JPH0142818B2 - - Google Patents
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- JPH0142818B2 JPH0142818B2 JP59127223A JP12722384A JPH0142818B2 JP H0142818 B2 JPH0142818 B2 JP H0142818B2 JP 59127223 A JP59127223 A JP 59127223A JP 12722384 A JP12722384 A JP 12722384A JP H0142818 B2 JPH0142818 B2 JP H0142818B2
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- sheet
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- B29C48/00—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
- B29C48/25—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C48/92—Measuring, controlling or regulating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C2948/00—Indexing scheme relating to extrusion moulding
- B29C2948/92—Measuring, controlling or regulating
- B29C2948/92009—Measured parameter
- B29C2948/92114—Dimensions
- B29C2948/92152—Thickness
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
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- B29C2948/92171—Distortion, shrinkage, dilatation, swell or warpage
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C48/00—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
- B29C48/03—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor characterised by the shape of the extruded material at extrusion
- B29C48/07—Flat, e.g. panels
- B29C48/08—Flat, e.g. panels flexible, e.g. films
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Extrusion Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
＜技術分野＞
本発明はダイから吐出され走行するプラスチツ
クシート等（以下単にシート等という）に対して
厚さ計をシート等の巾方向に変位させながらシー
ト等の流れ方向の厚さを調整するシート等の厚さ
制御方法（以下MD制御という）の改良に関す
る。
クシート等（以下単にシート等という）に対して
厚さ計をシート等の巾方向に変位させながらシー
ト等の流れ方向の厚さを調整するシート等の厚さ
制御方法（以下MD制御という）の改良に関す
る。
＜従来技術＞
従来より、押出成形機によつて連続的に製造す
るシート等に対し、幅方向の厚さ分布（通常プロ
フアイルという）を測定することが製品管理上要
求される。例えばこのようなプロフアイル測定用
として、製品の搬送路の一部にその巾方向に往復
移動する測定ヘツドを備えた走査式透過型厚さ計
を使用する場合を例に採り従来装置を第１図によ
り説明すると第１図において１０は押出機１１に
取付けられた成形用ダイ１２から連続的に押出さ
れモータ２６により駆動される成形ロール１３を
経て製造されるシート等を示す。このシート等１
