JPH0719693Y2 - 移動テーブル - Google Patents

移動テーブル

Info

Publication number
JPH0719693Y2
JPH0719693Y2 JP1990045308U JP4530890U JPH0719693Y2 JP H0719693 Y2 JPH0719693 Y2 JP H0719693Y2 JP 1990045308 U JP1990045308 U JP 1990045308U JP 4530890 U JP4530890 U JP 4530890U JP H0719693 Y2 JPH0719693 Y2 JP H0719693Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
yoke
stage
guide
moving table
moving
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP1990045308U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH045327U (ja
Inventor
央 松本
Original Assignee
エヌティエヌ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by エヌティエヌ株式会社 filed Critical エヌティエヌ株式会社
Priority to JP1990045308U priority Critical patent/JPH0719693Y2/ja
Priority to GB9108875A priority patent/GB2245975B/en
Priority to DE4113770A priority patent/DE4113770C2/de
Priority to FR9105164A priority patent/FR2661346B1/fr
Publication of JPH045327U publication Critical patent/JPH045327U/ja
Priority to US08/019,341 priority patent/US5309847A/en
Application granted granted Critical
Publication of JPH0719693Y2 publication Critical patent/JPH0719693Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/04—Ball or roller bearings
    • F16C29/06—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load
    • F16C29/0633—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides
    • F16C29/0635—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end
    • F16C29/0638—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end with balls
    • F16C29/0642—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end with balls with four rows of balls
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/50—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/52—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism a single rotating pair
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
    • B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/008—Systems with a plurality of bearings, e.g. four carriages supporting a slide on two parallel rails
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2322/00—Apparatus used in shaping articles
    • F16C2322/39—General buildup of machine tools, e.g. spindles, slides, actuators
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S248/00—Supports
    • Y10S248/913—Two axis article engaging means, e.g. x - y device
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T74/00—Machine element or mechanism
    • Y10T74/20—Control lever and linkage systems
    • Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
    • Y10T74/20341—Power elements as controlling elements
    • Y10T74/20354—Planar surface with orthogonal movement only

