JPH0141466B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0141466B2 JPH0141466B2 JP13520280A JP13520280A JPH0141466B2 JP H0141466 B2 JPH0141466 B2 JP H0141466B2 JP 13520280 A JP13520280 A JP 13520280A JP 13520280 A JP13520280 A JP 13520280A JP H0141466 B2 JPH0141466 B2 JP H0141466B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- lower table
- guide shaft
- upper table
- guide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はXYテーブルに関する。
従来この種テーブルは基台上に設けられたガイ
ドに沿つて一方向に直線移動する下部テーブル
と、この下部テーブル上に載置され、下部テーブ
ルとは直角の方向に移動され下部テーブルの移動
とを合わせて二次元方向に平面運動する上部テー
ブルからなつている。上部テーブル、下部テーブ
ルの駆動方式には次の二通りがある。
ドに沿つて一方向に直線移動する下部テーブル
と、この下部テーブル上に載置され、下部テーブ
ルとは直角の方向に移動され下部テーブルの移動
とを合わせて二次元方向に平面運動する上部テー
ブルからなつている。上部テーブル、下部テーブ
ルの駆動方式には次の二通りがある。
(イ) 下部テーブル用の駆動モータは基台に設置
し、上部テーブル用は下部テーブル上に載置す
る。
し、上部テーブル用は下部テーブル上に載置す
る。
(ロ) 上部・下部テーブル用の駆動モータとも基台
に設置する。この場合、上部テーブルは上部テ
ーブル用駆動モータに連結した軸にボールスプ
ライン、ウオームギヤ等を介して下部テーブル
と直角の方向に移動する。
に設置する。この場合、上部テーブルは上部テ
ーブル用駆動モータに連結した軸にボールスプ
ライン、ウオームギヤ等を介して下部テーブル
と直角の方向に移動する。
(イ)の方式のものは下部テーブルが上部テーブル
と共に上部テーブル用の駆動体も負担するため、
荷重負担が大となり、高精度な動きになりにく
い。また、(ロ)の方式ではボールスプライン、歯車
等の構成要素が多く複雑な機構となる一方、高速
応答性が悪く精度的にも問題があつた。さらに、
ねじ回転の場合には、回転モーメントが作用する
ので、この回転モーメントを抑制する修正装置が
不可欠になり、構成が複雑になつていた。
と共に上部テーブル用の駆動体も負担するため、
荷重負担が大となり、高精度な動きになりにく
い。また、(ロ)の方式ではボールスプライン、歯車
等の構成要素が多く複雑な機構となる一方、高速
応答性が悪く精度的にも問題があつた。さらに、
ねじ回転の場合には、回転モーメントが作用する
ので、この回転モーメントを抑制する修正装置が
不可欠になり、構成が複雑になつていた。
この発明は上記事情に鑑みてなされたもので、
上部テーブルの一端部になり、かつ上部テーブル
の幅員播に、このテーブルを載置している下部テ
ーブルの移動方向と同方向になる案内軸を設け、
上部テーブル用の直線駆動軸を上記案内軸に分離
自在に摺接係合させる構成にし、構成の簡略化と
精度向上を達成したものである。
上部テーブルの一端部になり、かつ上部テーブル
の幅員播に、このテーブルを載置している下部テ
ーブルの移動方向と同方向になる案内軸を設け、
上部テーブル用の直線駆動軸を上記案内軸に分離
自在に摺接係合させる構成にし、構成の簡略化と
精度向上を達成したものである。
以下、実施例を示す図面に基づいてこの発明を
説明する。
説明する。
図面において、基台１を有し、この基台１の基
準面である上面２には固定台３が設置されてい
る。この固定台３上の両端部には下部テーブル４
の移動のために、上面２に平行で、かつ図中Ｙ方
向に延在する一対のＹ軸案内部５がそれぞれ設け
られている。このＹ軸案内部５は固定台３に所定
の間隔を置いて固着された一対の固定案内体６
と、これにコロ（図示せず）を介して摺動する一
対の移動案内体７とからなつている。上記下部テ
ーブル４は移動案内体７上に固着している。下部
テーブル４のＹ軸方向に交差する一方の側面には
係合板８が取り付けられている。基台１の上面２
にはＹ軸用の第１の駆動体である第１のリニアモ
ータ９が設置され、第１の直線駆動軸であるムー
ビングコア１０が、上記係合板８の中央に接続さ
れている。
準面である上面２には固定台３が設置されてい
る。この固定台３上の両端部には下部テーブル４
の移動のために、上面２に平行で、かつ図中Ｙ方
向に延在する一対のＹ軸案内部５がそれぞれ設け
られている。このＹ軸案内部５は固定台３に所定
の間隔を置いて固着された一対の固定案内体６
と、これにコロ（図示せず）を介して摺動する一
対の移動案内体７とからなつている。上記下部テ
ーブル４は移動案内体７上に固着している。下部
テーブル４のＹ軸方向に交差する一方の側面には