０の搬送路の一部にその巾方向に往復移動する一
対の投光器１４と受光器１５とからなる測定ヘツ
ドを備えた透過型厚さ計１６が設けられる。ま
た、透過型厚さ計１６には、前記測定ヘツドをシ
ート等１０の幅方向に往復移動走査するための走
査用モータ１７が設けられ、この走査用モータ１
７は後述する外部制御器によつて制御される。
るシート等に対し、幅方向の厚さ分布（通常プロ
フアイルという）を測定することが製品管理上要
求される。例えばこのようなプロフアイル測定用
として、製品の搬送路の一部にその巾方向に往復
移動する測定ヘツドを備えた走査式透過型厚さ計
を使用する場合を例に採り従来装置を第１図によ
り説明すると第１図において１０は押出機１１に
取付けられた成形用ダイ１２から連続的に押出さ
れモータ２６により駆動される成形ロール１３を
経て製造されるシート等を示す。このシート等１
０の搬送路の一部にその巾方向に往復移動する一
対の投光器１４と受光器１５とからなる測定ヘツ
ドを備えた透過型厚さ計１６が設けられる。ま
た、透過型厚さ計１６には、前記測定ヘツドをシ
ート等１０の幅方向に往復移動走査するための走
査用モータ１７が設けられ、この走査用モータ１
７は後述する外部制御器によつて制御される。
しかるに、前記走査用モータ１７を制御する外
部制御器は、速度調整器１８と、モータ制御器１
９と、位置設定器２０と、透過型厚さ計１６より
得られる測定ヘツドの位置信号XSを入力する変
換器２１と、比較演算器２２とから構成される。
従つて、前記比較演算器２２において、変換器２
１を介して得られた測定ヘツドのフイードバツク
位置信号Xsと位置設定器２０で設定された測定
ヘツドの折返し点を設定する位置信号とを比較
し、この比較演算器２２で得られた信号と前記速
度調整器１８からの速度調整信号とをモータ制御
器１９に入力して、所定のモータ制御信号Csを前
記走査用モータ１７に供給するよう構成される。
部制御器は、速度調整器１８と、モータ制御器１
９と、位置設定器２０と、透過型厚さ計１６より
得られる測定ヘツドの位置信号XSを入力する変
換器２１と、比較演算器２２とから構成される。
従つて、前記比較演算器２２において、変換器２
１を介して得られた測定ヘツドのフイードバツク
位置信号Xsと位置設定器２０で設定された測定
ヘツドの折返し点を設定する位置信号とを比較
し、この比較演算器２２で得られた信号と前記速
度調整器１８からの速度調整信号とをモータ制御
器１９に入力して、所定のモータ制御信号Csを前
記走査用モータ１７に供給するよう構成される。
前記透過型厚さ計１６からは、前記測定ヘツド
の位置信号Xsと共にシート等１０の厚さ信号tsが
取出される。この厚さ信号tsは、変換増幅器２
３、Ａ／Ｄ変換器２４を介してコンピユータシス
テム等の記憶装置２５にそれぞれ位置データと厚
さデータとが対応して記憶保持される。前記記憶
装置２５は、CPU２７と、内部記憶装置２８と、
周辺機器類２９とタイマ３０等から構成されてい
る。
の位置信号Xsと共にシート等１０の厚さ信号tsが
取出される。この厚さ信号tsは、変換増幅器２
３、Ａ／Ｄ変換器２４を介してコンピユータシス
テム等の記憶装置２５にそれぞれ位置データと厚
さデータとが対応して記憶保持される。前記記憶
装置２５は、CPU２７と、内部記憶装置２８と、
周辺機器類２９とタイマ３０等から構成されてい
る。
第１図の装置では、前記透過型厚さ計１６から
の測定データに基づいて、シート巾方向プロフア
イルとシート流れ方向の平均厚さの管理制御が並
向して行なわれる。
の測定データに基づいて、シート巾方向プロフア
イルとシート流れ方向の平均厚さの管理制御が並
向して行なわれる。
ここで、成形用ダイ１２からの押出量をＱm3／
ｓ、成形ロール１３のシート引取速度をＵｍ／ｓ
とすると、シートの流れ方向平均厚さは次式で
表わされる。
ｓ、成形ロール１３のシート引取速度をＵｍ／ｓ
とすると、シートの流れ方向平均厚さは次式で
表わされる。
＝ｋＱ／Ｕ …(1)
(1)式でｋは比例定数で、シート巾やシートの比
重量に関係する定数である。
重量に関係する定数である。
(1)式の押出量Ｑは押出機１１のスクリユ先端部
に設けられているフイルタの目詰りの進行に連れ
て漸減し、シートの平均厚さを減少させる原因と
なる。この他に材料の特性変化により成形用ダイ
１２からの押出機Ｑの変動にしたがつて前記シー
トの平均厚さを変動させる種々の外乱要因が存