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)
  • Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
  • Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、ワークを平面上の任意位置へ移動させる場
合に用いる移動テーブルに関するものである。
〔従来の技術〕
XYテーブルの従来技術としては、特開昭63-237831号公
報で開示されたものがある。
このXYテーブルは、第11図及び第12図に示すように、基
台41の上面に、直交する一対の直線軸受42、43を設け、
その直線軸受42、43により、Ｘ軸ヨーク44とＹ軸ヨーク
45を直交方向に移動可能に支持している。
また、両ヨーク44、45のそれぞれに、各ヨークの移動方
向に対して直交方向に長いガイド孔46、47を形成してあ
り、その両ガイド孔46、47の交差部に配置したステージ
48に、各ガイド孔46、47の側面に接触可能な複数のガイ
ドローラ49、50を設けて、そのローラ49、50の案内によ
り、ステージ48を各ガイド孔46、47に沿って移動可能に
支持している。
さらに、基台41上面には、直線軸受42、43に平行に各ヨ
ーク44、45を移動させる直線駆動装置51、52を配置して
いる。
上記の構造では、Ｘ軸ヨーク44又はＹ軸ヨーク45が移動
すると、ステージ48は、ローラ49、50とガイド孔46、47
に案内されて、Ｘ軸又はＹ軸方向に移動する。
〔考案が解決しようとする課題〕
ところが、上記構造のXYテーブルにおいては、各ガイド
孔46、47の幅を、その内側にガイドローラ49、50が収納
できる大きさに形成する必要があるため、各ヨーク44、
45が第11図に示すごとく細い額縁状の形状になる。この
ため、ヨーク44、45の剛性が低下し、特にステージ48上
に重量の大きなワークを載せた場合、各ヨーク44、45に
歪みが生じやすいという不具合がある。
また、液晶のディスプレイ検出機構等のテーブル透過光
を利用する装置においては、透過光に対する正確なアラ
イメント調整が必要になるため、作業テーブルとして、
直交する２方向の動きと、微小角度の調節が可能な回動
機能を併せもった移動テーブルが求められる。
ところが、従来のXYテーブルに回動機能をもたせるため
には、そのXYテーブルを角度割出し機能を備える回転テ
ーブル上に取付ける必要があるため、テーブルの構造が
複雑になると共に、テーブル高さが大きくなって、装置
が大型化する欠点があった。
この考案は、上記の問題に鑑みてなされたもので、その
第１の目的は、ヨークの剛性が高く、安定して高い精度
が得られる移動テーブルを提供することである。
また、第２の目的は、強固な構造とコンパクトな形状に
より直交する２方向と回動の動きを可能とした移動テー
ブルを提供することである。
〔課題を達成するための手段〕
上記の第１の目的を達成するため、この考案は基台上
に、直交する２方向に移動可能な２つのヨークを上下に
重ねて設け、その各ヨークの上面に、移動方向と直交す
る方向に延びる直線状のステージガイドを設けると共
に、上側ヨークに、そのステージガイドの長さに対応し
て下側ヨークのステージガイドに挿通する貫通孔を形成
し、各ヨークの交差部に位置させたステージの下面に、
上側ヨークのステージガイドに嵌合するスライド軸受
と、貫通孔を挿通して下側ヨークのステージガイドに嵌
合するスライド軸受を設けた構造としたものである。
上記の移動テーブルにおいては、各ヨークの移動方向に
直交するステージガイドとスライド軸受との嵌合によ
り、ステージと各ヨークはヨークの移動方向に対して一
体に連結される。このため、上側ヨークを移動させる
と、ステージは下側ヨークのステージガイド上を移動
し、逆に、下側ヨークを移動させると、ステージは上側
ヨークのステージガイド上を移動する。
この構造では、上側ヨークに、ステージのスライド軸受
が挿通する貫通孔を設けるだけでよいので、各ヨークを
幅広の板状に形成することができ、ヨーク剛性を高める
ことができる。
なお、上記の構造において、基台の上面に、互いに、直
交する直線状のヨークガイドを設け、各ヨークをそのヨ
ークガイドの上面と両側面に嵌合するスライド軸受を介
して支持すると共に、この各ヨークに基台の側面に固定
した直線駆動装置を連結する構成とすると、各ヨークの
支持高さを低くできると共に、駆動装置の高さの分だけ
テーブル高さを低くできるため、テーブルをコンパクト
に形成することができる。
さらに、上記構造において、各ヨークに、それぞれ他方
のヨークに設けたステージガイドの長さ方向に縦長で、
かつそのステージガイドとスライド軸受の移動ストロー
クに対応する長さの光透過孔を設けるようにすると、各
ヨークに形成する光透過孔の大きさを最小限にでき、ヨ
ークの剛性低下を抑えることができる。
