さらに上述のラウエカメラ法で得た大ま
かな方位を参考にして、Ｘ線発生装置１からの特
性Ｘ線が回折するであろう位置に計数管１６をセ
ツトする。
この段階で再びＸ線発生装置１を作動させてＸ
線を試料結晶Ｓに照射すると、照射Ｘ線中に含ま
れている特性Ｘ線は、試料結晶Ｓで回折される。
そこで、ゴニオメータ１４の回転軸をさらに微調
整して最強の回折Ｘ線が観測される位置を検出
し、この位置を回転軸の目盛りから読取ると、試
料結晶の精密な結晶方位が測定できることにな
る。
線を試料結晶Ｓに照射すると、照射Ｘ線中に含ま
れている特性Ｘ線は、試料結晶Ｓで回折される。
そこで、ゴニオメータ１４の回転軸をさらに微調
整して最強の回折Ｘ線が観測される位置を検出
し、この位置を回転軸の目盛りから読取ると、試
料結晶の精密な結晶方位が測定できることにな
る。
なお、上述の実施例においては、ラウエカメラ
を背面反射カメラとして構成しているが、試料台
の後方にフイルムカセツテを配設して透過カメラ
に構成することもできる。
を背面反射カメラとして構成しているが、試料台
の後方にフイルムカセツテを配設して透過カメラ
に構成することもできる。
（効果）
以上説明したように本発明によれば、試料結晶
の回折特性を測定するに充分な特性Ｘ線とラウエ
斑点を撮影するに充分な連続Ｘ線を同時に発生す
るターゲツトに有するＸ線発生装置を線源とし、
これとフイルムカセツテ、試料台及びゴニオメー
タとを関係的に一体化したので、Ｘ線源を共用す
ることができて装置の低価格化と、小型化が図れ
るばかりでなく、二種類の測定を通じて試料台か
ら試料を外す必要がなく、試料の移し変えや再セ
ツトの手間を省くことができる。
の回折特性を測定するに充分な特性Ｘ線とラウエ
斑点を撮影するに充分な連続Ｘ線を同時に発生す
るターゲツトに有するＸ線発生装置を線源とし、
これとフイルムカセツテ、試料台及びゴニオメー
タとを関係的に一体化したので、Ｘ線源を共用す
ることができて装置の低価格化と、小型化が図れ
るばかりでなく、二種類の測定を通じて試料台か
ら試料を外す必要がなく、試料の移し変えや再セ
ツトの手間を省くことができる。
第１図は、本発明の一実施例を示す実施例の正
面図、第２図は、モリブデンをターゲツトとする
Ｘ線発生装置の出力スペクトルを示す特性図であ
る。 １…Ｘ線発生装置、４…カセツテホルダ、７…
フイルムカセツテ、８…試料台、１０…θ軸回転
テーブル、１１…面内回転ガイド、１４…ゴニオ
メータ、１６…計数管、Ｓ…試料結晶。
面図、第２図は、モリブデンをターゲツトとする
Ｘ線発生装置の出力スペクトルを示す特性図であ
る。 １…Ｘ線発生装置、４…カセツテホルダ、７…
フイルムカセツテ、８…試料台、１０…θ軸回転
テーブル、１１…面内回転ガイド、１４…ゴニオ
メータ、１６…計数管、Ｓ…試料結晶。
Claims (1)
- １ 試料結晶の回折特性をゴニオメータ法で測定
するに充分な強度の特性Ｘ線とラウエカメラ法で
測定するに充分な強度の連続Ｘ線を発生する共通
のターゲツトを有するＸ線発生装置と、該Ｘ線発
生装置の照射側に配設されたコリメータと、コリ
メータ軸上にフイルムカセツテの中心が位置する
カセツテ保持手段と、試料結晶をコリメータ軸上
に保持して前記コリメータ軸に対して非平行な少
なくとも１つの軸の回りを回動する試料保持手段
と、試料結晶によつて回折されたＸ線を捕捉する
ようにＸ線照射点を中心にして回動するＸ線検出
手段とからなるＸ線結晶方位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16452782A JPS5952737A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | Ｘ線結晶方位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16452782A JPS5952737A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | Ｘ線結晶方位測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5952737A JPS5952737A (ja) | 1984-03-27 |
| JPH0136899B2 true JPH0136899B2 (ja) | 1989-08-03 |
Family
ID=15794856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16452782A Granted JPS5952737A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | Ｘ線結晶方位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5952737A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102642254B (zh) * | 2012-05-14 | 2014-04-23 | 云南蓝晶科技股份有限公司 | 晶面定向检测粘接台 |
-
1982
- 1982-09-20 JP JP16452782A patent/JPS5952737A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5952737A (ja) | 1984-03-27 |
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