在する。この為シート流れ方向の厚さは、シート
巾方向での厚さを常時計測し、シート巾長での測
定値の平均値をシート厚さとしてその偏差が零と
なるように制御される。
に設けられているフイルタの目詰りの進行に連れ
て漸減し、シートの平均厚さを減少させる原因と
なる。この他に材料の特性変化により成形用ダイ
１２からの押出機Ｑの変動にしたがつて前記シー
トの平均厚さを変動させる種々の外乱要因が存
在する。この為シート流れ方向の厚さは、シート
巾方向での厚さを常時計測し、シート巾長での測
定値の平均値をシート厚さとしてその偏差が零と
なるように制御される。
このシート流れ方向厚さ制御の対象として、押
出機のスクリユ駆動モータ４１および成形ロール
１３の駆動モータ２６が対象となる。前者は前記
(1)式の引取り速度Ｕを一定として押出機Ｑを制御
することによつて目標のシート厚さを得ようと
するものである。
出機のスクリユ駆動モータ４１および成形ロール
１３の駆動モータ２６が対象となる。前者は前記
(1)式の引取り速度Ｕを一定として押出機Ｑを制御
することによつて目標のシート厚さを得ようと
するものである。
このような装置の制御性は次に述べるむだ時間
によつて支配される。即ちむだ時間が小さい程、
良い制御が行われる。
によつて支配される。即ちむだ時間が小さい程、
良い制御が行われる。
本装置のむだ時間は次の２種類あり、その和と
なる。その１つは厚さ計１６の設定位置によるむ
だ時間t1で、成形用ダイ１２から厚さ計１６間の
シートパスライン長をＬとすればt1＝Ｌ／Ｕで表
わされる。
なる。その１つは厚さ計１６の設定位置によるむ
だ時間t1で、成形用ダイ１２から厚さ計１６間の
シートパスライン長をＬとすればt1＝Ｌ／Ｕで表
わされる。
もう１つは厚さ計１６の巾方向走査に伴なうむ
だ時間t2で、走査ストロークをＢ、走査速度をUs
とするとt2＝Ｂ／Usで表わされる。このむだ時間
t2は、厚さ計１６の測定ヘツドである投光器１
４、受光器１５をシート上の定点に固定すれば生
じないが、本願のように１台の厚さ計でシートの
の巾方向厚さ及び流れ方向厚さの両制御用データ
を得ようとする必然的に発生する。
だ時間t2で、走査ストロークをＢ、走査速度をUs
とするとt2＝Ｂ／Usで表わされる。このむだ時間
t2は、厚さ計１６の測定ヘツドである投光器１
４、受光器１５をシート上の定点に固定すれば生
じないが、本願のように１台の厚さ計でシートの
の巾方向厚さ及び流れ方向厚さの両制御用データ
を得ようとする必然的に発生する。
本願の厚さ制御方法は、測定点の値を制御量に
とり込む仕方に改良を施し、むだ時間t2を出来る
限り短くすることにある。
とり込む仕方に改良を施し、むだ時間t2を出来る
限り短くすることにある。
ここで従来のシート流れ方向厚さの測定点の値
を制御量にとり込む方法を第２図イ，ロにより説
明すると、長手方向にグラフａのように変化した
厚さは、測定ヘツドがＡ→Ｂ→Ｃ→Ｄ点と移動し
ていくに従つて、S1ゾーンの終点であるＡ点に来
た時、S1の厚さ平均として、厚さt1を算出し、測
定ヘツドがS2の終点であるＢ点に来た時、S2ゾー
ンの厚さ平均としてt2を算出し、同様にしてt3…
toを算出する。この平均厚さt1、t2…toは不連続
の階段状グラフｂとなつて表われる。従つて測定
結果は測定ヘツドがシート等の巾方向の移動中は
判らず折返し点まで到達しないと判らないこと。
を制御量にとり込む方法を第２図イ，ロにより説
明すると、長手方向にグラフａのように変化した
厚さは、測定ヘツドがＡ→Ｂ→Ｃ→Ｄ点と移動し
ていくに従つて、S1ゾーンの終点であるＡ点に来
た時、S1の厚さ平均として、厚さt1を算出し、測
定ヘツドがS2の終点であるＢ点に来た時、S2ゾー
ンの厚さ平均としてt2を算出し、同様にしてt3…
toを算出する。この平均厚さt1、t2…toは不連続
の階段状グラフｂとなつて表われる。従つて測定
結果は測定ヘツドがシート等の巾方向の移動中は
判らず折返し点まで到達しないと判らないこと。
また厚さの変化が比較的激しいもの即ち、高周
波で表わされるものは測定ヘツドが折返し点まで
到達しないとその結果が表われないので応答が遅
く、一つの現象に対しフイードバツクされた時に
は既に他の現象が生じておりそれを補う別のフイ
ードバツク信号が必要となるような状態である。
波で表わされるものは測定ヘツドが折返し点まで
到達しないとその結果が表われないので応答が遅
く、一つの現象に対しフイードバツクされた時に