一方、第２の目的を達成するため、この考案は、上記の
構造の移動テーブルにおけるステージ上に、スラスト軸
受を介して移動台を支持すると共に、ステージに固定し
た上下の軸に移動台を回動可能に連結し、かつステージ
に取付けた直線駆動装置を回動自在な継手を介して移動
台に連結したのである。
上記の構造では、移動台が、スラスト軸受の案内により
軸を支点としてステージに対し回動可能に支持されるた
め、駆動装置を作動させると、移動台を軸を支点に任意
角度で回動させることができる。また、この回動の動き
と、上述したステージの動きを加えることにより、移動
台を平面上で任意の位置へ直線移動させたり、任意の向
きに向かせることができる。
上記の構造では、ステージと移動台の間にスラスト軸受
を介在させるだけなので、テーブル高さを低く形成する
ことができる。
〔実施例〕
第１図乃至第７図は、この考案に係る第１実施例を示し
ている。
図に示すように、基台１の上面には、各側平面図に沿っ
てそれぞれ直交する２方向に平行な一対のヨークガイド
２、３が設けられ、その各ヨークガイド２、３上に、上
下に重ねて直交状に交差させたＸ軸ヨーク４とＹ軸ヨー
ク５を配置している。
このＸ軸ヨーク４とＹ軸ヨーク５は、その両端部下面に
取付けたスライド軸受６、７を各ヨークガイド２、３に
嵌合させて直交方向に移動可能に支持される。
上記のスライド軸受６は、第６図及び第７図に示すよう
に、ヨークガイド２の上側からコ字状に嵌まり込むスラ
イド本体８と、ヨークガイド２の上面と両側面に接触可
能に配置されて、スライド本体８内部の循環路を循環す
る多数のボール９とから構成されており、ヨークガイド
２と共に直線軸受を構成する。なお、ヨークガイド２に
は、各ボール９を案内するための溝10が設けられてい
る。
上記スライド軸受６は、ヨークガイド２の長さ方向に対
してはボール９の転がりにより自由に移動するが、ヨー
クガイド２と直交する方向には、ボール９とガイド２の
噛み合いにより、その方向の動きを阻止する。なお、こ
の直線軸受の嵌合構造は、後述するステージガイド16、
17とスライド軸受19、20の場合も同様である。
上記のヨークガイド２、３は、一方が他方よりも長くな
っており、その長いガイド側の基台１の側面に、Ｘ軸ヨ
ーク４とＹ軸ヨーク５を直線移動させるための駆動装置
11、12が取付けられている。
この駆動装置11、12は、モータ13と、そのモータ13によ
って回転させるねじ軸14と、このねじ軸14にねじ係合し
たナット15とから成り、ナット15は、各ヨーク４、５の
側面に固定されている。上記の構造では、モータ13を駆
動してねじ軸14を回転させると、ナット15がねじ軸14に
沿って移動し、各ヨーク４、５がそれぞれヨークガイド
２、３に沿って直線移動する。
この各駆動装置11、12は、移動テーブルＡを組み立てた
状態で、その上端がＹ軸ヨーク５の上面と同一高さにな
るように取付けられている。なお、上記駆動装置11、12
には、特願昭1-7036号で提案されたボールねじ軸装置を
使用することができる。
上記Ｘ軸ヨーク４の上面の両側辺には、そのヨークの移
動方向と直交する方向、すなわち、基台１上のヨークガ
イド２と直交する方向に延びるステージガイド16が取付
けられている。一方、Ｙ軸ヨーク５の上面の両側辺に
は、ヨークガイド３と直交する方向に延びるステージガ
イド17が取付けられている。
また、Ｙ軸ヨーク５には、ステージガイド17と平行に、
ステージ18下面に取付けたスライド軸受19が挿通可能な
貫通孔21が形成されている。この貫通孔21の長さは、Ｘ
軸ヨーク４のスライド軸受６がヨークガイド２上を移動
する移動ストロークよりも若干大きく形成されており、
両側のステージガイド17に沿って平行に伸びている。
一方、Ｘ軸ヨーク４とＹ軸ヨーク５の交差部には、額縁
形状に形成されたステージ18が設置されている。このス
テージ18は、下面の対向する側辺に、Ｙ軸ヨーク５のス
テージガイド17に嵌合するスライド軸受20、20が取付け
られ、それに直交する対向側辺の下面に、Ｙ軸ヨーク５
の貫通孔21を挿通してＸ軸ヨーク４のステージガイド16
に嵌合するスライド軸受19が取付けられている。
また、Ｙ軸ヨーク５の中央には、貫通孔21と直交する光
透過孔22が形成されている。この光透過孔22の長さは、
スライド軸受19がステージガイド16を移動する距離、す
なわちステージ18のＹ軸方向の移動ストロークより若干
大きく形成されている。
さらに、Ｘ軸ヨーク４には、その移動方向に長い光透過
孔23が形成され、この光透過孔23の長さは、ステージ18
下面のスライド軸受20がステージガイド17を移動する距
離、すなわち、ステージ18のＸ軸方向の移動ストローク
より若干大きく設定されている。
上記のＸ軸ヨーク４の光透過孔23とＹ軸ヨーク５の光透
過孔22は、ステージ18がXY軸両方向に最大限に移動した
場合でも、基台１に設けた光透過孔1aの上方を開放し