係合板８が取り付けられている。基台１の上面２
にはＹ軸用の第１の駆動体である第１のリニアモ
ータ９が設置され、第１の直線駆動軸であるムー
ビングコア１０が、上記係合板８の中央に接続さ
れている。
一方、下部テーブル４上には、上記Ｙ軸案内体
５と同様な構成となり、かつ直交する方向を示す
図中Ｘ方向に延在する一対のＸ軸案内部１１が下
部テーブル４に載置された状態で、これらＸ軸案
内部１１に沿つて往復動自在にされている。上部
テーブル１２のＸ軸方向側になる一端部は張出し
部１３にされていて、この張出し部１３の下面に
Ｙ方向に延在する案内軸１４が取り付けられてい
る。
５と同様な構成となり、かつ直交する方向を示す
図中Ｘ方向に延在する一対のＸ軸案内部１１が下
部テーブル４に載置された状態で、これらＸ軸案
内部１１に沿つて往復動自在にされている。上部
テーブル１２のＸ軸方向側になる一端部は張出し
部１３にされていて、この張出し部１３の下面に
Ｙ方向に延在する案内軸１４が取り付けられてい
る。
上記張出し部１３側において、Ｘ軸用の第２の
駆動体である第２のリニアモータ１５が上面に設
置され、第２の直線駆動軸であるムービングコア
１６の先端部には支持台１７が取付けられてい
る。この支持台１７上には案内軸１４にコロ（図
示せず）を介して分離自在に摺接係合している摺
接体１８が固着されている。なお、この摺接体は
ムービングコア１６の一部で構成してもよい。
駆動体である第２のリニアモータ１５が上面に設
置され、第２の直線駆動軸であるムービングコア
１６の先端部には支持台１７が取付けられてい
る。この支持台１７上には案内軸１４にコロ（図
示せず）を介して分離自在に摺接係合している摺
接体１８が固着されている。なお、この摺接体は
ムービングコア１６の一部で構成してもよい。
上記の構成により、たとえばＹ方向への移動は
次のように行われる。すなわち、第１のリニアモ
ータ９の作動でムービングコア１０が移動する
と、下部テーブル４がムービングコア１０の移動
に同期してＹ方向に移動するとともに、下部テー
ブル４に載置されている上部テーブル１２も上記
移動に同期して移動する。この上部テーブル１２
のＹ方向への移動においては、張出し部１３の下
面に設けられた案内軸１４が摺接体１８に沿つて
移動するので、第２のリニアモータ１５に全く影
響を与えることはない。また、Ｘ方向への移動
は、第２のリニアモータ１５の作動によるムービ
ングコア１６の動きが移動体１４、摺接体１８を
介し、下部テーブル４の移動に関係なく上部テー
ブル１２のみに与えられて行われる。
次のように行われる。すなわち、第１のリニアモ
ータ９の作動でムービングコア１０が移動する
と、下部テーブル４がムービングコア１０の移動
に同期してＹ方向に移動するとともに、下部テー
ブル４に載置されている上部テーブル１２も上記
移動に同期して移動する。この上部テーブル１２
のＹ方向への移動においては、張出し部１３の下
面に設けられた案内軸１４が摺接体１８に沿つて
移動するので、第２のリニアモータ１５に全く影
響を与えることはない。また、Ｘ方向への移動
は、第２のリニアモータ１５の作動によるムービ
ングコア１６の動きが移動体１４、摺接体１８を
介し、下部テーブル４の移動に関係なく上部テー
ブル１２のみに与えられて行われる。
以上詳述したように、この発明は下部テーブル
の動きが加えられて二次元方向に平面走査される
上部テーブルにおいて、このテーブルの上記二次
元方向の一方の方向を担う下部テーブルの移動方
向と平行に案内軸を上部テーブルの一端側にこの
テーブルの幅員内に設け、さらにこの案内軸に、
たとえばリニアモータのような非回転で直進駆動
する駆動軸を分離自在に摺接係合したことによ
り、次のような効果を得ることができた。
の動きが加えられて二次元方向に平面走査される
上部テーブルにおいて、このテーブルの上記二次
元方向の一方の方向を担う下部テーブルの移動方
向と平行に案内軸を上部テーブルの一端側にこの
テーブルの幅員内に設け、さらにこの案内軸に、
たとえばリニアモータのような非回転で直進駆動
する駆動軸を分離自在に摺接係合したことによ
り、次のような効果を得ることができた。
(イ) 案内軸は予め上部テーブルに高精度に組込め
る。したがつて第２の駆動軸をこの高精度に組
込まれた案内軸に簡単に摺接係合することで、
第２のリニアモータを上記高精度を損なうこと
なく基台上に設置することかできた。
る。したがつて第２の駆動軸をこの高精度に組
込まれた案内軸に簡単に摺接係合することで、
第２のリニアモータを上記高精度を損なうこと
なく基台上に設置することかできた。
(ロ) また、案内軸に摺接しているのは、たとえば
リニアモータの駆動軸のような非回転で直進す
る直進駆動軸であるので、駆動の際に回転モー
メントが作用しないため、ねじ軸による駆動に
不可欠な回転モーメントを抑制する修正装置が
不必要になり、構成を著しく簡略化することが
できた。
リニアモータの駆動軸のような非回転で直進す
る直進駆動軸であるので、駆動の際に回転モー
メントが作用しないため、ねじ軸による駆動に
不可欠な回転モーメントを抑制する修正装置が
不必要になり、構成を著しく簡略化することが
できた。
(ハ) さらに、案内軸と駆動軸とは単に摺接してい