は既に他の現象が生じておりそれを補う別のフイ
ードバツク信号が必要となるような状態である。
＜本発明の目的＞
本発明は前述のような問題点を解決し、むだ時
間を可能な限り短くすることによつて高周波の変
動にも対処出来るようなシート等のMD平均厚さ
を調整出来るようにしたMD制御方法を提供する
ことにある。
間を可能な限り短くすることによつて高周波の変
動にも対処出来るようなシート等のMD平均厚さ
を調整出来るようにしたMD制御方法を提供する
ことにある。
＜発明の構成＞
発明者等はこの目的を遂行するため、ダイから
吐出され走行するプラスチツクシート等に対して
厚さ計を該シートの巾方向に変位させながら一定
間隔で連続的にサンプリングし、この計測データ
に基づいてシートの巾方向の厚さ分布と流れ方向
の平均厚さとをそれぞれ自動ダイおよび押出機あ
るいは引取機の駆動モータに並行してフイードバ
ツク制御するシート等の二軸方向同時厚さ制御に
おいて、 前記厚さ計のシート巾方向に於ける往工程にお
ける複数のサンプリング値を移動平均演算器へ入
力し、次又は数回後の往工程における最進のサン
プリング値を前記移動平均演算器内の対応するサ
ンプリング値と置き換えてその時点で制御量を演
算し、常に予め設定してある目標設定値と比較
し、その偏差を流れ方向平均厚さ制御の制御量と
することを特徴とするシート等の厚さ制御方法を
提供することである。
吐出され走行するプラスチツクシート等に対して
厚さ計を該シートの巾方向に変位させながら一定
間隔で連続的にサンプリングし、この計測データ
に基づいてシートの巾方向の厚さ分布と流れ方向
の平均厚さとをそれぞれ自動ダイおよび押出機あ
るいは引取機の駆動モータに並行してフイードバ
ツク制御するシート等の二軸方向同時厚さ制御に
おいて、 前記厚さ計のシート巾方向に於ける往工程にお
ける複数のサンプリング値を移動平均演算器へ入
力し、次又は数回後の往工程における最進のサン
プリング値を前記移動平均演算器内の対応するサ
ンプリング値と置き換えてその時点で制御量を演
算し、常に予め設定してある目標設定値と比較
し、その偏差を流れ方向平均厚さ制御の制御量と
することを特徴とするシート等の厚さ制御方法を
提供することである。
＜実施例＞
次に第３図および第４図により本発明の１実施
例を説明すると前記第１図と番号の同一のものは
全く作用動作は変らないので説明は略き、新に追
加された器機についてのみ説明する。３１は第３
図に示すMD制御器３２、むだ時間補償回路３３
および予め定めた目標厚さを設定する目標厚設定
器３４から成る制御回路である。３５は移動平均
演算器で、厚さ計１６が検出した厚さ信号tsおよ
び検出位置信号xsを入力し、前記制御回路３１に
出力信号を作用させるものである。ここで移動平
均演算器３５はコンピユータシステム等の記憶装
置２５と別置きとしたが、これに限らず同装置２
５に入れても良い。３６はプロセスを示し、シー
ト等の厚さを検出する厚さ計１６およびモータ２
６の速度を検出する図示していない速度計２６ａ
が夫々シート等の厚さおよび速度を検出する。
例を説明すると前記第１図と番号の同一のものは
全く作用動作は変らないので説明は略き、新に追
加された器機についてのみ説明する。３１は第３
図に示すMD制御器３２、むだ時間補償回路３３
および予め定めた目標厚さを設定する目標厚設定
器３４から成る制御回路である。３５は移動平均
演算器で、厚さ計１６が検出した厚さ信号tsおよ
び検出位置信号xsを入力し、前記制御回路３１に
出力信号を作用させるものである。ここで移動平
均演算器３５はコンピユータシステム等の記憶装
置２５と別置きとしたが、これに限らず同装置２
５に入れても良い。３６はプロセスを示し、シー
ト等の厚さを検出する厚さ計１６およびモータ２
６の速度を検出する図示していない速度計２６ａ
が夫々シート等の厚さおよび速度を検出する。
以上のように構成されており、次に本発明の方
法について第５図のフローチヤートにより動作作
用について説明すると、ａでシート等の巾方向に
互つて１往復中の検出位置、例えば１cmおきにＮ
個（N1、N2、N3、…No）およびその厚さｔ（t1、
t2、t3…to）を設定する。次いで厚さ計の測定ヘ
ツドを移動させ、ｂで位置信号Ｎが変化したか否
か、（例えばN1からN2へ変化したか否か）を判
定し、YESの場合は移動平均演算器はＣで厚さ
信号を入力し、ｄで移動平均を演算する。例えば