て、光透過孔1aから出る光が遮断されないように設定さ
れている。
上記の構造で成る実施例の移動テーブルＡにおいては、
Ｘ軸ヨーク４がヨークガイド２に沿って移動すると、そ
のＸ軸ヨーク４上のステージガイド16とスライド軸受19
の噛み合いによって、ステージ18はＹ軸ヨーク５のステ
ージガイド17に沿ってＸ軸方向に移動する。
逆に、Ｙ軸ヨーク５がヨークガイド３に沿って移動する
と、ステージガイド17とスライド軸受20の噛み合いによ
り、ステージ18はＸ軸ヨーク４のステージガイド16に沿
ってＹ軸方向に移動する。
上記ステージ18の移動において、基台１の光孔1aの上方
は、Ｘ軸ヨーク４の光透過孔23とＹ軸ヨーク５の光透過
孔22及びステージ18の内部孔18aにより常に開放される
ので、光透過孔1aから出た光は遮断されずに、ステージ
18上面に到着する。このため、ステージ18上において、
液晶等のディスプレイ装置における欠陥検査等の作業を
安定して行なうことができる。
上記の構造では、Ｘ軸ヨーク４とＹ軸ヨーク５に設ける
貫通光21や光透過孔22、23の幅が小さく、両ヨーク４、
５を広幅の平板状に形成できるため、第11図に示す額縁
形状の従来構造に比べて、ヨーク４、５の剛性を著しく
向上させることができる。
また、各ヨーク４、５を、ヨークガイドの両側面まで嵌
まり込むスライド軸受により支持したことにより、第12
図に示すようにガイドレールの上部を軸受を介して支持
する場合に比べて、ヨーク４、５の取付け高さを低くで
き、加えて、駆動装置11、12を基台１の側面に取付けて
Ｙ軸ヨーク５と同一高さにしたことにより、テーブル高
さを極めてコンパクトに形成することができる。
第８図乃至第10図は、第２実施例を示しており、この例
では、上述した移動テーブルＡのステージ18に、回動の
動きを行なわせるための移動台24を設けている。
すなわち、ステージ18の上にそのステージ18と同じ額縁
形状の移動台24を配置し、そのステージ18のコーナ部に
固定した上下方向の軸25に、２個のアンギュラ軸受26、
26を介して移動台24のコーナ部を可動自在に連結してい
る。
また、上記コーナ部を除く３つのコーナ部において、ス
テージ18と移動台24の対向面に、それぞれ円弧状溝27、
28を設け、その円弧状溝27、28間にスラスト方向の転動
体としてのボール29を組み込んでいる。
さらに、軸25とは反対側のステージ18の側面に、伸縮可
能な駆動装置30が固定され、その駆動装置30のシャフト
先端が、ピン31を介して移動台24から伸びたステー32に
回動自在及びスライド自在に連結している。
上記の構造では、駆動装置30を伸縮させると、ボール29
の転がり案内により移動台24が軸25を支点として回動す
る。
また、上記回動の動きに加えて、各ヨーク４、５によっ
てステージ18をXY軸方向に移動させると、移動台24を平
面上で任意の向き及び任意の位置に動かすことができ、
微小量のアライメント調整を行なうことができる。
なお、上記実施例では、ステージ18と移動台24の案内を
ボール29で行なう構造としたが、転がり軸受や静圧軸
受、すべり接触軸受等のスラスト軸受で案内するように
してもよい。
〔考案の効果〕
以上説明したように、この考案の第１の手段において
は、ステージを両ヨークに設けたステージガイドに支持
し、上側ヨークにスライド軸受が挿通する貫通孔を設け
るようにしたので、各ヨークを幅広の形状に形成するこ
とができ、テーブルの支持剛性を大きく向上させること
ができる。
また、第２の手段においては、ステージ上にアンギュラ
軸受を介して回動の動きを行なわせるように移動台を支
持したので、複数のテーブルを重ね合せる構造に比べて
テーブルの高さを小さくすることができ、極めてコンパ
クトな形状で、直交する２方向の移動と回動の動きを可
能とする移動テーブルを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は第１実施例の移動テーブルを示す平面図、第２
図は第１図のＩ−Ｉ線に沿った断面図、第３図は第１図
のII−II線に沿った断面図、第４図は同実施例を分解し
て示す斜視図、第５図は同上を組立てた状態で示す斜視
図、第６図はスライド軸受とガイドの嵌合状態を示す一
部断面斜視図、第７図は同上の縦断側面図、第８図は第
２実施例の移動テーブルを示す一部切欠き平面図、第９
図は第８図のIII−III線に沿った断面図、第10図は同上
の要部を示す縦断正面図、第11図は従来例を示す平面
図、第12図は同上の縦断正面図である。 １……基台、２、３……ヨークガイド、４……Ｘ軸ヨー
ク、５……Ｙ軸ヨーク、６、７……スライド軸受、11、
12……駆動装置、16、17……ステージガイド、18……ス
テージ、19、20……スライド軸受、21……貫通孔、22、
23……光透過孔、24……移動台、25……軸、29……ボー
ル、30……駆動装置、31……ピン、Ａ……移動テーブ
ル。