るので、案内軸は下部テーブルの移動方向と平
行に取付ける必要はあるが、摺接部分が外れな
い範囲であれば特に水平方向に配慮しなくても
すみ、この場合高精度の移動には何等影響しな
い。
るので、案内軸は下部テーブルの移動方向と平
行に取付ける必要はあるが、摺接部分が外れな
い範囲であれば特に水平方向に配慮しなくても
すみ、この場合高精度の移動には何等影響しな
い。
なお、上、下各テーブルの案内移動部はコロ滑
りではなく、静圧案内構造とすれば、移動精度を
より向上することができる。
りではなく、静圧案内構造とすれば、移動精度を
より向上することができる。
第１図乃至第３図はこの発明の一実施例を示す
平面図および側面図である。 １……基台、４……下部テーブル、５……Ｙ軸
案内部、１０……ムービングコア（第１の直線駆
動軸）、１１……Ｘ軸案内部、１２……上部テー
ブル、１４……案内軸、１５……第２のリニアモ
ータ（第２の駆動体）、１６……ムービングコア
（第２の直線駆動軸）、１８……摺接体。
平面図および側面図である。 １……基台、４……下部テーブル、５……Ｙ軸
案内部、１０……ムービングコア（第１の直線駆
動軸）、１１……Ｘ軸案内部、１２……上部テー
ブル、１４……案内軸、１５……第２のリニアモ
ータ（第２の駆動体）、１６……ムービングコア
（第２の直線駆動軸）、１８……摺接体。
Claims (1)
- １ 基台と、この基台に設けられた平面二次元方
向の一方に移動自在になる下部テーブルと、上記
基台の一方に設けられ上記下部テーブルを移動さ
せる第１の駆動体と、上記下部テーブルに搭載さ
れ平面二次元方向の他方に移動自在になる上部テ
ーブルと、上記基台の他方に設けられた上記上部
テーブルを移動する第２の駆動体とを備えたXY
テーブルにおいて、第１の駆動体は非回転で直進
駆動する第１の直進駆動軸を有し、上記第２の駆
動体は非回転で直進駆動する第２の直進駆動軸と
上記上部テーブルの幅員内に上記下部テーブルの
移動方向と平行になつて上記上部テーブルの一端
側に取り付けられた案内軸とを有し、この案内軸
と上記第２の直進駆動軸とが互いに分離自在に摺
接係合していることを特徴とするXYテーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13520280A JPS5761436A (en) | 1980-09-30 | 1980-09-30 | X-y table |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13520280A JPS5761436A (en) | 1980-09-30 | 1980-09-30 | X-y table |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5761436A JPS5761436A (en) | 1982-04-13 |
| JPH0141466B2 true JPH0141466B2 (ja) | 1989-09-05 |
Family
ID=15146232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13520280A Granted JPS5761436A (en) | 1980-09-30 | 1980-09-30 | X-y table |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5761436A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5917141U (ja) * | 1982-07-23 | 1984-02-02 | 桐生機械株式会社 | ２軸スライダ |
| JPS63162132A (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-05 | Nippon Thompson Co Ltd | Ｘｙテ−ブル |
| KR0129662B1 (ko) * | 1987-10-30 | 1998-04-07 | 고다까 토시오 | 이동 테이블 장치 |
| JP2775875B2 (ja) * | 1989-07-24 | 1998-07-16 | ブラザー工業株式会社 | ミシン用布厚検出装置 |
| JP4612777B2 (ja) | 2001-03-09 | 2011-01-12 | キヤノン株式会社 | 移動案内装置、それを用いた露光装置及び半導体デバイス製造方法 |
| JP4500507B2 (ja) * | 2003-05-20 | 2010-07-14 | キヤノン株式会社 | 移動案内装置及びそれを用いた露光装置 |
-
1980
- 1980-09-30 JP JP13520280A patent/JPS5761436A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5761436A (en) | 1982-04-13 |
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