現移動平均値に今入力した厚さデータの１／Ｎを
加え、１周期前の厚さデータの１／Ｎを減した移
動平均値を求めｅでこの新しい移動平均値を出力
し、次いでｆで図示してないメモリ内容を更新す
る。ｇで測定ヘツドがシート等の巾を横切り、再
びシート等の巾を横切るべく折返し点を通過した
か否かを判定させ、ｈで測定ヘツドが今までと進
む方向が反対か否かを判定させると、ｉで今まで
例まで１、２、３……ｎと進んで来た測定ヘツド
は今度は向きを換えｎ（ｎ−１）……３、２、１
というように反転し、再びｂへ戻るようになつて
いる。
法について第５図のフローチヤートにより動作作
用について説明すると、ａでシート等の巾方向に
互つて１往復中の検出位置、例えば１cmおきにＮ
個（N1、N2、N3、…No）およびその厚さｔ（t1、
t2、t3…to）を設定する。次いで厚さ計の測定ヘ
ツドを移動させ、ｂで位置信号Ｎが変化したか否
か、（例えばN1からN2へ変化したか否か）を判
定し、YESの場合は移動平均演算器はＣで厚さ
信号を入力し、ｄで移動平均を演算する。例えば
現移動平均値に今入力した厚さデータの１／Ｎを
加え、１周期前の厚さデータの１／Ｎを減した移
動平均値を求めｅでこの新しい移動平均値を出力
し、次いでｆで図示してないメモリ内容を更新す
る。ｇで測定ヘツドがシート等の巾を横切り、再
びシート等の巾を横切るべく折返し点を通過した
か否かを判定させ、ｈで測定ヘツドが今までと進
む方向が反対か否かを判定させると、ｉで今まで
例まで１、２、３……ｎと進んで来た測定ヘツド
は今度は向きを換えｎ（ｎ−１）……３、２、１
というように反転し、再びｂへ戻るようになつて
いる。
＜発明の効果＞
以上説明したような制御を行つたテスト結果、
第６図イ，ロ，ハで示すように、シート等の走行
方向に厚さの変化がイのようにsineカーブとなつ
たと仮定すると、従来装置はロのように厚さの平
均は各巾方向の折返し点で階段上に変化していた
が、本発明方法ではハのように滑かなカーブとな
つて表わされることが理解される。同様に第７図
は高周波の場合を示す例で、前実施例と同じよう
に従来方法は階段状の平均値、本発明方法は滑か
な連続カーブで表わされる。
第６図イ，ロ，ハで示すように、シート等の走行
方向に厚さの変化がイのようにsineカーブとなつ
たと仮定すると、従来装置はロのように厚さの平
均は各巾方向の折返し点で階段上に変化していた
が、本発明方法ではハのように滑かなカーブとな
つて表わされることが理解される。同様に第７図
は高周波の場合を示す例で、前実施例と同じよう
に従来方法は階段状の平均値、本発明方法は滑か
な連続カーブで表わされる。
このように本発明は当初に掲げた欠点が取除か
れ、各位置にけるシート等の厚さ平均が滑かな連
続した値で表わされ、むだ時間も短く精度のよい
厚さ調整制御が出来るようになつた。
れ、各位置にけるシート等の厚さ平均が滑かな連
続した値で表わされ、むだ時間も短く精度のよい
厚さ調整制御が出来るようになつた。
第１図は従来方法による厚さ調整制御装置を示
す図。第２図は従来装置によるシート等の厚さ平
均値を示すグラフ。第３図および第４図は本発明
方法を行う為の１実施例を示す装置の図で、第３
図は全体図。第４図はその詳細図。第５図は本発
明の実施例における動作を示すフローチヤート。
第６図および第７図は本発明による方法でシート
等の厚さ平均を算出したテスト結果を示すグラ
フ。
す図。第２図は従来装置によるシート等の厚さ平
均値を示すグラフ。第３図および第４図は本発明
方法を行う為の１実施例を示す装置の図で、第３
図は全体図。第４図はその詳細図。第５図は本発
明の実施例における動作を示すフローチヤート。
第６図および第７図は本発明による方法でシート
等の厚さ平均を算出したテスト結果を示すグラ
フ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ダイから吐出され走行するプラスチツクシー
ト等に対して厚さ計を該シートの巾方向に変位さ
せながら一定間隔で連続的にサンプリングし、こ
の計測データに基づいてシートの巾方向の厚さ分
布と流れ方向の平均厚さとをそれぞれ自動ダイお
よび押出機あるいは引取機の駆動モータに並行し
てフイードバツク制御するシート等の二軸方向同
時厚さ制御において、 前記厚さ計のシート巾方向に於ける往工程にお
ける複数のサンプリン値を移動平均演算器へ入力
し、次又は数回後の往工程における最進のサンプ