Claims (4)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】基台上に、直交する２方向に移動可能な２
    つのヨークを上下に重ねて設け、各ヨークの上面に、そ
    の移動方向と直交する方向に延びる直線状のステージガ
    イドを設けると共に、上側ヨークに、そのステージガイ
    ドの長さに対応して下側ヨークのステージガイドに挿通
    する貫通孔を形成し、各ヨークの交差部に位置させたス
    テージの下面に、上側ヨークのステージガイドに嵌合す
    るスライド軸受と、上記貫通孔を挿通して下側ヨークの
    ステージガイドに嵌合するスライド軸受を設けて成る移
    動テーブル。
  2. 【請求項２】基台の上面に、互いに直交する直線状のヨ
    ークガイドを設け、各ヨークを上記ヨークガイドの上面
    と両側面に嵌合するスライド軸受を介して支持すると共
    に、この各ヨークに基台の側面に固定した直線駆動装置
    を連結した請求項（１）記載の移動テーブル。
  3. 【請求項３】各ヨークに、それぞれ他方のヨークに設け
    たステージガイドの長さ方向に縦長で、かつそのステー
    ジガイドとスライド軸受の移動ストロークに対応する長
    さの光透過孔を設けた請求項（１）又は（２）に記載の
    移動テーブル。
  4. 【請求項４】ステージ上にスラスト軸受を介して移動台
    を支持すると共に、ステージに固定した上下の軸に移動
    台を回動可能に連結し、かつステージに取付けた直線駆
    動装置を回動自在な継手を介して上記移動台に連結して
    成る請求項（１）又は（３）に記載の移動テーブル。
JP1990045308U 1990-04-27 1990-04-27 移動テーブル Expired - Lifetime JPH0719693Y2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1990045308U JPH0719693Y2 (ja) 1990-04-27 1990-04-27 移動テーブル
GB9108875A GB2245975B (en) 1990-04-27 1991-04-25 Moveable table
DE4113770A DE4113770C2 (de) 1990-04-27 1991-04-26 Tisch zur Verwendung beim Verstellen eines Werkstücks in eine vorbestimmte Position
FR9105164A FR2661346B1 (fr) 1990-04-27 1991-04-26 Table mobile a blocs et platine, en particulier pour machine outil.
US08/019,341 US5309847A (en) 1990-04-27 1993-02-18 Adjustably movable work table