リング値を前記移動平均演算器内の対応するサン
プリング値と置き換えてその時点で制御量を演算
し、常に予め設定してある目標設定値と比較し、
その偏差を流れ方向平均厚さ制御の制御量とする
ことを特徴とするシート等の厚さ制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59127223A JPS615916A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | プラスチツクシ−ト等の厚さ制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59127223A JPS615916A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | プラスチツクシ−ト等の厚さ制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS615916A JPS615916A (ja) | 1986-01-11 |
| JPH0142818B2 true JPH0142818B2 (ja) | 1989-09-14 |
Family
ID=14954772
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59127223A Granted JPS615916A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | プラスチツクシ−ト等の厚さ制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS615916A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02130715U (ja) * | 1989-03-31 | 1990-10-29 | ||
| JPH06285712A (ja) * | 1993-04-06 | 1994-10-11 | Yoshida Shokai:Kk | 刃物を緊締する方法と装置 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01278324A (ja) * | 1988-05-02 | 1989-11-08 | Japan Steel Works Ltd:The | 樹脂フィルムの厚さ調整方法 |
| JP2010082932A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Teijin Dupont Films Japan Ltd | フィルム厚みの調整方法 |
| JP2012122155A (ja) * | 2010-12-06 | 2012-06-28 | Toptec Co Ltd | ナノ繊維製造装置及びナノ繊維製造方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4923858A (ja) * | 1972-06-29 | 1974-03-02 | ||
| JPS5881126A (ja) * | 1981-11-09 | 1983-05-16 | Unitika Ltd | 厚み精度の良いフイルムの製造方法 |
| JP2633573B2 (ja) * | 1987-08-11 | 1997-07-23 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造方法 |
-
1984
- 1984-06-20 JP JP59127223A patent/JPS615916A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02130715U (ja) * | 1989-03-31 | 1990-10-29 | ||
| JPH06285712A (ja) * | 1993-04-06 | 1994-10-11 | Yoshida Shokai:Kk | 刃物を緊締する方法と装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS615916A (ja) | 1986-01-11 |
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