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1990045308U JPH0719693Y2 (ja) 1990-04-27 1990-04-27 移動テーブル

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH045327U JPH045327U (ja) 1992-01-17
JPH0719693Y2 true JPH0719693Y2 (ja) 1995-05-10

Family

ID=12715689

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1990045308U Expired - Lifetime JPH0719693Y2 (ja) 1990-04-27 1990-04-27 移動テーブル

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5309847A (ja)
JP (1) JPH0719693Y2 (ja)
DE (1) DE4113770C2 (ja)
FR (1) FR2661346B1 (ja)
GB (1) GB2245975B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001356187A (ja) * 2000-06-14 2001-12-26 Sumitomo Heavy Ind Ltd ＸＹθステージ装置及びその制御方法

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2913535B2 (ja) * 1993-12-28 1999-06-28 ヒーハイスト精工株式会社 テーブルの縦横移動機構
US5874820A (en) 1995-04-04 1999-02-23 Nikon Corporation Window frame-guided stage mechanism
US7365513B1 (en) 1994-04-01 2008-04-29 Nikon Corporation Positioning device having dynamically isolated frame, and lithographic device provided with such a positioning device
US6989647B1 (en) * 1994-04-01 2006-01-24 Nikon Corporation Positioning device having dynamically isolated frame, and lithographic device provided with such a positioning device
US5528118A (en) * 1994-04-01 1996-06-18 Nikon Precision, Inc. Guideless stage with isolated reaction stage
GB2291193B (en) * 1994-07-07 1997-12-03 Eastman Machine Co Co-ordinate measuring machine
TW318255B (ja) 1995-05-30 1997-10-21 Philips Electronics Nv
US5724893A (en) * 1996-10-15 1998-03-10 Taichung Machinery Works Co. Ltd. Servo-type shaking table assembly
JP3884803B2 (ja) * 1996-11-11 2007-02-21 株式会社三共製作所 ２次元運動生成装置
JP3409298B2 (ja) * 1997-10-07 2003-05-26 日立建機株式会社 移動ステージ装置とこの移動ステージ装置を備えた走査型プローブ顕微鏡
DE19744624A1 (de) * 1997-10-09 1999-04-15 Joerg R Bauer Arbeitsstation zum Halten von Gegenständen
IT1320478B1 (it) * 2000-06-30 2003-11-26 Franco Sartorio Macchina operatrice e dispositivo manipolatore installabile su talemacchina.
US7426904B2 (en) * 2002-10-10 2008-09-23 Visualsonics Inc. Small-animal mount assembly
US8078256B2 (en) 2002-10-10 2011-12-13 Visualsonics Inc. Integrated multi-rail imaging system
US20060124036A1 (en) * 2004-11-01 2006-06-15 Bing Xu Ergodynamic desktop
CN100562750C (zh) * 2005-02-05 2009-11-25 北京源德生物医学工程有限公司 一种搭载试剂盒的传送机构
EP1956705B1 (en) * 2005-11-30 2014-10-01 Thk Co., Ltd. Wireless actuator
US20080074020A1 (en) * 2006-09-21 2008-03-27 Doubts James L Slidable support system for portable storage containers
TWM316150U (en) * 2007-01-19 2007-08-01 Yue-Ting Chen Stage-plane extension structure of multilayered sliding rail in cutter
US8069748B1 (en) 2007-05-24 2011-12-06 Prefix Corporation XY linear slide mechanism
DE102008007899A1 (de) * 2008-02-06 2009-08-20 Elliptec Resonant Actuator Ag Vorrichtung zum Positionieren von Objekten
DE102008063996A1 (de) * 2008-12-19 2010-06-24 Rudi Broghammer Tisch für Objekte
JP2010274429A (ja) * 2009-05-26 2010-12-09 Ihi Corp アライメントステージ
US20120152042A1 (en) * 2010-12-21 2012-06-21 Chung-Shan Institute of Science and Technology, Armaments, Bureau, Ministry of National Defense Multi-Dimensional Micro Driver
TWI458902B (zh) * 2012-05-02 2014-11-01 Academia Sinica 線性致動模組
CN104596433B (zh) * 2014-11-28 2017-10-24 沈阳飞机工业（集团）有限公司 可调式检测工作台及其检测弧形样板的方法
CN104729441A (zh) * 2015-03-26 2015-06-24 沈阳飞机工业（集团）有限公司 弧形件多功能检测工装
CN104889951A (zh) * 2015-06-08 2015-09-09 广东工业大学 动态特性可调宏微一体化复合平台
CN107290119A (zh) * 2016-04-13 2017-10-24 富泰华工业（深圳）有限公司 抗摔损测试机构及具有该测试机构的测试装置
DE102016211093A1 (de) * 2016-06-22 2017-12-28 Festo Ag & Co. Kg Arbeitsvorrichtung
CN114487088B (zh) * 2021-12-16 2024-11-29 中国特种设备检测研究院 漏磁检测装置、管道缺陷识别方法和验证方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6320014B2 (ja) 2012-12-13 2018-05-09 キヤノン株式会社 電子写真用部材、プロセスカートリッジ及び電子写真装置

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB942268A (en) * 1960-06-27 1963-11-20 John Alfred Mills Improvements in and relating to machines having a movable work or tool supporting table
US3155383A (en) * 1962-10-11 1964-11-03 Link Division Of General Prec Precision positioning apparatus
US3563186A (en) * 1968-10-30 1971-02-16 Singer Co Bidirectional positioning stage
US3690642A (en) * 1971-01-20 1972-09-12 Saab Scania Ab Means for confining a translatable member to straight line motion
US3801090A (en) * 1972-07-10 1974-04-02 Gillen William F Coordinate table
US4189953A (en) * 1977-04-15 1980-02-26 Semprex Corporation Drive system for mensuration stages or the like
US4233740A (en) * 1979-02-16 1980-11-18 Autometric Incorporated Photogrammetric plotter and constraint free drive system therefore
JPS55134414A (en) * 1979-04-06 1980-10-20 Hitachi Ltd Precise moving unit
US4372223A (en) * 1979-12-20 1983-02-08 Nippon Seiko Kabushiki Kaisha Moving table assembly
DD236476A1 (de) * 1985-04-26 1986-06-11 Robotron Rationalisierung Koordinatentisch zur positionierung grossflaechiger leichter objekte, insbesondere leiterplatten
JPS632637A (ja) * 1986-06-19 1988-01-07 Omron Tateisi Electronics Co Ｘｙステ−ジ
JPS63237831A (ja) * 1987-03-27 1988-10-04 Ntn Toyo Bearing Co Ltd Ｘｙテ−ブルの位置決め装置
US4972574A (en) * 1988-06-08 1990-11-27 Mamiya Denshi Co., Ltd. Table driving apparatus

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6320014B2 (ja) 2012-12-13 2018-05-09 キヤノン株式会社 電子写真用部材、プロセスカートリッジ及び電子写真装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001356187A (ja) * 2000-06-14 2001-12-26 Sumitomo Heavy Ind Ltd ＸＹθステージ装置及びその制御方法

Also Published As

Publication number Publication date
DE4113770C2 (de) 1996-07-11
FR2661346B1 (fr) 1996-07-19
GB2245975A (en) 1992-01-15
GB9108875D0 (en) 1991-06-12
US5309847A (en) 1994-05-10
DE4113770A1 (de) 1991-10-31
JPH045327U (ja) 1992-01-17
GB2245975B (en) 1993-08-25
FR2661346A1 (fr) 1991-10-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0719693Y2 (ja) 移動テーブル
JP4160824B2 (ja) 昇降用案内ユニット及びそれを組み込んだステージ装置
JP4560235B2 (ja) 角度調整テーブル装置
US5760564A (en) Dual guide beam stage mechanism with yaw control
KR930000292B1 (ko) 얼라인먼트 테이블 장치
JP2557316Y2 (ja) 移動テーブル
JPH01240246A (ja) テーブルの縦横移動機構
KR940006117B1 (ko) 위치결정테이블
JP2004301256A (ja) ２軸直動・旋回案内ユニット及びそれを用いたテーブル装置
KR20030074247A (ko) 각도 조정 장치
JPH02223844A (ja) 物体ホルダ
JP2940663B2 (ja) ステージの縦横移動旋回支持機構
JP2007015072A (ja) 自動回転ステージ
JPH0610947A (ja) 摺動支持装置
JP2000240750A (ja) カップリング及びこれを用いた移動テーブルユニット
JPH11280761A (ja) 直動転がり案内ユニット及びそれを用いたｘｙテーブル装置
JPH0141466B2 (ja)
JP3210658B2 (ja) ボールねじ装置
JP3803263B2 (ja) ＸＹθテーブル
JPH10217054A (ja) 移動テーブル
JP7538606B2 (ja) アライメント装置、アクチュエータ
JP3651358B2 (ja) ステージ装置の駆動機構
KR100541461B1 (ko) 스테이지장치
JPS6224928A (ja) Ｘｙステ−ジ
JP2523978B2 (ja) 位置決めテ―ブル

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term